JPH0432321B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0432321B2 JPH0432321B2 JP57069461A JP6946182A JPH0432321B2 JP H0432321 B2 JPH0432321 B2 JP H0432321B2 JP 57069461 A JP57069461 A JP 57069461A JP 6946182 A JP6946182 A JP 6946182A JP H0432321 B2 JPH0432321 B2 JP H0432321B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe
- output
- frequency
- signal
- capacitor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/003—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring position, not involving coordinate determination
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B2210/00—Aspects not specifically covered by any group under G01B, e.g. of wheel alignment, caliper-like sensors
- G01B2210/58—Wireless transmission of information between a sensor or probe and a control or evaluation unit
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Arrangements For Transmission Of Measured Signals (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Electronic Switches (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は一般に測定及び計測システムに使用さ
れる位置検出装置に係る。特に、本発明は、プロ
ーブが被加工片に接触したという指示を与えるプ
ローブ接触検出装置に係る。
れる位置検出装置に係る。特に、本発明は、プロ
ーブが被加工片に接触したという指示を与えるプ
ローブ接触検出装置に係る。
これまでに知られている数多くの位置検出プロ
ーブ即ちタツチプローブは、通常、接触センサと
して機械接点を用いている。このような接点は製
造経費が高く然も検出性能に限度がある。更に、
機械的に動くスイツチ接点は摩耗や腐食を受けや
すい。
ーブ即ちタツチプローブは、通常、接触センサと
して機械接点を用いている。このような接点は製
造経費が高く然も検出性能に限度がある。更に、
機械的に動くスイツチ接点は摩耗や腐食を受けや
すい。
別の型式の既知のタツチプローブでは、プロー
ブが金属被加工片と接触する際の高周波信号を著
しく減衰するようにプローブを構成することによ
り機械スイツチ接点の腐食及び摩耗の問題が解消
されている。このような公知装置の1つが
Kirkham氏の米国特許第4118871号に開示されて
いる。この装置は、放射された高周波信号との電
磁ノイズ干渉を引き起こす傾向があり、このよう
な干渉が生じると、プローブと被加工片との接触
に関して偽の指示を招くことになる。
ブが金属被加工片と接触する際の高周波信号を著
しく減衰するようにプローブを構成することによ
り機械スイツチ接点の腐食及び摩耗の問題が解消
されている。このような公知装置の1つが
Kirkham氏の米国特許第4118871号に開示されて
いる。この装置は、放射された高周波信号との電
磁ノイズ干渉を引き起こす傾向があり、このよう
な干渉が生じると、プローブと被加工片との接触
に関して偽の指示を招くことになる。
本発明との直接的な拘りはないが一応本発明に
関係した公知技術として、寸法計測データの無線
送信技術があり、このような技術がFougere氏等
の米国特許第3670243号、Amsbury氏の米国特許
第4130941号、並びに米国特許第4328623号に開示
されている。
関係した公知技術として、寸法計測データの無線
送信技術があり、このような技術がFougere氏等
の米国特許第3670243号、Amsbury氏の米国特許
第4130941号、並びに米国特許第4328623号に開示
されている。
検出性能が高く、電磁ノイズによつて影響され
ず、然もプローブが被加工片に接触したという指
示を無線送信できるようなタツチ検出装置が要望
されている。又、種々様々な位置測定トランスジ
ユーサを使えるようなタツチ検出装置の要望もあ
る。
ず、然もプローブが被加工片に接触したという指
示を無線送信できるようなタツチ検出装置が要望
されている。又、種々様々な位置測定トランスジ
ユーサを使えるようなタツチ検出装置の要望もあ
る。
そこで、本発明の目的は、被加工片に対するプ
ローブの予め選択された位置を指示する検出装置
であつて、公知装置に関連した上記の問題を解消
できるような検出装置を提供することである。
ローブの予め選択された位置を指示する検出装置
であつて、公知装置に関連した上記の問題を解消
できるような検出装置を提供することである。
本発明によれば、位置検出プローブには、プロ
ーブトランスジユーサにより発生された信号を、
被加工片に対するプローブ位置を表わす光学送信
信号へと変換する装置が設けられる。この装置
は、電流測定変成器型トランスジユーサ又は機械
スイツチ接点配列型トランスジユーサを含む種々
様々なトランスジユーサと共に使用できる。光学
指示は振巾変調技術又は周波数変調技術のいずれ
かを用いて送信される。
ーブトランスジユーサにより発生された信号を、
被加工片に対するプローブ位置を表わす光学送信
信号へと変換する装置が設けられる。この装置
は、電流測定変成器型トランスジユーサ又は機械
スイツチ接点配列型トランスジユーサを含む種々
様々なトランスジユーサと共に使用できる。光学
指示は振巾変調技術又は周波数変調技術のいずれ
かを用いて送信される。
以下、添付図面を参照し、本発明の好ましい実
施例を詳細に説明する。
施例を詳細に説明する。
全ての添付図面において、同じ装置又はその構
成部品は同じ参照番号で示されている。
成部品は同じ参照番号で示されている。
第1図を説明すると、電圧制御式発振器
(VCO)100は予め選択された周波数の交流
(AC)信号をその出力に発生し、該出力はライン
103を経て電力増巾器200の入力に接続され
ると共に、ライン102を経て発光ダイオード
(LED)配列体600の制御入力にも接続され
る。必要が生じた時には、VCO100の周波数
決定入力に接続されたライン101に現われる信
号の電位レベルに基いてVCO100の出力信号
の周波数が上記の予め選択された出力周波数から
変えられる。
(VCO)100は予め選択された周波数の交流
(AC)信号をその出力に発生し、該出力はライン
103を経て電力増巾器200の入力に接続され
ると共に、ライン102を経て発光ダイオード
(LED)配列体600の制御入力にも接続され
る。必要が生じた時には、VCO100の周波数
決定入力に接続されたライン101に現われる信
号の電位レベルに基いてVCO100の出力信号
の周波数が上記の予め選択された出力周波数から
変えられる。
電力増巾器200はプローブ付勢信号をライン
104に出力し、この信号は任意選択ジヤンパ
を経て電流測定型トランスジユーサへ送られる
か、或いは任意選択ジヤンパを経て機械スイツ
チ接点型トランスジユーサへ送られる。トランス
ジユーサの出力は任意選択ジヤンパ又はを
経、ライン307を経てAC増巾器400の入力
へ送られる。
104に出力し、この信号は任意選択ジヤンパ
を経て電流測定型トランスジユーサへ送られる
か、或いは任意選択ジヤンパを経て機械スイツ
チ接点型トランスジユーサへ送られる。トランス
ジユーサの出力は任意選択ジヤンパ又はを
経、ライン307を経てAC増巾器400の入力
へ送られる。
トランスジユーサの型式としては、任意選択ジ
ヤンパによつて第1図の装置に接続されて示さ
れた電流測定型式であるのが好ましい。この型式
のトランスジユーサが好ましい理由は、検出性能
が高く、然も機械作動スイツチ接点に一般に関与
した腐食及び摩耗の問題がないためである。第1
図より明らかなように、ライン104のプローブ
付勢信号は、任意選択ジヤンパ、ライン30
1、及び変流器のトロイダルコア300の入力巻
線304を経てプローブ330へ送られる。更
に、この付勢信号は、ライン302を経てバラン
ス巻線303の1端に送られ、ここから調整可能
なバランス即ち打ち消しキヤパシタ320を経て
アースへと送られる。可変キヤパシタ320は、
入力巻線304とは逆向きに巻かれた巻線303
にAC電流を流すことによりプローブ330に対
する漂遊キヤパシタンスの影響を打ち消すために
設けられている。
ヤンパによつて第1図の装置に接続されて示さ
れた電流測定型式であるのが好ましい。この型式
のトランスジユーサが好ましい理由は、検出性能
が高く、然も機械作動スイツチ接点に一般に関与
した腐食及び摩耗の問題がないためである。第1
図より明らかなように、ライン104のプローブ
付勢信号は、任意選択ジヤンパ、ライン30
1、及び変流器のトロイダルコア300の入力巻
線304を経てプローブ330へ送られる。更
に、この付勢信号は、ライン302を経てバラン
ス巻線303の1端に送られ、ここから調整可能
なバランス即ち打ち消しキヤパシタ320を経て
アースへと送られる。可変キヤパシタ320は、
入力巻線304とは逆向きに巻かれた巻線303
にAC電流を流すことによりプローブ330に対
