JPH04364446A - 欠陥検査装置 - Google Patents
欠陥検査装置Info
- Publication number
- JPH04364446A JPH04364446A JP3140290A JP14029091A JPH04364446A JP H04364446 A JPH04364446 A JP H04364446A JP 3140290 A JP3140290 A JP 3140290A JP 14029091 A JP14029091 A JP 14029091A JP H04364446 A JPH04364446 A JP H04364446A
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- JP
- Japan
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- inspected
- defects
- image
- processing device
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、テープ、フイルム等の
表面に存在する凹凸やきず等の欠陥を検査する装置に関
する。
表面に存在する凹凸やきず等の欠陥を検査する装置に関
する。
【０００２】
【従来の技術】従来、表面に存在する欠陥を検出する装
置として、例えば、特開昭５５−７０７３２号公報に示
す如く、被検査体の表面にＨｅ−Ｎｅレーザー光を照射
し、これが表面の凹凸によって、任意方向に散乱される
程度により表面状態を検査するものがある。
置として、例えば、特開昭５５−７０７３２号公報に示
す如く、被検査体の表面にＨｅ−Ｎｅレーザー光を照射
し、これが表面の凹凸によって、任意方向に散乱される
程度により表面状態を検査するものがある。
【０００３】
【発明が解決しようとする問題点】しかしながら、上記
従来の光照射−散乱方式による表面状態検査装置には、
下記の問題点がある。
従来の光照射−散乱方式による表面状態検査装置には、
下記の問題点がある。
【０００４】■光学系が複雑であり、装置が大型となる
。■ライン方向に流れるスジ状の欠陥の検出能が低い。 ■検出結果と、人間の目でとらえた感覚が必ずしも一致
しない。
。■ライン方向に流れるスジ状の欠陥の検出能が低い。 ■検出結果と、人間の目でとらえた感覚が必ずしも一致
しない。
【０００５】■広幅のテープ、フイルム等を検査する場
合、両端部での検出能力が低い。■感度を高く設定する
と、テープ表面にあるパルプによる異物等欠陥とならな
い物までも検出してしまう場合がある。
合、両端部での検出能力が低い。■感度を高く設定する
と、テープ表面にあるパルプによる異物等欠陥とならな
い物までも検出してしまう場合がある。
【０００６】本発明の欠陥検査・識別装置は、コンパク
トな装置構成により、欠陥の状態を人間の目に近い状態
で、確実に検査する事を目的とする。
トな装置構成により、欠陥の状態を人間の目に近い状態
で、確実に検査する事を目的とする。
【０００７】
【問題点を解決するための手段】本発明の欠陥検査装置
は、被検査体の表面を照明する照明装置と、被検査体の
表面を撮像する撮像装置と、撮像装置の撮像結果に基づ
いて被検査体の表面状態を検査する処理装置と、処理装
置の検査結果を出力する出力部とを有して構成される表
面欠陥検査装置であって、被検査体に対し上面斜め横方
向から投光し、その反射光を被検査体上面から撮像し、
処理装置は、画像両端の各々の平均濃度から照明による
濃度勾配を補正し、補正した濃度プロファイルから最大
値、最小値を求め、最大値、最小値の差と予め定めたし
きい値と比較することにより欠陥を検出する事を特徴と
する欠陥検査装置である。
は、被検査体の表面を照明する照明装置と、被検査体の
表面を撮像する撮像装置と、撮像装置の撮像結果に基づ
いて被検査体の表面状態を検査する処理装置と、処理装
置の検査結果を出力する出力部とを有して構成される表
面欠陥検査装置であって、被検査体に対し上面斜め横方
向から投光し、その反射光を被検査体上面から撮像し、
処理装置は、画像両端の各々の平均濃度から照明による
濃度勾配を補正し、補正した濃度プロファイルから最大
値、最小値を求め、最大値、最小値の差と予め定めたし
きい値と比較することにより欠陥を検出する事を特徴と
する欠陥検査装置である。
【０００８】
【作用】本発明によれば、下記■〜■の作用がある。■
テレビカメラ等の汎用性のある撮像装置を用いて表面状
態を検査でき、装置構成をコンパクトに出来る。
テレビカメラ等の汎用性のある撮像装置を用いて表面状
態を検査でき、装置構成をコンパクトに出来る。
【０００９】■表面の欠陥を人間に近い感覚で確実に検
