JPH04326743A - 部品検査装置 - Google Patents
部品検査装置Info
- Publication number
- JPH04326743A JPH04326743A JP3096750A JP9675091A JPH04326743A JP H04326743 A JPH04326743 A JP H04326743A JP 3096750 A JP3096750 A JP 3096750A JP 9675091 A JP9675091 A JP 9675091A JP H04326743 A JPH04326743 A JP H04326743A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- value
- image
- transparent
- inspection
- variance
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、透明状部品検査装置
に関し、例えば透明なモールドが施されたＩＣの表面の
傷，ボイド，異物混入の検査など、透明状の部品の表面
及び内部欠陥検査を行うものに関する。
に関し、例えば透明なモールドが施されたＩＣの表面の
傷，ボイド，異物混入の検査など、透明状の部品の表面
及び内部欠陥検査を行うものに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、透明状の部品を対象とし、その表
面以外に内部の検査も同時に行なえる透明状部品検査装
置はなかった。検査方式からみた類似例は、例えば電子
通信学会論文誌，１９８５年，７月，第Ｊ６８−Ｄ巻，
第７号，「画像分割型頻度分布に基づくプラスチック部
品表面の欠陥検出手法」がある。そこに述べられた方法
は、プラスチック部品の表面の濃淡画像をカメラで撮像
し、その濃淡値の（最大値−最小値），及び（最頻値−
最小値）を計算し、それらのうちどちらかが設定された
しきい値を越えれば不良とするものである。
面以外に内部の検査も同時に行なえる透明状部品検査装
置はなかった。検査方式からみた類似例は、例えば電子
通信学会論文誌，１９８５年，７月，第Ｊ６８−Ｄ巻，
第７号，「画像分割型頻度分布に基づくプラスチック部
品表面の欠陥検出手法」がある。そこに述べられた方法
は、プラスチック部品の表面の濃淡画像をカメラで撮像
し、その濃淡値の（最大値−最小値），及び（最頻値−
最小値）を計算し、それらのうちどちらかが設定された
しきい値を越えれば不良とするものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
検査方法では、ピントのぼけた傷やボイドなど、透明状
部品の内部欠陥によく見られる特徴、即ち濃淡値自体は
最頻値から大きくはずれるものではないが濃淡値が緩や
かに変化していることにより欠陥と判定されるものにつ
いてはうまく検査できないという不具合があった。
検査方法では、ピントのぼけた傷やボイドなど、透明状
部品の内部欠陥によく見られる特徴、即ち濃淡値自体は
最頻値から大きくはずれるものではないが濃淡値が緩や
かに変化していることにより欠陥と判定されるものにつ
いてはうまく検査できないという不具合があった。
【０００４】また、上記の検査方法では画像を複数の領
域に分割してそれぞれに濃淡値の最大値，最小値，最頻
値を計算しており、これは画像を重なりの無い領域に分
割して上述の特徴量を考えることによって、シェーディ
ングなどの照明むらに対処するためである。ところが、
この小領域の全体にわたる大きな欠陥が生じた場合には
、小領域内全体の濃淡値は欠陥のそれとほぼ等しくなっ
てしまうのでうまく検査できないという不具合があった
。
域に分割してそれぞれに濃淡値の最大値，最小値，最頻
値を計算しており、これは画像を重なりの無い領域に分
割して上述の特徴量を考えることによって、シェーディ
ングなどの照明むらに対処するためである。ところが、
この小領域の全体にわたる大きな欠陥が生じた場合には
、小領域内全体の濃淡値は欠陥のそれとほぼ等しくなっ
てしまうのでうまく検査できないという不具合があった
。
【０００５】この発明は、以上のような問題点を解消す
るためになされたもので、透明状部品の表面，及び内部
欠陥の外観検査の自動化を実現でき、特に濃淡値が緩や
かに変化している欠陥も検出でき、表面と同時に内部欠
陥も検査できる透明状部品検査装置を提供することを目
的とする。
るためになされたもので、透明状部品の表面，及び内部
欠陥の外観検査の自動化を実現でき、特に濃淡値が緩や
かに変化している欠陥も検出でき、表面と同時に内部欠
陥も検査できる透明状部品検査装置を提供することを目
的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明に係わる透明状
部品検査装置は、透明状の被検査物を照明する照明装置
、被検査物の濃淡画像を撮像するテレビカメラ、このテ
レビカメラによって撮像された濃淡画像を記憶する画像
メモリ、画像メモリに記憶されている濃淡画像から検査
対象部分の濃淡値の分散値を計算する計測部、及び分散