する漂遊キヤパシタンスの影響を打ち消すために
設けられている。
トロイダルコア300には出力巻線305も巻
きつけられており、この巻線にまたがつて同調キ
ヤパシタ322が接続されている。キヤパシタ3
22の一方の端子はアースされており、そしてそ
の他方の端子は結合キヤパシタ321、任意選択
ジヤンパ、及びライン307を経てAC増巾器
400の入力にトランスジユーサの出力信号を送
る。
きつけられており、この巻線にまたがつて同調キ
ヤパシタ322が接続されている。キヤパシタ3
22の一方の端子はアースされており、そしてそ
の他方の端子は結合キヤパシタ321、任意選択
ジヤンパ、及びライン307を経てAC増巾器
400の入力にトランスジユーサの出力信号を送
る。
作動に際し、プローブ330が被加工片に実質
的に接触していない時には、巻線304に流れる
電流がバランス巻線303に流れる電流と同じで
あり、従つて出力巻線305間に誘起される電圧
はゼロとなる。プローブ330が被加工片の面に
接触すると(又はその予め選択された至近領域に
入ると)、入力巻線304に流れる電流が実質的
に大きくなり、出力巻線305間の電圧降下が増
大する。
的に接触していない時には、巻線304に流れる
電流がバランス巻線303に流れる電流と同じで
あり、従つて出力巻線305間に誘起される電圧
はゼロとなる。プローブ330が被加工片の面に
接触すると(又はその予め選択された至近領域に
入ると)、入力巻線304に流れる電流が実質的
に大きくなり、出力巻線305間の電圧降下が増
大する。
変流器型プローブ330を用いた場合の1つの
特徴は、プローブと被加工片とを強くしつかりと
電気的接触させる必要がないことである。物理的
な接触が実際上全くなされなくても、プローブ3
30と被加工片との間のキヤパシタンスの増加が
充分であれば、出力巻線305間に有用なトラン
スジユーサ出力信号を生じさせるに足るACプロ
ーブ電流が流れる。この作用を助勢するために
は、充分高い周波数、例えば150KHzが、比較的
大きく増巾された付勢信号、例えばピーク・ピー
クで350ボルト程度の信号、と共に使用される。
このような電圧レベルにすれば、プローブと被加
工片の面との間に切削油膜の如き物体があるよう
な工場環境にも、本発明を適用することができ
る。
特徴は、プローブと被加工片とを強くしつかりと
電気的接触させる必要がないことである。物理的
な接触が実際上全くなされなくても、プローブ3
30と被加工片との間のキヤパシタンスの増加が
充分であれば、出力巻線305間に有用なトラン
スジユーサ出力信号を生じさせるに足るACプロ
ーブ電流が流れる。この作用を助勢するために
は、充分高い周波数、例えば150KHzが、比較的
大きく増巾された付勢信号、例えばピーク・ピー
クで350ボルト程度の信号、と共に使用される。
このような電圧レベルにすれば、プローブと被加
工片の面との間に切削油膜の如き物体があるよう
な工場環境にも、本発明を適用することができ
る。
更に第1図に示されたように、任意選択ジヤン
パを使用することにより検出装置は機械スイツ
チ型トランスジユーサを受け容れることができ
る。この構成を選べば、ライン104のプローブ
付勢信号は可変キヤパシタ310を経てプローブ
311の直列接続常閉スイツチ接点311A,3
11B及び311Cへと送られる。この直列接続
体の他端は基準アース電位に接続される。キヤパ
シタ310と接点311Aとの結合点は更に任意
選択ジヤンパ及びライン307を経てAC増巾
器400の入力にも接続される。
パを使用することにより検出装置は機械スイツ
チ型トランスジユーサを受け容れることができ
る。この構成を選べば、ライン104のプローブ
付勢信号は可変キヤパシタ310を経てプローブ
311の直列接続常閉スイツチ接点311A,3
11B及び311Cへと送られる。この直列接続
体の他端は基準アース電位に接続される。キヤパ
シタ310と接点311Aとの結合点は更に任意
選択ジヤンパ及びライン307を経てAC増巾
器400の入力にも接続される。
可変キヤパシタ310は電力増巾器200の出
力を常閉接点311A,311B,311Cに対
してインピーダンス整合する。このインピーダン
ス整合により比較的大きな高周波電流を常閉スイ
ツチ接点に流すことができる。図示された接点構
成では、いずれかの接点が開き始めると、入力電
圧信号がAC増巾器400へ送られる。このよう
なトランスジユーサ出力信号を発生するのに接点
が完全に開く必要はなく、その接点間のインピー
ダンスが増加を示し始めるだけでよい。接点31
1A,311B,311Cはプローブ311に機
械的に取り付けられるが、取り付け方について第
1図に特に示されていない。然し、このような接
点構成は当業者に良く知られており、例えば
McMurtry氏の米国特許第4138823号又は
McMurtry氏の米国特許第4153998号のような特
許に開示されている。
力を常閉接点311A,311B,311Cに対
してインピーダンス整合する。このインピーダン
ス整合により比較的大きな高周波電流を常閉スイ
ツチ接点に流すことができる。図示された接点構
成では、いずれかの接点が開き始めると、入力電
圧信号がAC増巾器400へ送られる。このよう
なトランスジユーサ出力信号を発生するのに接点
が完全に開く必要はなく、その接点間のインピー
ダンスが増加を示し始めるだけでよい。接点31
1A,311B,311Cはプローブ311に機
械的に取り付けられるが、取り付け方について第
1図に特に示されていない。然し、このような接
点構成は当業者に良く知られており、例えば
McMurtry氏の米国特許第4138823号又は
McMurtry氏の米国特許第4153998号のような特
許に開示されている。
第1図の他部分について説明すると、AC増巾
器400の出力はライン800を経て検出回路5
00の入力に送られ、ここで上記の増巾されたト
ランスジユーサAC出力信号はプローブ接触指示
信号に変換されてライン900に出力される。
器400の出力はライン800を経て検出回路5
00の入力に送られ、ここで上記の増巾されたト
ランスジユーサAC出力信号はプローブ接触指示
信号に変換されてライン900に出力される。
検出器の出力は任意選択ジヤンパFMを経て、
ライン101を経てVCO100の周波数決定入
力に送られるか、或いは任意選択ジヤンパAM及
びダイオード700を経てLED配列体600の
制御入力に送られる。
ライン101を経てVCO100の周波数決定入
力に送られるか、或いは任意選択ジヤンパAM及
びダイオード700を経てLED配列体600の
制御入力に送られる。
VCO100の出力は2通りに使用される。即
ち、VCO100の出力は、電力増巾器200へ
送られてプローブの付勢に使用されるのに加え
て、ライン102を経てLED配列体600の制
御入力へも送られて、赤外線放射源の駆動にも使
用される。これについては第3図を参照して以下
に説明する。
ち、VCO100の出力は、電力増巾器200へ
送られてプローブの付勢に使用されるのに加え
て、ライン102を経てLED配列体600の制
御入力へも送られて、赤外線放射源の駆動にも使
用される。これについては第3図を参照して以下
に説明する。
プローブ位置情報(例えば、被加工片と接触し
ているか接触していないか)は、周波数変調技術
又は振巾変調技術のいずれかによつてLED配列
体600への入力信号を変調する。
ているか接触していないか)は、周波数変調技術
又は振巾変調技術のいずれかによつてLED配列
体600への入力信号を変調する。
ジヤンパAMを挿入しそしてジヤンパFMを取
り外せば、振巾変調が使える。この任意選択構成
では、ライン102を経てLED配列体600へ
送られる搬送波信号がオン/オフキーイングされ
る。指示出力を検出器の出力900に与えてダイ
オード700を順方向バイアスし搬送波信号の流
れをLED配列体600への制御入力から他のと
ころへ変えることにより、このような搬送波信号
がない時にプローブが接触したとされる。
り外せば、振巾変調が使える。この任意選択構成
では、ライン102を経てLED配列体600へ
送られる搬送波信号がオン/オフキーイングされ
る。指示出力を検出器の出力900に与えてダイ
オード700を順方向バイアスし搬送波信号の流
れをLED配列体600への制御入力から他のと
ころへ変えることにより、このような搬送波信号
がない時にプローブが接触したとされる。
ジヤンパFM挿入しそしてジヤンパAMを取り
外せば、周波数変調が使える。この構成では、検
出器出力900の指示信号レベルがライン101
を経てVCO100の周波数決定入力へ送られる。
それ故、検出器出力900に現われる電圧レベル
に基いて決定された量だけVCO100の出力の
周波数がシフトすることによつてプローブの接触
が指示される。
外せば、周波数変調が使える。この構成では、検
出器出力900の指示信号レベルがライン101
を経てVCO100の周波数決定入力へ送られる。
それ故、検出器出力900に現われる電圧レベル
に基いて決定された量だけVCO100の出力の
周波数がシフトすることによつてプローブの接触
が指示される。
LED配列体600により放射された赤外線信
号は、適当なホトダイオードによつて受信されて
それに対応する電気信号に変換され、これは次い
で一般の振巾復調技術又は周波数復調技術によつ
て復調される。このような受信装置の1つが前記
の米国特許第4328623号に開示されている。
号は、適当なホトダイオードによつて受信されて
それに対応する電気信号に変換され、これは次い
で一般の振巾復調技術又は周波数復調技術によつ
て復調される。このような受信装置の1つが前記
の米国特許第4328623号に開示されている。
さて第2図の回路図を参照し、VCO100及
び電力増巾器200の構成素子について詳細に説
明する。VCO100はExar Corporationから部
品番号XR567として入手できる型式567集積回路
である。DC電源V1はフイルタ抵抗116の第
