JPH04325464A - 圧電セラミックスの焼成方法 - Google Patents
圧電セラミックスの焼成方法Info
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- JPH04325464A JPH04325464A JP3124869A JP12486991A JPH04325464A JP H04325464 A JPH04325464 A JP H04325464A JP 3124869 A JP3124869 A JP 3124869A JP 12486991 A JP12486991 A JP 12486991A JP H04325464 A JPH04325464 A JP H04325464A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric ceramics
- burning
- piezoelectric ceramic
- firing
- sheet shaped
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- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、圧電セラミックスの焼
成方法に係り、更に詳しくはＰｂＯを含有する薄板状の
圧電セラミックス成形体を複数枚重ねて焼成する方法に
関する。
成方法に係り、更に詳しくはＰｂＯを含有する薄板状の
圧電セラミックス成形体を複数枚重ねて焼成する方法に
関する。
【０００２】
【従来の技術】圧電セラミックスは超音波振動子、アク
チュエータ、超音波モータ、セラミックフィルター、ブ
ザー等広範囲の用途に適用されている。近年に至っては
、超音波モーター素子、アクチュエータ素子等に代表さ
れる様に薄板状の圧電セラミックスをベースとして利用
する分野が増大しつつある。この種の薄板状の圧電セラ
ミックスの製法としては例えばシート成形技術、押し出
し成形技術或は薄物用成形機等を利用し、所定形状の薄
板状の圧電セラミックス成形体をアルミナ（Ａｌ２Ｏ３
）、ジルコニア（ＺｒＯ２）或はマグネシア（ＭｇＯ）
等を主成分とするセラミック敷板上に直接配置して焼成
する方法、又は前記セラミック敷板上に圧電セラミック
スの成形体を複数枚重ねて焼成する方法がある。後者の
方法について更に詳述すると、複数枚の圧電セラミック
ス成形体を重ねて焼成する場合、互いの圧電セラミック
ス成形体同士の焼成過程での溶着を防止するために、通
常圧電セラミックス成形体間に敷粉として例えば粒径６
０〜１００μｍ程度のジルコニアセラミックス粉末を散
布し焼成する方法がとられるが、敷粉の粗粒がくい込む
等して圧電セラミックス焼結体の面に凸凹が生じ、特に
薄板状の圧電セラミックスの場合、敷粉の悪影響のため
に圧電セラミックスに変形、割れ等を生じ支障をきたす
。そのために所望する厚みよりも予め圧電セラミックス
成形体を厚く製作し、焼成後に圧電セラミックス焼結体
の両面を所定の厚みに研磨、加工する等の必要があり、
結果として製造コストが高くなり、具合いが悪い。加え
てジルコニアセラミックス粉末と圧電セラミックス成形
体の成分（組成物）との反応が多少なりとも進行して、
前記圧電セラミックス成形体の焼成過程での収縮が円滑
に且つ均一に成されず、圧電セラミックス焼結体の個々
の収縮率に大きなばらつきが生じると共にジルコニアセ
ラミックス粉末が変形の要因ともなり得る。特にリング
型の薄板状の圧電セラミックスに於て、その傾向が著し
く強い。
チュエータ、超音波モータ、セラミックフィルター、ブ
ザー等広範囲の用途に適用されている。近年に至っては
、超音波モーター素子、アクチュエータ素子等に代表さ
れる様に薄板状の圧電セラミックスをベースとして利用
する分野が増大しつつある。この種の薄板状の圧電セラ
ミックスの製法としては例えばシート成形技術、押し出