値から検査結果を出力する判定部を備えたものである。
部品検査装置は、透明状の被検査物を照明する照明装置
、被検査物の濃淡画像を撮像するテレビカメラ、このテ
レビカメラによって撮像された濃淡画像を記憶する画像
メモリ、画像メモリに記憶されている濃淡画像から検査
対象部分の濃淡値の分散値を計算する計測部、及び分散
値から検査結果を出力する判定部を備えたものである。
【０００７】また、計測部は、検査対象部分の濃淡画像
を重なりの無い小領域に分割してその小領域の各々で分
散値を計算すると共に、小領域を併合した大きな領域に
ついても分散値を計算するものとし、判定部はその分散
値から検査結果を出力するものとしたものである。
を重なりの無い小領域に分割してその小領域の各々で分
散値を計算すると共に、小領域を併合した大きな領域に
ついても分散値を計算するものとし、判定部はその分散
値から検査結果を出力するものとしたものである。
【０００８】
【作用】この発明における計測部は、濃淡画像の分散値
を計算しており、不透明な異物などの画像に濃い陰影を
与える欠陥に対して非常に大きな値を示すだけでなく、
ピントのぼけた傷やボイドなど画像に薄い陰影をのこす
欠陥に対しても敏感に反応する。
を計算しており、不透明な異物などの画像に濃い陰影を
与える欠陥に対して非常に大きな値を示すだけでなく、
ピントのぼけた傷やボイドなど画像に薄い陰影をのこす
欠陥に対しても敏感に反応する。
【０００９】また、計測部は、検査対象部分の濃淡画像
を重なりの無い小領域に分割してその小領域の各々で分
散値を計算すると共に、小領域を併合した大きな領域に
ついても分散値を計算するものとしており、小領域の全
体にわたる大きな欠陥が生じた場合にも敏感に反応する
。
を重なりの無い小領域に分割してその小領域の各々で分
散値を計算すると共に、小領域を併合した大きな領域に
ついても分散値を計算するものとしており、小領域の全
体にわたる大きな欠陥が生じた場合にも敏感に反応する
。
【００１０】
実施例１．以下、この発明の一実施例を図について説明
する。図１はこの発明の一実施例による透明状部品検査
装置を示す構成図である。図において、２３は検査対象
である透明状の部品、２４は透明状の被検査物２３を照
明する照明装置、２５は被検査物２３の濃淡画像を撮像
するテレビカメラ、２６はテレビカメラ２５で撮像した
濃淡画像を記憶する画像メモリ、２７は画像メモリ２６
に記憶された濃淡画像から検査対象部分の濃淡値の分散
値の計算を行う計測部、２９は分散値のデータ２８から
検査結果として透明状部品の良否を出力する判定部、３
０は判定結果である。照明装置２４は図１では落射照明
として示されているが、これに限らず同軸照明や透過照
明でもよい。
する。図１はこの発明の一実施例による透明状部品検査
装置を示す構成図である。図において、２３は検査対象
である透明状の部品、２４は透明状の被検査物２３を照
明する照明装置、２５は被検査物２３の濃淡画像を撮像
するテレビカメラ、２６はテレビカメラ２５で撮像した
濃淡画像を記憶する画像メモリ、２７は画像メモリ２６
に記憶された濃淡画像から検査対象部分の濃淡値の分散
値の計算を行う計測部、２９は分散値のデータ２８から
検査結果として透明状部品の良否を出力する判定部、３
０は判定結果である。照明装置２４は図１では落射照明
として示されているが、これに限らず同軸照明や透過照
明でもよい。
【００１１】照明装置２４で透明状部品２３の検査対象
部分に光を照射し、テレビカメラ２５により濃淡画像を
撮像する。その濃淡画像を画像メモリ２６に記憶する。 計測部２７はこの画像メモリ２６に記憶されている濃淡
画像から検査対象部分の濃淡値の分散値データ２８を計
算する。判定部２９は分散値データ２８から検査結果と
して良否を判定し、判定結果３０を出力する。
部分に光を照射し、テレビカメラ２５により濃淡画像を
撮像する。その濃淡画像を画像メモリ２６に記憶する。 計測部２７はこの画像メモリ２６に記憶されている濃淡
画像から検査対象部分の濃淡値の分散値データ２８を計
算する。判定部２９は分散値データ２８から検査結果と
して良否を判定し、判定結果３０を出力する。
【００１２】計測部２７で計算される濃淡画像の分散値
を下に示す式に基いて計算する。
を下に示す式に基いて計算する。
【００１３】
【数１】
【００１４】この分散値は、不透明な異物などの画像に
濃い陰影を与える欠陥に対して非常に大きな値を示すだ
けでなく、ピントのぼけた傷やボイドなど画像に薄い陰
影をのこす欠陥に対しても敏感に反応する。これは分散
値が欠陥部と全体の平均の濃淡値の差の２乗和に比例す
る値であること、即ち欠陥部の濃淡値が正常部の濃淡値
に比べてどれだけ異なるかを示す物理量の近似となって
いることによる。従ってこの分散値を検査対象部分につ
いて計算し、その値が大きければ不良とするように判定
に用いれば従来困難であった薄い陰影を与える欠陥の検
査を容易に行うことができる。
濃い陰影を与える欠陥に対して非常に大きな値を示すだ
けでなく、ピントのぼけた傷やボイドなど画像に薄い陰
影をのこす欠陥に対しても敏感に反応する。これは分散
値が欠陥部と全体の平均の濃淡値の差の２乗和に比例す
る値であること、即ち欠陥部の濃淡値が正常部の濃淡値
