JPH0432956B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0432956B2 JPH0432956B2 JP2600984A JP2600984A JPH0432956B2 JP H0432956 B2 JPH0432956 B2 JP H0432956B2 JP 2600984 A JP2600984 A JP 2600984A JP 2600984 A JP2600984 A JP 2600984A JP H0432956 B2 JPH0432956 B2 JP H0432956B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cryopump
- shield plate
- opening
- unit
- cooled
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 14
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 11
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 239000001307 helium Substances 0.000 claims description 4
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 17
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 1
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 1
- 230000009191 jumping Effects 0.000 description 1
- 230000001151 other effect Effects 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は真空排気用ポンプとして使用される大
容量クライオポンプに関する。
容量クライオポンプに関する。
真空排気用ポンプとして使用されているクライ
オポンプの構造の概略は第１図に示される構成で
ある。第１図において、１はクライオパネルで
4.2K又はそれ以下の温度の液体ヘリウムで冷却
される。クライオパネル１は排気用の開口部をの
ぞいて約80Kの液体窒素で冷却されたシールド板
２で囲まれており、開口部には波形格子状のシエ
ブロンバツフル又はルーバーブラインド３（図で
は線で示してあるが実際は薄い板厚を有するもの
であつて他図も同様である）等で構成されてい
る。クライオポンプの排気作用は、真空容器４内
の残留気体分子をシエブロンバツフル又はルーバ
ーブラインド３等の開口部を通してみちびき、
4.2K又はそれ以下の温度に冷却されたクライオ
パネル１の表面に凝縮吸着することにより生じ
る。
オポンプの構造の概略は第１図に示される構成で
ある。第１図において、１はクライオパネルで
4.2K又はそれ以下の温度の液体ヘリウムで冷却
される。クライオパネル１は排気用の開口部をの
ぞいて約80Kの液体窒素で冷却されたシールド板
２で囲まれており、開口部には波形格子状のシエ
ブロンバツフル又はルーバーブラインド３（図で
は線で示してあるが実際は薄い板厚を有するもの
であつて他図も同様である）等で構成されてい
る。クライオポンプの排気作用は、真空容器４内
の残留気体分子をシエブロンバツフル又はルーバ
ーブラインド３等の開口部を通してみちびき、
4.2K又はそれ以下の温度に冷却されたクライオ
パネル１の表面に凝縮吸着することにより生じ
る。
クライオポンプの特徴としては、10-6Torr程
度の真空において単位開口面積当り数ｌ／sec・
cm2と大きな排気速度を有することである。この排
気速度を決定する重要な因子に開口部形状、すな
わち、シエブロンバツフル又はルーバーブライン
ドの開き角度，取付ピツチ等の形状がある。
度の真空において単位開口面積当り数ｌ／sec・
cm2と大きな排気速度を有することである。この排
気速度を決定する重要な因子に開口部形状、すな
わち、シエブロンバツフル又はルーバーブライン
ドの開き角度，取付ピツチ等の形状がある。
最近、第２図に示される様にクライオパネル１
とルーバーブラインド３を使用した複数個のクラ
イオポンプユニツト６をほぼ平行に並べたユニツ
ト方式のクライオポンプが考案されている。ルー
バーブラインド３は気体分子通過確率ηがシエブ
ロンバツフルの通過確率の２倍程度大きくとれる
ことが特徴とされている。第３図にその一部分の
詳細形状を示す。
とルーバーブラインド３を使用した複数個のクラ
イオポンプユニツト６をほぼ平行に並べたユニツ
ト方式のクライオポンプが考案されている。ルー
バーブラインド３は気体分子通過確率ηがシエブ
ロンバツフルの通過確率の２倍程度大きくとれる
ことが特徴とされている。第３図にその一部分の
詳細形状を示す。
第３図に示す様に、クライオパネル１は気体分
子の進入方向５に平行に配置され、その両側にθ1
の開き角のルーバー３が一定のピツチで設けられ
ている。各ユニツト６相互間の距離をａ、ユニツ
ト６の幅をｂとすると、ユニツト６当りの気体分
子の通過確率ηは次式で決定される。
子の進入方向５に平行に配置され、その両側にθ1
の開き角のルーバー３が一定のピツチで設けられ
ている。各ユニツト６相互間の距離をａ、ユニツ
ト６の幅をｂとすると、ユニツト６当りの気体分
子の通過確率ηは次式で決定される。
η＝ηa・ａ／（ａ＋ｂ）
ここでηaはユニツト６相互間の通過確率を示
す。ユニツト６相互間の通過確率ηaは、バツフル
板又はルーバーブラインド３の形状およびシール
ド板２の形状で決まる。
す。ユニツト６相互間の通過確率ηaは、バツフル
板又はルーバーブラインド３の形状およびシール
ド板２の形状で決まる。
ところで、第３図の様な開口部７の形状におい
