JPH0432991B2 - - Google Patents
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- JPH0432991B2 JPH0432991B2 JP58032778A JP3277883A JPH0432991B2 JP H0432991 B2 JPH0432991 B2 JP H0432991B2 JP 58032778 A JP58032778 A JP 58032778A JP 3277883 A JP3277883 A JP 3277883A JP H0432991 B2 JPH0432991 B2 JP H0432991B2
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- Japan
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- optical
- magnetic field
- signal
- magnetic
- light
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
- G01R33/02—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
- G01R33/032—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux using magneto-optic devices, e.g. Faraday or Cotton-Mouton effect
- G01R33/0322—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux using magneto-optic devices, e.g. Faraday or Cotton-Mouton effect using the Faraday or Voigt effect
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Magnetic Variables (AREA)
- Measuring Instrument Details And Bridges, And Automatic Balancing Devices (AREA)
- Light Guides In General And Applications Therefor (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、フアラデ効果を有する磁気旋光体に
よつて回転される偏光面の回転角を検出し、これ
によつて磁界強度を検出する磁界センサに関す
る。
よつて回転される偏光面の回転角を検出し、これ
によつて磁界強度を検出する磁界センサに関す
る。
この種の磁界センサとしては、第１図又は第２
図に示すものが提案されている。第１図に示すも
のは磁界の強度Ｈそのものを計測するものであ
り、第２図に示すものは導体に流れる電流Ｉによ
つて形成される磁界の強度Ｈを計測し、これによ
つて電流Ｉを計測しようとする変流器の一例であ
る。
図に示すものが提案されている。第１図に示すも
のは磁界の強度Ｈそのものを計測するものであ
り、第２図に示すものは導体に流れる電流Ｉによ
つて形成される磁界の強度Ｈを計測し、これによ
つて電流Ｉを計測しようとする変流器の一例であ
る。
第１図に示すように、発光ダイオード等からな
る発光部１から射出される光は、光フアイバ２を
介して集光レンズ３に導びかれ、集光レンズ３に
より平行光に近い光になつて偏光子４に入射さ
れ、この偏光子４により取り出された偏光が磁気
旋光体５に入射されるようになつている。磁気旋
光体５は置かれた磁界の強度Ｈ（図示矢印方向）
によつていわゆるフアラデ効果を示すもの、例え
ば鉛ガラスや磁性膜等によつて形成されている。
したがつて、磁気旋光体５一端面に入射された偏
光の偏光面は、磁界強度Ｈに比例してθだけ回転
されて他端面から射出される。この射出光は偏光
プリズム又は偏光ビームスプリツタ等からなる検
光子７に入射され、ここにおいて直角２成分（Ｘ
成分、Ｙ成分）のベクトル光に分光されるように
なつている。これらのベクトル光はそれぞれ集光
レンズ８，９によつて集光されて光量信号PX，
PYとなり、光フアイバ１０，１１を介して受光
素子１２，１３に導かれるようになつている。受
光素子１２，１３は例えばフオトダイオードから