1端子に接続されると共に、バイパスキヤパシタ
118を経てアースされる。フイルタ抵抗116
の第2端子はVCO100のコネクタピン4、調
整用ツエナーダイオード117のカソード端子、
及びフイルタキヤパシタ115の正端子に接続さ
れる。ツエナーダイオード117のアノード電極
は、キヤパシタ115の負端子及びVCO100
の端子ピン7と同様にアースされる。VCO10
0の周波数決定入力101は抵抗110を経て
VCO100の端子ピン2へ接続され、この端子
は更にバイパスキヤパシタ111を経てアースさ
れる。
び電力増巾器200の構成素子について詳細に説
明する。VCO100はExar Corporationから部
品番号XR567として入手できる型式567集積回路
である。DC電源V1はフイルタ抵抗116の第
1端子に接続されると共に、バイパスキヤパシタ
118を経てアースされる。フイルタ抵抗116
の第2端子はVCO100のコネクタピン4、調
整用ツエナーダイオード117のカソード端子、
及びフイルタキヤパシタ115の正端子に接続さ
れる。ツエナーダイオード117のアノード電極
は、キヤパシタ115の負端子及びVCO100
の端子ピン7と同様にアースされる。VCO10
0の周波数決定入力101は抵抗110を経て
VCO100の端子ピン2へ接続され、この端子
は更にバイパスキヤパシタ111を経てアースさ
れる。
VCO100により発生される信号の中心周波
数、即ちVCO100の端子ピン2に変調信号が
ない場合に発生される出力信号の周波数は、可変
抵抗114、抵抗113及びキヤパシタ112の
組合せ体によつて予め選択される。可変抵抗11
4及び抵抗113はVCO100の端子ピン5と
6との間に直列接続される。VCO100のピン
6は更にキヤパシタ112を経てアースされる。
数、即ちVCO100の端子ピン2に変調信号が
ない場合に発生される出力信号の周波数は、可変
抵抗114、抵抗113及びキヤパシタ112の
組合せ体によつて予め選択される。可変抵抗11
4及び抵抗113はVCO100の端子ピン5と
6との間に直列接続される。VCO100のピン
6は更にキヤパシタ112を経てアースされる。
VCO100の端子ピン5の出力は抵抗119
を経てライン102へ接続されると共に、ライン
103を経て結合キヤパシタ202の片側へも接
続され、このキヤパシタは電力増巾器200への
入力を構成する。電力増巾器200は、主とし
て、MOSFET201及びその関連素子、並びに
キヤパシタ206及びインダクタ207より成る
タンク回路で構成され、このタンク回路はVCO
100のピン5の出力信号の中心周波数に同調さ
れる。
を経てライン102へ接続されると共に、ライン
103を経て結合キヤパシタ202の片側へも接
続され、このキヤパシタは電力増巾器200への
入力を構成する。電力増巾器200は、主とし
て、MOSFET201及びその関連素子、並びに
キヤパシタ206及びインダクタ207より成る
タンク回路で構成され、このタンク回路はVCO
100のピン5の出力信号の中心周波数に同調さ
れる。
結合キヤパシタ202の他方の端子は結合抵抗
203の第1端子に接続されると共に、
MOSFET201のゲート電極にも接続され、こ
のMOSFET201は市販の型式VN10KMであ
る。結合抵抗203の第2端子はアースされる。
MOSFET201のソース電極は、抵抗204及
びキヤパシタ205より成る並列回路網を介して
アースされる。MOSFET201のドレイン電極
はタンク回路のインダクタ207のタツプに接続
され、このインダクタの両側の端子はタンク回路
のキヤパシタ206の対応端子に接続される。
203の第1端子に接続されると共に、
MOSFET201のゲート電極にも接続され、こ
のMOSFET201は市販の型式VN10KMであ
る。結合抵抗203の第2端子はアースされる。
MOSFET201のソース電極は、抵抗204及
びキヤパシタ205より成る並列回路網を介して
アースされる。MOSFET201のドレイン電極
はタンク回路のインダクタ207のタツプに接続
され、このインダクタの両側の端子はタンク回路
のキヤパシタ206の対応端子に接続される。
DC電源V1はバイパスキヤパシタ208を経
てアースされると共に、キヤパシタ206及びイ
ンダクタ207の並列接続体より成るタンク回路
の第1端にも接続される。このタンク回路の第2
端は結合キヤパシタ209を経て電力増巾器20
0の出力104へ接続される。
てアースされると共に、キヤパシタ206及びイ
ンダクタ207の並列接続体より成るタンク回路
の第1端にも接続される。このタンク回路の第2
端は結合キヤパシタ209を経て電力増巾器20
0の出力104へ接続される。
第3図は、第1図に機能ブロツク形態で示され
たAC増巾器400、検出器500及びLED配列
体600の構成部品を詳細に示している。使用さ
れるトランスジユーサからの出力はAC増巾器4
00の入力307に送られる。この入力307は
バイアス抵抗403の第1端子とNPN増巾トラ
ンジスタ401のベース電極との結合部に接続さ
れる。トランジスタ401のコレクタ電極は、検
出器500の入力800、及び抵抗403の第2
端子に接続されると共に、負荷抵抗404を経て
DC電源V1にも接続される。トランジスタ40
1のエミツタ電極はバイアス抵抗402を経てア
ースされる。
たAC増巾器400、検出器500及びLED配列
体600の構成部品を詳細に示している。使用さ
れるトランスジユーサからの出力はAC増巾器4
00の入力307に送られる。この入力307は
バイアス抵抗403の第1端子とNPN増巾トラ
ンジスタ401のベース電極との結合部に接続さ
れる。トランジスタ401のコレクタ電極は、検
出器500の入力800、及び抵抗403の第2
端子に接続されると共に、負荷抵抗404を経て
DC電源V1にも接続される。トランジスタ40
1のエミツタ電極はバイアス抵抗402を経てア
ースされる。
検出器500の入力800は結合キヤパシタ5
10を経てNPNトランジスタ501のベース電
極に接続される。このトランジスタ501のベー
ス電極とアースとの間には結合抵抗511が接続
される。トランジスタ501のエミツタ電極はア
ースされ、そしてそのコレクタ電極は負荷抵抗5
12を経てDC電源V1に接続される。トランジ
スタ501のコレクタ電極は更にキヤパシタ51
3及び抵抗514の各々の第1端子の結合部に接
続される。キヤパシタ513の第2端子はアース
される。
10を経てNPNトランジスタ501のベース電
極に接続される。このトランジスタ501のベー
ス電極とアースとの間には結合抵抗511が接続
される。トランジスタ501のエミツタ電極はア
ースされ、そしてそのコレクタ電極は負荷抵抗5
12を経てDC電源V1に接続される。トランジ
スタ501のコレクタ電極は更にキヤパシタ51
3及び抵抗514の各々の第1端子の結合部に接
続される。キヤパシタ513の第2端子はアース
される。
抵抗514の第2端子はPNPトランジスタ5
02のベース電極に接続され、該トランジスタの
エミツタ電極はDC電源V1に接続されそしてそ
のコレクタ電極はキヤパシタ516及び抵抗51
7の並列接続体を経てアースされる。トランジス
タ502のベース電極とエミツタ電極との間には
抵抗515が接続される。
02のベース電極に接続され、該トランジスタの
エミツタ電極はDC電源V1に接続されそしてそ
のコレクタ電極はキヤパシタ516及び抵抗51
7の並列接続体を経てアースされる。トランジス
タ502のベース電極とエミツタ電極との間には
抵抗515が接続される。
トランジスタ502のコレクタ電極は更にシユ
ミツトトリガ式インバータ増巾器503の入力に
も接続される。この増巾器503の出力はインバ
ータ504の入力及びインバータ505の入力に
接続される、インバータ504の出力はLED5
06のアノード電極に接続される。LED506
のカソード電極はアースされる。インバータ50
5の出力は検出器の出力900に接続され、この
出力は任意選択ジヤンパFMを経てライン101
(第2図)に接続されると共に、任意選択ジヤン
パAMを経て半導体ダイオード700の如き可変
コンダクタンス素子のアノード電極にも接続され
る。
ミツトトリガ式インバータ増巾器503の入力に
も接続される。この増巾器503の出力はインバ
ータ504の入力及びインバータ505の入力に
接続される、インバータ504の出力はLED5
06のアノード電極に接続される。LED506
のカソード電極はアースされる。インバータ50
5の出力は検出器の出力900に接続され、この
出力は任意選択ジヤンパFMを経てライン101
(第2図)に接続されると共に、任意選択ジヤン
パAMを経て半導体ダイオード700の如き可変
コンダクタンス素子のアノード電極にも接続され
る。
構成部品が以上のように結線された場合の検出
器500の一般的な作動は次の通りである。増巾
器400によつて増巾されるトランスジユーサ出
力がない場合には、検出器のトランジスタ501
及び502が通常オフであり、即ち非導通であ
る。従つてシユミツトトリガ増巾器503の出力
は通常高レベルとなり、検出器の出力900は通
常低レベルとなる。トランスジユーサ及び増巾器
400からAC出力信号が生じた場合には、検出
器500のトランジスタ501がこの信号の正の
ピークにおいて導通を開始する。これによりトラ
ンジスタ501のコレクタに生じるパルスはキヤ
パシタ513によつて平滑されて実質的に一定の
DC電圧レベルとなり、従つてトランジスタ50
2の導通を開始させるに充分なベース駆動信号が
トランジスタ502に与えられる。トランジスタ
502が導通すると、増巾器503に正電圧入力
が与えられ、これにより増巾器503の出力は低
レベルとなり、検出回路500の出力900は論
理高レベル即ち正電圧レベルとなる。それ故、ト
ランスジユーサからの出力信号がないと、シユミ
ツトトリガ増巾器503の出力は高レベル即ち論
理1となり、検出器の出力900の出力は論理低
レベルとなる。この状態で、AM変調が任意選択