に比べてどれだけ異なるかを示す物理量の近似となって
いることによる。従ってこの分散値を検査対象部分につ
いて計算し、その値が大きければ不良とするように判定
に用いれば従来困難であった薄い陰影を与える欠陥の検
査を容易に行うことができる。
【００１５】また、この分散値を用いる方法は、従来の
ように単に濃淡値の最大値や最小値を用いる方法に比べ
て、ノイズなどに対する安定性が高く検査の信頼性を高
めることができる。
ように単に濃淡値の最大値や最小値を用いる方法に比べ
て、ノイズなどに対する安定性が高く検査の信頼性を高
めることができる。
【００１６】また、検査対象部分を重なりのない小領域
にわけて分散値を計算することによって小さな欠陥に対
する分散値の感度を上げることができる。しかしある小
領域の全体にわたる大きな欠陥が生じた場合には、この
小領域内全体の濃淡値は欠陥のそれとほぼ等しくなって
しまうので分散値は小さくなり所期の目的を果たさない
。そこでこの事態に対処するために、これらの小領域以
外に小領域をいくつか併合して正常部を含むような大き
な領域においても分散値を計算する。この領域は正常部
を含んでいるので、もはや分散値は小さくならず欠陥を
分散値にうまく反映させることができる。
にわけて分散値を計算することによって小さな欠陥に対
する分散値の感度を上げることができる。しかしある小
領域の全体にわたる大きな欠陥が生じた場合には、この
小領域内全体の濃淡値は欠陥のそれとほぼ等しくなって
しまうので分散値は小さくなり所期の目的を果たさない
。そこでこの事態に対処するために、これらの小領域以
外に小領域をいくつか併合して正常部を含むような大き
な領域においても分散値を計算する。この領域は正常部
を含んでいるので、もはや分散値は小さくならず欠陥を
分散値にうまく反映させることができる。
【００１７】上記の分散値の計算について図に基ずいて
説明する。図２はある小領域６の全体にわたる大きな異
物２２が生じている例である。この場合、小領域６は全
面が覆われているためにかえって分散値が低くなり、欠
陥なしという誤判定をまねく可能性がある。そこで、例
えば図３に示すような領域１７、１８、１９、２０、２
１を新たに考え，それらについて分散値を計算すること
にする。領域１７は小領域１、２、５、６を併合したも
のであるが，小領域６と異なり正常部を含む割合が高い
ので分散値が大きくなるので、欠陥なしという誤判定を
防ぐことができる。
説明する。図２はある小領域６の全体にわたる大きな異
物２２が生じている例である。この場合、小領域６は全
面が覆われているためにかえって分散値が低くなり、欠
陥なしという誤判定をまねく可能性がある。そこで、例
えば図３に示すような領域１７、１８、１９、２０、２
１を新たに考え，それらについて分散値を計算すること
にする。領域１７は小領域１、２、５、６を併合したも
のであるが，小領域６と異なり正常部を含む割合が高い
ので分散値が大きくなるので、欠陥なしという誤判定を
防ぐことができる。
【００１８】このように、計測部２７において分散値を
計算する際、検査対象部分の画像を重なりの無い小領域
に分けて小領域の各々で分散値を計算すると共に、その
小領域を併合したさらに大きな領域についても分散値を
計算し、判定部２９に送るデータ２８とすることによっ
て、検査の信頼性をより高めることができる。
計算する際、検査対象部分の画像を重なりの無い小領域
に分けて小領域の各々で分散値を計算すると共に、その
小領域を併合したさらに大きな領域についても分散値を
計算し、判定部２９に送るデータ２８とすることによっ
て、検査の信頼性をより高めることができる。
【００１９】また、判定部２９は分散値の大きいものが
あれば不良品と判定するように構成する。例えば、各々
の分散値データ２８に対して所定のしきい値を用意し、
これを１つでも越えれば不良であると判定するように構
成する。これを図４を用いて説明する。図において、３
１は分散値データ２８の入力に対して所定のしきい値を
こえるならば１，そうでなければ０を出力する比較装置
、３２は入力の論理和を出力する装置である。この構成
の場合、判定結果３０が０の場合良品であり、１の場合
不良品となる。
あれば不良品と判定するように構成する。例えば、各々
の分散値データ２８に対して所定のしきい値を用意し、
これを１つでも越えれば不良であると判定するように構
成する。これを図４を用いて説明する。図において、３
１は分散値データ２８の入力に対して所定のしきい値を
こえるならば１，そうでなければ０を出力する比較装置
、３２は入力の論理和を出力する装置である。この構成
の場合、判定結果３０が０の場合良品であり、１の場合
不良品となる。
【００２０】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば、透明
状の被検査物を照明する照明装置、被検査物の濃淡画像
を撮像するテレビカメラ、このテレビカメラによって撮
像された濃淡画像を記憶する画像メモリ、画像メモリに
記憶されている濃淡画像から検査対象部分の濃淡値の分
散値を計算する計測部、及び分散値から検査結果を出力