形成されており、受光する光量信号PX，PYに比
例した電流信号を出力する光電変換器である。磁
界が交番磁界の場合を例にとれば、この電流信号
は電流電圧変換アンプ１４，１５によつて、次式
(1)、(2)に示す電圧信号VX，VYに変換されるよう
になつている。なお、同式中のK1は定数である。
る発光部１から射出される光は、光フアイバ２を
介して集光レンズ３に導びかれ、集光レンズ３に
より平行光に近い光になつて偏光子４に入射さ
れ、この偏光子４により取り出された偏光が磁気
旋光体５に入射されるようになつている。磁気旋
光体５は置かれた磁界の強度Ｈ（図示矢印方向）
によつていわゆるフアラデ効果を示すもの、例え
ば鉛ガラスや磁性膜等によつて形成されている。
したがつて、磁気旋光体５一端面に入射された偏
光の偏光面は、磁界強度Ｈに比例してθだけ回転
されて他端面から射出される。この射出光は偏光
プリズム又は偏光ビームスプリツタ等からなる検
光子７に入射され、ここにおいて直角２成分（Ｘ
成分、Ｙ成分）のベクトル光に分光されるように
なつている。これらのベクトル光はそれぞれ集光
レンズ８，９によつて集光されて光量信号PX，
PYとなり、光フアイバ１０，１１を介して受光
素子１２，１３に導かれるようになつている。受
光素子１２，１３は例えばフオトダイオードから
形成されており、受光する光量信号PX，PYに比
例した電流信号を出力する光電変換器である。磁
界が交番磁界の場合を例にとれば、この電流信号
は電流電圧変換アンプ１４，１５によつて、次式
(1)、(2)に示す電圧信号VX，VYに変換されるよう
になつている。なお、同式中のK1は定数である。
VX＝K1（１＋sin2θ） ……(1)
VY＝K1（１−sin2θ） ……(2)
電圧信号VXはアナログ加算器１６，１７の＋
入力端に入力され、電圧信号VYはアナログ加算
器１６の＋入力端とアナログ加算器１７の−入力
端にそれぞれ入力されている。アナログ加算器１
７の出力は割算器１８の分子入力端に、アナログ
加算器１６の出力は割算器１８の分母入力端にそ
れぞれ入力されている。これによつて、割算器１
８から出力される信号V0は次式(3)で表わされた
ものとなる。
入力端に入力され、電圧信号VYはアナログ加算
器１６の＋入力端とアナログ加算器１７の−入力
端にそれぞれ入力されている。アナログ加算器１
７の出力は割算器１８の分子入力端に、アナログ
加算器１６の出力は割算器１８の分母入力端にそ
れぞれ入力されている。これによつて、割算器１
８から出力される信号V0は次式(3)で表わされた
ものとなる。
V0＝VX−VY／VX＋VY＝sin2θ ……(3)
式(3)で、θ＜＜１なる範囲においては次式(4)が
成立する。なお、同式中K2は比例定数である。
成立する。なお、同式中K2は比例定数である。
V0≒2θ＝K2・Ｈ ……(4)
即ち、式(4)から明らかなように、割算器１８の
出力信号V0によつて磁界強度Ｈを検出するよう
になつているのである。
出力信号V0によつて磁界強度Ｈを検出するよう
になつているのである。
第２図は前述したように磁界センサを変流器に
適用した場合の一例である。即ち、導体６に流れ
る交流電流Ｉを検出しようとするものである。磁
気旋光体５には導体６が貫通される孔が形成され
ており、偏光子４から射出された光は磁気旋光体
５内を図示点線で示した光路を経て、検光子７に
導びかれるようになつている。即ち、光は導体６
を周回するようになつている。その他は第１図図
示例と同一に構成されている。
適用した場合の一例である。即ち、導体６に流れ
る交流電流Ｉを検出しようとするものである。磁
気旋光体５には導体６が貫通される孔が形成され
ており、偏光子４から射出された光は磁気旋光体
５内を図示点線で示した光路を経て、検光子７に
導びかれるようになつている。即ち、光は導体６
を周回するようになつている。その他は第１図図
示例と同一に構成されている。
したがつて、磁気旋光体５内を透過される偏光
は、電流Ｉに比例して生ずる磁界の強度Ｈに比例
してその偏光面が回転され、割算器１８の出力
V0は前式(3)と同じになり、θ＜＜１なる範囲に
おいては次式(5)に示すものとなる。なお同式中
K3は比例定数である。
は、電流Ｉに比例して生ずる磁界の強度Ｈに比例
してその偏光面が回転され、割算器１８の出力
V0は前式(3)と同じになり、θ＜＜１なる範囲に
おいては次式(5)に示すものとなる。なお同式中
K3は比例定数である。
V0≒2θ＝K3・Ｉ ……(5)
このようにして、導体６に流れる電流Ｉを検出