されると、ダイオード700は導通性の低い状態
へと逆バイアスされ、これによりライン102の
搬送波信号をLED配列体600の制御入力へ与
えることができる。被加工片に対するプローブの
予め選択された位置をトランスジユーサが検出す
ると、検出器500の出力900は前記したよう
に正電圧となり、これによりダイオード700は
低インピーダンス高導通性状態へと順方向バイア
スされ、搬送波信号の流れがLED配列体600
から他のところへ変えられる。更に、正に向う指
示信号が検出器500の出力に発生されると、
LED506が導通し、これにより、プローブが
被加工片に対して所定の位置をとつたという可視
指示、例えばプローブが被加工片に接触したとい
う可視指示が与えられる。
器500の一般的な作動は次の通りである。増巾
器400によつて増巾されるトランスジユーサ出
力がない場合には、検出器のトランジスタ501
及び502が通常オフであり、即ち非導通であ
る。従つてシユミツトトリガ増巾器503の出力
は通常高レベルとなり、検出器の出力900は通
常低レベルとなる。トランスジユーサ及び増巾器
400からAC出力信号が生じた場合には、検出
器500のトランジスタ501がこの信号の正の
ピークにおいて導通を開始する。これによりトラ
ンジスタ501のコレクタに生じるパルスはキヤ
パシタ513によつて平滑されて実質的に一定の
DC電圧レベルとなり、従つてトランジスタ50
2の導通を開始させるに充分なベース駆動信号が
トランジスタ502に与えられる。トランジスタ
502が導通すると、増巾器503に正電圧入力
が与えられ、これにより増巾器503の出力は低
レベルとなり、検出回路500の出力900は論
理高レベル即ち正電圧レベルとなる。それ故、ト
ランスジユーサからの出力信号がないと、シユミ
ツトトリガ増巾器503の出力は高レベル即ち論
理1となり、検出器の出力900の出力は論理低
レベルとなる。この状態で、AM変調が任意選択
されると、ダイオード700は導通性の低い状態
へと逆バイアスされ、これによりライン102の
搬送波信号をLED配列体600の制御入力へ与
えることができる。被加工片に対するプローブの
予め選択された位置をトランスジユーサが検出す
ると、検出器500の出力900は前記したよう
に正電圧となり、これによりダイオード700は
低インピーダンス高導通性状態へと順方向バイア
スされ、搬送波信号の流れがLED配列体600
から他のところへ変えられる。更に、正に向う指
示信号が検出器500の出力に発生されると、
LED506が導通し、これにより、プローブが
被加工片に対して所定の位置をとつたという可視
指示、例えばプローブが被加工片に接触したとい
う可視指示が与えられる。
FM変調が任意選択された場合には、検出器5
00の出力900のこの正に向う指示信号を用い
て、VCOからの出力の周波数が前記の如くに変
えられる。
00の出力900のこの正に向う指示信号を用い
て、VCOからの出力の周波数が前記の如くに変
えられる。
LED配列体600への制御入力は搬送波信号
保持ライン102の接続点620に結合され、次
いでインバータ601及び602の入力に結合さ
れる。
保持ライン102の接続点620に結合され、次
いでインバータ601及び602の入力に結合さ
れる。
インバータ601の出力は抵抗610を経て
MOSFET605のゲート電極に接続される。
MOSFET605のゲート電極はゲート駆動電流
調整用のNPNトランジスタ603のコレクタ電
極にも接続され、そのエミツタ電極はアースされ
ている。トランジスタ603のベース電極は
MOSFET605のソース電極及び駆動電流感知
抵抗612の第1端子に接続される。該抵抗61
2の第2端子はアースされる、MOSFET605
のドレイン電極は赤外線発光ダイオード(LED)
607Aのカソード電極に接続され、このダイオ
ードは更に別のLED607B〜607Dと直列
接続される。LED607Dのアノード電極はDC
電源V1に接続される。トランジスタ603は、
MOSFET605を経て発光ダイオード607A
〜607Dへと流れる実質的に一定の駆動電流を
これらダイオードに対して最適な作動レベルに維
持するものとして用いられる。
MOSFET605のゲート電極に接続される。
MOSFET605のゲート電極はゲート駆動電流
調整用のNPNトランジスタ603のコレクタ電
極にも接続され、そのエミツタ電極はアースされ
ている。トランジスタ603のベース電極は
MOSFET605のソース電極及び駆動電流感知
抵抗612の第1端子に接続される。該抵抗61
2の第2端子はアースされる、MOSFET605
のドレイン電極は赤外線発光ダイオード(LED)
607Aのカソード電極に接続され、このダイオ
ードは更に別のLED607B〜607Dと直列
接続される。LED607Dのアノード電極はDC
電源V1に接続される。トランジスタ603は、
MOSFET605を経て発光ダイオード607A
〜607Dへと流れる実質的に一定の駆動電流を
これらダイオードに対して最適な作動レベルに維
持するものとして用いられる。
MOSFET605について以上に述べたものと
同じ回路が、インバータ602の出力と、4つの
直列接続された赤外線LED608A〜608D
との間に接続される。それ故、接続点620は、
全所要数の発光ダイオードを4個づつの直列接続
群として駆動させるに必要な数のインバータ入力
をなすようにされてもよいことが明らかであろ
う。
同じ回路が、インバータ602の出力と、4つの
直列接続された赤外線LED608A〜608D
との間に接続される。それ故、接続点620は、
全所要数の発光ダイオードを4個づつの直列接続
群として駆動させるに必要な数のインバータ入力
をなすようにされてもよいことが明らかであろ
う。
第4図には、第1図のプローブ330のような
プローブのハウジング10が斜視図で示されてい
る。ハウジング10は第1図ないし第3図につい
て以上に述べた全ての装置を収容している。第3
図の赤外線LEDは、第4図においては実質的に
円柱状のハウジング外面12に取り付けられた環
状配列体として607,608で示されており、
これにより360°の完全なパターンで赤外線を放射
することができる。プローブ取り付け端とは反対
のハウジング10の端には、適当なアダプタ14
が設けられている。第4図に示されたアダプタ1
4により、ハウジング10を典型的な切削工具と
同様に数値制御機械の中心部に組み込むことがで
きる。或いは又、オペレータがハウジング10を
手に持つこともできるし、又は工業用ロボツトの
如き自動人形の“手”即ち把持素子でハウジング
を取り扱えるような適当なハウジングアダプタな
いしは延長部を設けることもできる。第3図の
LED506も、もちろん、ハウジング10の外
面の適当な位置に取り付けられる。
プローブのハウジング10が斜視図で示されてい
る。ハウジング10は第1図ないし第3図につい
て以上に述べた全ての装置を収容している。第3
図の赤外線LEDは、第4図においては実質的に
円柱状のハウジング外面12に取り付けられた環
状配列体として607,608で示されており、
これにより360°の完全なパターンで赤外線を放射
することができる。プローブ取り付け端とは反対
のハウジング10の端には、適当なアダプタ14
が設けられている。第4図に示されたアダプタ1
4により、ハウジング10を典型的な切削工具と
同様に数値制御機械の中心部に組み込むことがで
きる。或いは又、オペレータがハウジング10を
手に持つこともできるし、又は工業用ロボツトの
如き自動人形の“手”即ち把持素子でハウジング
を取り扱えるような適当なハウジングアダプタな
いしは延長部を設けることもできる。第3図の
LED506も、もちろん、ハウジング10の外
面の適当な位置に取り付けられる。
本発明の好ましい実施例について以上に述べた
が、これは一例として選択されたものに過ぎず、
本発明をこれに限定するものではない。本発明の
1つの適用例は、振巾変調及び周波数変調の両方
を組合わせて用いることのできる数値制御
(NC)工作機械である。例えば、プローブと被
加工片との接触は周波数変調された赤外光線によ
つて会図することができ、一方、損傷を生じるよ
うなプローブの移動し過ぎが指示された場合には
移動し過ぎに対する保安スイツチを用いて搬送波
信号を完全にオフにすることができる。搬送波が
なくなることにより機械スピンドルの動きが停止
させられる。工作機械システムの計測サイクル中
に赤外線送信器又は受信器のいずれかが故障した
場合には上記の作動によつて機械の運転を停止さ
せることもできる。かくて、本発明の範囲及び精
神は特許請求の範囲のみによつて規定されるもの
とする。
が、これは一例として選択されたものに過ぎず、
本発明をこれに限定するものではない。本発明の
1つの適用例は、振巾変調及び周波数変調の両方
を組合わせて用いることのできる数値制御
(NC)工作機械である。例えば、プローブと被
加工片との接触は周波数変調された赤外光線によ
つて会図することができ、一方、損傷を生じるよ
うなプローブの移動し過ぎが指示された場合には
移動し過ぎに対する保安スイツチを用いて搬送波
信号を完全にオフにすることができる。搬送波が
なくなることにより機械スピンドルの動きが停止
させられる。工作機械システムの計測サイクル中
に赤外線送信器又は受信器のいずれかが故障した
場合には上記の作動によつて機械の運転を停止さ
せることもできる。かくて、本発明の範囲及び精
神は特許請求の範囲のみによつて規定されるもの
とする。
第1図は本発明の原理により構成された位置検
出装置の機能ブロツク図、第2図は第1図の機能
ブロツク100及び200の詳細な回路図、第3
図は第1図の機能ブロツク400,500及び6
00の詳細な回路図、そして第4図は本発明の原
理に従つて使用するのに適したプローブ及びその
位置測定装置用のハウジングを示す斜視図であ
る。 100……電圧制御式発振器(VCO)、200
……電力増巾器、300……トロイダルコア、3
