JPH04324105A - Production of magnetic head - Google Patents

Production of magnetic head

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JPH04324105A
JPH04324105A JP9552191A JP9552191A JPH04324105A JP H04324105 A JPH04324105 A JP H04324105A JP 9552191 A JP9552191 A JP 9552191A JP 9552191 A JP9552191 A JP 9552191A JP H04324105 A JPH04324105 A JP H04324105A
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JP
Japan
Prior art keywords
magnetic head
separation
core block
head chips
grooves
Prior art date
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Application number
JP9552191A
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Japanese (ja)
Inventor
Yasuto Sato
康人 佐藤
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Sharp Corp
Original Assignee
Sharp Corp
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Abstract

PURPOSE:To suppress the splashing of magnetic head chips and to decrease failures as the individual magnetic head chips are secured by a soluble adhesive in spite of grinding of the part remaining without being cut, thereby eventually improving the production yield of the magnetic head. CONSTITUTION:Grooves 12 which have a prescribed depth and do not reach a side face 11 are formed from one side of a flank 10 of a core block 9 toward the flank 11 and the soluble adhesive is packed into these grooves 12. The part 13 remaining without being cut by the working of the grooves 12 is thereafter ground and the soluble adhesive is removed, by which the core block is separated to the individual magnetic head chips 14.

Description

【発明の詳細な説明】[Detailed description of the invention]

【0001】0001

【産業上の利用分野】本発明は、ビデオテープレコーダ
ー等の高密度記録および再生を行うために必要な高い飽
和磁束密度を有する磁気ヘッドの製造方法に関するもの
である。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of manufacturing a magnetic head having a high saturation magnetic flux density necessary for high-density recording and reproduction in video tape recorders and the like.

【0002】0002

【従来の技術】近年、磁気記録媒体の高密度化に伴い、
メタルテープ等の高保磁力媒体が主流になってきている
。このため磁気ヘッドに使用されるコア材料も高い飽和
磁束密度を有するものが要求されてきている。そこで、
例えば図10に示すように、高飽和磁束密度を有する軟
磁性薄膜23を基板22に設けてなる磁気ヘッドチップ
21が用いられている。
[Background Art] In recent years, with the increase in the density of magnetic recording media,
High coercive force media such as metal tapes are becoming mainstream. For this reason, core materials used in magnetic heads are also required to have a high saturation magnetic flux density. Therefore,
For example, as shown in FIG. 10, a magnetic head chip 21 is used in which a soft magnetic thin film 23 having a high saturation magnetic flux density is provided on a substrate 22.

【0003】上記のような磁気ヘッドにおいては、耐摩
耗性および軟磁性薄膜とのαマッチングを考慮して、例
えば結晶化ガラス、あるいはセラミックス等の非磁性材
料が、基板22として選定されている。このような基板
22の片側傾斜面に、センダスト等からなる軟磁性薄膜
23が形成され、そして、一対の基板22・22が、低
融点ガラス24を用いて相互に溶着接合される。この段
階においては、相互に接合された基板22・22によっ
て全体形状が略棒状をなすコアブロックとして形成され
、このコアブロックを、その長さ方向に所定の間隔で切
断していく加工(以下、スライス加工という)により、
図10に示す磁気ヘッドチップ21が作製される。 従来、このようなスライス加工は、図9に示すように、
コアブロック25をダミー板26上に接着固定し、例え
ば回転ブレードを用いるダイシングによって、上面から
ダミー板26側に達する分離溝を形成することによって
行われている。
In the above magnetic head, a non-magnetic material such as crystallized glass or ceramics is selected for the substrate 22 in consideration of wear resistance and alpha matching with the soft magnetic thin film. A soft magnetic thin film 23 made of sendust or the like is formed on one inclined surface of the substrate 22, and the pair of substrates 22 are welded and bonded to each other using a low melting point glass 24. At this stage, a core block having a generally rod-like overall shape is formed by the mutually bonded substrates 22 and 22, and this core block is cut at predetermined intervals in the length direction (hereinafter referred to as By slicing process),
A magnetic head chip 21 shown in FIG. 10 is manufactured. Conventionally, such slicing processing is performed as shown in FIG.
This is done by adhesively fixing the core block 25 onto the dummy plate 26 and forming a separation groove extending from the upper surface to the dummy plate 26 side, for example, by dicing using a rotating blade.