するようになつているのである。
するようになつているのである。
しかしながら、第１図又は第２図に示したもの
にあつて、光フアイバ１０，１１や光源１等の光
学系の特性が変動したり、光フアイバ１０，１１
間に特性のアンバランス等が生じることがあり、
前記光量信号PX，PYに誤差信号としてのノイズ
が含まれることがある。例えば、光量信号の伝送
に差が生じて信号VYが次式(6)で示すものとなる
ことがある。
にあつて、光フアイバ１０，１１や光源１等の光
学系の特性が変動したり、光フアイバ１０，１１
間に特性のアンバランス等が生じることがあり、
前記光量信号PX，PYに誤差信号としてのノイズ
が含まれることがある。例えば、光量信号の伝送
に差が生じて信号VYが次式(6)で示すものとなる
ことがある。
VY＝K1（１−δ）（１−sin2θ） ……(6)
これによつて出力信号V0は次式(7)となつてし
まい、大きな誤差が生じてしまうという欠点があ
つた。
まい、大きな誤差が生じてしまうという欠点があ
つた。
V0≒2θ（１＋δ／２） ……(7)
〔発明の目的〕
本発明の目的は、光フアイバ等の光学系の特性
変動に伴う誤差を除去して、安定且つ高精度の磁
界センサを提供しようとすることにある。
変動に伴う誤差を除去して、安定且つ高精度の磁
界センサを提供しようとすることにある。
本発明は、光フアイバから射出される光量信号
を電気信号に変換した後、この電気信号から各々
の平均値を減算し、更に各々前記平均値で除算
し、この除算して得られる信号の差に基づいて偏
光面の回転角を検出することにより、光フアイバ
等の光学系の特性変動に伴う誤差を除去して、安
定な且つ高精度の検出を行なおうとするものであ
る。
を電気信号に変換した後、この電気信号から各々
の平均値を減算し、更に各々前記平均値で除算
し、この除算して得られる信号の差に基づいて偏
光面の回転角を検出することにより、光フアイバ
等の光学系の特性変動に伴う誤差を除去して、安
定な且つ高精度の検出を行なおうとするものであ
る。
以下、本発明を実施例に基づいて説明する。
第３図に本発明の第１実施例を示す。本実施例
は第１図図示従来例に対応するものであり、光学
系は同一構成であるから説明を省略する。
は第１図図示従来例に対応するものであり、光学
系は同一構成であるから説明を省略する。
第３図に示したように、受光素子１２，１３に
よつて変換された電流信号は、電流電圧変換アン
プ１４，１５によつて電圧信号VX，VYに変換さ
れ、各々低域フイルタ１９，２０とアナログ加算
器２１，２２の＋入力端とに入力される。低域フ
イルタ１９，２０の出力は前記アナログ加算器２
１，２２の他の＋入力端と割算器２３，２４の分
母入力端とに各々入力されている。この割算器２
３，２４の分子入力端には前記アナログ加算器２
１，２２の出力が入力されており、割算器２３，
２４の出力は各々アナログ加算器２５の−入力端
と＋入力端とに入力されている。
よつて変換された電流信号は、電流電圧変換アン
プ１４，１５によつて電圧信号VX，VYに変換さ
れ、各々低域フイルタ１９，２０とアナログ加算
器２１，２２の＋入力端とに入力される。低域フ
イルタ１９，２０の出力は前記アナログ加算器２
１，２２の他の＋入力端と割算器２３，２４の分
母入力端とに各々入力されている。この割算器２
３，２４の分子入力端には前記アナログ加算器２
１，２２の出力が入力されており、割算器２３，
２４の出力は各々アナログ加算器２５の−入力端
と＋入力端とに入力されている。
このように構成される信号処理回路の動作につ
いて以下に説明する。磁界が交番磁界とすると、
電流電圧変換アンプ１４，１５の出力信号VX，
XYは前式(1)、(2)にて表わされたものとなつてい
る。低域フイルタ１９，２０は入力される信号
VX，VYの交流成分を除去して平均値X，Yと
し、さらに反転して出力する。なお、平均値X，
ＶYはK1に等しいものになる。アナログ加算器２
１，２２の出力信号は各々（VX−X）、（VY−
Ｙ）となり、割算器２３，２４の出力信号S1，S2
は各々次式(8)、(9)で表わすものとなる。
いて以下に説明する。磁界が交番磁界とすると、
電流電圧変換アンプ１４，１５の出力信号VX，
XYは前式(1)、(2)にて表わされたものとなつてい
る。低域フイルタ１９，２０は入力される信号
VX，VYの交流成分を除去して平均値X，Yと
し、さらに反転して出力する。なお、平均値X，
ＶYはK1に等しいものになる。アナログ加算器２
１，２２の出力信号は各々（VX−X）、（VY−