11……プローブ、330……変流器型プロー
ブ、400……交流増巾器、500……検出回
路、600……発光ダイオード配列体。
出装置の機能ブロツク図、第2図は第1図の機能
ブロツク100及び200の詳細な回路図、第3
図は第1図の機能ブロツク400,500及び6
00の詳細な回路図、そして第4図は本発明の原
理に従つて使用するのに適したプローブ及びその
位置測定装置用のハウジングを示す斜視図であ
る。 100……電圧制御式発振器(VCO)、200
……電力増巾器、300……トロイダルコア、3
11……プローブ、330……変流器型プロー
ブ、400……交流増巾器、500……検出回
路、600……発光ダイオード配列体。
Claims (1)
- 1 実際の切削工具と同様に自動切削工具レセプ
タクルへ挿入されうるハウジングと、このハウジ
ングの一端から突出した針とを有するプローブを
含み、前記針の反対端は、その針が物体に接触し
た時に作動される複数のスイツチ接点に接続され
ているような、物体との接触を検出する装置にお
いて、前記プローブは、更に、遠隔の受信器に情
報を送信するための複数個の赤外線放射装置を含
む光学的送信手段と、前記複数のスイツチ接点を
含む電気回路手段とを備えており、前記プローブ
の前記ハウジングは、円筒形部分を含んでおり、
前記複数個の赤外線放射装置は、実質的に完全円
形パターンで前記円筒形部分に取り付けられてお
り、前記電気回路手段は、前記スイツチ接点が作
動されていないときには、予め選定された周波数
を有する交流信号にて前記赤外線放射装置を付勢
して第1の周波数の光学的信号を前記受信器へと
発信させ、前記スイツチ接点が作動されるときに
は、前記予め選定された周波数を変化させて異な
る周波数の交流信号にて前記赤外線放射装置を付
勢して第2の周波数の光学的信号を前記受信器へ
と発信させるように構成されていることを特徴と
する装置。
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US06/259,257 US4401945A (en) | 1981-04-30 | 1981-04-30 | Apparatus for detecting the position of a probe relative to a workpiece |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS57182602A JPS57182602A (en) | 1982-11-10 |
| JPH0432321B2 true JPH0432321B2 (ja) | 1992-05-29 |
Family
ID=22984216
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57069461A Granted JPS57182602A (en) | 1981-04-30 | 1982-04-23 | Detector for position |
Country Status (12)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US4401945A (ja) |
| JP (1) | JPS57182602A (ja) |
| AU (1) | AU559784B2 (ja) |
| BE (1) | BE892971A (ja) |
| BR (1) | BR8202477A (ja) |
| CA (1) | CA1172334A (ja) |
| DE (1) | DE3213313A1 (ja) |
| FR (1) | FR2505040B1 (ja) |
| GB (1) | GB2097930B (ja) |
| IT (1) | IT1147865B (ja) |
| MX (1) | MX151356A (ja) |
| SE (1) | SE8202683L (ja) |
Families Citing this family (78)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57113116A (en) * | 1980-12-30 | 1982-07-14 | Fanuc Ltd | Robot control system |
| JPS57113115A (en) * | 1980-12-30 | 1982-07-14 | Fanuc Ltd | Robot control system |
| US4401945A (en) * | 1981-04-30 | 1983-08-30 | The Valeron Corporation | Apparatus for detecting the position of a probe relative to a workpiece |
| US4670989A (en) * | 1981-04-30 | 1987-06-09 | Gte Valeron Corporation | Touch probe using microwave transmission |
| US5065035A (en) * | 1981-04-30 | 1991-11-12 | Gte Valenite Corporation | Optical data system having flash/receiver head for energizing/receiving information from a battery operated transmitter |
| US4978857A (en) * | 1981-04-30 | 1990-12-18 | Gte Valenite Corporation | Optical data system having flash/receiver head for energizing/receiving information from a battery operated transmitter |
| US4779319A (en) * | 1981-04-30 | 1988-10-25 | Gte Valeron Corporation | Method and apparatus for performing workpiece inspection with a probe |
| US4509266A (en) * | 1982-06-14 | 1985-04-09 | Gte Valeron Corporation | Touch probe |
| US4510693A (en) * | 1982-06-14 | 1985-04-16 | Gte Valeron Corporation | Probe with stylus adjustment |
| US4454762A (en) * | 1982-06-21 | 1984-06-19 | Federal Products Corporation | Measurement system with remote display |
| US4543859A (en) * | 1983-06-14 | 1985-10-01 | Gte Valeron Corporation | Probe adjustment tool and method of using same |
| AU555481B2 (en) * | 1983-06-14 | 1986-09-25 | Gte Valeron Corp. | Remote measuring apparatus |
| US4608763A (en) * | 1983-06-14 | 1986-09-02 | Gte Valeron Corporation | Probe |
| US4523063A (en) * | 1983-12-05 | 1985-06-11 | Gte Valeron Corporation | Touch probe having nonconductive contact carriers |
| US4553001A (en) * | 1983-12-05 | 1985-11-12 | Gte Valeron Corporation | Touch probe having nonconductive contact carriers |
| US4627292A (en) * | 1984-07-03 | 1986-12-09 | Randek Inc. | AC transducers, methods and systems |
| US4651074A (en) * | 1984-12-04 | 1987-03-17 | Wise James A | Robotic sensor |
| JPS61214953A (ja) * | 1985-03-15 | 1986-09-24 | Dai Showa Seiki Kk | 工具とワ−クの接触検知装置 |
| US4683361A (en) * | 1985-04-04 | 1987-07-28 | Westinghouse Electric Corp. | Brazing apparatus having a dual function heating and eddy current probe coil |
| US4693110A (en) * | 1985-06-06 | 1987-09-15 | Gte Valeron Corporation | Method and apparatus for testing the operability of a probe |
| US4843640A (en) * | 1986-04-24 | 1989-06-27 | Gte Valeron Corporation | Industrial identification transponder |
| JPH0765883B2 (ja) * | 1986-06-05 | 1995-07-19 | 宣夫 福久 | 無線送受信器を有する位置検出装置 |
