JPH04332814A - 角速度センサの製造方法 - Google Patents
角速度センサの製造方法Info
- Publication number
- JPH04332814A JPH04332814A JP3131579A JP13157991A JPH04332814A JP H04332814 A JPH04332814 A JP H04332814A JP 3131579 A JP3131579 A JP 3131579A JP 13157991 A JP13157991 A JP 13157991A JP H04332814 A JPH04332814 A JP H04332814A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- arms
- angular velocity
- axis direction
- velocity sensor
- piezoelectric element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 11
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims abstract description 16
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims abstract description 16
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 15
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 abstract description 10
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 2
- 238000003698 laser cutting Methods 0.000 description 2
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 2
- 229910000942 Elinvar Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000013013 elastic material Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Gyroscopes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、直交三次元座標系内
で、Ｙ軸方向に間隔をおいてＺ軸方向へ相互に平行にの
びる二本の腕部を、Ｙ軸方向に励振させつつ、Ｚ軸の周
りに回転させたときに、Ｘ軸方向に発生するコリオリの
力に基づいて角速度を検出する、全体としてほぼ音叉状
の角速度センサの製造方法に関し、とくに、二本の腕部
の、形状および寸法の相互のばらつき、それぞれの駆動
用圧電素子相互の、それぞれの腕部への取付位置のばら
つきなどに起因する、角速度の検出感度の低下を有効に
防止するものである。
で、Ｙ軸方向に間隔をおいてＺ軸方向へ相互に平行にの
びる二本の腕部を、Ｙ軸方向に励振させつつ、Ｚ軸の周
りに回転させたときに、Ｘ軸方向に発生するコリオリの
力に基づいて角速度を検出する、全体としてほぼ音叉状
の角速度センサの製造方法に関し、とくに、二本の腕部
の、形状および寸法の相互のばらつき、それぞれの駆動
用圧電素子相互の、それぞれの腕部への取付位置のばら
つきなどに起因する、角速度の検出感度の低下を有効に
防止するものである。
【０００２】
【従来の技術】物体の移動方向を検知する手段として従
来から広く一般に用いられている回転ジャイロスコープ
に対し、近年においては、民生機器への需要の拡大から
、小型にして低廉な振動ジャイロスコープ、いいかえれ
ば角速度センサが注目を集めるに至っている。
来から広く一般に用いられている回転ジャイロスコープ
に対し、近年においては、民生機器への需要の拡大から
、小型にして低廉な振動ジャイロスコープ、いいかえれ
ば角速度センサが注目を集めるに至っている。
【０００３】物体の振動下での角速度の発生時にコリオ
リの力を生じる既知の角速度センサとしては、たとえば
図２に斜視図で示すものがある。
リの力を生じる既知の角速度センサとしては、たとえば
図２に斜視図で示すものがある。
【０００４】これは、直交三次元座標系内で、Ｙ軸方向
に所定の間隔をおいてＺ軸方向へ相互に平行にのびる二
本の腕部１，２と、両腕部１，２の基端を相互連結する
基部３とからなる振動子４に、その基部３からＸ軸方向
へ突出する検出用圧電素子５を設けるとともに、二本の
腕部のそれぞれの外側表面に駆動用圧電素子６，７を配
設してなる、全体としてほぼ音叉状をなす角速度センサ