Ｙ）となり、割算器２３，２４の出力信号S1，S2
は各々次式(8)、(9)で表わすものとなる。
S1＝VX−VX／−VX＝−sin2θ≒−2θ……(8)
S2＝VY−VY／−VY＝sin2θ≒2θ ……(9)
したがつて、アナログ加算器２５の出力信号
V0は、次式(10)で表わすものとなる。
V0は、次式(10)で表わすものとなる。
V0＝S2−S1≒4θ≒K2・Ｈ ……(10)
ここで、本実施例によれば光学系の特性変動に
伴う誤差を除去することができるということにつ
いて説明する。
伴う誤差を除去することができるということにつ
いて説明する。
まず、光学系の誤差要因は大きく２つに分けら
れる。１つは光フアイバ１０，１１の光伝送損失
が経時劣化して２本の伝送特性が不均一になつた
り、それらの温度特性が異なるために伝送特性が
不均一になることに起因して、非常に緩慢な光量
変動が生ずる場合である。他の１つは光学構成部
品が機械的に歪んだり、振動したりすることによ
つて、実質的にフアラデ回転現象が発生すること
に起因して、速い光量変動が発生する場合であ
る。これらの誤差要因は実験及び理論の両面から
確認している。
れる。１つは光フアイバ１０，１１の光伝送損失
が経時劣化して２本の伝送特性が不均一になつた
り、それらの温度特性が異なるために伝送特性が
不均一になることに起因して、非常に緩慢な光量
変動が生ずる場合である。他の１つは光学構成部
品が機械的に歪んだり、振動したりすることによ
つて、実質的にフアラデ回転現象が発生すること
に起因して、速い光量変動が発生する場合であ
る。これらの誤差要因は実験及び理論の両面から
確認している。
前記の非常に緩慢な光量変動に伴う誤差信号が
含まれると、アンプ１４，１５の出力VX，XYは
各々式（11）、（12）に表わすものとなる。
含まれると、アンプ１４，１５の出力VX，XYは
各々式（11）、（12）に表わすものとなる。
VX＝K1・（１−δX）・（１＋sin2θ） ……（11）
VY＝K1・（１−δY）・（１−sin2θ） ……（12）
これらは、低域フイルタ１９，２０によつて平
均値化されると式（13）、（14）で表わすものとな
る。
均値化されると式（13）、（14）で表わすものとな
る。
X＝K1（１−δX） ……（13）
Y＝K1（１−δY） ……（14）
さらに、アナログ加算器２１，２２と割算器２
３，２４によつて、交流信号成分を取り出すとと
もに平均値に対する比を求めることにより、信号
S1，S2は前記式(8)、(9)で表わすものとなり、誤差
要因δX，δYが除去される。
３，２４によつて、交流信号成分を取り出すとと
もに平均値に対する比を求めることにより、信号
S1，S2は前記式(8)、(9)で表わすものとなり、誤差
要因δX，δYが除去される。
一方、交番磁界と同程度の速い光量変動を伴う
誤差成分δX′，δY′が含まれると、アンプ１４，１
５の出力VX，VYは各々式（15）、（16）に示すも
のとなり、それらの波形は第４図ａ，ｃに示すよ
うに、誤差成分δX′，δY′を含んだものとなつてい
る。
誤差成分δX′，δY′が含まれると、アンプ１４，１
５の出力VX，VYは各々式（15）、（16）に示すも
のとなり、それらの波形は第４図ａ，ｃに示すよ
うに、誤差成分δX′，δY′を含んだものとなつてい
る。
VX＝K1・（１−δX′）・（１＋sin2θ）≒K
1・（１＋2θ−δX′）……（15） VY＝K1・（１−δY′）・（１＋sin2θ）≒K
1・（１−2θ−δY′）……（16） したがつて、割算器２３，２４の出力信号S1，
S2及びアナログ加算器２５の出力信号V0は、そ
れぞれ式（17）、（18）、（19）に示すものとなり、
それらの波形は第４図ｂ，ｄ，ｅに示すようにな
る。
1・（１＋2θ−δX′）……（15） VY＝K1・（１−δY′）・（１＋sin2θ）≒K
1・（１−2θ−δY′）……（16） したがつて、割算器２３，２４の出力信号S1，
S2及びアナログ加算器２５の出力信号V0は、そ
れぞれ式（17）、（18）、（19）に示すものとなり、
それらの波形は第４図ｂ，ｄ，ｅに示すようにな
る。
S1＝VX−VX／−VX≒−（2θ−δX′）……（17）
S2＝VY−VY／−VY≒2θ＋δY′ ……（18）
V0≒4θ＋（δY′−δX′） ……（19）
式（19）に示したように、誤差項（δY′−δX′）
が残るが、δX′＝δY′となるように光フアイバ１
０，１１の特性ができるだけそろつたものを選定
し、且つ同一ケーブル内に設置するようにすれ
ば、機械的振動等に起因する誤差を除去すること
