JPH04326565A - 半導体集積回路装置 - Google Patents
半導体集積回路装置Info
- Publication number
- JPH04326565A JPH04326565A JP3096017A JP9601791A JPH04326565A JP H04326565 A JPH04326565 A JP H04326565A JP 3096017 A JP3096017 A JP 3096017A JP 9601791 A JP9601791 A JP 9601791A JP H04326565 A JPH04326565 A JP H04326565A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lsi
- chip
- power supply
- wiring
- internal circuit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/851—Dispositions of multiple connectors or interconnections
- H10W72/874—On different surfaces
- H10W72/884—Die-attach connectors and bond wires
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W90/00—Package configurations
- H10W90/701—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts
- H10W90/751—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bond wires
- H10W90/754—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of bond wires between a chip and a stacked insulating package substrate, interposer or RDL
Landscapes
- Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
- Semiconductor Memories (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は半導体集積回路装置に関
し、特にLSIチップの内部回路への電源ノイズを低減
する機能を備えた半導体集積回路装置に関する。
し、特にLSIチップの内部回路への電源ノイズを低減
する機能を備えた半導体集積回路装置に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、コンピュータの性能はますます高
速度のものが要求されて来ており、そのため、電子回路
は高速度,高集積度のLSIチップ、及びLSIチップ
を高密度に実装したフラットパッケージ型の半導体集積
回路装置が実現するに至っている。
速度のものが要求されて来ており、そのため、電子回路
は高速度,高集積度のLSIチップ、及びLSIチップ
を高密度に実装したフラットパッケージ型の半導体集積
回路装置が実現するに至っている。
【0003】LSIチップは高速論理回路構成となって
いるため、これら回路の動作時にLSIチップの供給電
源系にノイズが誘発され、内部回路に誤動作が発生しや
すい。この電源ノイズを吸収,低減し、誤動作を防止す
る方法として、LSIチップが搭載されているセラミッ
ク基板上のLSIチップ近傍にコンデンサを搭載して実
現していた。従来のこの種の半導体集積回路装置の一例
を図5及び図6に示す。
いるため、これら回路の動作時にLSIチップの供給電
源系にノイズが誘発され、内部回路に誤動作が発生しや
すい。この電源ノイズを吸収,低減し、誤動作を防止す
る方法として、LSIチップが搭載されているセラミッ
ク基板上のLSIチップ近傍にコンデンサを搭載して実
現していた。従来のこの種の半導体集積回路装置の一例
を図5及び図6に示す。
【0004】セラミック基板3は、周辺に設けられリー
ド4を介して外部回路と接続するための複数の電極31
と、LSI搭載部36と、このLSI搭載部36に設け
られLSIチップの各電極とそれぞれ対応して接続する
ための複数のパッド33と、これらパッド33と対応す
る電極31とを接続する配線34及びスルーホール35
と、配線34のうちの特定の配線、例えば電源配線及び
接地配線とスルーホール35を介して接続するパッド3
2とを備えた構造となっている。
ド4を介して外部回路と接続するための複数の電極31
と、LSI搭載部36と、このLSI搭載部36に設け
られLSIチップの各電極とそれぞれ対応して接続する
ための複数のパッド33と、これらパッド33と対応す
る電極31とを接続する配線34及びスルーホール35
