JPH0432343Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 本考案は、搬送しようとする物品に対して、そ
の行先（目的地）の指示を行なう行先指示装置に
関するものである。

従来の技術 例えば、ウエハプロセスにおけるウエハ工程進
歩管理のために、各工程ごとにカードリーダで磁
気カードにリード、ライトを行なう必要がある。
そして従来では、リード、ライトを入手作業によ
り行なつていた。

考案が解決しようとする問題点 この入手による従来形成によると、手間や人件
費の問題のほかに作業者の発生する塵埃などがウ
エハに付着して該ウエハに悪影響を及ぼすことに
なる。

問題を解決するための手段 上記問題点を解決するために本考案における行
先指示装置は、物品の上面に載置自在なホルダー
に対して、上面に沿つた方向から磁気カードを差
し込み抜出し自在とし、物品支持部の上方に、昇
降および回転自在で且つ差し込み抜出し方向に移
動自在な吸着具を設け、前記物品支持部の上方側
方に、カードリーダと、このカードリーダの前方
に位置する磁気カード搬入出装置とを設けてい
る。

作 用 かかる構成によると、物品支持部上の物品に対
して吸着具を下降させて磁気カードを吸着し、そ
して吸着具を抜き出し方向に移動させることによ
りホルダーに対して磁気カードを抜き出し得る。
次いで吸着具を上昇させ、吸着具を回転させて磁
気カードの向きを修正させたのち差し込み方向に
移動させることにより、磁気カードを搬入出装置
の上方に位置し得る。そして吸着を解除して磁気
カードを搬入出装置に渡したのち、磁気カードを
カードリーダに搬入させることにより、リード、
ライトを行なえる。また、この逆作用により磁気
カードをホルダーにセツトし得る。

実施例 以下に本考案の一実施例を図面に基づいて説明
する。１は物品の一例である搬送用容器で、箱状
の本体２と、この本体２の上部に開閉揺動自在に
取付けた蓋３とからなり、蓋３の上面に突片４を
矩形枠状に設けて、ここに例えば工程管理表入り
のホルダー５を載置自在としている。なお搬送用
容器１は、例えば多数のウエハを保持したウエハ
キヤリアを収納自在としているが、これは物品そ
のものにホルダー５を載置するものであつてもよ
い。前記ホルダー５は長方形平板状であつて、そ
の上面一側には、磁気カード６を他側へ移動させ
ることにより抜き出し、また一側へ移動させるこ
とにより差し込む嵌合保持部７が設けられる。８
は物品支持部で、搬送用容器１は各種のコンベヤ
や自走式搬送台車などによつて該物品支持部８に
渡される。前記物品支持部８の中央部下方には、
昇降駆動装置９に連動する昇降部材１０と、この
昇降部材１０の上面側に回転駆動装置１１を介し
て取付けたテーブル１２とが設けられる。前記物
品支持部８の側方上方には、固定部材１３に取付
けたガイド体１４に案内されて昇降自在なスライ
ド部材１５が設けられ、このスライド部材１５は
ねじ式の調整具１６により上方位置調整自在とな
る。前記スライド部材１５の前面上部から前方に
支持枠１７が連設され、この支持枠１７に左右一
対のガイドロツド１８が取付けられる。ガイドロ
ツド１８に支持される可動体１９からは昇降ガイ
ドロツド２０が垂設され、この昇降ガイドロツド
２０に案内される昇降体２１は、可動体１９側に
設けたステツピングモータ２２により昇降自在と
なる。前記可動体１９の外側において中間可動体
２３がガイドロツド１８に支持され、この中間可
動体２３は支持枠１７に設けた走行用シリンダ２
４の動作によりガイドロツド１８に案内されて移
動自在となり、また可動体１９は、中間可動体２
３に設けたスライド用シリンダ２５の動作により
ガイドロツド１８に案内されて移動自在となる。
前記昇降体２１の下部には回転装置２６が取付け
られ、その下向きの出力軸２７には吸着具２８が
取付けられる。前記スライド部材１５の前面下部
にはカードリーダ２９が取付けられ、このカード
リーダ２９の前方には、ベルト３０や駆動装置３
１などからなる磁気カード６の搬入出装置３２が
設けられる。３３はホルダーセンサーを示す。