| US4804896A (en) * | 1987-09-30 | 1989-02-14 | University Of Lowell | Vibratory interference sensor |
| US4972155A (en) * | 1988-11-29 | 1990-11-20 | Dickey-John Corporation | Weight responsive moisture tester |
| AU664722B2 (en) * | 1991-11-29 | 1995-11-30 | H.P.M. Industries Pty Limited | Apparatus for determining the relative positions of power outlets within an electrical circuit |
| US5345170A (en) | 1992-06-11 | 1994-09-06 | Cascade Microtech, Inc. | Wafer probe station having integrated guarding, Kelvin connection and shielding systems |
| US6380751B2 (en) | 1992-06-11 | 2002-04-30 | Cascade Microtech, Inc. | Wafer probe station having environment control enclosure |
| US6232789B1 (en) | 1997-05-28 | 2001-05-15 | Cascade Microtech, Inc. | Probe holder for low current measurements |
| US5561377A (en) | 1995-04-14 | 1996-10-01 | Cascade Microtech, Inc. | System for evaluating probing networks |
| DE19547977A1 (de) | 1995-12-21 | 1997-06-26 | Zeiss Carl Fa | Tastsystem für Koordinatenmeßgeräte |
| US5914613A (en) | 1996-08-08 | 1999-06-22 | Cascade Microtech, Inc. | Membrane probing system with local contact scrub |
| US6002263A (en) | 1997-06-06 | 1999-12-14 | Cascade Microtech, Inc. | Probe station having inner and outer shielding |
| US6256882B1 (en) | 1998-07-14 | 2001-07-10 | Cascade Microtech, Inc. | Membrane probing system |
| GB9826093D0 (en) * | 1998-11-28 | 1999-01-20 | Limited | Locating arm for a probe on a coordinate positioning machine |
| US6578264B1 (en) | 1999-06-04 | 2003-06-17 | Cascade Microtech, Inc. | Method for constructing a membrane probe using a depression |
| US6445202B1 (en) | 1999-06-30 | 2002-09-03 | Cascade Microtech, Inc. | Probe station thermal chuck with shielding for capacitive current |
| US6838890B2 (en) | 2000-02-25 | 2005-01-04 | Cascade Microtech, Inc. | Membrane probing system |
| US6914423B2 (en) | 2000-09-05 | 2005-07-05 | Cascade Microtech, Inc. | Probe station |
| US6965226B2 (en) | 2000-09-05 | 2005-11-15 | Cascade Microtech, Inc. | Chuck for holding a device under test |
| DE10143173A1 (de) | 2000-12-04 | 2002-06-06 | Cascade Microtech Inc | Wafersonde |
| US6970634B2 (en) * | 2001-05-04 | 2005-11-29 | Cascade Microtech, Inc. | Fiber optic wafer probe |
| WO2003052435A1 (en) | 2001-08-21 | 2003-06-26 | Cascade Microtech, Inc. | Membrane probing system |
| US6777964B2 (en) | 2002-01-25 | 2004-08-17 | Cascade Microtech, Inc. | Probe station |
| JP2005527823A (ja) | 2002-05-23 | 2005-09-15 | カスケード マイクロテック インコーポレイテッド | デバイスのテスト用プローブ |
| TW567333B (en) * | 2002-09-20 | 2003-12-21 | Benq Corp | Method for phase matching by detecting magnetic flux |
| US6847219B1 (en) | 2002-11-08 | 2005-01-25 | Cascade Microtech, Inc. | Probe station with low noise characteristics |
| US6724205B1 (en) | 2002-11-13 | 2004-04-20 | Cascade Microtech, Inc. | Probe for combined signals |
| US7250779B2 (en) | 2002-11-25 | 2007-07-31 | Cascade Microtech, Inc. | Probe station with low inductance path |
| US6861856B2 (en) | 2002-12-13 | 2005-03-01 | Cascade Microtech, Inc. | Guarded tub enclosure |
| DE10312884B4 (de) * | 2003-03-22 | 2014-02-27 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Tastsystem |
| US7221172B2 (en) | 2003-05-06 | 2007-05-22 | Cascade Microtech, Inc. | Switched suspended conductor and connection |
| US7057404B2 (en) | 2003-05-23 | 2006-06-06 | Sharp Laboratories Of America, Inc. | Shielded probe for testing a device under test |
| US7492172B2 (en) | 2003-05-23 | 2009-02-17 | Cascade Microtech, Inc. | Chuck for holding a device under test |
| US7250626B2 (en) | 2003-10-22 | 2007-07-31 | Cascade Microtech, Inc. | Probe testing structure |
| DE202004021093U1 (de) | 2003-12-24 | 2006-09-28 | Cascade Microtech, Inc., Beaverton | Aktiver Halbleiterscheibenmessfühler |
| US7187188B2 (en) | 2003-12-24 | 2007-03-06 | Cascade Microtech, Inc. | Chuck with integrated wafer support |
| ITBO20040182A1 (it) * | 2004-04-01 | 2004-07-01 | Marposs Spa | Sistema e metodo per il controllo di pezzi meccanici, con trasmissioni di segnali via etere |
| JP4324012B2 (ja) * | 2004-05-20 | 2009-09-02 | 日立オムロンターミナルソリューションズ株式会社 | 変位検知装置および変位検知方法 |
| JP2008502167A (ja) | 2004-06-07 | 2008-01-24 | カスケード マイクロテック インコーポレイテッド | 熱光学チャック |
| US7330041B2 (en) | 2004-06-14 | 2008-02-12 | Cascade Microtech, Inc. | Localizing a temperature of a device for testing |
| US7368927B2 (en) | 2004-07-07 | 2008-05-06 | Cascade Microtech, Inc. | Probe head having a membrane suspended probe |