であり、このセンサは、たとえば、検出用圧電素子５の
先端面を、図示しないケースその他に固定することによ
って使用に供される。
に所定の間隔をおいてＺ軸方向へ相互に平行にのびる二
本の腕部１，２と、両腕部１，２の基端を相互連結する
基部３とからなる振動子４に、その基部３からＸ軸方向
へ突出する検出用圧電素子５を設けるとともに、二本の
腕部のそれぞれの外側表面に駆動用圧電素子６，７を配
設してなる、全体としてほぼ音叉状をなす角速度センサ
であり、このセンサは、たとえば、検出用圧電素子５の
先端面を、図示しないケースその他に固定することによ
って使用に供される。
【０００５】かかる角速度センサでは、腕部１，２の外
側表面に取付けた駆動用圧電素子６，７に交流電圧を印
加することによって、それらの腕部１，２をＹ軸方向に
対称振動させ、その振動状態を維持したまま、振動子４
をＺ軸の周りに角速度ωＺ で回転させると、ある瞬間
に速度Ｖで運動しているそれぞれの腕部１，２に、Ｘ軸
方向で相互に逆向きのコリオリの力ＦＸ が発生する。
側表面に取付けた駆動用圧電素子６，７に交流電圧を印
加することによって、それらの腕部１，２をＹ軸方向に
対称振動させ、その振動状態を維持したまま、振動子４
をＺ軸の周りに角速度ωＺ で回転させると、ある瞬間
に速度Ｖで運動しているそれぞれの腕部１，２に、Ｘ軸
方向で相互に逆向きのコリオリの力ＦＸ が発生する。
【０００６】なおここでは、腕部１，２の速度Ｖは交番
的に変化し、コリオリの力ＦＸ は、励振された振動数
で変調された形で発生するので、振動子４はＺ軸の周り
にねじれ振動することになり、そのときのねじれ角は、
コリオリの力ＦＸ 、ひいては、角速度ωＺ に比例す
ることになる。
的に変化し、コリオリの力ＦＸ は、励振された振動数
で変調された形で発生するので、振動子４はＺ軸の周り
にねじれ振動することになり、そのときのねじれ角は、
コリオリの力ＦＸ 、ひいては、角速度ωＺ に比例す
ることになる。
【０００７】そこで、この角速度センサでは、そのねじ
れ振動を、Ｘ軸方向へ突出してケースその他に固定され
る検出用圧電素子５、たとえばバイモルフ素子の撓み振
動に変換し、撓み量に応じてそのバイモルフ素子が発生
する電荷を電圧として抽出することとしている。
れ振動を、Ｘ軸方向へ突出してケースその他に固定され
る検出用圧電素子５、たとえばバイモルフ素子の撓み振
動に変換し、撓み量に応じてそのバイモルフ素子が発生
する電荷を電圧として抽出することとしている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】ところで、かかる角速
度センサによれば、駆動用圧電素子６，７によって腕部
１，２を振動させるに際し、それらの両腕部１，２の振
動振幅を常に一定ならしめるとともに、それらの両者を
正確に対称振動させることが必要になるところ、角速度
センサの現実の製造に当っては、駆動用圧電素子６，７
の圧電特性、それぞれの腕部１，２に対する駆動用圧電
素子６，７の取付位置、両腕部１，２の、形状、寸法、
質量などを、高い精度をもって一致させることは実質的
に不可能であるため、両腕部１，２のアンバランスな振
動が基部３に不必要な振動を惹起することになり、この
結果として、検出用圧電素子５が，その不必要な振動を
も検出して信号を出力するので、角速度ωＺ が実際に
は零であるにもかかわらず、コリオリの力ＦＸ を検知
しているかの如き状態、すなわちオフセット出力を生じ
、Ｓ／Ｎ比、ひいては、検出感度の低下をもたらすとい
う問題があった。
度センサによれば、駆動用圧電素子６，７によって腕部
１，２を振動させるに際し、それらの両腕部１，２の振
動振幅を常に一定ならしめるとともに、それらの両者を
正確に対称振動させることが必要になるところ、角速度
センサの現実の製造に当っては、駆動用圧電素子６，７
の圧電特性、それぞれの腕部１，２に対する駆動用圧電
素子６，７の取付位置、両腕部１，２の、形状、寸法、
質量などを、高い精度をもって一致させることは実質的
に不可能であるため、両腕部１，２のアンバランスな振
動が基部３に不必要な振動を惹起することになり、この
結果として、検出用圧電素子５が，その不必要な振動を
も検出して信号を出力するので、角速度ωＺ が実際に
は零であるにもかかわらず、コリオリの力ＦＸ を検知
しているかの如き状態、すなわちオフセット出力を生じ
、Ｓ／Ｎ比、ひいては、検出感度の低下をもたらすとい
う問題があった。
【０００９】そこで、かかる問題に対処すべく、特開昭
６２−２５０３０９号公報に開示されているように、い
ずれか一方の腕部の自由端をレーザーを用いて切断する
ことによって、それぞれの腕部の、加速度に対する感度
の差を取り除いて、角速度の検出感度の向上を図る方法
が提案されているが、この方法によれば、高価なレーザ
ー切断装置が必要になる他、それの操作に高度の熟練を
要するという他の問題があり、さらには、一旦切断した