と、配線34のうちの特定の配線、例えば電源配線及び
接地配線とスルーホール35を介して接続するパッド3
2とを備えた構造となっている。
【0005】このセラミック基板3のLSI搭載部36
にLSIチップ1dを搭載固着し、LSIチップ1dの
各パッド15とLSI搭載部36に設けられた各パッド
33とをボンディング線6によりそれぞれ対応して接続
し、LSI搭載部36にキャップ7を被せ封止する。
にLSIチップ1dを搭載固着し、LSIチップ1dの
各パッド15とLSI搭載部36に設けられた各パッド
33とをボンディング線6によりそれぞれ対応して接続
し、LSI搭載部36にキャップ7を被せ封止する。
【0006】また電源配線及び接地配線と接続するパッ
ド32には、チップコンデンサ5a,5bを接続する。 このチップコンデンサ5a,5bにより、LSIチップ
1dの内部回路に誘発される電源ノイズを吸収,低減し
、内部回路の誤動作を防止する構成となっていた。
ド32には、チップコンデンサ5a,5bを接続する。 このチップコンデンサ5a,5bにより、LSIチップ
1dの内部回路に誘発される電源ノイズを吸収,低減し
、内部回路の誤動作を防止する構成となっていた。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】この従来の半導体集積
回路装置では、電源ノイズを吸収,低減し内部回路の誤
動作を防止するためのチップコンデンサ5a,5bを、
セラミック基板3上に搭載した構造となっているので、
LSIチップ1d内の電源配線及び接地配線とチップコ
ンデンサ5a,5bの距離が長くなるために電源ノイズ
の吸収,低減効果が充分得られないという問題点があっ
た。また、セラミック基板3のサイズがチップコンデン
サ5a,5bを搭載する分だけ大きくなるという欠点が
あった。
回路装置では、電源ノイズを吸収,低減し内部回路の誤
動作を防止するためのチップコンデンサ5a,5bを、
セラミック基板3上に搭載した構造となっているので、
LSIチップ1d内の電源配線及び接地配線とチップコ
ンデンサ5a,5bの距離が長くなるために電源ノイズ
の吸収,低減効果が充分得られないという問題点があっ
た。また、セラミック基板3のサイズがチップコンデン
サ5a,5bを搭載する分だけ大きくなるという欠点が
あった。
【0008】本発明の目的は、電源ノイズの吸収,低減
効果が十分得られて誤動作の発生を確実に防止し、しか
もセラミック基板のサイズを小さくすることができる半
導体集積回路装置を提供することにある。
効果が十分得られて誤動作の発生を確実に防止し、しか
もセラミック基板のサイズを小さくすることができる半
導体集積回路装置を提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】第1の発明の半導体集積
回路装置は、内部回路が形成されたLSI基板、このL
SI基板上に形成され前記内部回路へ外部からの電源を
供給するための電源配線及びこの電源配線と接続する電
源用のパッド、並びに前記LSI基板上に形成され前記
内部回路へ接地電位を供給するための接地配線及びこの
接地配線と接続する接地用のパッドを備えたLSIチッ
プと、このLSIチップ上に設けられ第1及び第2の電
極を前記電源配線及び接地配線とそれぞれ対応して接続
するチップコンデンサとを有している。
回路装置は、内部回路が形成されたLSI基板、このL
SI基板上に形成され前記内部回路へ外部からの電源を
供給するための電源配線及びこの電源配線と接続する電
源用のパッド、並びに前記LSI基板上に形成され前記
内部回路へ接地電位を供給するための接地配線及びこの
接地配線と接続する接地用のパッドを備えたLSIチッ
プと、このLSIチップ上に設けられ第1及び第2の電
極を前記電源配線及び接地配線とそれぞれ対応して接続
するチップコンデンサとを有している。
【0010】第2の発明の半導体集積回路装置は、内部
回路が形成されたLSI基板、このLSI基板上に形成
され前記内部回路へ外部からの電源を供給するための電
源配線及びこの電源配線と接続する電源用のパッド、前
記LSI基板上に形成され前記内部回路へ接地電位を供
給するための接地配線及びこの接地配線と接続する接地
用のパッド、並びに前記LSI基板上に形成され前記電
源配線及び接地配線とそれぞれ対応して接続する第1及
び第2のコンデンサ接続用のパッドを備えたLSIチッ
プと、このLSIチップ上に設けられ第1及び第2の電
極を前記第1及び第2のコンデンサ接続用のパッドとそ
れぞれ対応して接続するチップコンデンサとを有してい
る。
回路が形成されたLSI基板、このLSI基板上に形成
され前記内部回路へ外部からの電源を供給するための電
源配線及びこの電源配線と接続する電源用のパッド、前
記LSI基板上に形成され前記内部回路へ接地電位を供
給するための接地配線及びこの接地配線と接続する接地
用のパッド、並びに前記LSI基板上に形成され前記電
源配線及び接地配線とそれぞれ対応して接続する第1及
び第2のコンデンサ接続用のパッドを備えたLSIチッ
プと、このLSIチップ上に設けられ第1及び第2の電
極を前記第1及び第2のコンデンサ接続用のパッドとそ
れぞれ対応して接続するチップコンデンサとを有してい
る。
【0011】
【実施例】次に本発明の実施例について図面を参照して
説明する。
説明する。
【0012】図1(a),(b)はそれぞれ第1の発明
の第1の実施例の、チップコンデンサを搭載したLSI
チップの平面図及び断面図である。
の第1の実施例の、チップコンデンサを搭載したLSI
チップの平面図及び断面図である。
【0013】この実施例は、内部回路が形成されたLS
I基板11、このLSI基板11上に形成され前記内部
回路へ電源を供給するための電源配線12及びこの電源
配線12と接続する電源用のパッド15a、並びにLS
I基板11上に形成され前記内部回路へ接地電位を供給
するための接地配線13及びこの接地配線13と接続す
る接地用のパッド15bを備えたLSIチップ1上に、
第1及び第2の電極を直接電源配線12及び接地配線1
3とそれぞれ対応して接続するチップコンデンサ2を設
けた構造となっている。
I基板11、このLSI基板11上に形成され前記内部
回路へ電源を供給するための電源配線12及びこの電源
配線12と接続する電源用のパッド15a、並びにLS
I基板11上に形成され前記内部回路へ接地電位を供給
するための接地配線13及びこの接地配線13と接続す
る接地用のパッド15bを備えたLSIチップ1上に、
第1及び第2の電極を直接電源配線12及び接地配線1
3とそれぞれ対応して接続するチップコンデンサ2を設
けた構造となっている。
【0014】なお、LSIチップ1には、上述のほか、
信号線用のパッド15が含まれており、電源配線12及
び接地配線13上のチップコデンサ2の各電極を接続す
る部分、パッド15,15a,15bの部分が露出する
ように、上面を覆ってポリイミド等によるカバー膜14
が形成されている。
信号線用のパッド15が含まれており、電源配線12及
び接地配線13上のチップコデンサ2の各電極を接続す
る部分、パッド15,15a,15bの部分が露出する
ように、上面を覆ってポリイミド等によるカバー膜14
が形成されている。
【0015】このチップコンデンサ2を搭載したLSI
チップ1は、図5,図6に示された従来の半導体集積回
路装置と同様の方法でセラミック基板に搭載される。
チップ1は、図5,図6に示された従来の半導体集積回
路装置と同様の方法でセラミック基板に搭載される。
【0016】この際、電源ノイズを吸収,低減するため
のコンデンサは、本発明においては、チップコンデンサ
2としてLSIチップ1上に搭載されているので、従来
例のようにセラミック基板上に設ける必要がなく、セラ
ミック基板の面積を小さくすることができる。また、チ
ップコンデンサ2がLSIチップ1の内部回路に最も近
接して設けられるので、電源ノイズの吸収,低減効果を
最大にすることができ、内部回路の誤動作を確実に防止
することができる。
のコンデンサは、本発明においては、チップコンデンサ
2としてLSIチップ1上に搭載されているので、従来
例のようにセラミック基板上に設ける必要がなく、セラ
ミック基板の面積を小さくすることができる。また、チ
ップコンデンサ2がLSIチップ1の内部回路に最も近
接して設けられるので、電源ノイズの吸収,低減効果を
最大にすることができ、内部回路の誤動作を確実に防止
することができる。
【0017】図2(a),(b)はそれぞれ第1の発明
の第2の実施例の、チップコンデンサを搭載したLSI
チップの平面図及び断面図である。
の第2の実施例の、チップコンデンサを搭載したLSI
チップの平面図及び断面図である。
【0018】この実施例のLSIチップ1aには、電源
配線12a,12b及び接地配線13a,13bが2つ
の層に形成されており、これら各層の電源配線−接地配
線(12a−13a),(12b−13b)間にチップ
コンデンサ2a,2bがそれぞれ対応して接続されてい
る。
配線12a,12b及び接地配線13a,13bが2つ
の層に形成されており、これら各層の電源配線−接地配
線(12a−13a),(12b−13b)間にチップ
コンデンサ2a,2bがそれぞれ対応して接続されてい
る。
【0019】この実施例も第1の実施例と同様の効果が
ある。
ある。
【0020】図3は第2の発明の第1の実施例の、チッ
プコンデンサを搭載したLSIチップの斜視図である。
プコンデンサを搭載したLSIチップの斜視図である。
【0021】この実施例は、内部回路が形成されたLS
I基板11b、このLSI基板11b上に形成され前記
内部回路へ外部からの電源を供給するための電源配線1
2c及びこの電源配線12cと接続する電源用のパッド
15e、LSI基板11b上に形成され前記内部回路へ
接地電位を供給するための接地配線13c及びこの接地
配線13cと接続する接地用のパッド15f、並びにL
SI基板11b上に形成され電源配線12c接地配線1
3cとそれぞれ対応して接続する第1及び第2のコンデ
ンサ接続用のパッド15g,15hを備えたLSIチッ
プ1b上に、第1及び第2の電極を第1及び第2のコン
デンサ接続用のパッド15g,15hとそれぞれ対応し
て接続するチップコンデンサ2cを設けた構造となって
いる。なお、カバー膜は省略してある。
I基板11b、このLSI基板11b上に形成され前記
内部回路へ外部からの電源を供給するための電源配線1
2c及びこの電源配線12cと接続する電源用のパッド
15e、LSI基板11b上に形成され前記内部回路へ
接地電位を供給するための接地配線13c及びこの接地
配線13cと接続する接地用のパッド15f、並びにL
SI基板11b上に形成され電源配線12c接地配線1
3cとそれぞれ対応して接続する第1及び第2のコンデ
ンサ接続用のパッド15g,15hを備えたLSIチッ
プ1b上に、第1及び第2の電極を第1及び第2のコン
デンサ接続用のパッド15g,15hとそれぞれ対応し
て接続するチップコンデンサ2cを設けた構造となって
いる。なお、カバー膜は省略してある。
【0022】この実施例においては、第1の発明と同様
の効果があるほか、チップコンデンサ2cの搭載位置を
任意に選定できるという利点がある。
の効果があるほか、チップコンデンサ2cの搭載位置を
任意に選定できるという利点がある。
【0023】図4は第2の発明の第2の実施例の、チッ
プコンデンサを搭載したLSIチップの斜視図である。
プコンデンサを搭載したLSIチップの斜視図である。
【0024】この実施例のLSIチップ1cには、外部
からの電源が3系統に分割されて供給されており、これ
ら3系統の各電源配線−接地配線間にそれぞれ対応して
チップコンデンサ2d,2e,2fを設けたものである
。
からの電源が3系統に分割されて供給されており、これ
ら3系統の各電源配線−接地配線間にそれぞれ対応して
チップコンデンサ2d,2e,2fを設けたものである
。
【0025】この実施例においても図3に示された実施
例と同様の効果及び利点がある。
例と同様の効果及び利点がある。
【0026】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、LSIチ
ップ上の電源配線及び接地配線間に、直接またはパッド
を介してチップコンデンサを接続する構造とすることに
より、このLSIチップを搭載するセラミック基板に電
源ノイズを吸収,低減するためのコンデンサを設ける必
要がないのでセラミック基板の面積を小さくすることが
でき、しかもこのコンデンサをLSIチップの内部回路
に最も近接して設けられるので、内部回路の誤動作を確
実に防止することができる効果がある。
ップ上の電源配線及び接地配線間に、直接またはパッド
を介してチップコンデンサを接続する構造とすることに
より、このLSIチップを搭載するセラミック基板に電
源ノイズを吸収,低減するためのコンデンサを設ける必
要がないのでセラミック基板の面積を小さくすることが
でき、しかもこのコンデンサをLSIチップの内部回路
に最も近接して設けられるので、内部回路の誤動作を確
実に防止することができる効果がある。
【図1】第1の発明の第1の実施例の、チップコンデン
サを搭載したLSIチップの平面図及び断面図である。
サを搭載したLSIチップの平面図及び断面図である。
【図2】第1の発明の第2の実施例の、チップコンデン
サを搭載したLSIチップの平面図及び断面図である。
サを搭載したLSIチップの平面図及び断面図である。
【図3】第2の発明の第1の実施例の、チップコンデン
サを搭載したLSIチップの斜視図である。
サを搭載したLSIチップの斜視図である。
【図4】第2の発明の第2の実施例の、チップコンデン
サを搭載したLSIチップの斜視図である。
サを搭載したLSIチップの斜視図である。
【図5】従来の半導体集積回路装置の一例を示す平面図
である。
である。
【図6】図5に示された半導体集積回路装置の断面図で
ある。
ある。
1,1a〜1d LSIチップ
2,2a〜2f チップコンデンサ3 セ
ラミック基板 4 リード 5a,5b チップコンデンサ 6 ボンディング線 7 キャップ 11,11a〜11c LSI基板12,12a
〜12e 電源配線13,13a〜13d
接地配線14,14a カバー膜 15,15a〜15k,15m,15n,15p
パッド 16 絶縁膜 31 電極 32,33 パッド 34 配線 35 スルーホール 36 LSI搭載部
ラミック基板 4 リード 5a,5b チップコンデンサ 6 ボンディング線 7 キャップ 11,11a〜11c LSI基板12,12a
〜12e 電源配線13,13a〜13d
接地配線14,14a カバー膜 15,15a〜15k,15m,15n,15p
パッド 16 絶縁膜 31 電極 32,33 パッド 34 配線 35 スルーホール 36 LSI搭載部
Claims (2)
- 【請求項1】 内部回路が形成されたLSI基板、こ
のLSI基板上に形成され前記内部回路へ外部からの電
源を供給するための電源配線及びこの電源配線と接続す
る電源用のパッド、並びに前記LSI基板上に形成され
前記内部回路へ接地電位を供給するための接地配線及び