| KR20070058522A (ko) | 2004-09-13 | 2007-06-08 | 캐스케이드 마이크로테크 인코포레이티드 | 양측 프루빙 구조 |
| US7316313B1 (en) * | 2004-10-15 | 2008-01-08 | Juchau Jason R | Heated equipment bag |
| US7656172B2 (en) | 2005-01-31 | 2010-02-02 | Cascade Microtech, Inc. | System for testing semiconductors |
| US7535247B2 (en) | 2005-01-31 | 2009-05-19 | Cascade Microtech, Inc. | Interface for testing semiconductors |
| US7449899B2 (en) | 2005-06-08 | 2008-11-11 | Cascade Microtech, Inc. | Probe for high frequency signals |
| JP5080459B2 (ja) | 2005-06-13 | 2012-11-21 | カスケード マイクロテック インコーポレイテッド | 広帯域能動/受動差動信号プローブ |
| DE102005037101A1 (de) * | 2005-08-03 | 2007-02-08 | Krones Ag | Verfahren und Vorrichtung zur Wandstärkenkontrolle |
| DE202007018733U1 (de) | 2006-06-09 | 2009-03-26 | Cascade Microtech, Inc., Beaverton | Messfühler für differentielle Signale mit integrierter Symmetrieschaltung |
| US7403028B2 (en) | 2006-06-12 | 2008-07-22 | Cascade Microtech, Inc. | Test structure and probe for differential signals |
| US7723999B2 (en) | 2006-06-12 | 2010-05-25 | Cascade Microtech, Inc. | Calibration structures for differential signal probing |
| US7443186B2 (en) | 2006-06-12 | 2008-10-28 | Cascade Microtech, Inc. | On-wafer test structures for differential signals |
| US7764072B2 (en) | 2006-06-12 | 2010-07-27 | Cascade Microtech, Inc. | Differential signal probing system |
| US7876114B2 (en) | 2007-08-08 | 2011-01-25 | Cascade Microtech, Inc. | Differential waveguide probe |
| US7888957B2 (en) | 2008-10-06 | 2011-02-15 | Cascade Microtech, Inc. | Probing apparatus with impedance optimized interface |
| WO2010059247A2 (en) | 2008-11-21 | 2010-05-27 | Cascade Microtech, Inc. | Replaceable coupon for a probing apparatus |
| US8319503B2 (en) | 2008-11-24 | 2012-11-27 | Cascade Microtech, Inc. | Test apparatus for measuring a characteristic of a device under test |
| CN112431299A (zh) * | 2020-11-11 | 2021-03-02 | 刘战军 | 一种水管爆裂应急排水装置 |
Family Cites Families (31)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US30975A (en) * | 1860-12-18 | Wrench | ||
| US2508051A (en) * | 1944-05-26 | 1950-05-16 | Charles W Warren | Tolerance-limit comparator gauge |
| DE1031976B (de) * | 1955-12-27 | 1958-06-12 | Dr Felix Ernest Planer | Vorrichtung zur elektrischen Bestimmung der geometrischen Ausgestaltung von isolierten Leitern |
| US3488586A (en) * | 1965-06-02 | 1970-01-06 | Gen Electric | Frequency modulated light coupled data link |
| US3670243A (en) * | 1970-02-27 | 1972-06-13 | Federal Prod Corp | Physical displacement measuring system utilizing impedance changing the frequency of an oscillatory circuit |
| US3795054A (en) * | 1970-08-13 | 1974-03-05 | American Welding Mfg Co | Method and apparatus for calibrating the position of a tool and for gauging the dimension of a workpiece |
| US3783340A (en) * | 1972-09-07 | 1974-01-01 | Biotek Instr Inc | Ground safe system |
| US4153998A (en) * | 1972-09-21 | 1979-05-15 | Rolls-Royce (1971) Limited | Probes |
| US3855708A (en) * | 1972-10-16 | 1974-12-24 | Candid Logic Inc | Self-actuated digital location sensor |
| DE2403402B1 (de) * | 1974-01-22 | 1975-03-13 | Siemens Ag, 1000 Berlin Und 8000 Muenchen | Anordnung zum Überwachen von Meßwertgebern und deren Zuleitungen auf Leitungsbrüche |
| US3962911A (en) * | 1974-11-21 | 1976-06-15 | Beloit Corporation | Method and apparatus for coupling signals from a rotating device with end shafts exposed |
| US4130941A (en) * | 1975-03-20 | 1978-12-26 | Rolls-Royce Limited | Displacement gauge |
| US4119948A (en) * | 1976-04-29 | 1978-10-10 | Ernest Michael Ward | Remote meter reading system |
| JPS5628984Y2 (ja) * | 1976-05-29 | 1981-07-10 | ||
| US4197530A (en) * | 1977-02-09 | 1980-04-08 | Laue Eric G | Passive intrusion detection system |
| US4150284A (en) * | 1977-04-28 | 1979-04-17 | Texas Instruments Incorporated | Medical patient condition monitoring system |
| JPS53141717A (en) * | 1977-05-13 | 1978-12-09 | Suwa Seikosha Kk | Dot printer head structure |
| DE2742899C3 (de) * | 1977-09-23 | 1980-06-12 | Siemens Ag, 1000 Berlin Und 8000 Muenchen | Anordnung zur optischen Übertragung von Nachrichten |
| CH628137A5 (fr) * | 1977-09-27 | 1982-02-15 | Meseltron Sa | Procede de mesure a l'aide d'une tete de mesure d'une machine a mesurer et tete de mesure pour la mise en oeuvre de ce procede. |