【0004】0004

【発明が解決しようとする課題】ところが、上記のよう
な従来のスライス加工においては、切り離された磁気ヘ
ッドチップが飛散し、破損し易いという問題が生じてい
る。つまり、上記のスライス加工では、前記のように基
板材料が難加工性であるために大きな加工力で切断が行
われる。そして、この間、コアブロック25はダミー板
26上に接着固定されている訳であるが、コアブロック
25側から切り離される磁気ヘッドチップ21には、コ
アブロック25側の接着固定力が作用しなくなって、こ
の磁気ヘッドチップ21単独の接着面積に応じた固定力
の作用状態に低下していく。このため、加工溝がダミー
板26側に達した直後には、固定力を超えた加工負荷が
作用し、この結果、切り離された磁気ヘッドチップ21
の飛散や破損が生じるものとなっている。
However, in the conventional slicing process as described above, a problem arises in that the separated magnetic head chips are easily scattered and damaged. That is, in the above-mentioned slicing process, cutting is performed with a large processing force because the substrate material is difficult to process as described above. During this time, the core block 25 is adhesively fixed on the dummy plate 26, but the adhesive fixing force on the core block 25 side no longer acts on the magnetic head chip 21 that is separated from the core block 25 side. , the fixing force decreases to a state corresponding to the adhesive area of the magnetic head chip 21 alone. Therefore, immediately after the machining groove reaches the dummy plate 26 side, a machining load that exceeds the fixing force acts, and as a result, the magnetic head chip 21 that has been separated
This may cause scattering or damage.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】本発明の磁気ヘッドの製
造方法は、上記課題を解決するために、略棒状に形成さ
れたコアブロックを、その長さ方向に交差すると共に所
定の間隔で互いに平行な分離面に沿って個々に分離する
ことにより磁気ヘッドチップを作製する工程を有してな
る磁気ヘッドの製造方法において、上記分離面に沿って
一方の面から他方の面に向かう中途位置まで切断する第
1分離加工を行い、次いで、この第1分離加工で生じた
溝に可溶性接着剤を充填し、その後、上記溝の先端を他
方の面側に貫通させる第2分離加工を行った後、可溶性
接着剤を溶解除去して個々の磁気ヘッドチップに分離す
ることを特徴としている。
[Means for Solving the Problems] In order to solve the above-mentioned problems, the method for manufacturing a magnetic head of the present invention includes core blocks formed in a substantially rod shape, which are arranged so as to intersect with each other in the longitudinal direction and at predetermined intervals. In a method for manufacturing a magnetic head, the method includes the step of manufacturing magnetic head chips by separating them individually along parallel separation planes, from one side to an intermediate position along the separation plane toward the other. After performing a first separation process of cutting, then filling a soluble adhesive into the groove created by this first separation process, and then performing a second separation process of penetrating the tip of the groove to the other side. , the soluble adhesive is dissolved and removed to separate the magnetic head chips into individual magnetic head chips.