ができる。つまり、光量信号のうち真の信号成分
が逆位相、誤差成分が同位相となることに着目
し、信号を差動処理して信号成分を増大し、誤差
成分を低減して、高精度の検出を行なえるように
しているのである。
が残るが、δX′＝δY′となるように光フアイバ１
０，１１の特性ができるだけそろつたものを選定
し、且つ同一ケーブル内に設置するようにすれ
ば、機械的振動等に起因する誤差を除去すること
ができる。つまり、光量信号のうち真の信号成分
が逆位相、誤差成分が同位相となることに着目
し、信号を差動処理して信号成分を増大し、誤差
成分を低減して、高精度の検出を行なえるように
しているのである。
また、本発明によれば信号処理回路がアナログ
処理となつているので、広帯域にわたる周波数の
交番磁界を高速度で検出できるという効果もあ
る。
処理となつているので、広帯域にわたる周波数の
交番磁界を高速度で検出できるという効果もあ
る。
第５図に示す本発明の第２実施例を示す。本実
施例は第２図図示従来例に対応するものであり、
信号処理回路の部分は前記第１実施例と同一構成
となつている。したがつて、本実施例によれば前
記第１実施例と同一の効果が得られ、安定で且つ
高い精度で導体に流れる交流電流を検出すること
ができる。
施例は第２図図示従来例に対応するものであり、
信号処理回路の部分は前記第１実施例と同一構成
となつている。したがつて、本実施例によれば前
記第１実施例と同一の効果が得られ、安定で且つ
高い精度で導体に流れる交流電流を検出すること
ができる。
第６図に本発明の第３実施例を示す。第６図に
は本発明の信号処理回路の部分のみが示されてい
る。図示されているように、電流電圧変換アンプ
１４，１５の出力信号VX，VYはＡ／Ｄ変換器２
６，２７によつてデジタル信号に変換され、マイ
クロプロセツサ等により形成されるデジタル演算
装置２８に入力されている。この演算装置２８は
入力信号VX，VYの平均値を演算し、さらに前記
式(8)、(9)、(10)の演算を実行して出力信号V0を
Ｄ／Ａ変換器２９に出力するようになつている。
これによつてＤ／Ａ変換器２９の出力信号は、磁
界強度Ｈ又は電流Ｉに比例した出力電圧を得るこ
とができる。
は本発明の信号処理回路の部分のみが示されてい
る。図示されているように、電流電圧変換アンプ
１４，１５の出力信号VX，VYはＡ／Ｄ変換器２
６，２７によつてデジタル信号に変換され、マイ
クロプロセツサ等により形成されるデジタル演算
装置２８に入力されている。この演算装置２８は
入力信号VX，VYの平均値を演算し、さらに前記
式(8)、(9)、(10)の演算を実行して出力信号V0を
Ｄ／Ａ変換器２９に出力するようになつている。
これによつてＤ／Ａ変換器２９の出力信号は、磁
界強度Ｈ又は電流Ｉに比例した出力電圧を得るこ
とができる。
したがつて本実施例によれば、信号をデジタル
演算処理していることから、信号処理における精
度が一層向上され、さらに高精度に磁界又は電流
を検出することができる。また、検出にかかる信
号はsin2θ等の正弦関数であるが、逆正弦関数
sin-1（Ｘ）等の演算要素を付加した信号処理を容
易に実行させることができることから、θ＜＜１
なる範囲に制限されることなく広い範囲の検出が
可能になる。
演算処理していることから、信号処理における精
度が一層向上され、さらに高精度に磁界又は電流
を検出することができる。また、検出にかかる信
号はsin2θ等の正弦関数であるが、逆正弦関数
sin-1（Ｘ）等の演算要素を付加した信号処理を容
易に実行させることができることから、θ＜＜１
なる範囲に制限されることなく広い範囲の検出が
可能になる。
以上説明したように、本発明によれば、光フア
イバ等の光学系の特性変動に伴う誤差を除去する
ことができ、これによつて磁界又は電流を安定に
且つ高精度で検出することができる。
イバ等の光学系の特性変動に伴う誤差を除去する
ことができ、これによつて磁界又は電流を安定に
且つ高精度で検出することができる。
第１図及び第２図は光学式磁界センサの例を示
す構成図、第３図は本発明の光学式磁界センサの
第１実施例の構成図、第４図ａ〜ｅは実施例を説
明するための各部信号波形図、第５図は本発明の
光学式磁界センサの第２実施例の構成図、第６図
は本発明の光学式磁界センサの第３実施例の要部
構成図である。 ４……偏光子、５……磁気旋光体、６……導
体、７……検光子、１０，１１……光フアイバ、
１２，１３……受光素子、１４，１５……電流電
圧変換アンプ、１９，２０……低域フイルタ、２