て、開口部７前面から進入方向５にて入射する気
体分子は、直進して背面のシールド板２に当り、
反射して開口部７から飛び出すものがある。この
飛び出す気体分子により、ユニツト６相互間での
通過確率ηaが制約される。このため、排気速度
を、より速くするためには、開口部７に入射した
気体分子が飛び出してくることを防止すれば、ユ
ニツト６相互間での通過確率ηaが大きくなり、排
気速度がより速くなる。
て、開口部７前面から進入方向５にて入射する気
体分子は、直進して背面のシールド板２に当り、
反射して開口部７から飛び出すものがある。この
飛び出す気体分子により、ユニツト６相互間での
通過確率ηaが制約される。このため、排気速度
を、より速くするためには、開口部７に入射した
気体分子が飛び出してくることを防止すれば、ユ
ニツト６相互間での通過確率ηaが大きくなり、排
気速度がより速くなる。
本発明は大容量で高排気速度を有するクライオ
ポンプを提供することを目的とする。
ポンプを提供することを目的とする。
本発明においては、液体のヘリウムで冷却され
るクライオパネルとその両側に液体窒素で冷却さ
れるルーバーブラインドが配置されたクライオポ
ンプユニツトを複数個ほぼ平行に並べ、このクラ
イオポンプユニツト群の背面に液体窒素で冷却さ
れるシールド板を配設して構成されるクライオポ
ンプにおいて、シールド板の各クライオポンプユ
ニツト間開口部側に山形状に突出した反射部を設
けることにより、開口部から入射し、シールド板
で反射した気体分子を、積極的にクライオポンプ
ユニツトに到達させ、開口部から飛び出す気体分
子を少なくし、開口部の気体分子の通過確率を大
にして、クライオポンプとしての排気速度を増大
させるものである。
るクライオパネルとその両側に液体窒素で冷却さ
れるルーバーブラインドが配置されたクライオポ
ンプユニツトを複数個ほぼ平行に並べ、このクラ
イオポンプユニツト群の背面に液体窒素で冷却さ
れるシールド板を配設して構成されるクライオポ
ンプにおいて、シールド板の各クライオポンプユ
ニツト間開口部側に山形状に突出した反射部を設
けることにより、開口部から入射し、シールド板
で反射した気体分子を、積極的にクライオポンプ
ユニツトに到達させ、開口部から飛び出す気体分
子を少なくし、開口部の気体分子の通過確率を大
にして、クライオポンプとしての排気速度を増大
させるものである。
以下、本発明の一実施例について第４図を参照
して説明する。尚、全体概略構造は第２図の通り
であつて、第２図のシールド板２を第４図の様に
したものが本実施例であるので、第２図も参照さ
れたい。そして第４図において、第３図と同一部
分には同一符号を付し、一部重複するが説明を加
える。
して説明する。尚、全体概略構造は第２図の通り
であつて、第２図のシールド板２を第４図の様に
したものが本実施例であるので、第２図も参照さ
れたい。そして第４図において、第３図と同一部
分には同一符号を付し、一部重複するが説明を加
える。
液体ヘリウムで冷却されるクライオパネル１は
気体分子の進行方向５にほぼ平行に複数個配列さ
れ、それぞれの両側には液体窒素で冷却されるル
ーバーブラインド３が配置され、それぞれクライ
オポンプユニツト６を形成している。ルーバーブ
ラインド３は表面を黒化処理され、輻射率をほぼ
１に近くしてある。また背面にはプレス加工で折
曲されて、開口部７側に山形状に突出した反射部
８を有するシールド板２が配設される。このシー
ルド板２は液体窒素で冷却すると共にクライオポ
ンプユニツト６側の表面を黒化処理して輻射率を
ほぼ１に近くしてある。
気体分子の進行方向５にほぼ平行に複数個配列さ
れ、それぞれの両側には液体窒素で冷却されるル
ーバーブラインド３が配置され、それぞれクライ
オポンプユニツト６を形成している。ルーバーブ
ラインド３は表面を黒化処理され、輻射率をほぼ
１に近くしてある。また背面にはプレス加工で折
曲されて、開口部７側に山形状に突出した反射部
８を有するシールド板２が配設される。このシー
ルド板２は液体窒素で冷却すると共にクライオポ
ンプユニツト６側の表面を黒化処理して輻射率を
ほぼ１に近くしてある。
次に作用について説明する。
開口部７側からシールド板２に向つて直進して
来る気体分子は山形状の反射部８にてクライオポ
ンプユニツト６へ向かつて反射されるため、クラ
イオパネル１面に到達し易くなる。従つて開口部
７から飛び出す気体分子を減少させる。このこと
は、開口部７の気体分子の通過確率を増加させ、
クライオポンプとしての排気速度を増大させる。
来る気体分子は山形状の反射部８にてクライオポ
ンプユニツト６へ向かつて反射されるため、クラ
イオパネル１面に到達し易くなる。従つて開口部
７から飛び出す気体分子を減少させる。このこと
は、開口部７の気体分子の通過確率を増加させ、
クライオポンプとしての排気速度を増大させる。
第５図に示す他の実施例は、反射部８としては
シールド板２に対して、別に製作した山形反射板
９を図示しないボルト、ナツト又は溶接にてシー
ルド板２に取付けたものである。他は第４図に示
した実施例と同様である。
シールド板２に対して、別に製作した山形反射板
９を図示しないボルト、ナツト又は溶接にてシー
ルド板２に取付けたものである。他は第４図に示
した実施例と同様である。
このようにすると、既設のクライオポンプを簡
単に改造でき、その他の作用効果は第４図に示し
た実施例と同様である。
単に改造でき、その他の作用効果は第４図に示し
た実施例と同様である。
以上説明したように、本発明によれば、開口部
から直進してくる気体分子を、シールド板に設け
た山形状の反射部でクライオポンプユニツト側に
反射させるようにしたから、開口部からの気体分
子の通過確率を増大させ、従つて、排気速度を増
大させたクライオポンプを得ることができる。
から直進してくる気体分子を、シールド板に設け
た山形状の反射部でクライオポンプユニツト側に
反射させるようにしたから、開口部からの気体分
子の通過確率を増大させ、従つて、排気速度を増
大させたクライオポンプを得ることができる。
第１図はクライオポンプの構成を示す模式的断
面図、第２図は従来のクライオポンプの要部を示
す断面図、第３図は第２図のユニツト２個を拡大
して示す断面図、第４図および第５図はそれぞれ
異なる本発明のクライオポンプの実施例の要部を
示す断面図である。 １……クライオパネル、２……シールド板、３
……ルーバーブラインド、５……気体分子進行方
向、６……ユニツト、７……開口部、８……反射
部、９……山形反射板。
面図、第２図は従来のクライオポンプの要部を示
す断面図、第３図は第２図のユニツト２個を拡大
して示す断面図、第４図および第５図はそれぞれ
異なる本発明のクライオポンプの実施例の要部を
示す断面図である。 １……クライオパネル、２……シールド板、３
……ルーバーブラインド、５……気体分子進行方
向、６……ユニツト、７……開口部、８……反射
部、９……山形反射板。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 液体ヘリウムで冷却されるクライオパネルと
その両側に液体窒素で冷却されるルーバーブライ
ンドが配置されたクライオポンプユニツトを複数
個ほぼ平行に並べ、このクライオポンプユニツト
群の背面に液体窒素で冷却されるシールド板を配
設して構成されるクライオポンプにおいて、シー
ルド板の各クライオポンプユニツト間開口部側に
山形状に突出した反射部を設けたことを特徴とす
るクライオポンプ。 ２ 反射部はシールド板を折曲して形成したこと
を特徴とする特許請求の範囲第１項記載のクライ
オポンプ。 ３ 反射部はシールド板とは別に形成した山形反
射板としたことを特徴とする特許請求の範囲第１
項記載のクライオポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2600984A JPS60173378A (ja) | 1984-02-16 | 1984-02-16 | クライオポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2600984A JPS60173378A (ja) | 1984-02-16 | 1984-02-16 | クライオポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60173378A JPS60173378A (ja) | 1985-09-06 |
| JPH0432956B2 true JPH0432956B2 (ja) | 1992-06-01 |
Family
ID=12181695
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2600984A Granted JPS60173378A (ja) | 1984-02-16 | 1984-02-16 | クライオポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60173378A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2019099862A1 (en) | 2017-11-17 | 2019-05-23 | Brooks Automation, Inc. | Cryopump with peripheral first and second stage arrays |
-
1984
- 1984-02-16 JP JP2600984A patent/JPS60173378A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60173378A (ja) | 1985-09-06 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2648560B2 (ja) | 散乱光式煙感知器 | |
| CN85108631A (zh) | 用于电子束处理机的高功率窗口和支承结构 | |
| JP2731276B2 (ja) | ２段式の冷凍機により作動されるクライオポンプ | |
| CN112310593B (zh) | 车载通信天线 | |
| KR200252277Y1 (ko) | 방음판 | |
| JPH0432956B2 (ja) | ||
| EP0379992B1 (en) | Cryopump | |
| JP3565844B2 (ja) | フロスト濃縮装置を有する低温ポンプおよび低温パネル | |
| JPH037028B2 (ja) | ||
| US2678580A (en) | Image inverting apparatus | |
| US4620269A (en) | Headlamp for vehicle | |
| JPS63277874A (ja) | クライオポンプ | |
| JPH02271088A (ja) | クライオポンプ | |
| US4155046A (en) | Segmented amplifier configurations for laser amplifier | |
| JPS61123776A (ja) | クライオポンプ | |
| JPH08248320A (ja) | 集光器 | |
| JP2512129B2 (ja) | クライオポンプ | |
| JPH02191876A (ja) | 熱シールド板付クライオポンプ | |
| JPS6269096A (ja) | 熱交換器 | |
| JPS6066057A (ja) | 太陽熱集熱器 | |
| JPH09329399A (ja) | 視察窓 | |
| JPH0432957B2 (ja) | ||
| JP7217611B2 (ja) | 遮音パネル及び遮音壁 | |
| JP3018526B2 (ja) | クライオポンプ | |
| JP3027861B2 (ja) | クライオポンプ |