【0006】[0006]

【作用】上記の方法によれば、まず、コアブロックがそ
の長さ方向に連なった状態を保持して第1分離加工が行
われる。したがって、この間、コアブロックの固定力は
その全体に作用する状態が保持され、加工負荷がその加
工領域での固定力を超えるという状態は生じない。また
、第2分離加工が行われる間、コアブロックは可溶性接
着剤を介して、上記同様に長さ方向に連なった状態が保
持され、したがって、この間も、加工負荷が固定力を超
えるという状態は生じない。そして、個々の磁気ヘッド
チップへの分離は、上記可溶性接着剤を溶解除去する段
階で初めて生じ、この段階では、加工力は作用しない。 これにより、飛散や破損を生じさせることなく、個々の
磁気ヘッドチップに分離することが可能となる。
[Operation] According to the above method, first, the first separation process is carried out while maintaining the state in which the core blocks are continuous in the length direction. Therefore, during this time, the fixing force of the core block remains applied to the entire core block, and the machining load does not exceed the fixing force in the machining area. Furthermore, while the second separation process is being performed, the core blocks are kept connected in the length direction via the soluble adhesive, so that the process load does not exceed the fixing force during this time as well. Does not occur. Separation into individual magnetic head chips occurs only at the stage of dissolving and removing the above-mentioned soluble adhesive, and no processing force is applied at this stage. This makes it possible to separate the magnetic head chips into individual magnetic head chips without causing scattering or damage.

【0007】[0007]

【実施例】本発明の一実施例について図1ないし図8に
基づいて磁気ヘッドの製造工程を順を追って説明する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 1 to 8 in order to explain the manufacturing process of a magnetic head.

【0008】まず、図2に示すように、例えば結晶化ガ
ラス、あるいはセラミックス等の非磁性材料からなる略
直方体形状の基板1の表面に所定の寸法、深さを有する
断面略V字状の複数の溝2…が、所定のピッチ寸法Aに
て相互に隣接して互いに平行に延びる形状で形成される
。上記溝2…の加工は、基板1が耐摩耗性に優れる反面
、難加工性であるため、例えば、溝2の形状に応じた断
面略V字状の研削面を有する回転ブレードを用いたダン
シング加工によって行われる。
First, as shown in FIG. 2, a plurality of substantially V-shaped cross sections having predetermined dimensions and depth are formed on the surface of a substantially rectangular parallelepiped substrate 1 made of a nonmagnetic material such as crystallized glass or ceramics. Grooves 2 are formed adjacent to each other at a predetermined pitch dimension A and extending parallel to each other. Although the substrate 1 has excellent wear resistance, it is difficult to process the grooves 2. For example, the grooves 2 are processed using a rotating blade having a grinding surface with a substantially V-shaped cross section in accordance with the shape of the grooves 2. This is done through processing.

【0009】続いて、図3に示すように、上記各溝2…
の一方の傾斜面に真空蒸着、あるいはスパッタ法等によ
り、例えばセンダスト等からなる軟磁性薄膜3…が所定
の膜厚でそれぞれ形成される。次に、図4に示すように
、各溝2…を表面から埋めるように低融点ガラス4が充
填され、その後、図5に示すように、上記溝2…の頂点
位置に達するまで、低融点ガラス4の表面が平面状に研
磨される。
Next, as shown in FIG. 3, each of the grooves 2...
A soft magnetic thin film 3 made of, for example, sendust or the like is formed with a predetermined thickness on one of the inclined surfaces by vacuum evaporation, sputtering, or the like. Next, as shown in FIG. 4, low melting point glass 4 is filled so as to fill each groove 2 from the surface, and then, as shown in FIG. The surface of the glass 4 is polished into a flat surface.

【0010】次いで、図6に示すように、基板1にコイ
ル巻線用窓5やコイル巻線用溝6が形成され、さらに、
SiO2 等の非磁性ギャップ材が真空蒸着、あるいは
スパッタ法により前記研磨面に膜付けされて、ギャップ
面7として形成され、片側コアブロック8が作製される
Next, as shown in FIG. 6, a coil winding window 5 and a coil winding groove 6 are formed on the substrate 1, and further,
A non-magnetic gap material such as SiO2 is deposited on the polished surface by vacuum evaporation or sputtering to form a gap surface 7, and a one-sided core block 8 is fabricated.

