JPH04324175A - 磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents
磁気ヘッドの製造方法Info
- Publication number
- JPH04324175A JPH04324175A JP9255791A JP9255791A JPH04324175A JP H04324175 A JPH04324175 A JP H04324175A JP 9255791 A JP9255791 A JP 9255791A JP 9255791 A JP9255791 A JP 9255791A JP H04324175 A JPH04324175 A JP H04324175A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- slider
- magnetic head
- slider surface
- photoresist
- ion beam
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 claims abstract description 18
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 claims abstract description 7
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 4
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000003801 milling Methods 0.000 claims description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
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- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Magnetic Heads (AREA)
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は磁気ヘッドの製造方法に
関し、特に、コンタクトスタートストップ方式の磁気デ
ィスク装置に搭載する磁気ヘッドの製造方法に関する。
関し、特に、コンタクトスタートストップ方式の磁気デ
ィスク装置に搭載する磁気ヘッドの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】図２は、コンタクトスタートストップ方
式の従来の磁気ヘッドの一例を示す斜視図である。
式の従来の磁気ヘッドの一例を示す斜視図である。
【０００３】コンタクトスタートストップ方式の磁気デ
ィスク装置に用いられる従来の磁気ヘッドのスライダ面
は、平面であるために、磁気ディスクに吸着されるとい
う問題点を有している。これを回避するには、磁気ヘッ
ドのスライダ面に突起部を設けるのが有効である。
ィスク装置に用いられる従来の磁気ヘッドのスライダ面
は、平面であるために、磁気ディスクに吸着されるとい
う問題点を有している。これを回避するには、磁気ヘッ
ドのスライダ面に突起部を設けるのが有効である。
【０００４】このための手段として、従来の磁気ヘッド
は、次のような方法が採用されている。すなわち、図２
に示すように、磁気ヘッドスライダ（スライダ）１１の
スライダ面１５にスパタリング法等で金属膜を形成し、
フォトレジストによって突起とする部分を覆い、フォト
レジストによって覆われていない金属膜をケミカルエッ
チング法等で除去して金属膜パターン１７を突起部とし
て形成している。
は、次のような方法が採用されている。すなわち、図２
に示すように、磁気ヘッドスライダ（スライダ）１１の
スライダ面１５にスパタリング法等で金属膜を形成し、
フォトレジストによって突起とする部分を覆い、フォト
レジストによって覆われていない金属膜をケミカルエッ
チング法等で除去して金属膜パターン１７を突起部とし
て形成している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上述したような従来の
磁気ヘッドのスライダ面の突起部の形成方法は、突起部
の角部が鋭利なため、これと対向する記録媒体の表面に
傷をつけ易いという問題を有している。また、突起部の
材質がスライダの材質と異なるため、コンタクトスター
トストップ動作を繰返えすと、突起部が剥離するという
問題もある。
磁気ヘッドのスライダ面の突起部の形成方法は、突起部
の角部が鋭利なため、これと対向する記録媒体の表面に
傷をつけ易いという問題を有している。また、突起部の
材質がスライダの材質と異なるため、コンタクトスター
トストップ動作を繰返えすと、突起部が剥離するという
問題もある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の磁気ヘッドの製
造方法は、スライダ面上の四隅の位置に円形のフォトレ
ジストのパターンを形成する第一の工程と、前記フォト
レジストをその軟化温度以上に加熱する第二の工程と、
前記フォトレジストが消滅するまで前記スライダ面にイ
オンビームを照射してミリングすることにより突起を形
成する第三の工程とを含んでいる。
造方法は、スライダ面上の四隅の位置に円形のフォトレ
ジストのパターンを形成する第一の工程と、前記フォト
レジストをその軟化温度以上に加熱する第二の工程と、
前記フォトレジストが消滅するまで前記スライダ面にイ
オンビームを照射してミリングすることにより突起を形
成する第三の工程とを含んでいる。
【０００７】
【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。
て説明する。
【０００８】図１は本発明の一実施例によって製造した
磁気ヘッドを工程順に示す斜視図である。
磁気ヘッドを工程順に示す斜視図である。
【０００９】本実施例は、まず図１（ａ）に示すように
、セラミック製の磁気ヘッドスライダ（スライダ）１の
スライダ面５を、ラッピング加工によって平面に仕上げ
る。
、セラミック製の磁気ヘッドスライダ（スライダ）１の
スライダ面５を、ラッピング加工によって平面に仕上げ
る。
【００１０】次に、図１（ｂ）に示すように、スライダ
面５の四隅の位置に、直径約０．１ｍｍ・厚さ約０．２
μｍのフォトレジストパターン２を形成する。
面５の四隅の位置に、直径約０．１ｍｍ・厚さ約０．２
μｍのフォトレジストパターン２を形成する。
【００１１】続いて図１（ｃ）に示すように、スライダ
１をフォトレジストの軟化温度以上の温度である２００
℃で１時間加熱してフォトレジストパターン２の角の部
分を丸める。
１をフォトレジストの軟化温度以上の温度である２００
℃で１時間加熱してフォトレジストパターン２の角の部
分を丸める。
【００１２】次に、図１（ｄ）に示すように、スライダ
面５にイオンビームを垂直に当て、フォトレジストパタ
ーン２が消滅するまでスライダ面５全体をミリングする
。これによって、スライダ面５の四隅の位置に、スライ
ダ１の材料であるセラミックで形成された、滑かな角部
を有する突起４が形成される。
面５にイオンビームを垂直に当て、フォトレジストパタ
ーン２が消滅するまでスライダ面５全体をミリングする
。これによって、スライダ面５の四隅の位置に、スライ
ダ１の材料であるセラミックで形成された、滑かな角部
を有する突起４が形成される。
【００１３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の磁気ヘッ
ドの製造方法は、スライダ面の四隅の位置に、円形のフ
ォトレジストパターンを形成して加熱した後、スライダ
面全体にフォトレジストパターンが消滅するまでイオン
ビームを照射することにより、スライダの材料そのもの
で形成された滑かな角部を有する突起を形成することが
できるという効果があり、従って、剥離や記録媒体の表
面に対する損傷がなく、しかも吸着が発生しない磁気ヘ
ッドが得られるという効果がある。
ドの製造方法は、スライダ面の四隅の位置に、円形のフ
ォトレジストパターンを形成して加熱した後、スライダ
面全体にフォトレジストパターンが消滅するまでイオン
ビームを照射することにより、スライダの材料そのもの
で形成された滑かな角部を有する突起を形成することが
できるという効果があり、従って、剥離や記録媒体の表
面に対する損傷がなく、しかも吸着が発生しない磁気ヘ
ッドが得られるという効果がある。
【図１】本発明の一実施例によって製造した磁気ヘッド
を工程順に示す斜視図である。
を工程順に示す斜視図である。
【図２】従来の磁気ヘッドの一例を示す斜視図である。
１ 磁気ヘッドスライダ（スライダ）２
フォトレジストパターン ３ フォトレジストパターン ４ 突起 ５ スライダ面 １１ 磁気ヘッドスライダ（スライダ）１５
スライダ面 １７ 金属膜パターン
フォトレジストパターン ３ フォトレジストパターン ４ 突起 ５ スライダ面 １１ 磁気ヘッドスライダ（スライダ）１５
スライダ面 １７ 金属膜パターン
Claims (1)
- 【請求項１】 スライダ面上の四隅の位置に円形のフ
ォトレジストのパターンを形成する第一の工程と、前記
フォトレジストをその軟化温度以上に加熱する第二の工
程と、前記フォトレジストが消滅するまで前記スライダ
面にイオンビームを照射してミリングすることにより突
起を形成する第三の工程とを含むことを特徴とする磁気
ヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9255791A JPH04324175A (ja) | 1991-04-24 | 1991-04-24 | 磁気ヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9255791A JPH04324175A (ja) | 1991-04-24 | 1991-04-24 | 磁気ヘッドの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04324175A true JPH04324175A (ja) | 1992-11-13 |
Family
ID=14057720
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9255791A Pending JPH04324175A (ja) | 1991-04-24 | 1991-04-24 | 磁気ヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04324175A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06259739A (ja) * | 1993-02-18 | 1994-09-16 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | 磁気抵抗読取りセンサを備えた接触磁気記録ディスク・ファイル |
| US5841608A (en) * | 1994-08-30 | 1998-11-24 | Fujitsu Limited | Head slider with projections arranged on rails thereof |
| US6172850B1 (en) * | 1994-09-29 | 2001-01-09 | Alps Electric Co., Ltd. | Floating type magnetic head with non-magnetic thin film coating pattern to reduce starting friction |
| US6591478B2 (en) | 1997-03-03 | 2003-07-15 | Alps Electric Co., Ltd | Method of producing magnetic head |
-
1991
- 1991-04-24 JP JP9255791A patent/JPH04324175A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06259739A (ja) * | 1993-02-18 | 1994-09-16 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | 磁気抵抗読取りセンサを備えた接触磁気記録ディスク・ファイル |
| US5841608A (en) * | 1994-08-30 | 1998-11-24 | Fujitsu Limited | Head slider with projections arranged on rails thereof |
| US6120694A (en) * | 1994-08-30 | 2000-09-19 | Fujitsu Limited | Head slider with projecting arranged on rails thereof |
| US6246538B1 (en) * | 1994-08-30 | 2001-06-12 | Fujitsu Limited | Magnetic disk drive with a floating head slider having projections arranged to float at a greater distance from magnetic disk than slider trailing end |
| US6172850B1 (en) * | 1994-09-29 | 2001-01-09 | Alps Electric Co., Ltd. | Floating type magnetic head with non-magnetic thin film coating pattern to reduce starting friction |
| US6591478B2 (en) | 1997-03-03 | 2003-07-15 | Alps Electric Co., Ltd | Method of producing magnetic head |
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