する判定部を備えることにより、濃淡画像の分散値を利
用するようにしたので、ボイドのような濃淡値が緩やか
に変化しているような欠陥に対しても通常の欠陥と同様
に容易に判定を行うことができ、透明状の部品の表面，
内部の同時外観検査を信頼性高く行うことができる透明
状部品検査装置が得られる効果がある。
状の被検査物を照明する照明装置、被検査物の濃淡画像
を撮像するテレビカメラ、このテレビカメラによって撮
像された濃淡画像を記憶する画像メモリ、画像メモリに
記憶されている濃淡画像から検査対象部分の濃淡値の分
散値を計算する計測部、及び分散値から検査結果を出力
する判定部を備えることにより、濃淡画像の分散値を利
用するようにしたので、ボイドのような濃淡値が緩やか
に変化しているような欠陥に対しても通常の欠陥と同様
に容易に判定を行うことができ、透明状の部品の表面，
内部の同時外観検査を信頼性高く行うことができる透明
状部品検査装置が得られる効果がある。
【００２１】また、濃淡画像から分散値を計算する計測
部は、検査対象部分の濃淡画像を重なりの無い小領域に
分割してその小領域の各々で分散値を計算すると共に、
小領域を併合した大きな領域についても分散値を計算す
ることを特徴としたことにより、さらに信頼性の高い透
明状部品検査装置を得ることができる効果がある。
部は、検査対象部分の濃淡画像を重なりの無い小領域に
分割してその小領域の各々で分散値を計算すると共に、
小領域を併合した大きな領域についても分散値を計算す
ることを特徴としたことにより、さらに信頼性の高い透
明状部品検査装置を得ることができる効果がある。
【図１】この発明の一実施例による透明状部品検査装置
を示す構成図である。
を示す構成図である。
【図２】この発明の一実施例に係り、計測部の動作を説
明するための説明図である。
明するための説明図である。
【図３】この発明の一実施例に係り、計測部の動作を説
明するための説明図である。
明するための説明図である。
【図４】この発明の一実施例に係り、判定部の動作を説
明するための説明図である。
明するための説明図である。
２２ 異物
２３ 透明状部品
２４ 照明装置
２５ テレビカメラ
２６ 画像メモリ
２７ 計測部
２８ 分散値データ
２９ 判定部
３０ 判定結果
Claims (2)
- 【請求項１】 透明状の被検査物を照明する照明装置
、上記被検査物の濃淡画像を撮像するテレビカメラ、こ
のテレビカメラによって撮像された濃淡画像を記憶する
画像メモリ、上記画像メモリに記憶されている濃淡画像
から検査対象部分の濃淡値の分散値を計算する計測部、
及び上記分散値から検査結果を出力する判定部を備えた
透明状部品検査装置。 - 【請求項２】 計測部は、検査対象部分の濃淡画像を
重なりの無い小領域に分割してその小領域の各々で分散
値を計算すると共に、上記小領域を併合した大きな領域
についても分散値を計算するものとし、判定部はその分
散値から検査結果を出力するものとしたことを特徴とす
る請求項第１項記載の透明状部品検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3096750A JP2803388B2 (ja) | 1991-04-26 | 1991-04-26 | 部品検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3096750A JP2803388B2 (ja) | 1991-04-26 | 1991-04-26 | 部品検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04326743A true JPH04326743A (ja) | 1992-11-16 |
| JP2803388B2 JP2803388B2 (ja) | 1998-09-24 |
Family
ID=14173351
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3096750A Expired - Lifetime JP2803388B2 (ja) | 1991-04-26 | 1991-04-26 | 部品検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2803388B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017129569A (ja) * | 2015-12-11 | 2017-07-27 | ソイテックＳｏｉｔｅｃ | 欠陥を検出するための方法及び関連する装置 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60124783A (ja) * | 1983-12-10 | 1985-07-03 | Meidensha Electric Mfg Co Ltd | 画像処理装置 |
| JPS61123985A (ja) * | 1984-11-20 | 1986-06-11 | Meidensha Electric Mfg Co Ltd | 画像処理装置 |