後は、腕部の再製が不可能になるという問題があった。
６２−２５０３０９号公報に開示されているように、い
ずれか一方の腕部の自由端をレーザーを用いて切断する
ことによって、それぞれの腕部の、加速度に対する感度
の差を取り除いて、角速度の検出感度の向上を図る方法
が提案されているが、この方法によれば、高価なレーザ
ー切断装置が必要になる他、それの操作に高度の熟練を
要するという他の問題があり、さらには、一旦切断した
後は、腕部の再製が不可能になるという問題があった。
【００１０】この発明は、従来技術のかかる問題をこと
ごとく解決するものであり、レーザー切断装置のような
高価な装置および、装置の操作のための熟練を必要とす
ることなしに、検出感度を極めて有効に向上させること
ができ、しかも、繰り返し調整が可能な、角速度センサ
の製造方法を提供するものである。
ごとく解決するものであり、レーザー切断装置のような
高価な装置および、装置の操作のための熟練を必要とす
ることなしに、検出感度を極めて有効に向上させること
ができ、しかも、繰り返し調整が可能な、角速度センサ
の製造方法を提供するものである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】この発明の、角速度セン
サの製造方法は、全体としてほぼ音叉状をなす角速度セ
ンサを製造するに当り、とくに、それぞれの腕部に取付
けた駆動用圧電素子によって腕部を励振させた状態で、
駆動用圧電素子の配設面と直交する面に設けた検出用圧
電素子からの出力を見ながら、少なくとも一方の腕部の
所要位置に、紫外線硬化型接着剤を付加して、その腕部
の質量および、そこに配設した駆動用圧電素子の質量を
含む振動質量の調整を行うものである。
サの製造方法は、全体としてほぼ音叉状をなす角速度セ
ンサを製造するに当り、とくに、それぞれの腕部に取付
けた駆動用圧電素子によって腕部を励振させた状態で、
駆動用圧電素子の配設面と直交する面に設けた検出用圧
電素子からの出力を見ながら、少なくとも一方の腕部の
所要位置に、紫外線硬化型接着剤を付加して、その腕部
の質量および、そこに配設した駆動用圧電素子の質量を
含む振動質量の調整を行うものである。
【００１２】
【作用】この発明の製造方法では、二本の腕部相互の、
形状、寸法、質量などのばらつき、それぞれの駆動用圧
電素子相互の、圧電特性、取付位置などのばらつきを、
センサ製造工程の最終段階における、腕部への振動質量
の付加によって修正することにより、それらのばらつき
に起因して発生するオフセット出力を著しく低減させて
、コリオリの力、ひいては、角速度の検知感度を大きく
向上させることができる。
形状、寸法、質量などのばらつき、それぞれの駆動用圧
電素子相互の、圧電特性、取付位置などのばらつきを、
センサ製造工程の最終段階における、腕部への振動質量
の付加によって修正することにより、それらのばらつき
に起因して発生するオフセット出力を著しく低減させて
、コリオリの力、ひいては、角速度の検知感度を大きく
向上させることができる。
【００１３】ところで、ここにおける振動質量の付加は
、紫外線硬化型接着剤のたとえば精密ディスペンサーに
よる、任意位置への所要量の滴下もしくは塗布と、その
接着剤への紫外線の照射とによって行うことができるの
で、レーザー切断装置を用いる従来技術に比し、設備コ
ストを著しく低減することができる他、作業のための熟
練をほとんど不要ならしめることができる。
、紫外線硬化型接着剤のたとえば精密ディスペンサーに
よる、任意位置への所要量の滴下もしくは塗布と、その
接着剤への紫外線の照射とによって行うことができるの
で、レーザー切断装置を用いる従来技術に比し、設備コ
ストを著しく低減することができる他、作業のための熟
練をほとんど不要ならしめることができる。
【００１４】しかもここでは、紫外線硬化型接着剤の滴
下もしくは塗布後であっても、紫外線照射前であれば、
その接着剤を、溶剤その他を用いて容易に取り除くこと
ができるので、簡単に再調整を行うことができる。
下もしくは塗布後であっても、紫外線照射前であれば、
その接着剤を、溶剤その他を用いて容易に取り除くこと
ができるので、簡単に再調整を行うことができる。
【００１５】
【実施例】以下この発明の実施例を図面に基づいて説明
する。図１は、この発明の実施例を示す斜視図であり、
図中従来技術で述べた部分と同等の部分は、それらと同
一の番号で示す。
する。図１は、この発明の実施例を示す斜視図であり、
図中従来技術で述べた部分と同等の部分は、それらと同
一の番号で示す。
【００１６】すなわち、図中１，２はそれぞれ、三次元
座標系のＺ軸方向へ相互に平行に延在して、Ｙ軸方向に
所定の間隔をおいて位置する腕部を示し、３は、それら
の両腕部１，２を、図では右端にて一体的に連結する基
部を示す。
座標系のＺ軸方向へ相互に平行に延在して、Ｙ軸方向に
所定の間隔をおいて位置する腕部を示し、３は、それら
の両腕部１，２を、図では右端にて一体的に連結する基