１，２２……アナログ加算器、２３，２４……割
算器、２５……アナログ加算器、２８……デジタ
ル演算装置。
す構成図、第３図は本発明の光学式磁界センサの
第１実施例の構成図、第４図ａ〜ｅは実施例を説
明するための各部信号波形図、第５図は本発明の
光学式磁界センサの第２実施例の構成図、第６図
は本発明の光学式磁界センサの第３実施例の要部
構成図である。 ４……偏光子、５……磁気旋光体、６……導
体、７……検光子、１０，１１……光フアイバ、
１２，１３……受光素子、１４，１５……電流電
圧変換アンプ、１９，２０……低域フイルタ、２
１，２２……アナログ加算器、２３，２４……割
算器、２５……アナログ加算器、２８……デジタ
ル演算装置。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 印加される磁場強度に応じて偏光面が回転す
るフアラデ効果を有する磁気旋光体と、該磁気旋
光体を透過されてくる偏光を直角２成分のベクト
ル光信号に分光する検光子と、該光信号を光フア
イバを介して受光し各々電気信号に変換する受光
素子と、該受光素子から出力される電気信号によ
つて前記偏光面の回転角を検出して磁場強度を検
出する信号処理回路とを備え、前記信号処理回路
は入力される信号から各々の平均値を減算し更に
各々の前記平均値で除算し、該除算して得られる
信号の差に基づいて前記回転角を検出するように
構成されたことを特徴とする光学式磁界センサ。 ２ 特許請求の範囲第１項記載の発明において、
前記磁気旋光体は導電体に近接して配置され該導
体に流れる電流に応じて変化する磁場内に設けら
れたものであることを特徴とする光学式磁界セン
サ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58032778A JPS59159076A (ja) | 1983-03-02 | 1983-03-02 | 光学式磁界センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58032778A JPS59159076A (ja) | 1983-03-02 | 1983-03-02 | 光学式磁界センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59159076A JPS59159076A (ja) | 1984-09-08 |
| JPH0432991B2 true JPH0432991B2 (ja) | 1992-06-01 |
Family
ID=12368298
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58032778A Granted JPS59159076A (ja) | 1983-03-02 | 1983-03-02 | 光学式磁界センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59159076A (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0690236B2 (ja) * | 1985-05-23 | 1994-11-14 | 三菱電機株式会社 | 光応用測定装置 |
| JPS62333A (ja) * | 1985-06-26 | 1987-01-06 | 株式会社東芝 | 磁気共鳴イメ−ジング装置 |
| JPH0778526B2 (ja) * | 1991-08-29 | 1995-08-23 | 日本碍子株式会社 | 光磁界センサ |
| AU643913B2 (en) * | 1992-02-21 | 1993-11-25 | Ngk Insulators, Ltd. | Optical magnetic field sensor |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5988665A (ja) * | 1982-11-13 | 1984-05-22 | Hitachi Ltd | 光応用磁界センサ |
-
1983
- 1983-03-02 JP JP58032778A patent/JPS59159076A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS59159076A (ja) | 1984-09-08 |
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