| GB2007355B (en) * | 1977-10-29 | 1982-08-18 | Lucas Industries Ltd | Apparatus for transmitting electrical signals |
| USRE30975E (en) | 1977-11-21 | 1982-06-22 | Kearney & Trecker Corporation | Spindle probe with orbital transformer |
| US4145816A (en) * | 1977-11-21 | 1979-03-27 | Kearney & Trecker Corporation | Spindle probe with orbital transformer |
| US4118871A (en) * | 1978-06-13 | 1978-10-10 | Kearney & Trecker Corporation | Binary inspection probe for numerically controlled machine tools |
| US4339714A (en) * | 1978-07-07 | 1982-07-13 | Rolls Royce Limited | Probe having passive means transmitting an output signal by reactive coupling |
| SE413808B (sv) * | 1978-09-22 | 1980-06-23 | Asea Ab | Metdon for overforing av metsignaler via en optisk lenk |
| US4259746A (en) * | 1979-10-26 | 1981-03-31 | Sandstedt Gary O | Electrical communications system |
| US4443946A (en) * | 1980-07-01 | 1984-04-24 | Renishaw Electrical Limited | Probe for measuring workpieces |
| US4328623A (en) * | 1980-08-28 | 1982-05-11 | The Valeron Corporation | Telemetry gage system |
| US4330870A (en) * | 1980-09-05 | 1982-05-18 | Datapoint Corporation | Optical data link |
| US4401945A (en) * | 1981-04-30 | 1983-08-30 | The Valeron Corporation | Apparatus for detecting the position of a probe relative to a workpiece |
| US4451987A (en) * | 1982-06-14 | 1984-06-05 | The Valeron Corporation | Touch probe |
-
1981
- 1981-04-30 US US06/259,257 patent/US4401945A/en not_active Expired - Fee Related
-
1982
- 1982-03-30 CA CA000399755A patent/CA1172334A/en not_active Expired
- 1982-03-31 GB GB8209451A patent/GB2097930B/en not_active Expired
- 1982-04-08 DE DE19823213313 patent/DE3213313A1/de active Granted
- 1982-04-19 AU AU82822/82A patent/AU559784B2/en not_active Ceased
- 1982-04-23 JP JP57069461A patent/JPS57182602A/ja active Granted
- 1982-04-26 FR FR8207155A patent/FR2505040B1/fr not_active Expired
- 1982-04-26 BE BE0/207927A patent/BE892971A/fr not_active IP Right Cessation
- 1982-04-29 SE SE8202683A patent/SE8202683L/xx not_active Application Discontinuation
- 1982-04-29 MX MX192488A patent/MX151356A/es unknown
- 1982-04-29 BR BR8202477A patent/BR8202477A/pt unknown
- 1982-04-29 IT IT48308/82A patent/IT1147865B/it active
-
1983
- 1983-03-25 US US06/478,906 patent/US4578874A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| IT8248308A0 (it) | 1982-04-29 |
| JPS57182602A (en) | 1982-11-10 |
| GB2097930B (en) | 1985-01-23 |
| GB2097930A (en) | 1982-11-10 |
| US4578874A (en) | 1986-04-01 |
| AU8282282A (en) | 1982-11-04 |
| FR2505040B1 (fr) | 1986-04-18 |
| AU559784B2 (en) | 1987-03-19 |
| US4401945A (en) | 1983-08-30 |
| DE3213313C2 (ja) | 1993-01-21 |
| FR2505040A1 (fr) | 1982-11-05 |
| BE892971A (fr) | 1982-08-16 |
| MX151356A (es) | 1984-11-12 |
| SE8202683L (sv) | 1982-10-31 |
| DE3213313A1 (de) | 1982-11-18 |
| BR8202477A (pt) | 1983-04-12 |
| CA1172334A (en) | 1984-08-07 |
| IT1147865B (it) | 1986-11-26 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0432321B2 (ja) | ||
| CA1234893A (en) | Touch probe | |
| US4328623A (en) | Telemetry gage system | |
| US4680827A (en) | Vacuum cleaner | |
| US4895454A (en) | Method of determining the temperature of a workpiece in a flexible manufacturing system | |
| SU784745A3 (ru) | Шпиндельный щуп | |
| US4906938A (en) | Power circuit locater | |
| JPH0532188B2 (ja) | ||
| EP0216032A1 (en) | Probe having low battery detection/transmission feature | |
| US4308011A (en) | Apparatus for supporting dental handpieces | |
| US4334192A (en) | Metal detector circuit having automatic tuning with multiple rates | |
| US4437240A (en) | Telemetry gage system | |
| JPH07175984A (ja) | 光電式感知器及び火災感知システム | |
| US4670989A (en) | Touch probe using microwave transmission | |
| US4303879A (en) | Metal detector circuit with mode selection and automatic tuning | |
| JPS6010860B2 (ja) | 工作機械の主軸プロ−ブ | |
| EP0130738B1 (en) | Electronic levelling device | |
| EP0131819A1 (en) | Position indicator employing light guides | |
| US4334191A (en) | Metal detector circuit having momentary disabled output | |
| US4286208A (en) | Fluid interface detector | |
| US5621600A (en) | Inductive short finder | |
| US4381610A (en) | Self-contained downhole compass | |
| US4030014A (en) | Current-to-current electrical isolator | |
| US2499520A (en) | Distance measuring device | |
| CA1226351A (en) | Apparatus for detecting the position of a probe relative to a workpiece |