部を示す。
【００１７】そして４は、腕部１，２と基部３とからな
る振動子を示し、この振動子４は、基部３からＸ軸方向
へ突出させて設けた検出用圧電素子５によって、ケース
その他のベース部８に固定されている。
る振動子を示し、この振動子４は、基部３からＸ軸方向
へ突出させて設けた検出用圧電素子５によって、ケース
その他のベース部８に固定されている。
【００１８】さらに６，７は、それぞれの腕部１，２の
外側表面に取付けたそれぞれの駆動用圧電素子を示し、
バイモルフ層にて構成することができるこれらの駆動用
圧電素子６，７は、そこに交流電圧を印加することによ
り、両腕部１，２を、基部３を支点として、Ｚ軸に対し
て １８０゜の位相差で対称振動させるべく機能する。
外側表面に取付けたそれぞれの駆動用圧電素子を示し、
バイモルフ層にて構成することができるこれらの駆動用
圧電素子６，７は、そこに交流電圧を印加することによ
り、両腕部１，２を、基部３を支点として、Ｚ軸に対し
て １８０゜の位相差で対称振動させるべく機能する。
【００１９】なお図に示すところでは、それぞれの腕部
１，２は、それらの各遊端部に、コリオリの力に対する
感度を高める先端ウエイト９を有しており、これらの先
端ウエイト９を含む振動子４を、ヤング率の高い金属弾
性材料、たとえばエリンバー合金によって一体成形して
いる。
１，２は、それらの各遊端部に、コリオリの力に対する
感度を高める先端ウエイト９を有しており、これらの先
端ウエイト９を含む振動子４を、ヤング率の高い金属弾
性材料、たとえばエリンバー合金によって一体成形して
いる。
【００２０】ここで、この実施例では、上述したような
構成を有する、半完成状態のセンサにおいて、両腕部１
，２を駆動用圧電素子６，７によって振動させた状態で
、これもバイモルフ素子にて構成することができる検出
用圧電素子５からのオフセット電圧を監視しつつ、紫外
線硬化型接着剤１１を、少なくとも一方の腕部、図では
腕部１の任意の位置に、精密ディスペンサー１２を用い
て滴下する。そして、その滴下量が適正量に達すること
によって、両腕部１，２の寸法、形状、質量、両駆動用
圧電素子６，７の、圧電定数、寸法、形状、配設位置そ
の他のアンバランスが有効に修正されて、角速度ωＺ
が零の状態下でのオフセット電圧が最小となったときに
、たとえばスポット型の紫外線照射器１３により、滴下
された接着剤１１に紫外線を、数秒ないし十数秒間照射
して、その接着剤１１を硬化させる。
構成を有する、半完成状態のセンサにおいて、両腕部１
，２を駆動用圧電素子６，７によって振動させた状態で
、これもバイモルフ素子にて構成することができる検出
用圧電素子５からのオフセット電圧を監視しつつ、紫外
線硬化型接着剤１１を、少なくとも一方の腕部、図では
腕部１の任意の位置に、精密ディスペンサー１２を用い
て滴下する。そして、その滴下量が適正量に達すること
によって、両腕部１，２の寸法、形状、質量、両駆動用
圧電素子６，７の、圧電定数、寸法、形状、配設位置そ
の他のアンバランスが有効に修正されて、角速度ωＺ
が零の状態下でのオフセット電圧が最小となったときに
、たとえばスポット型の紫外線照射器１３により、滴下
された接着剤１１に紫外線を、数秒ないし十数秒間照射
して、その接着剤１１を硬化させる。
【００２１】ところで、このようにして振動質量を付加
する場合において、用いる紫外線硬化型接着剤１１は、
チキソ性（非流動性）を付与したものとすることが好ま
しく、また、付加質量による、上述したようなアンバラ
ンスの修正は、接着剤１１の滴下量を増減することに加
え、それの滴下位置を、腕部基端から遊端面までの間で
適宜に選択すること、および／または接着剤１１にフィ
ラーを混合させることなどによって、相当広範囲に行う
ことができる。
する場合において、用いる紫外線硬化型接着剤１１は、
チキソ性（非流動性）を付与したものとすることが好ま
しく、また、付加質量による、上述したようなアンバラ
ンスの修正は、接着剤１１の滴下量を増減することに加
え、それの滴下位置を、腕部基端から遊端面までの間で
適宜に選択すること、および／または接着剤１１にフィ
ラーを混合させることなどによって、相当広範囲に行う
ことができる。
【００２２】従って、このようにして製造された角速度
センサによれば、両腕部１，２の、形状、寸法、質量、
両駆動用圧電素子６，７の、圧電特性、寸法、形状、配
設位置などにばらつきがあっても、接着剤１１を硬化さ
せてなる付加質量の作用下で、両腕部１，２を高い精度
で対称振動させることが可能となり、これがため、角速
度ωＺ が零のときのオフセット出力を極めて効果的に
低減させて、角速度ωＺ の検出感度を大きく向上させ
ることができる。
センサによれば、両腕部１，２の、形状、寸法、質量、
両駆動用圧電素子６，７の、圧電特性、寸法、形状、配
設位置などにばらつきがあっても、接着剤１１を硬化さ
せてなる付加質量の作用下で、両腕部１，２を高い精度
