JPH04336928A - 圧電ステージ - Google Patents
圧電ステージInfo
- Publication number
- JPH04336928A JPH04336928A JP3138256A JP13825691A JPH04336928A JP H04336928 A JPH04336928 A JP H04336928A JP 3138256 A JP3138256 A JP 3138256A JP 13825691 A JP13825691 A JP 13825691A JP H04336928 A JPH04336928 A JP H04336928A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ceramic green
- piezoelectric
- printed
- green sheets
- stage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
- G03F7/707—Chucks, e.g. chucking or un-chucking operations or structural details
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70216—Mask projection systems
- G03F7/703—Non-planar pattern areas or non-planar masks, e.g. curved masks or substrates
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は電圧を印加することで変
位する圧電素子を組み込んだ圧電ステージに関する。
位する圧電素子を組み込んだ圧電ステージに関する。
【０００２】
【従来の技術】レーザ加工装置や半導体処理装置等に適
用する圧電素子を用いたステージ或いはチャックとして
特開昭６０−１７７８３４号及び実開平１−７４５９７
号に開示されるものが知られている。これら先行技術に
開示されるステージ或いはチャックはいずれも固定され
た基板上に複数の圧電素子（ピエゾ素子）を立設し、こ
れら圧電素子の上端をチャック或いは可動板に取り付け
た構造になっている。
用する圧電素子を用いたステージ或いはチャックとして
特開昭６０−１７７８３４号及び実開平１−７４５９７
号に開示されるものが知られている。これら先行技術に
開示されるステージ或いはチャックはいずれも固定され
た基板上に複数の圧電素子（ピエゾ素子）を立設し、こ
れら圧電素子の上端をチャック或いは可動板に取り付け
た構造になっている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の圧電ス
テージにあっては圧電素子とステージとが別々のため、
厚み方向の寸法が大となり、狭いスペース内に組み込む
ことができなかった。また、研削、ラップ等の表面加工
も施すことが困難であった。
テージにあっては圧電素子とステージとが別々のため、
厚み方向の寸法が大となり、狭いスペース内に組み込む
ことができなかった。また、研削、ラップ等の表面加工
も施すことが困難であった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決すべく本
発明は、電極部をプリントした多数枚のセラミックグリ
ーンシートをステージの厚み方向に積層した後焼成して
圧電ステージを形成し、前記各セラミックグリーンシー
トにプリントする電極部は帯状の電極部を複数本平行に
配列し、更に複数のセラミックグリーンシートは帯状の
電極部が厚み方向から見て格子状をなすように積層した
。
発明は、電極部をプリントした多数枚のセラミックグリ
ーンシートをステージの厚み方向に積層した後焼成して
圧電ステージを形成し、前記各セラミックグリーンシー
トにプリントする電極部は帯状の電極部を複数本平行に
配列し、更に複数のセラミックグリーンシートは帯状の
電極部が厚み方向から見て格子状をなすように積層した
。
【０００５】
【作用】多数の電極部のうちの特定の電極部に電圧を印
加すると、この圧電ステージの一部が他の部分よりも圧
縮してこの部分に対応する被処理物の一部が微小量移動
若しくは変形する。
加すると、この圧電ステージの一部が他の部分よりも圧
縮してこの部分に対応する被処理物の一部が微小量移動
若しくは変形する。
【０００６】
【実施例】以下に本発明の実施例を添付図面に基づいて
説明する。ここで、図１は本発明に係る圧電ステージを
組込んだチャックの縦断面図、図２は図１のＡ−Ａ方向
矢視図である。
説明する。ここで、図１は本発明に係る圧電ステージを
組込んだチャックの縦断面図、図２は図１のＡ−Ａ方向
矢視図である。
【０００７】チャック１は本発明の圧電ステージ２の上
面に静電吸着用の電極３を埋設した絶縁層４を一体的に
形成している。Ｗは電極３に通電することで吸着される
半導体ウエハ等の被処理物である。
面に静電吸着用の電極３を埋設した絶縁層４を一体的に
形成している。Ｗは電極３に通電することで吸着される
半導体ウエハ等の被処理物である。
【０００８】圧電ステージ２は図３に示すように未焼成
のセラミックグリーンシート５…を積層した後焼成する
ことで得る。セラミックグリーンシート５はドクターブ
レード法、鋳込み成形或いはプレス成形などによって成
形され、セラミックグリーンシート５の材料はＰＺＴ（
チタン酸ジルコン酸鉛），ＰＴ（チタン酸鉛）或いはＰ
ＬＺＴ（チタン酸ジルコン酸ランタン鉛）等の圧電セラ
ミックス材料とする。
のセラミックグリーンシート５…を積層した後焼成する
ことで得る。セラミックグリーンシート５はドクターブ
レード法、鋳込み成形或いはプレス成形などによって成