| JPH01284743A (ja) * | 1988-05-10 | 1989-11-16 | Toshiba Corp | 半導体装置の樹脂モールドの外観検査方法とその検査装置 |
-
1991
- 1991-04-26 JP JP3096750A patent/JP2803388B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60124783A (ja) * | 1983-12-10 | 1985-07-03 | Meidensha Electric Mfg Co Ltd | 画像処理装置 |
| JPS61123985A (ja) * | 1984-11-20 | 1986-06-11 | Meidensha Electric Mfg Co Ltd | 画像処理装置 |
| JPH01284743A (ja) * | 1988-05-10 | 1989-11-16 | Toshiba Corp | 半導体装置の樹脂モールドの外観検査方法とその検査装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017129569A (ja) * | 2015-12-11 | 2017-07-27 | ソイテックＳｏｉｔｅｃ | 欠陥を検出するための方法及び関連する装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2803388B2 (ja) | 1998-09-24 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6531707B1 (en) | Machine vision method for the inspection of a material for defects | |
| JP2018059772A (ja) | シート検査装置 | |
| JP2009293999A (ja) | 木材欠陥検出装置 | |
| JPH11311510A (ja) | 微小凹凸の検査方法および検査装置 | |
| JP3333472B2 (ja) | 褐色鶏卵における血卵の非破壊検出方法とその装置 | |
| KR100484812B1 (ko) | 이미지 센서를 이용한 표면 검사방법 및 검사장치 | |
| JP2001235425A (ja) | ペットボトルの偏肉検査方法および装置 | |
| JPH109836A (ja) | 物体の表面性状、ガラスの表面の粗度およびガラス成形型の評価方法 | |
| JP2803388B2 (ja) | 部品検査装置 | |
| JP3310524B2 (ja) | 外観検査方法 | |
| KR20070101669A (ko) | 마운팅 플레이트 어셈블리의 비전 검사장치 및 검사방법 | |
| JPH04364446A (ja) | 欠陥検査装置 | |
| JPH05130512A (ja) | 固体撮像素子の画素欠陥測定装置 | |
| JPH0843048A (ja) | 物品の外観検査システムの検査精度の補償方法及びその装置 | |
| JP4216062B2 (ja) | 欠陥検査方法 | |
| KR101349662B1 (ko) | 광학 필름의 결함 판별 방법 | |
| JP7524717B2 (ja) | 検査装置 | |
| JP3474619B2 (ja) | ２重映り検査方法 | |
| JP4093338B2 (ja) | 印刷物の自動評価装置 | |
| JPH10206344A (ja) | 光学的むら検査装置および光学的むら検査方法 | |
| JPH10170451A (ja) | 欠陥検査装置 | |
| JP2007081513A (ja) | 固体撮像素子のシミ欠陥検査方法 | |
| JPH05218160A (ja) | 半導体チップの外観検査装置 | |
| JPH04152254A (ja) | 表面状態検査装置 | |
| JP2024146180A (ja) | 検査システム、検査方法、および検査プログラム |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20070717 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080717 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090717 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100717 Year of fee payment: 12 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100717 Year of fee payment: 12 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110717 Year of fee payment: 13 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |