JPH04329677A - 赤外線検出素子 - Google Patents
赤外線検出素子Info
- Publication number
- JPH04329677A JPH04329677A JP3126749A JP12674991A JPH04329677A JP H04329677 A JPH04329677 A JP H04329677A JP 3126749 A JP3126749 A JP 3126749A JP 12674991 A JP12674991 A JP 12674991A JP H04329677 A JPH04329677 A JP H04329677A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light receiving
- electrode
- section
- receiving section
- infrared
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 10
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract description 14
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 abstract description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000000992 sputter etching Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Radiation Pyrometers (AREA)
- Light Receiving Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、赤外線検出素子の構造
に関する。
に関する。
【０００２】
【従来の技術】赤外線検出器は、物体から放射された赤
外線をフィルター，レンズ等からなる光学系で赤外線検
出素子に集光し、赤外線検出素子内で光電変換されて生
成した電気信号を処理して赤外線を検出するものである
。赤外線検出素子のうち、従来の光伝導型の素子につい
て図３を用いて説明すると、赤外線検出素子は、赤外線
に感知させる受光部３２と、光電変換された電気信号を
外部に伝達する電極部３３とから構成されている。電極
部３３は、一般的に蒸着法により形成されるため、その
表面は鏡面状態を有しており、赤外線はほぼ１００％反
射する。
外線をフィルター，レンズ等からなる光学系で赤外線検
出素子に集光し、赤外線検出素子内で光電変換されて生
成した電気信号を処理して赤外線を検出するものである
。赤外線検出素子のうち、従来の光伝導型の素子につい
て図３を用いて説明すると、赤外線検出素子は、赤外線
に感知させる受光部３２と、光電変換された電気信号を
外部に伝達する電極部３３とから構成されている。電極
部３３は、一般的に蒸着法により形成されるため、その
表面は鏡面状態を有しており、赤外線はほぼ１００％反
射する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】図３に示すように、物
体から放射された赤外線が受光部３２に入射する経路は
２種類ある。第１は、３４に示すようにフィルター，レ
ンズ等からなる光学系３１で集光されて直接受光部３２
に入射する経路であり、第２は、３５に示すように、同
様に光学系３１で集光されて受光部３２近傍の電極部３
３に入射し、電極部３３でほぼ１００％反射され再び光
学系３１に戻り、光学系３１でその一部が反射されて受
光部３２に入射する経路である。赤外線検出素子の空間
分解能は、光学系３１から直接受光部３２に入射する赤
外線３４だけを考えれば赤外線検出素子の受光部３２の
大きさで決るが、それ以外に前述したように受光部３２
の近傍の電極部３３と、光学系３１で反射して再び受光
部３２に入射する迷光３６があると、空間分解能は実効
的に受光部３２近傍の電極部３３を含む大きさになって
しまう。迷光３６として受光部３２に入射させてしまう
電極部３３の領域は、光学系３１の構成、光学系３１と
赤外線検出素子との距離等により異なるが、この空間分
解能の劣化は受光部３２の面積が小さくなればなるほど
顕著に現れる。
体から放射された赤外線が受光部３２に入射する経路は
２種類ある。第１は、３４に示すようにフィルター，レ
ンズ等からなる光学系３１で集光されて直接受光部３２
に入射する経路であり、第２は、３５に示すように、同
様に光学系３１で集光されて受光部３２近傍の電極部３
３に入射し、電極部３３でほぼ１００％反射され再び光
学系３１に戻り、光学系３１でその一部が反射されて受
光部３２に入射する経路である。赤外線検出素子の空間
分解能は、光学系３１から直接受光部３２に入射する赤
外線３４だけを考えれば赤外線検出素子の受光部３２の
大きさで決るが、それ以外に前述したように受光部３２
の近傍の電極部３３と、光学系３１で反射して再び受光
部３２に入射する迷光３６があると、空間分解能は実効
的に受光部３２近傍の電極部３３を含む大きさになって
しまう。迷光３６として受光部３２に入射させてしまう
電極部３３の領域は、光学系３１の構成、光学系３１と
赤外線検出素子との距離等により異なるが、この空間分
解能の劣化は受光部３２の面積が小さくなればなるほど
顕著に現れる。
【０００４】本発明の目的は、迷光の発生をなくした赤
外線検出素子を提供することにある。
外線検出素子を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
、本発明による赤外線検出素子においては、受光部と、
電極部とを有する赤外線検出素子であって、受光部は、
赤外線を感知させるものであり、電極部は、光電変換さ
れた電気信号を外部に伝達するものであり、受光部を囲
んで蒸着法で形成され、受光部に接する部分の電極部の
上面には、上傾方向の傾斜面を有するものである。
、本発明による赤外線検出素子においては、受光部と、
電極部とを有する赤外線検出素子であって、受光部は、
赤外線を感知させるものであり、電極部は、光電変換さ
れた電気信号を外部に伝達するものであり、受光部を囲
んで蒸着法で形成され、受光部に接する部分の電極部の
上面には、上傾方向の傾斜面を有するものである。
【０００６】
【作用】電極部の端縁近くに入光した赤外線は、電極部
の傾斜面で反射して光学系より大きくそれるため、再び
受光部に入射することがない。
の傾斜面で反射して光学系より大きくそれるため、再び
受光部に入射することがない。
【０００７】
【実施例】以下に本発明の実施例を図によって説明する
。図１において、本発明による赤外線検出素子において
は、赤外線を感知させる受光部１２と、光電変換された
電気信号を外部に伝達する電極部１３とを有し、受光部
１２を囲む電極部１３の開口縁を一定範囲にわたり上傾
方向に傾斜する傾斜面１６としたものである。
。図１において、本発明による赤外線検出素子において
は、赤外線を感知させる受光部１２と、光電変換された
電気信号を外部に伝達する電極部１３とを有し、受光部
１２を囲む電極部１３の開口縁を一定範囲にわたり上傾
方向に傾斜する傾斜面１６としたものである。
【０００８】実施例においては、電極部１３の端縁が受
光部１２より離れて上方に立上り、電極部１３間に開口
を形成し、その開口内に受光部１２が形成されたもので
ある。なお、電極部１３の開口端面は、少なくとも垂直
面をなしており、上方から光線が受光されない角度に設
定されている。
光部１２より離れて上方に立上り、電極部１３間に開口
を形成し、その開口内に受光部１２が形成されたもので
ある。なお、電極部１３の開口端面は、少なくとも垂直
面をなしており、上方から光線が受光されない角度に設
定されている。
【０００９】図において、物体から放射された赤外線は
、フィルター，レンズ等からなる光学系１１で集光され
、受光部１２及び電極部１３上に入射する。したがって
、受光部１２上に直接入射する赤外線１４のほか、受光
部近傍の電極部１３上に入射する赤外線１５が存在する
点は従来と同じであるが、受光部近傍の電極部１３に入
射した赤外線１５は、電極部１３の傾斜面１６上で反射
し、受光部１２とは反対側の方向に大きくそれて出射す
ることとなり、傾斜面１６上で反射した赤外線１５が再
び受光部１２へ直接又は、光学系１１に戻ることがなく
、したがって光学系１１で再反射して受光部１２に入射
することがないため、空間分解能は、電極部１３の開口
の大きさで正確に定めることができる。
、フィルター，レンズ等からなる光学系１１で集光され
、受光部１２及び電極部１３上に入射する。したがって
、受光部１２上に直接入射する赤外線１４のほか、受光
部近傍の電極部１３上に入射する赤外線１５が存在する
点は従来と同じであるが、受光部近傍の電極部１３に入
射した赤外線１５は、電極部１３の傾斜面１６上で反射
し、受光部１２とは反対側の方向に大きくそれて出射す
ることとなり、傾斜面１６上で反射した赤外線１５が再
び受光部１２へ直接又は、光学系１１に戻ることがなく
、したがって光学系１１で再反射して受光部１２に入射
することがないため、空間分解能は、電極部１３の開口
の大きさで正確に定めることができる。
【００１０】本発明による赤外線検出素子は、図２の（
ａ）〜（ｄ）の製造工程によって得られる。
ａ）〜（ｄ）の製造工程によって得られる。
【００１１】（ａ）基板の結晶２２上に、露光，現像時
間の調整により、側面に傾斜を有する第１レジストパタ
ーン２１を形成する。 （ｂ）第１レジストパターン２１を形成後、蒸着法によ
り全面に電極膜を形成し、その上に、第１レジストパタ
ーン２１の上面の電極膜２３のみが露出するように第２
レジストパターン２４を形成する。 （ｃ）イオンミリングによって、第２レジストパターン
２４でカバーされていない部分２５のみをエッチングす
る。 （ｄ）第１レジストパターン２１及び第２レジストパタ
ーン２４を取り除けば、図示のように受光部１２に接す
る部分の近傍に傾斜面１６を有する電極部１３が得られ
る。
間の調整により、側面に傾斜を有する第１レジストパタ
ーン２１を形成する。 （ｂ）第１レジストパターン２１を形成後、蒸着法によ
り全面に電極膜を形成し、その上に、第１レジストパタ
ーン２１の上面の電極膜２３のみが露出するように第２
レジストパターン２４を形成する。 （ｃ）イオンミリングによって、第２レジストパターン
２４でカバーされていない部分２５のみをエッチングす
る。 （ｄ）第１レジストパターン２１及び第２レジストパタ
ーン２４を取り除けば、図示のように受光部１２に接す
る部分の近傍に傾斜面１６を有する電極部１３が得られ
る。
【００１２】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、電極部に
入射した赤外線が再び再反射して受光部に入射すること
がなく、空間分解能の劣化を防止できる効果を有する。
入射した赤外線が再び再反射して受光部に入射すること
がなく、空間分解能の劣化を防止できる効果を有する。
【図１】本発明の一実施例を示す図である。
【図２】赤外線検出素子の製造工程を示す図である。
【図３】従来例を示す図である。
１２ 電極部
１３ 受光部
１６ 傾斜面
Claims (1)
- 【請求項１】 受光部と、電極部とを有する赤外線検
出素子であって、受光部は、赤外線を感知させるもので
あり、電極部は、光電変換された電気信号を外部に伝達
するものであり、受光部を囲んで蒸着法で形成され、受
光部に接する部分の電極部の上面には、上傾方向の傾斜
面を有することを特徴とする赤外線検出素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3126749A JPH04329677A (ja) | 1991-04-30 | 1991-04-30 | 赤外線検出素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3126749A JPH04329677A (ja) | 1991-04-30 | 1991-04-30 | 赤外線検出素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04329677A true JPH04329677A (ja) | 1992-11-18 |
Family
ID=14942963
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3126749A Pending JPH04329677A (ja) | 1991-04-30 | 1991-04-30 | 赤外線検出素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04329677A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007156150A (ja) * | 2005-12-06 | 2007-06-21 | Ricoh Co Ltd | 画像形成装置 |
-
1991
- 1991-04-30 JP JP3126749A patent/JPH04329677A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007156150A (ja) * | 2005-12-06 | 2007-06-21 | Ricoh Co Ltd | 画像形成装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5514888A (en) | On-chip screen type solid state image sensor and manufacturing method thereof | |
| KR920010921B1 (ko) | 이미지 센서(Image Sensor) | |
| US5952645A (en) | Light-sensing array with wedge-like reflective optical concentrators | |
| US4698492A (en) | Focus detector system with a distortion compensation mask | |
| US20110134040A1 (en) | Optical navigation device | |
| TWI772828B (zh) | 指紋感測模組 | |
| JPH04329677A (ja) | 赤外線検出素子 | |
| JPS5855909A (ja) | 光学像検出装置 | |
| JP4999595B2 (ja) | 反射型フォトセンサ | |
| US5216248A (en) | Photodetector with mask for stable output signal | |
| JPS6212154A (ja) | 固体撮像装置 | |
| JPS6439543A (en) | Defective inspection device | |
| JPH10335618A (ja) | 光センサ・アレイ | |
| JPH05251673A (ja) | 光検出装置 | |
| JPH051790Y2 (ja) | ||
| JP2580964B2 (ja) | エンボスカード読取装置 | |
| JPS6098462A (ja) | 拡散反射型カラ−トナ−濃度検出装置 | |
| JPS614274A (ja) | 画像情報読み取り装置 | |
| JPH07167710A (ja) | 日射センサ | |
| JP2004028667A (ja) | 光電式エンコーダおよびスケールの製造方法 | |
| JPH04284034A (ja) | 光ｉｃパッケージ | |
| JPH03201488A (ja) | 光学素子 | |
| JPS62105469A (ja) | 読取り装置及びその製法 | |
| JPH0618411B2 (ja) | 密着型読み取り装置 | |
| JPH03276033A (ja) | 赤外線検出器 |