出できる。■この発明の欠陥検査装置は、撮像装置が撮
像する画像両端の各々の平均濃度から照明による濃度勾
配を補正し、補正した濃度プロファイルから最大値、最
小値を求め、最大値、最小値の差と予め定めたしきい値
と比較することにより欠陥を検出する。
出できる。■この発明の欠陥検査装置は、撮像装置が撮
像する画像両端の各々の平均濃度から照明による濃度勾
配を補正し、補正した濃度プロファイルから最大値、最
小値を求め、最大値、最小値の差と予め定めたしきい値
と比較することにより欠陥を検出する。
【００１０】
【実施例】図１は、本発明の欠陥検査・識別装置の一例
を示すブロック図、２図は、本発明の装置の検査手順を
示すフロー図、図３は、濃度勾配補正方法を説明する図
、図４は、濃度勾配補正前と補正後の濃度プロファイル
の模式図、図５は、本発明による検査例を示す図である
。
を示すブロック図、２図は、本発明の装置の検査手順を
示すフロー図、図３は、濃度勾配補正方法を説明する図
、図４は、濃度勾配補正前と補正後の濃度プロファイル
の模式図、図５は、本発明による検査例を示す図である
。
【００１１】欠陥検査装置は、撮像装置１２と、照明１
１と、処理装置２０と、出力部３０を有し、被検査体１
０の欠陥を検査・識別する。欠陥検査装置の基本的動作
は、 １）被検査体１０に対し、その斜め上部から照明１１に
より照明し、反射光を撮像装置１２により撮像する。
１と、処理装置２０と、出力部３０を有し、被検査体１
０の欠陥を検査・識別する。欠陥検査装置の基本的動作
は、 １）被検査体１０に対し、その斜め上部から照明１１に
より照明し、反射光を撮像装置１２により撮像する。
【００１２】撮像装置１２は、画素単位でサンプリング
した多値画像を検査装置２０に転送する。 ２）検査装置２０は撮像装置１２の撮影データをＡ／Ｄ
変換器２１で例えば８ビット（２５６階調）にて量子化
し、Ｍ＊Ｎ画素のデジタル画像を作り、これを画像メモ
リ２２に入力する。
した多値画像を検査装置２０に転送する。 ２）検査装置２０は撮像装置１２の撮影データをＡ／Ｄ
変換器２１で例えば８ビット（２５６階調）にて量子化
し、Ｍ＊Ｎ画素のデジタル画像を作り、これを画像メモ
リ２２に入力する。
【００１３】３）検査装置２０は、画像メモリ２２に入
力された画像に基づいて、ＣＰＵ２３により表面の欠陥
の有無を検査する。 ４）出力装置３０は、検査装置２０の検査結果を表示し
、必要により警報を発生せしめる。
力された画像に基づいて、ＣＰＵ２３により表面の欠陥
の有無を検査する。 ４）出力装置３０は、検査装置２０の検査結果を表示し
、必要により警報を発生せしめる。
【００１４】尚、撮像装置１２としては、テレビカメラ
或いはＭ個の空間分解能を持つラインセンサーを用いる
ことが出来る。ラインセンサーを用いる場合、ラインセ
ンサーと被検査体とを相対移動させ、得られるＮ個群の
データを画像メモリ２２に蓄える。
或いはＭ個の空間分解能を持つラインセンサーを用いる
ことが出来る。ラインセンサーを用いる場合、ラインセ
ンサーと被検査体とを相対移動させ、得られるＮ個群の
データを画像メモリ２２に蓄える。
【００１５】検査装置２０は、必ずしも画像メモリ２２
を用いず、Ａ／Ｄ変換器２１の出力データを直接ＣＰＵ
２３に入力しても良い。本発明の異常判定までの流れを
図２を参照して説明する。
を用いず、Ａ／Ｄ変換器２１の出力データを直接ＣＰＵ
２３に入力しても良い。本発明の異常判定までの流れを
図２を参照して説明する。
【００１６】１）画像の左右両端各々の濃度平均値μＬ
、μＲを求める。 即ち、座標（ｉ，ｊ）の濃度をｆ（ｉ，ｊ）として
、μＲを求める。 即ち、座標（ｉ，ｊ）の濃度をｆ（ｉ，ｊ）として
【０
０１７】
０１７】
【数１】
【００１８】
【数２】
【００１９】とする。２）これら濃度平均値から次式に
従って照明による濃度勾配の補正を行う。照明は、画面
左方向から右方向へ投光されており、又、量子化を８ビ
ット、補正後の濃度をｇ（ｉ，ｊ）とすると、
従って照明による濃度勾配の補正を行う。照明は、画面
左方向から右方向へ投光されており、又、量子化を８ビ
ット、補正後の濃度をｇ（ｉ，ｊ）とすると、
【００２
０】
０】
【数３】
【００２１】ただし、ａ＝（μＲ−μＬ）／２５５＋μ
Ｌｂ：任意 ３）補正した方向の濃度プロファイルからその極大値Ｍ
Ｘｊ、極小値ＭＮｊを求め、 ４）その差分と予め定めておいたしきい値Ｔとを順に比
較し、 ＭＸｊ−ＭＮｊ＞Ｔ ：欠陥ありＭＸｊ−ＭＮｊ
≦Ｔ ：欠陥なし（Ｊ＝１，２，・・・，Ｎ） と判定し、結果を出力する。
Ｌｂ：任意 ３）補正した方向の濃度プロファイルからその極大値Ｍ
Ｘｊ、極小値ＭＮｊを求め、 ４）その差分と予め定めておいたしきい値Ｔとを順に比
較し、 ＭＸｊ−ＭＮｊ＞Ｔ ：欠陥ありＭＸｊ−ＭＮｊ