この接地配線と接続する接地用のパッドを備えたLSI
チップと、このLSIチップ上に設けられ第1及び第2
の電極を前記電源配線及び接地配線とそれぞれ対応して
接続するチップコンデンサとを有することを特徴とする
半導体集積回路装置。 - 【請求項2】 内部回路が形成されたLSI基板、こ
のLSI基板上に形成され前記内部回路へ外部からの電
源を供給するための電源配線及びこの電源配線と接続す
る電源用のパッド、前記LSI基板上に形成され前記内
部回路へ接地電位を供給するための接地配線及びこの接
地配線と接続する接地用のパッド、並びに前記LSI基
板上に形成され前記電源配線及び接地配線とそれぞれ対
応して接続する第1及び第2のコンデンサ接続用のパッ
ドを備えたLSIチップと、このLSIチップ上に設け
られ第1及び第2の電極を前記第1及び第2のコンデン
サ接続用のパッドとそれぞれ対応して接続するチップコ
ンデンサとを有することを特徴とする半導体集積回路装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3096017A JPH04326565A (ja) | 1991-04-26 | 1991-04-26 | 半導体集積回路装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3096017A JPH04326565A (ja) | 1991-04-26 | 1991-04-26 | 半導体集積回路装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04326565A true JPH04326565A (ja) | 1992-11-16 |
Family
ID=14153484
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3096017A Pending JPH04326565A (ja) | 1991-04-26 | 1991-04-26 | 半導体集積回路装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04326565A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0716449A3 (en) * | 1994-12-09 | 1998-04-29 | Sun Microsystems, Inc. | Method for direct attachment of an on-chip bypass capacitor in an integrated circuit |
| WO2001024262A1 (de) * | 1999-09-30 | 2001-04-05 | Infineon Technologies Ag | Emv-optimierte on-chip-stromversorgung |
| GB2395601A (en) * | 2002-11-22 | 2004-05-26 | Via Tech Inc | Noise eliminating system on chip and method of manufacture |
-
1991
- 1991-04-26 JP JP3096017A patent/JPH04326565A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0716449A3 (en) * | 1994-12-09 | 1998-04-29 | Sun Microsystems, Inc. | Method for direct attachment of an on-chip bypass capacitor in an integrated circuit |
| WO2001024262A1 (de) * | 1999-09-30 | 2001-04-05 | Infineon Technologies Ag | Emv-optimierte on-chip-stromversorgung |
| US6646475B2 (en) | 1999-09-30 | 2003-11-11 | Infineon Technologies Ag | On-chip power supply with optimized electromagnetic compatibility |
| GB2395601A (en) * | 2002-11-22 | 2004-05-26 | Via Tech Inc | Noise eliminating system on chip and method of manufacture |
| GB2395601B (en) * | 2002-11-22 | 2005-09-28 | Via Tech Inc | IC package comprising noise filtering device |
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