形され、セラミックグリーンシート５の材料はＰＺＴ（
チタン酸ジルコン酸鉛），ＰＴ（チタン酸鉛）或いはＰ
ＬＺＴ（チタン酸ジルコン酸ランタン鉛）等の圧電セラ
ミックス材料とする。
【０００９】また、各セラミックグリーンシート５の表
面には銀ペースト或いは銀とパラジウムの混合ペースト
等の導電ペーストからなる電極部６がプリントされてい
る。電極部６のパターンは複数の帯状電極６ａ…を等間
隔且つ平行に配列している。
面には銀ペースト或いは銀とパラジウムの混合ペースト
等の導電ペーストからなる電極部６がプリントされてい
る。電極部６のパターンは複数の帯状電極６ａ…を等間
隔且つ平行に配列している。
【００１０】更に、セラミックグリーンシート５…を積
層する場合には、上層となるセラミックグリーンシート
にプリントした帯状電極６ａと下層となるセラミックグ
リーンシートにプリントした帯状電極６ａとが厚み方向
から見て直交するように、つまり格子状となるようにセ
ラミックグリーンシート５…を交互に積層する。
層する場合には、上層となるセラミックグリーンシート
にプリントした帯状電極６ａと下層となるセラミックグ
リーンシートにプリントした帯状電極６ａとが厚み方向
から見て直交するように、つまり格子状となるようにセ
ラミックグリーンシート５…を交互に積層する。
【００１１】また帯状電極６ａはセラミックグリーンシ
ート５の端部までプリントされ、焼成後に当該端部に給
電線７を接続することで各帯状電極６ａに電圧を印加す
るようにしている。このようにすることで圧電ステージ
２は内部に多数の圧電素子を設けたのと同等の作用をな
す。
ート５の端部までプリントされ、焼成後に当該端部に給
電線７を接続することで各帯状電極６ａに電圧を印加す
るようにしている。このようにすることで圧電ステージ
２は内部に多数の圧電素子を設けたのと同等の作用をな
す。
【００１２】以下にその作用を図４に基づいて説明する
。尚、図４（ａ）は模式的な平面図、図４（ｂ）及び（
ｃ）は模式的な側面図であり、図中６ａ−１は上層のセ
ラミックグリーンシートに形成された帯状電極、６ａ−
２，６ａ−３，６ａ−４は下層のセラミックグリーンシ
ートに形成した帯状電極とする。
。尚、図４（ａ）は模式的な平面図、図４（ｂ）及び（
ｃ）は模式的な側面図であり、図中６ａ−１は上層のセ
ラミックグリーンシートに形成された帯状電極、６ａ−
２，６ａ−３，６ａ−４は下層のセラミックグリーンシ
ートに形成した帯状電極とする。
【００１３】図４（ｂ）に示すように帯状電極６ａ−１
に５００Ｖ、帯状電極６ａ−２と帯状電極６ａ−４に２
００Ｖを印加し、帯状電極６ａ−３には電圧を印加しな
い。すると、電圧を印加された部分の圧電素子が電圧に
比例して上下方向に延びて、図の想像線で示すように中
央部が突出した形状に変形する。
に５００Ｖ、帯状電極６ａ−２と帯状電極６ａ−４に２
００Ｖを印加し、帯状電極６ａ−３には電圧を印加しな
い。すると、電圧を印加された部分の圧電素子が電圧に
比例して上下方向に延びて、図の想像線で示すように中
央部が突出した形状に変形する。
【００１４】また帯状電極６ａ−１に５００Ｖ、帯状電
極６ａ−３に２００Ｖ、帯状電極６ａ−４に５００Ｖ、
帯状電極６ａ−１には電圧を印加しないようにすると、
図４（ｃ）に示すように左側部分が突出した形状に変形
する。
極６ａ−３に２００Ｖ、帯状電極６ａ−４に５００Ｖ、
帯状電極６ａ−１には電圧を印加しないようにすると、
図４（ｃ）に示すように左側部分が突出した形状に変形
する。
【００１５】このように被処理物の形状に合わせて、或
いは被処理物の形状を目的とする形状に変形せしめるべ
く所定の帯状電極に電圧を印加する。
いは被処理物の形状を目的とする形状に変形せしめるべ
く所定の帯状電極に電圧を印加する。
【００１６】尚、図示例では本発明に係る圧電ステージ
を静電チャックに応用した例を示したが、これに限らず
被処理物を微小量移動させる位置決め装置や微小量変形
せしめる装置、更にはリニアモータ等に応用することも
できる。また、帯状電極は必ずしもセラミックグリーン
シート５の端部までプリントしなくてもよいが、端部ま
で形成すると通電機構が簡単になる。更に、図示例にお
いては各セラミックグリーンシートにプリントする帯状
電極の本数を４本としたが、帯状電極の本数及び間隔は
使用目的に応じて適宜設定できる。
を静電チャックに応用した例を示したが、これに限らず
被処理物を微小量移動させる位置決め装置や微小量変形
せしめる装置、更にはリニアモータ等に応用することも
できる。また、帯状電極は必ずしもセラミックグリーン
シート５の端部までプリントしなくてもよいが、端部ま
で形成すると通電機構が簡単になる。更に、図示例にお
いては各セラミックグリーンシートにプリントする帯状
電極の本数を４本としたが、帯状電極の本数及び間隔は
使用目的に応じて適宜設定できる。
【００１７】
【発明の効果】以上に説明した如く本発明によれば、圧
電ステージの本体と圧電素子とが同一厚み範囲内に収ま
るので、圧電ステージとして極めてコンパクトなものに
なる。また圧電素子の電極部を帯状とし、この帯状電極
が圧電ステージの厚み方向から見て格子状をなすように
し、しかも個々の帯状電極に独立して通電可能としたの
で、圧電ステージの表面形状を任意に変形せしめること
ができ、しかもその制御が極めて簡単に行える。
電ステージの本体と圧電素子とが同一厚み範囲内に収ま
るので、圧電ステージとして極めてコンパクトなものに
なる。また圧電素子の電極部を帯状とし、この帯状電極
が圧電ステージの厚み方向から見て格子状をなすように
し、しかも個々の帯状電極に独立して通電可能としたの
で、圧電ステージの表面形状を任意に変形せしめること
ができ、しかもその制御が極めて簡単に行える。
【図１】本発明に係る圧電ステージを組込んだチャック