【0011】この後、図7に示すように、一対の上記片
側コアブロック8・8が各ギャップ面7・7同士を互い
に対面させると共に、それぞれの軟磁性薄膜3・3が同
一直線上に位置する状態で接合されて略棒状のコアブロ
ック9が作製される。
After this, as shown in FIG. 7, the pair of one-sided core blocks 8, 8 have their respective gap surfaces 7, 7 facing each other, and their respective soft magnetic thin films 3, 3 are positioned on the same straight line. The substantially rod-shaped core block 9 is produced by joining in this state.

【0012】そして、上記コアブロック9に対し、その
長さ方向に直交する面に沿う切断操作が次に行われる。 コアブロック9には、図において上面に、中心線に対し
傾斜する軟磁性薄膜3…が順次表出しており、各軟磁性
薄膜3における各端部位置を通る面をそれぞれ分離面と
し、したがって、図のように間隔B毎の各分離面に沿っ
て、上記の切断操作が行われる。この操作は、図1に示
すように、一方の側面(図において下側の面)11を図
示しないダミー板に接着固定し、そして、上記側面11
と対向する側面(図において上側の面)10側から、磁
気ヘッドの所定の幅寸法を幾分超える程度の深さまで、
上記各分離面に沿う切断溝12…を形成する第1分離加
工がまず行われる。この加工は、例えば、従来同様の回
転ブレードを用いたダイシングによって行われる。
Next, the core block 9 is cut along a plane perpendicular to its length. In the core block 9, soft magnetic thin films 3 inclined with respect to the center line are sequentially exposed on the upper surface in the figure, and the plane passing through each end position of each soft magnetic thin film 3 is the separation plane, and therefore, The above cutting operation is performed along each separation plane at intervals B as shown. In this operation, as shown in FIG.
from the side surface (the upper surface in the figure) 10 facing the magnetic head to a depth that somewhat exceeds the predetermined width dimension of the magnetic head.
First, a first separation process is performed to form cutting grooves 12 along each separation surface. This processing is performed, for example, by dicing using a conventional rotating blade.

【0013】その後、上記切断溝12に可溶性接着剤(
図示せず)が充填される。そして、ダミー板から分離し
た後、上記第1分離加工での側面11側の切り残し部1
3に対する第2分離加工が行われる。この加工は、側面
11から、図中破線で示す位置まで矢印方向に研削する
ことによって行われる。これにより、上記切り残し部1
3が除去され、第1分離加工での各切断溝12…が側面
11側に表出した貫通状態となる。なお、この間は、上
記可溶性接着剤にて、コアブロック9全体は一体的に連
結した状態で保持されている。
After that, a soluble adhesive (
(not shown) is filled. After separating from the dummy board, the uncut portion 1 on the side surface 11 side in the first separation process is
A second separation process is performed for No. 3. This processing is performed by grinding in the direction of the arrow from the side surface 11 to the position indicated by the broken line in the figure. As a result, the uncut portion 1
3 is removed, and each cutting groove 12 in the first separation process becomes a penetrating state where it is exposed on the side surface 11 side. Note that during this time, the entire core block 9 is held in an integrally connected state with the above-mentioned soluble adhesive.

【0014】上記の加工を完了した後、可溶性接着剤が
溶解除去される。この結果、各切断溝12…の位置で個
々に分離され、図8に示す形状の磁気ヘッドチップ14
…が作製される。
[0014] After completing the above processing, the soluble adhesive is dissolved and removed. As a result, the magnetic head chips 14 are individually separated at the positions of the cutting grooves 12 and have the shape shown in FIG.
...is produced.

【0015】上記磁気ヘッドチップ14には、その後、
コイル巻線15が施され、図示しないベース板への固定
、およびテープ摺動面研磨等が行われて、磁気ヘッドと
して完成される。
The magnetic head chip 14 then has the following steps:
A coil winding 15 is applied, fixing to a base plate (not shown), tape sliding surface polishing, etc. are performed, and the magnetic head is completed.

【0016】以上の説明のように、上記においては、コ
アブロック9を切断して個々の磁気ヘッドチップ14を
形成する際の工程では、コアブロック9がその長さ方向
に連なった状態を保持して第1分離加工が行われ、また
、その後、可溶性接着剤を介して、上記同様に長さ方向
に連なった状態を保持して第2分離加工が行われる。
As explained above, in the process of cutting the core blocks 9 to form individual magnetic head chips 14, the core blocks 9 are maintained in a continuous state in the length direction. Then, a first separation process is performed, and then a second separation process is performed while maintaining the longitudinally connected state via a soluble adhesive as described above.

【0017】したがって、これらの分離加工の間は、コ
アブロック9全体に対する固定力の作用状態で保持され
、加工負荷がその加工領域での固定力を超えるという状
態は生じない。そして、個々の磁気ヘッドチップ14へ
の分離は、上記可溶性接着剤を溶解除去する段階で初め
て生じ、この段階では、加工力は作用しない。これによ
り、飛散や破損を生じさせることなく、個々の磁気ヘッ
ドチップ14…に分離することが可能となっている。 この結果、磁気ヘッドの製造歩留りを向上することがで
きる。
[0017] Therefore, during these separation processes, the entire core block 9 is maintained in a state where a fixing force is applied, and a state in which the processing load exceeds the fixing force in the processing area does not occur. Separation into individual magnetic head chips 14 occurs only at the stage of dissolving and removing the above-mentioned soluble adhesive, and no processing force is applied at this stage. This makes it possible to separate the magnetic head chips 14 into individual magnetic head chips 14 without causing scattering or damage. As a result, the manufacturing yield of magnetic heads can be improved.

【0018】なお、上記実施例においては、第2分離加
工を研削にて行う例を挙げて説明したが、切り残し部1
3側の側面11から、第1分離加工での切断溝12の先
端まで各分離面に合わせてダイシング等によって切断溝
を形成する等のその他の加工法で行うようにすることも
可能である。
In the above embodiment, the second separation process is performed by grinding, but the uncut portion 1
It is also possible to use other processing methods such as forming cutting grooves by dicing or the like in accordance with each separation surface from the side surface 11 on the third side to the tip of the cutting groove 12 in the first separation process.

【0019】[0019]

【発明の効果】本発明の磁気ヘッドの製造方法は、以上
のように、略棒状に形成されたコアブロックの分離面に
沿って一方の面から他方の面に向かう中途位置まで切断
する第1分離加工を行い、次いで、この第1分離加工で
生じた溝に可溶性接着剤を充填し、その後、上記溝の先
端を他方の面側に貫通させる第2分離加工を行った後、
可溶性接着剤を溶解除去して個々の磁気ヘッドチップに
分離するものである。
Effects of the Invention As described above, the method for manufacturing a magnetic head of the present invention includes the first step of cutting a core block, which is formed into a substantially rod shape, along the separation surface from one surface to an intermediate position toward the other surface. After performing a separation process, filling the grooves created in the first separation process with a soluble adhesive, and then performing a second separation process in which the tips of the grooves penetrate through to the other side,
The soluble adhesive is dissolved and removed to separate the magnetic head chips into individual magnetic head chips.

【0020】これにより、個々の磁気ヘッドチップへの
最終的な分離は、加工力を作用させる必要のない可溶性
接着剤の溶解除去という操作により行われる。このため
、飛散や破損を生じさせることなく、個々の磁気ヘッド
チップに分離することが可能であるので、磁気ヘッドの
製造歩留りの向上を図ることができるという効果を奏す
る。
[0020] Thereby, final separation into individual magnetic head chips is performed by dissolving and removing the soluble adhesive without the need to apply processing force. For this reason, it is possible to separate the magnetic head chips into individual magnetic head chips without causing scattering or damage, resulting in an effect that the manufacturing yield of the magnetic head can be improved.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

【図1】本発明の一実施例における磁気ヘッドの製造方
法での第1分離加工終了時のコアブロックの斜視図であ
る。
FIG. 1 is a perspective view of a core block at the end of a first separation process in a method for manufacturing a magnetic head according to an embodiment of the present invention.