≦Ｔ ：欠陥なし（Ｊ＝１，２，・・・，Ｎ） と判定し、結果を出力する。
【００２２】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、コンパク
トな装置構成により、被検査体の欠陥を確実に検査する
ことができ、欠陥の分類が出来る。
トな装置構成により、被検査体の欠陥を確実に検査する
ことができ、欠陥の分類が出来る。
【図１】は、本発明の構成を示すブロック図である。
【図２】は、本発明の異常判定の流れを示すフロー図で
ある。
ある。
【図３】は、濃度勾配補正方法を説明する図である。
【図４】は、濃度勾配補正前と補正後の濃度プロファイ
ルの模式図である。
ルの模式図である。
【図５】は、本発明による検査結果の例である。
１０ 被検査体
１１ 照明装置
１２ 撮像装置
２０ 処理装置
２１ Ａ／Ｄ変換器
２２ 画像メモリ
２３ ＣＰＵ
３０ 出力部
Claims (1)
- 【請求項１】被検査体の表面を照明する照明装置と、被
検査体の表面を撮像する撮像装置と、撮像装置の撮像結
果に基づいて被検査体の表面状態を検査する処理装置と
、処理装置の検査結果を出力する出力部とを有して構成
される表面欠陥検査装置であって、被検査体に対し上面
斜め横方向から投光し、その反射光を被検査体上面から
撮像し、処理装置は、画像両端の各々の平均濃度から照
明による濃度勾配を補正し、補正した濃度プロファイル
から最大値、最小値を求め、最大値、最小値の差と予め
定めたしきい値と比較することにより欠陥を検出する事
を特徴とする欠陥検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3140290A JPH04364446A (ja) | 1991-06-12 | 1991-06-12 | 欠陥検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3140290A JPH04364446A (ja) | 1991-06-12 | 1991-06-12 | 欠陥検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04364446A true JPH04364446A (ja) | 1992-12-16 |
Family
ID=15265355
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3140290A Pending JPH04364446A (ja) | 1991-06-12 | 1991-06-12 | 欠陥検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04364446A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004191200A (ja) * | 2002-12-11 | 2004-07-08 | Ckd Corp | 三次元計測装置 |
| JP2008151814A (ja) * | 2000-03-08 | 2008-07-03 | Fujifilm Corp | フィルムの欠陥検査装置およびフィルムの欠陥検査方法 |
| CN111007076A (zh) * | 2018-10-05 | 2020-04-14 | 柯尼卡美能达株式会社 | 图像检查装置、图像检查方法以及图像检查程序 |
-
1991
- 1991-06-12 JP JP3140290A patent/JPH04364446A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008151814A (ja) * | 2000-03-08 | 2008-07-03 | Fujifilm Corp | フィルムの欠陥検査装置およびフィルムの欠陥検査方法 |
| JP2012137502A (ja) * | 2000-03-08 | 2012-07-19 | Fujifilm Corp | 複屈折特性を有する部材の検査方法および複屈折特性を有する部材の製造方法 |
| JP2004191200A (ja) * | 2002-12-11 | 2004-07-08 | Ckd Corp | 三次元計測装置 |
| CN111007076A (zh) * | 2018-10-05 | 2020-04-14 | 柯尼卡美能达株式会社 | 图像检查装置、图像检查方法以及图像检查程序 |
| CN111007076B (zh) * | 2018-10-05 | 2022-08-23 | 柯尼卡美能达株式会社 | 图像检查装置、图像检查方法以及记录介质 |
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