し成形技術或は薄物用成形機等を利用し、所定形状の薄
板状の圧電セラミックス成形体をアルミナ（Ａｌ２Ｏ３
）、ジルコニア（ＺｒＯ２）或はマグネシア（ＭｇＯ）
等を主成分とするセラミック敷板上に直接配置して焼成
する方法、又は前記セラミック敷板上に圧電セラミック
スの成形体を複数枚重ねて焼成する方法がある。後者の
方法について更に詳述すると、複数枚の圧電セラミック
ス成形体を重ねて焼成する場合、互いの圧電セラミック
ス成形体同士の焼成過程での溶着を防止するために、通
常圧電セラミックス成形体間に敷粉として例えば粒径６
０〜１００μｍ程度のジルコニアセラミックス粉末を散
布し焼成する方法がとられるが、敷粉の粗粒がくい込む
等して圧電セラミックス焼結体の面に凸凹が生じ、特に
薄板状の圧電セラミックスの場合、敷粉の悪影響のため
に圧電セラミックスに変形、割れ等を生じ支障をきたす
。そのために所望する厚みよりも予め圧電セラミックス
成形体を厚く製作し、焼成後に圧電セラミックス焼結体
の両面を所定の厚みに研磨、加工する等の必要があり、
結果として製造コストが高くなり、具合いが悪い。加え
てジルコニアセラミックス粉末と圧電セラミックス成形
体の成分（組成物）との反応が多少なりとも進行して、
前記圧電セラミックス成形体の焼成過程での収縮が円滑
に且つ均一に成されず、圧電セラミックス焼結体の個々
の収縮率に大きなばらつきが生じると共にジルコニアセ
ラミックス粉末が変形の要因ともなり得る。特にリング
型の薄板状の圧電セラミックスに於て、その傾向が著し
く強い。
【０００３】上記ジルコニアセラミックス粉末での欠点
を改善するために、例えばアルミナ（Ａｌ２Ｏ３）、ジ
ルコニア（ＺｒＯ２）、或はマグネシア（ＭｇＯ）を主
成分とするシート状敷板を互いの圧電セラミックス成形
体の間に配置し焼成する方法があるが、この場合、圧電
セラミックス焼結体の凸凹等の変形はある程度解消され
るものの変形、或は収縮率のばらつきを低減するまでに
は至らない。
を改善するために、例えばアルミナ（Ａｌ２Ｏ３）、ジ
ルコニア（ＺｒＯ２）、或はマグネシア（ＭｇＯ）を主
成分とするシート状敷板を互いの圧電セラミックス成形
体の間に配置し焼成する方法があるが、この場合、圧電
セラミックス焼結体の凸凹等の変形はある程度解消され
るものの変形、或は収縮率のばらつきを低減するまでに
は至らない。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、種々検討を
加えた結果、かかる従来の欠点を解消する手段を見い出
した物であり、焼成後、圧電セラミックス焼結体の変形
もほとんどなく平滑性に優れ、且つ収縮率のばらつきも
極めて小さく、又圧電セラミックス焼結体の密度も良好
な安定品質の薄板状の圧電セラミックスを得るに好適な
焼成方法を提供することを目的とする。
加えた結果、かかる従来の欠点を解消する手段を見い出
した物であり、焼成後、圧電セラミックス焼結体の変形
もほとんどなく平滑性に優れ、且つ収縮率のばらつきも
極めて小さく、又圧電セラミックス焼結体の密度も良好
な安定品質の薄板状の圧電セラミックスを得るに好適な
焼成方法を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】即ち本発明は、薄板状の
圧電セラミックス成形体を複数枚重ねて焼成する方法に
於て、前記圧電セラミックス焼成体主面間にＰｂＺｒＯ
３−ＰｂＴｉＯ３からなる基本組成物に対し、ジルコニ
アセラミックス粉末を３〜２０重量％添加含有して成る
シート状敷板を配置し、焼成することを特徴とする。
圧電セラミックス成形体を複数枚重ねて焼成する方法に
於て、前記圧電セラミックス焼成体主面間にＰｂＺｒＯ
３−ＰｂＴｉＯ３からなる基本組成物に対し、ジルコニ
アセラミックス粉末を３〜２０重量％添加含有して成る
シート状敷板を配置し、焼成することを特徴とする。
【０００６】
【作用】本発明は、圧電セラミックスとシート状敷板を
焼成用敷板（セッター）上に複数枚積層してなるリング
状の薄板状の圧電セラミックス成形体を焼成すると、シ
ート状敷板に圧電セラミックスが溶着したり、シート状
敷板の凸凹になじみ、変形したり割れたりすること等の
不良を防止するためにＰｂＺｒＯ３−ＰｂＴｉＯ３から
なる基本組成物に対してジルコニアセラミックス粉末を
３〜２０重量％添加したシート状敷板を配置して焼成す
ることによって、圧電セラミックス焼結体の変形も殆ど
なく、平滑性に優れ、且つ収縮率のばらつきも小さく、
圧電セラミックス焼結体の密度も良好な圧電セラミック
スを得る焼成方法である。即ち図１に示すように圧電セ
ラミックス成形体１との主面間にシート状敷板２をはさ
んで、焼成用敷板（セッター）３上に複数枚積層して焼
成し、変形割れ溶着等を防止する。
焼成用敷板（セッター）上に複数枚積層してなるリング
状の薄板状の圧電セラミックス成形体を焼成すると、シ
ート状敷板に圧電セラミックスが溶着したり、シート状
敷板の凸凹になじみ、変形したり割れたりすること等の
不良を防止するためにＰｂＺｒＯ３−ＰｂＴｉＯ３から
なる基本組成物に対してジルコニアセラミックス粉末を
３〜２０重量％添加したシート状敷板を配置して焼成す
ることによって、圧電セラミックス焼結体の変形も殆ど
なく、平滑性に優れ、且つ収縮率のばらつきも小さく、
圧電セラミックス焼結体の密度も良好な圧電セラミック
スを得る焼成方法である。即ち図１に示すように圧電セ
ラミックス成形体１との主面間にシート状敷板２をはさ
んで、焼成用敷板（セッター）３上に複数枚積層して焼
成し、変形割れ溶着等を防止する。
【０００７】
【実施例】以下本発明の実施例について、比較例と比較
しながら詳細に説明する。出発原料として化学的純度９
９％以上のＰｂＯ、ＺｒＯ２、ＴｉＯ２を０．７ＰｂＺ
ｒＯ３−０．３ＰｂＴｉＯ３の配合比になるように精秤
し、ジルコニアセラミックス粉末を０，２，３，５，１
０，１５，２０，２５，３０重量％の添加物となるよう
に精秤した。尚ジルコニアセラミックス粉末は化学的純
度９９％以上のＺｒＯ２原料に所定量のＹ２Ｏ３を加え
、混合後、１２５０〜１３００℃で数時間仮焼成せしめ
、粉砕機により粉砕、分級し、粒径６０〜１００μｍ程
度に調整したものを用いた。次にこれら原料とジルコニ
アセラミックス粉末を乾式混合法にて混合した後、８５
０〜９００℃で仮焼成し、粉砕機を用いて微粉化して得
られた粉末に有機バインダを適用加えて造粒した後、１
．５ｔ／ｃｍ２の圧力で加圧成形し、１２５０℃〜１３
００℃の温度で数時間焼成した。得られた焼結体を外径
φ５０ｍｍ、内径φ３０ｍｍ、厚さ０．３ｍｍの形状に
切断、研磨加工を施して仕上げ、これを薄板状の圧電セ
ラミックス成形体の主面間に配置するためのシート状敷
板とした。次に評価に供した薄板状の圧電セラミックス
の製法について述べる。出発原料として化学的純度９９
％以上のＰｂＯ、ＺｒＯ２、ＭｎＯ、Ｓｂ２Ｏ３を用い
、Ｐｂ（Ｍｎ１／３Ｓｂ２／３）Ｏ３−ＰｂＺｒＯ３−
ＰｂＴｉＯ３組成になるように所定量精秤した後混合、
乾燥し、８５０〜９００℃の温度で仮焼成した。次いで
ボールミルによって粉砕して得られた粉末に有機バイン
ダ、可塑剤等を適量加えて混練し、押し出し成形工法を
用いて厚み０．５ｍｍのグリーンシートを製作した。次
いでこのグリーンシートを外径φ４５ｍｍ、内径φ２５
ｍｍに打ち抜き、リング型の薄板状の圧電セラミック成
形体を得た。 この成形体を図１に示すように各々リング形の薄板状の
圧電セラミックス成形体１の主面間に、上記にて製作し
たシート状敷板２を挟み込んだ状態で６枚重ねて所定の
焼成用敷板（セッター）３の上に配置し、１２００〜１
２３０℃の温度で数時間焼成した。得られた６枚重ねの
薄板状のリング型の圧電セラミックス焼結体のうち各々
最下段の圧電セラミックス焼結体を除外した後、残圧電
セラミックス焼結体につき密度、収縮率及び収縮率のば
らつき、変形反り・耐久性について調べた。密度はアル
キメデス法により測定し、収縮率は図２に示すように圧
電セラミックス焼結体４のＡＡ、Ａ′Ａ′の平均値を外
径寸法とし、所定の算出法によって求められた。又収縮
率のばらつきはＡＡ、Ａ′Ａ′の平均値のばらつき（標
準偏差値）をもって比較、評価した。尚測定は各々試料
番号においてｎ＝５０の試料について行った。変形は同
じく図２に示すようにＡＡ、Ａ′Ａ′及びＢＢ、Ｂ′Ｂ
′の寸法を測定し、ＡＡ／Ａ′Ａ′及びＢＢ／Ｂ′Ｂ′
（ＡＡ＞Ａ′Ａ′、ＢＢ＞Ｂ′Ｂ′の場合）或はＡ′Ａ
′／ＡＡ、Ｂ′Ｂ′／ＢＢ（Ａ′Ａ′＞ＡＡ、Ｂ′Ｂ′
＞ＢＢの場合）でのＭａｘ値で調べる一方、Ｃ−Ｃ′部
分（長さ２０ｍｍ）での反りのＭａｘ値により比較、評
価した。又シート状敷板の耐久性は、所定の焼成温度で
８回以上焼成を繰り返し、焼成炉を通して、８回以上通
しても溶着、変形、割れ等がなく、所望の耐久性を得ら
れたものを耐久性合格として○印を付し、８回以下で前
記の品質劣化の不良が発生した場合、耐久性不合格とし
て×印を付した。シート状敷板の基本組成がＰｂ（Ｚｒ
０．７Ｔｉ０．３）Ｏ３で、基本組成にＺｒＯ２セラミ
ックス粉末を０，２，３，５，１０，１５，２０，２５
，３０重量％添加した場合の各々の試料に試料番号１，
２，３，４，５，６，７，８，８，９の諸特性を表１に
示した。
しながら詳細に説明する。出発原料として化学的純度９
９％以上のＰｂＯ、ＺｒＯ２、ＴｉＯ２を０．７ＰｂＺ
ｒＯ３−０．３ＰｂＴｉＯ３の配合比になるように精秤
し、ジルコニアセラミックス粉末を０，２，３，５，１
０，１５，２０，２５，３０重量％の添加物となるよう
に精秤した。尚ジルコニアセラミックス粉末は化学的純
度９９％以上のＺｒＯ２原料に所定量のＹ２Ｏ３を加え
、混合後、１２５０〜１３００℃で数時間仮焼成せしめ
、粉砕機により粉砕、分級し、粒径６０〜１００μｍ程
度に調整したものを用いた。次にこれら原料とジルコニ
アセラミックス粉末を乾式混合法にて混合した後、８５
０〜９００℃で仮焼成し、粉砕機を用いて微粉化して得
られた粉末に有機バインダを適用加えて造粒した後、１
．５ｔ／ｃｍ２の圧力で加圧成形し、１２５０℃〜１３
００℃の温度で数時間焼成した。得られた焼結体を外径
φ５０ｍｍ、内径φ３０ｍｍ、厚さ０．３ｍｍの形状に
切断、研磨加工を施して仕上げ、これを薄板状の圧電セ
ラミックス成形体の主面間に配置するためのシート状敷
板とした。次に評価に供した薄板状の圧電セラミックス
の製法について述べる。出発原料として化学的純度９９
％以上のＰｂＯ、ＺｒＯ２、ＭｎＯ、Ｓｂ２Ｏ３を用い
、Ｐｂ（Ｍｎ１／３Ｓｂ２／３）Ｏ３−ＰｂＺｒＯ３−
ＰｂＴｉＯ３組成になるように所定量精秤した後混合、
乾燥し、８５０〜９００℃の温度で仮焼成した。次いで
ボールミルによって粉砕して得られた粉末に有機バイン
ダ、可塑剤等を適量加えて混練し、押し出し成形工法を
用いて厚み０．５ｍｍのグリーンシートを製作した。次
いでこのグリーンシートを外径φ４５ｍｍ、内径φ２５
ｍｍに打ち抜き、リング型の薄板状の圧電セラミック成
形体を得た。 この成形体を図１に示すように各々リング形の薄板状の
圧電セラミックス成形体１の主面間に、上記にて製作し
たシート状敷板２を挟み込んだ状態で６枚重ねて所定の
焼成用敷板（セッター）３の上に配置し、１２００〜１
２３０℃の温度で数時間焼成した。得られた６枚重ねの
薄板状のリング型の圧電セラミックス焼結体のうち各々
最下段の圧電セラミックス焼結体を除外した後、残圧電
セラミックス焼結体につき密度、収縮率及び収縮率のば
らつき、変形反り・耐久性について調べた。密度はアル
キメデス法により測定し、収縮率は図２に示すように圧
電セラミックス焼結体４のＡＡ、Ａ′Ａ′の平均値を外
径寸法とし、所定の算出法によって求められた。又収縮
率のばらつきはＡＡ、Ａ′Ａ′の平均値のばらつき（標
準偏差値）をもって比較、評価した。尚測定は各々試料
番号においてｎ＝５０の試料について行った。変形は同
じく図２に示すようにＡＡ、Ａ′Ａ′及びＢＢ、Ｂ′Ｂ
′の寸法を測定し、ＡＡ／Ａ′Ａ′及びＢＢ／Ｂ′Ｂ′
（ＡＡ＞Ａ′Ａ′、ＢＢ＞Ｂ′Ｂ′の場合）或はＡ′Ａ
′／ＡＡ、Ｂ′Ｂ′／ＢＢ（Ａ′Ａ′＞ＡＡ、Ｂ′Ｂ′
＞ＢＢの場合）でのＭａｘ値で調べる一方、Ｃ−Ｃ′部
分（長さ２０ｍｍ）での反りのＭａｘ値により比較、評
価した。又シート状敷板の耐久性は、所定の焼成温度で
８回以上焼成を繰り返し、焼成炉を通して、８回以上通
しても溶着、変形、割れ等がなく、所望の耐久性を得ら
れたものを耐久性合格として○印を付し、８回以下で前
記の品質劣化の不良が発生した場合、耐久性不合格とし
て×印を付した。シート状敷板の基本組成がＰｂ（Ｚｒ
０．７Ｔｉ０．３）Ｏ３で、基本組成にＺｒＯ２セラミ
ックス粉末を０，２，３，５，１０，１５，２０，２５
，３０重量％添加した場合の各々の試料に試料番号１，
２，３，４，５，６，７，８，８，９の諸特性を表１に
示した。
【０００８】
【表１】
【０００９】その結果、シート状敷板の組成Ｐｂ（Ｚｒ
０．７Ｔｉ０．３）Ｏ３にジルコニア（ＺｒＯ２）セラ
ミックス粉末を３，５，１０，１５，２０，２５重量％
添加した試料番号３，４，５，６，７のシート状敷板が
耐久性に合格した。ジルコニア（ＺｒＯ２）セラミック
ス粉末の添加量が３重量％より少ない組成のシート状敷
板として使用した場合には、反り、収縮率、収縮率のば
らつき、密度、割れ等に合格するもの、溶着が著しく耐
久性に不合格となり、除外した。また２０重量％より多
くなると、圧電セラミックスの密度の低下がはじまり、
収縮率のばらつきも大きくなり、反りの最大値も大きく
、圧電セラミックス焼結体の緻密性が失われるので耐久
性に合格しても除外することにした。シート状敷板の組
成としてはＰｂ（Ｚｒ０．７Ｔｉ０．３）Ｏ３にジルコ
ニア（ＺｒＯ２）粉末を３〜２０重量％添加したものが
目的にかなうものと判明した。
０．７Ｔｉ０．３）Ｏ３にジルコニア（ＺｒＯ２）セラ
ミックス粉末を３，５，１０，１５，２０，２５重量％
添加した試料番号３，４，５，６，７のシート状敷板が
耐久性に合格した。ジルコニア（ＺｒＯ２）セラミック
ス粉末の添加量が３重量％より少ない組成のシート状敷
板として使用した場合には、反り、収縮率、収縮率のば
らつき、密度、割れ等に合格するもの、溶着が著しく耐
久性に不合格となり、除外した。また２０重量％より多
くなると、圧電セラミックスの密度の低下がはじまり、
収縮率のばらつきも大きくなり、反りの最大値も大きく
、圧電セラミックス焼結体の緻密性が失われるので耐久
性に合格しても除外することにした。シート状敷板の組
成としてはＰｂ（Ｚｒ０．７Ｔｉ０．３）Ｏ３にジルコ
ニア（ＺｒＯ２）粉末を３〜２０重量％添加したものが
目的にかなうものと判明した。
【００１０】
【比較例】材質Ａｌ２Ｏ３、ＺｒＯ２及びＭｇＯ各々主
成分とし、各々実施例と同形状である外径φ５０ｍｍ、
厚さ０．３ｍｍのセラミック板を製作し、これを圧電セ
ラミックス成形体主面間に配置するシート状敷板とした
。 以下実施例と同寸法で圧電セラミックス成形体をセット
して焼成し評価した。
成分とし、各々実施例と同形状である外径φ５０ｍｍ、
厚さ０．３ｍｍのセラミック板を製作し、これを圧電セ
ラミックス成形体主面間に配置するシート状敷板とした
。 以下実施例と同寸法で圧電セラミックス成形体をセット
して焼成し評価した。
【００１１】尚第１表に於て＊印の試料番号のものは本
発明の焼成方法に該当する。
発明の焼成方法に該当する。
【００１２】表１の＊印の試料番号のものからも明らか
なように、本発明の焼成方法により得られた薄板状のリ
ング型の圧電セラミックスは密度が高く、収縮率も適度
な値を示して緻密値を有し、且つ収縮率のばらつき及び
変形も少なく良好な圧電セラミックス焼結体であること
は明白である。
なように、本発明の焼成方法により得られた薄板状のリ
ング型の圧電セラミックスは密度が高く、収縮率も適度
な値を示して緻密値を有し、且つ収縮率のばらつき及び
変形も少なく良好な圧電セラミックス焼結体であること
は明白である。
【００１３】
【発明の効果】このように本発明は、複数重ねた薄板状
のリング型の圧電セラミックス成形体の焼成に於て、互
いの圧電セラミックス成形体主面間に、ＰｂＺｒＯ３−
ＰｂＴｉＯ３系からなる組成物に、ジルコニアセラミッ
クス粉末を適度な範囲で添加含有せしめてなるシート状
敷板を配置して焼成する方法のものであり、比較例にあ
る従来材質からなるシート状敷板では成し得なかった良
好な薄板状のリング型の圧電セラミックス焼結体を得る
に好適な焼成方法を実現したものである。尚ジルコニア
セラミックス粉末の添加量が３重量％より少ない組成物
をシート状敷板として使用した場合、得られる薄板状の
リング型の圧電セラミックス焼結体が初期は良好なもの
の繰り返し使用の際、シート状敷板と反応して溶着する
等して好ましくなく、又２０重量％より多いと得られる
薄板状のリング型の圧電セラミックス焼結体の密度の低
下、収縮率の減少、即ち圧電セラミックス焼結体本来の
緻密性が失われると共に、収縮率のばらつき、変形が大
きくなり、又シート状敷板自体の機械的強度も低下する
等して不都合が生じるため、本発明の範囲から除外した
。尚本発明の実施例においては、薄板状のリング型の圧
電セラミックスの焼成方法について説明したが、本発明
によれば薄板状の円板型、角板型に於いてもその改善効
果が確認されている。以上詳述したように、本発明の焼
成方法は特に薄板状の圧電セラミックスに於いて広範囲
に適用でき、産業上きわめて価値大である。
のリング型の圧電セラミックス成形体の焼成に於て、互
いの圧電セラミックス成形体主面間に、ＰｂＺｒＯ３−
ＰｂＴｉＯ３系からなる組成物に、ジルコニアセラミッ
クス粉末を適度な範囲で添加含有せしめてなるシート状
敷板を配置して焼成する方法のものであり、比較例にあ
る従来材質からなるシート状敷板では成し得なかった良
好な薄板状のリング型の圧電セラミックス焼結体を得る
に好適な焼成方法を実現したものである。尚ジルコニア
セラミックス粉末の添加量が３重量％より少ない組成物
をシート状敷板として使用した場合、得られる薄板状の
リング型の圧電セラミックス焼結体が初期は良好なもの
の繰り返し使用の際、シート状敷板と反応して溶着する
等して好ましくなく、又２０重量％より多いと得られる
薄板状のリング型の圧電セラミックス焼結体の密度の低
下、収縮率の減少、即ち圧電セラミックス焼結体本来の
緻密性が失われると共に、収縮率のばらつき、変形が大
きくなり、又シート状敷板自体の機械的強度も低下する
等して不都合が生じるため、本発明の範囲から除外した
。尚本発明の実施例においては、薄板状のリング型の圧
電セラミックスの焼成方法について説明したが、本発明
によれば薄板状の円板型、角板型に於いてもその改善効
果が確認されている。以上詳述したように、本発明の焼
成方法は特に薄板状の圧電セラミックスに於いて広範囲
に適用でき、産業上きわめて価値大である。
【図１】本発明実施例に於いて、焼成方法の説明に供し
た一実施例の正面図。
た一実施例の正面図。
【図２】図２は同じく測定、評価の説明に供した薄板状
のリング型の圧電セラミックス焼結体の一実施例の平面
図。
のリング型の圧電セラミックス焼結体の一実施例の平面
図。
１ 圧電セラミックス成形体
２ シート状敷板
３ 焼成用敷板（セッター）
４ 圧電セラミックス焼結体
Claims (1)
- 【請求項１】 薄板状の圧電セラミックス成形体を複
数枚重ねて焼成する方法に於て、前記圧電セラミックス
成形体主面間にＰｂＺｒＯ３−ＰｂＴｉＯ３からなる基
本組成物に対しジルコニアセラミックス粉末を３〜２０