【図2】上記磁気ヘッドの製造方法における溝が形成さ
れた基板の斜視図である。
FIG. 2 is a perspective view of a substrate on which grooves are formed in the method for manufacturing the magnetic head.

【図3】上記溝に軟磁性薄膜が形成された基板の正面図
である。
FIG. 3 is a front view of a substrate in which a soft magnetic thin film is formed in the groove.

【図4】上記溝に低融点ガラスが充填された基板の正面
図である。
FIG. 4 is a front view of a substrate in which the grooves are filled with low melting point glass.

【図5】上記低融点ガラスが平面状に研磨された基板の
正面図である。
FIG. 5 is a front view of a substrate on which the low melting point glass is polished into a flat shape.

【図6】上記基板にコイル巻線用溝が形成され、さらに
ギャップ材の設けられたた片側コアブロックの斜視図で
ある。
FIG. 6 is a perspective view of a one-sided core block in which a coil winding groove is formed in the substrate and a gap material is further provided.

【図7】一対の上記片側コアブロックを対面させた状態
で接合して作製されたコアブロックの斜視図である。
FIG. 7 is a perspective view of a core block produced by joining a pair of one-sided core blocks facing each other.

【図8】上記コアブロックを所定のピッチでスライスす
ることにより得られた磁気ヘッドチップの斜視図である
FIG. 8 is a perspective view of a magnetic head chip obtained by slicing the core block at a predetermined pitch.

【図9】従来の磁気ヘッドの製造方法におけるスライス
工程を示すコアブロックの斜視図である。
FIG. 9 is a perspective view of a core block showing a slicing step in a conventional magnetic head manufacturing method.

【図10】上記スライス工程を経て切り出された磁気ヘ
ッドチップの斜視図である。
FIG. 10 is a perspective view of a magnetic head chip cut out through the slicing process.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1    基板 3    軟磁性薄膜 9    コアブロック 10・11    側面 12    溝 13    切り残し部 14    磁気ヘッドチップ 1    Substrate 3 Soft magnetic thin film 9 Core block 10/11 Side 12 Groove 13 Uncut part 14 Magnetic head chip

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】略棒状に形成されたコアブロックを、その
長さ方向に交差すると共に所定の間隔で互いに平行な分
離面に沿って個々に分離することにより磁気ヘッドチッ
プを作製する工程を有してなる磁気ヘッドの製造方法に
おいて、上記分離面に沿って一方の面から他方の面に向
かう中途位置まで切断する第1分離加工を行い、次いで
、この第1分離加工で生じた溝に可溶性接着剤を充填し
、その後、上記溝の先端を他方の面側に貫通させる第2
分離加工を行った後、可溶性接着剤を溶解除去して個々
の磁気ヘッドチップに分離することを特徴とする磁気ヘ
ッドの製造方法。
1. A step of manufacturing a magnetic head chip by separating core blocks each having a substantially rod shape into individual parts along separation planes that intersect with each other in the longitudinal direction of the core blocks and are parallel to each other at predetermined intervals. In the method for manufacturing a magnetic head, a first separation process is performed to cut along the separation plane from one surface to a midway point toward the other surface, and then a soluble A second groove is filled with adhesive and then penetrates the tip of the groove to the other side.
A method for manufacturing a magnetic head, which comprises performing separation processing and then dissolving and removing a soluble adhesive to separate the magnetic head chips into individual magnetic head chips.
JP9552191A 1991-04-25 1991-04-25 Production of magnetic head Pending JPH04324105A (en)

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