の縦断面図
の縦断面図
【図２】図１のＡ−Ａ方向矢視図
【図３】本発明に係る圧電ステージの製造工程を示す斜
視図
視図
【図４】本発明に係る圧電ステージの作用を示す図
２…圧電ステージ、５…セラミックグリーンシート、６
…電極部、６ａ，６ａ−１，６ａ−２，６ａ−３，６ａ
−４…帯状電極。
…電極部、６ａ，６ａ−１，６ａ−２，６ａ−３，６ａ
−４…帯状電極。
Claims (2)
- 【請求項１】 圧電素子の伸縮動により被処理物を微
小動若しくは微小変形せしめる圧電ステージにおいて、
この圧電ステージは圧電素子の電極部をプリントした多
数枚のセラミックグリーンシートをステージの厚み方向
に積層した後焼成してなり、また前記各セラミックグリ
ーンシートにプリントされた電極部は帯状の電極部を複
数本平行に配列し、更に上下のセラミックグリーンシー
トは帯状の電極部が厚み方向から見て格子状をなすよう
に積層されていることを特徴とする圧電ステージ。 - 【請求項２】 前記電極部はセラミックグリーンシー
トの端部までプリントされ、この端部から電極部に給電
せしめることを特徴とする請求項１に記載の圧電ステー
ジ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3138256A JPH04336928A (ja) | 1991-05-14 | 1991-05-14 | 圧電ステージ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3138256A JPH04336928A (ja) | 1991-05-14 | 1991-05-14 | 圧電ステージ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04336928A true JPH04336928A (ja) | 1992-11-25 |
Family
ID=15217700
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3138256A Withdrawn JPH04336928A (ja) | 1991-05-14 | 1991-05-14 | 圧電ステージ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04336928A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001090820A1 (en) * | 2000-05-23 | 2001-11-29 | Silicon Valley Group, Inc. | Flexible piezoelectric chuck |
| JP2006135062A (ja) * | 2004-11-05 | 2006-05-25 | Ulvac Japan Ltd | 分割静電チャック構造 |
| WO2011000689A1 (en) * | 2009-06-30 | 2011-01-06 | Asml Holding N.V. | Image-compensating addressable electrostatic chuck system |
| JP5270578B2 (ja) * | 2007-12-26 | 2013-08-21 | 京セラ株式会社 | 積層型圧電素子、これを備えた噴射装置及び燃料噴射システム |
-
1991
- 1991-05-14 JP JP3138256A patent/JPH04336928A/ja not_active Withdrawn
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001090820A1 (en) * | 2000-05-23 | 2001-11-29 | Silicon Valley Group, Inc. | Flexible piezoelectric chuck |
| US6556281B1 (en) | 2000-05-23 | 2003-04-29 | Asml Us, Inc. | Flexible piezoelectric chuck and method of using the same |
| JP2009158966A (ja) * | 2000-05-23 | 2009-07-16 | Asml Holding Nv | 可撓性圧電性チャック |
| JP2006135062A (ja) * | 2004-11-05 | 2006-05-25 | Ulvac Japan Ltd | 分割静電チャック構造 |
| JP5270578B2 (ja) * | 2007-12-26 | 2013-08-21 | 京セラ株式会社 | 積層型圧電素子、これを備えた噴射装置及び燃料噴射システム |
| WO2011000689A1 (en) * | 2009-06-30 | 2011-01-06 | Asml Holding N.V. | Image-compensating addressable electrostatic chuck system |
| JP2013527590A (ja) * | 2009-06-30 | 2013-06-27 | エーエスエムエル ホールディング エヌ．ブイ． | 像補正をするアドレス可能な静電チャックシステム |
| US8477472B2 (en) | 2009-06-30 | 2013-07-02 | Asml Holding N.V. | Image-compensating addressable electrostatic chuck system |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19980806 |