次に上記実施例の作用を説明する。

嵌合保持部７に磁気カード６を嵌合保持されて
なるホルダー５を、その蓋３の上面に載置してな
る搬送用容器１は物品支持部８に支持される。こ
のとき吸着具２８は上昇しており、またテーブル
１２は下降している。前述したように物品支持部
８に支持させた状態で、ホルダーセンサー３３に
よるホルダー５の有無ならびに方向の検出が行な
われる。このとき方向が反対であつたときには、
先ず昇降部材１０とともにテーブル１２を上昇さ
せ、第１図仮想線に示すように搬送用容器１を持
ち上げる。次いで回転駆動装置１１によりテーブ
ル１２とともに搬送用容器１を180度回転させ、
ホルダー５、すなわち磁気カード６の向きを正し
くする。その後、テーブル１２を下降して搬送用
容器１を物品支持部８に再度支持させる。この状
態で、ステツピングモータ２２によつて吸着具２
８を下降させるが、この下降限は第４図に示すよ
うに、吸着具２８の下面２８ａが、磁気カード６
の上面６ａと嵌合保持部７の下向き面７ａとの間
の位置となる。次いで吸着具２８を作用させ、第
５図に示すように磁気カード６の吸着を行なう。
そしてスライド用シリンダ２５を収縮動させて、
可動体１９とともに吸着具２８をカードリーダ２
９から離れる側に移動させ、第６図に示すように
嵌合保持部７から磁気カード６を引き抜く。次い
でステツピングモータ２２により吸着具２８とと
もに磁気カード６を上昇させたのち、回転装置２
６により吸着具２８を回転させて磁気カード６の
向きを正しく修正する。そして走行用シリンダ２
４の作動により、中間可動体２３を介して可動体
１９をカードリーダ２９側に移動させ、磁気カー
ド６をベルト３０の上方に位置させる。次いで吸
着作用を解除することによつて、磁気カード６は
ベルト３０上に載せられる。この磁気カード６は
カードリーダ２９に搬入され、そして書き込み、
または読み取りが行なわれる。

その後、磁気カード６は搬入出装置３２によつ
てカードリーダ２９から搬出され、そして前述と
は逆の作用によつて嵌合保持部７に差し込まれ
る。

考案の効果 上記構成の本考案における行先指示装置による
と、物品上のホルダーからの磁気カードの抜き出
し、磁気カードの向きの修正、カードリーダによ
るリード、ライト、ならびにホルダーへの差し込
み（戻し）を自動的に行なうことができ、したが
つて手間や人件費の問題を解決できると共に、塵
埃などの発生を極減できて特にクリーンルーム内
でのウエハ搬送などに有利に採用できる。

【図面の簡単な説明】

図面は本考案の一実施例を示し、第１図は側面
図、第２図は平面図、第３図は説明斜視図、第４
図〜第６図は作用状態を示す要部の側面図であ
る。 １……搬送用容器（物品）、３……蓋、４……
突片、５……ホルダー、６……磁気カード、７…
…嵌合保持部、８……物品支持部、１９……可動
体、２３……中間可動体、２８……吸着具、２９
……カードリーダ、３２……搬入出装置、３３…
…ホルダーセンサー。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 物品の上面に載置自在なホルダーに対して、上
   面に沿つた方向から磁気カードを差し込み抜出し
   自在とし、物品支持部の上方に、昇降および回転
   自在で且つ差し込み抜出し方向に移動自在な吸着
   具を設け、前記物品支持部の上方側方に、カード
   リーダと、このカードリーダの前方に位置する磁
   気カード搬入出装置とを設けたことを特徴とする
   行先指示装置。