JPH04332883A - Ic試験装置 - Google Patents

Ic試験装置

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JPH04332883A
JPH04332883A JP3101699A JP10169991A JPH04332883A JP H04332883 A JPH04332883 A JP H04332883A JP 3101699 A JP3101699 A JP 3101699A JP 10169991 A JP10169991 A JP 10169991A JP H04332883 A JPH04332883 A JP H04332883A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
test head
driver
test
testing device
present
Prior art date
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Pending
Application number
JP3101699A
Other languages
English (en)
Inventor
Yoshitaka Mori
芳孝 森
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi High Tech Corp
Original Assignee
Hitachi Electronics Engineering Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Electronics Engineering Co Ltd filed Critical Hitachi Electronics Engineering Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はIC試験装置にかかり、
さらに詳しくはICの同時測定個数を増大するにもかか
わらず、IC試験装置のテストヘッドを小型化するのに
好適なIC試験装置に関する。
【0002】
【従来の技術】ICの同時測定個数を増やして測定効率
の向上を図る場合、IC試験装置のテストヘッドにおい
て測定に必要なピン数を増加しなければならない。この
ため、IC試験装置のテストヘッドに搭載する電子部品
の数が多くなり、従来技術では、テストヘッドのピンカ
ード(ピン基板)を大きくして対応してきた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術によれば
、テストヘッドのピンカードを大型化するため、テスト
ヘッド自体が大型化して重くなり、テストヘッドの占有
面積が大きくなり、操作性の悪いIC試験装置になると
いう問題点があった。
【0004】また、テストヘッドのIC測定部にテスト
信号を集める場合、テストヘッドが大きいため、広範囲
からテスト信号を集めなければならず、配線が長くなり
、波形品質、タイミング精度を悪化させる原因となって
いた。
【0005】また、テストヘッドの大型化により、コス
トアップの原因になっていた。
【0006】本発明は、上記した従来技術の問題点に鑑
み成されたもので、ICの多数個同時測定に対応した小
型・軽量のテストヘッドを備え、テスト信号の波形品質
・タイミング精度を維持できるIC試験装置を提供する
ことを目的としている。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明の第1のIC試験
装置は、I/Oドライバ及びデスキュー部のみから構成
されたテストヘッドを備えたことを特徴としている。
【0008】また、本発明の第2のIC試験装置は、I
/OドライバのI/O切替スイッチ及びデスキュー部の
みから構成されたテストヘッドを備えたことを特徴とし
ている。
【0009】
【作用】本発明によれば、テストヘッドがI/Oドライ
バとデスキュー部、またはI/OドライバのI/O切替
スイッチとデスキュー部のみから構成されるので、IC
の多数個同時測定に対応した小型・軽量のテストヘッド
であって、テスト信号の波形品質・タイミング精度を維
持できるIC試験装置を提供することができる。
【0010】
【実施例】以下、添付の図面に示す実施例により、更に
詳細に本発明について説明する。IC試験装置は、メイ
ンコントロールとテストヘッドから構成され、メインコ
ントロールには、CPUやTG(タイミングジェネレー
タ)やPG(パターンジェネレータ)やPC(ピンコン
トロール)等が内蔵されている。また、テストヘッドは
、メインコントロールから送られた各種の信号をDUT
(デバイスアンダー  テスト)に印加して試験を行う
ものである。
【0011】図1は本発明の一実施例を示すブロック図
であり、従来のテストヘッドは、点線で示すように、ド
ライバ11、テスタバス12、デバイスパワーサプライ
13、I/Oドライバ21、デスキュー部22をそれぞ
れ含んで構成されていた。
【0012】これに対して、本実施例のテストヘッド2
0は、実線で示すように、上記従来の構成から、ドライ
バ11とテスタバス12とデバイスパワーサプライ13
を除去した構成を有し、小型化されている。除去された
ドライバ11とテスタバス12とデバイスパワーサプラ
イ13は、メインコントロール10の側に設けられる。
【0013】ここで、ドライバ11は、高速・低損失の
同軸ケーブルを用いてテストヘッド20に接続されてい
る。この構成により、I/Oドライバ21とデスキュー
部22のサイズでテストヘッド20を実現することがで
きる。この実施例のテストヘッドは、従来技術によるテ
ストヘッドと比較して、1/3の大きさにすることがで
きた。
【0014】なお、上記実施例においては、テストヘッ
ド20がI/Oドライバ21とデスキュー部22のサイ
ズで構成されているが、本発明はこれに限定されるもの
ではなく、例えばI/Oドライブピン21の先頭に設け
られているI/O切替スイッチ(図示せず)だけをテス
トヘッド20に設けるようにしても良く、種々の組み合
わせが可能である。但し、波形品質とタイミング精度を
考慮した距離及び組合が必要である。
【0015】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、ICの多数個同時測定に対応した小型・軽量
のテストヘッドを備え、テスト信号の波形品質・タイミ
ング精度を維持できるIC試験装置を提供することがで
きる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例を示すブロック図。
【符号の説明】
10  メインコントロール、 11  ドライバ 12  テスタバス、 13  デバイスパワーサプライ、 20  テストヘッド、 21  I/Oドライバ、 22  デスキュー部、

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】I/Oドライバ及びデスキュー部のみから
    構成されたテストヘッドを備えたIC試験装置。
  2. 【請求項2】I/OドライバのI/O切替スイッチ及び
    デスキュー部のみから構成されたテストヘッドを備えた
    IC試験装置。
JP3101699A 1991-05-08 1991-05-08 Ic試験装置 Pending JPH04332883A (ja)

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JP3101699A JPH04332883A (ja) 1991-05-08 1991-05-08 Ic試験装置

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