で対称振動させることが可能となり、これがため、角速
度ωＺ が零のときのオフセット出力を極めて効果的に
低減させて、角速度ωＺ の検出感度を大きく向上させ
ることができる。
【００２３】
【発明の効果】以上に述べたところから明らかなように
、この発明によれば、振動子の形状的なアンバランスの
他、それぞれの駆動用圧電素子の、圧電定数、寸法、形
状、配設位置などの相対的なばらつきに起因する、腕部
の不整合振動を、センサの完成に近い段階での、少なく
とも一の腕部への振動質量の付加によって修正すること
により、角速度センサの検出感度を大きく向上させるこ
とができる。
、この発明によれば、振動子の形状的なアンバランスの
他、それぞれの駆動用圧電素子の、圧電定数、寸法、形
状、配設位置などの相対的なばらつきに起因する、腕部
の不整合振動を、センサの完成に近い段階での、少なく
とも一の腕部への振動質量の付加によって修正すること
により、角速度センサの検出感度を大きく向上させるこ
とができる。
【００２４】しかも、ここにおける付加質量は、紫外線
硬化型の接着剤に紫外線を照射することによってもたら
されるので、振動質量にその付加質量を付加するために
必要な設備コストを十分低く抑えることができるととも
に、その作業のための熟練をほとんど不要ならしめるこ
とができる。
硬化型の接着剤に紫外線を照射することによってもたら
されるので、振動質量にその付加質量を付加するために
必要な設備コストを十分低く抑えることができるととも
に、その作業のための熟練をほとんど不要ならしめるこ
とができる。
【００２５】そしてさらには、紫外線の照射前において
は、腕部の滴下もしくは塗布した接着剤を、たとえば溶
剤を用いて取り除くことができるので、振動質量を繰り
返し調整することが可能である。
は、腕部の滴下もしくは塗布した接着剤を、たとえば溶
剤を用いて取り除くことができるので、振動質量を繰り
返し調整することが可能である。
【図１】この発明の実施例を示す斜視図である。
【図２】従来の角速度センサを例示する斜視図である。
１，２ 腕部
３ 基部
４ 振動子
５ 検出用圧電素子
６，７ 駆動用圧電素子
８ ベース部
９ 先端ウエイト
１１ 紫外線硬化型接着剤
１２ 精密ディスペンサー
１３ 紫外線照射器
Claims (1)
- 【請求項１】 直交三次元座標系内で、Ｙ軸方向に間
隔をおいてＺ軸方向へ相互に平行にのびる二本の腕部を
、Ｙ軸方向に励振させつつ、Ｚ軸の周りに回転させたと
きに、Ｘ軸方向に発生するコリオリの力に基づいて角速
度を検出する、全体としてほぼ音叉状の角速度センサを
製造するに際し、それぞれの腕部に取付けた駆動用圧電
素子によって両腕部を励振させた状態で、駆動用圧電素
子の配設面と直交する面に設けた検出用圧電素子からの
出力を見ながら、腕部に、紫外線硬化型接着剤を付加し
て振動質量の調整を行うことを特徴とする角速度センサ
の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3131579A JPH04332814A (ja) | 1991-05-08 | 1991-05-08 | 角速度センサの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3131579A JPH04332814A (ja) | 1991-05-08 | 1991-05-08 | 角速度センサの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04332814A true JPH04332814A (ja) | 1992-11-19 |
Family
ID=15061355
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3131579A Pending JPH04332814A (ja) | 1991-05-08 | 1991-05-08 | 角速度センサの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04332814A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5969248A (en) * | 1997-02-06 | 1999-10-19 | Aisin Seiki Kabushiki Kaisha | Oscillation type angular velocity sensor |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS566518A (en) * | 1979-06-28 | 1981-01-23 | Noto Denshi Kogyo Kk | Piezoelectric parts and its manufacture |
-
1991