重量％添加含有して成るシート状敷板を配置し、焼成す
ることを特徴とする圧電セラミックスの焼成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3124869A JPH04325464A (ja) | 1991-04-25 | 1991-04-25 | 圧電セラミックスの焼成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3124869A JPH04325464A (ja) | 1991-04-25 | 1991-04-25 | 圧電セラミックスの焼成方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04325464A true JPH04325464A (ja) | 1992-11-13 |
Family
ID=14896114
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3124869A Pending JPH04325464A (ja) | 1991-04-25 | 1991-04-25 | 圧電セラミックスの焼成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04325464A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05270911A (ja) * | 1992-03-25 | 1993-10-19 | Ngk Insulators Ltd | ジルコニア質耐火物セッター |
| KR100257998B1 (ko) * | 1992-12-30 | 2000-06-01 | 이형도 | 압전체 소결 방법 |
| WO2016031994A1 (ja) * | 2014-08-29 | 2016-03-03 | 京セラ株式会社 | 圧電磁器板および板状基体ならびに電子部品 |
-
1991
- 1991-04-25 JP JP3124869A patent/JPH04325464A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05270911A (ja) * | 1992-03-25 | 1993-10-19 | Ngk Insulators Ltd | ジルコニア質耐火物セッター |
| KR100257998B1 (ko) * | 1992-12-30 | 2000-06-01 | 이형도 | 압전체 소결 방법 |
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| JP2016222533A (ja) * | 2014-08-29 | 2016-12-28 | 京セラ株式会社 | 圧電磁器板および板状基体ならびに電子部品 |
| JP6082161B2 (ja) * | 2014-08-29 | 2017-02-15 | 京セラ株式会社 | 圧電磁器板および板状基体ならびに電子部品 |
| US10177300B2 (en) | 2014-08-29 | 2019-01-08 | Kyocera Corporation | Piezoelectric ceramic, manufacturing method therefor, and electronic component |
| US10297744B2 (en) | 2014-08-29 | 2019-05-21 | Kyocera Corporation | Piezoelectric ceramic plate, plate-shaped substrate and electronic component |
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