- 1991-05-08 JP JP3131579A patent/JPH04332814A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS566518A (en) * | 1979-06-28 | 1981-01-23 | Noto Denshi Kogyo Kk | Piezoelectric parts and its manufacture |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5969248A (en) * | 1997-02-06 | 1999-10-19 | Aisin Seiki Kabushiki Kaisha | Oscillation type angular velocity sensor |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6854315B2 (en) | Quadrature compensation technique for vibrating gyroscopes | |
| US6227048B1 (en) | Vibrators, vibratory gyroscopes, devices for measuring a linear acceleration and a method of measuring a turning angular rate | |
| US6510745B2 (en) | Coriolis effect transducer | |
| JP4577671B2 (ja) | 角速度測定のための構成 | |
| US6598455B1 (en) | Non-inertial calibration of vibratory gyroscopes | |
| TW534991B (en) | Phase insensitive quadrature nulling method and apparatus for Coriolis angular rate sensors | |
| US20020134154A1 (en) | Method and apparatus for on-chip measurement of micro-gyro scale factors | |
| US6192756B1 (en) | Vibrators vibratory gyroscopes a method of detecting a turning angular rate and a linear accelerometer | |
| JP4364349B2 (ja) | 振動型ジャイロスコープ | |
| JP2002257548A (ja) | 角速度測定装置 | |
| EP1030164B1 (en) | Vibratory gyroscopes and method for manufacturing the same | |
| JP3892993B2 (ja) | 振動型ジャイロスコープ | |
| JP2000074673A (ja) | 複合運動センサ | |
| US6651498B1 (en) | Vibratory gyroscope, vibrator used in this gyroscope, method for analyzing vibration of the vibrator, method for supporting the vibrator, and method for manufacturing the vibratory gyroscope | |
| JP2004085361A (ja) | 物理量測定装置 | |
| JPH0654235B2 (ja) | 振動式角速度計 | |
| JPH0783667A (ja) | 角速度センサ | |
| JPS62106314A (ja) | 振動ジヤイロ | |
| JPH04332814A (ja) | 角速度センサの製造方法 | |
| JPS6219714A (ja) | ジヤイロ装置 | |
| US20250297859A1 (en) | Gyroscopic measurement method and sensor | |
| JP2006524345A (ja) | ぶら下がり軸が電気機械システムの駆動コンポーネントの方向と実質的に平行となるようにさせるためのフレキシブル・ジョイントの位置の配置 | |
| JPH04118515A (ja) | 角速度検出器および加速度検出器 | |
| Hideki Tamura et al. | Simulation of multiaxial angular velocity detection using a diaphragm vibratory gyrosensor | |
| JPH08122081A (ja) | 角速度センサーの出力調整方法 |