JPH06334236A - 積層型圧電・電歪アクチュエータの製造方法 - Google Patents
積層型圧電・電歪アクチュエータの製造方法Info
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- JPH06334236A JPH06334236A JP11747593A JP11747593A JPH06334236A JP H06334236 A JPH06334236 A JP H06334236A JP 11747593 A JP11747593 A JP 11747593A JP 11747593 A JP11747593 A JP 11747593A JP H06334236 A JPH06334236 A JP H06334236A
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- H10N30/088—Shaping or machining of piezoelectric or electrostrictive bodies by machining by cutting or dicing
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 積層型圧電・電歪アクチュエータに関し、長
寿命で信頼性の優れた素子の製造方法を実用化すること
を目的とする。 【構成】 位置合わせ孔を設けた圧電・電歪セラミック
グリーンシートに導電ペーストを印刷して後、乾燥する
工程と、圧電／電歪セラミックグリーンシートを打ち抜
いて単位素子の二倍の寸法位置に内部電極の幅よりも大
きな楕円形のスリットを千鳥状に形成する工程と、グリ
ーンシートを面内で交互に180 度向きを変えて積層し、
加圧して一体化する工程と、積層体を大気中で加熱して
脱脂した後に焼成する工程と、セラミック上の各スリッ
トの縦方向中心線の位置でセラミックを単位素子に切断
する工程と、各単位素子の外部電極形成面に非酸化性の
金属箔を当接して加熱し、内部電極と融着させて外部電
極とする工程と、外部電極にリード線を付けた後に分極
処理する工程とから積層型圧電・電歪アクチュエータを
製造する。
寿命で信頼性の優れた素子の製造方法を実用化すること
を目的とする。 【構成】 位置合わせ孔を設けた圧電・電歪セラミック
グリーンシートに導電ペーストを印刷して後、乾燥する
工程と、圧電／電歪セラミックグリーンシートを打ち抜
いて単位素子の二倍の寸法位置に内部電極の幅よりも大
きな楕円形のスリットを千鳥状に形成する工程と、グリ
ーンシートを面内で交互に180 度向きを変えて積層し、
加圧して一体化する工程と、積層体を大気中で加熱して
脱脂した後に焼成する工程と、セラミック上の各スリッ
トの縦方向中心線の位置でセラミックを単位素子に切断
する工程と、各単位素子の外部電極形成面に非酸化性の
金属箔を当接して加熱し、内部電極と融着させて外部電
極とする工程と、外部電極にリード線を付けた後に分極
処理する工程とから積層型圧電・電歪アクチュエータを
製造する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は積層型圧電アクチュエー
タの製造方法に関する。アクチュエータ（Actuator）は
機械にエレクトロニクス技術を応用したメカトロニクス
の発展に伴い注目されている技術の一つであって、空
気，水力，電気などの信号を用いることでプロセス制御
を行なう装置であり、例えばドットプリンタの印字ヘッ
ドの駆動に使用されている。
タの製造方法に関する。アクチュエータ（Actuator）は
機械にエレクトロニクス技術を応用したメカトロニクス
の発展に伴い注目されている技術の一つであって、空
気，水力，電気などの信号を用いることでプロセス制御
を行なう装置であり、例えばドットプリンタの印字ヘッ
ドの駆動に使用されている。
【０００２】こゝで、大部分のアクチュエータは電磁力
で駆動さており、例えばドットプリンタの場合、軟質磁
性体よりなるマグネットベースに励磁コイルを巻回して
電磁石が作られており、印字ワイヤを先端に備えた印字
ヘッドが励磁コイルに流れる信号電流により吸引されて
駆動し、印字ワイヤを突出させることで印字が行なわれ
ている。然し、電磁力を使用するアクチュエータは消費
電力が多い上に発熱や電磁ノイズが発生すると云う問題
があり、これ代わる新しいアクチュエータの出現が望ま
れている。一方、強誘電体の圧電・電歪効果を応用する
アクチュエータはこれらの問題を持たないだけでなく、
小形軽量で振動衝撃にも強いと云う特徴からこの実用化
が望まれている。
で駆動さており、例えばドットプリンタの場合、軟質磁
性体よりなるマグネットベースに励磁コイルを巻回して
電磁石が作られており、印字ワイヤを先端に備えた印字
ヘッドが励磁コイルに流れる信号電流により吸引されて
駆動し、印字ワイヤを突出させることで印字が行なわれ
ている。然し、電磁力を使用するアクチュエータは消費
電力が多い上に発熱や電磁ノイズが発生すると云う問題
があり、これ代わる新しいアクチュエータの出現が望ま
れている。一方、強誘電体の圧電・電歪効果を応用する
アクチュエータはこれらの問題を持たないだけでなく、
小形軽量で振動衝撃にも強いと云う特徴からこの実用化
が望まれている。
【０００３】
【従来の技術】圧電・電歪効果を利用するアクチュエー
タの材料としてはニッケル・ニオブ酸鉛〔Pb(Ni1/3Nb
2/3)03] とチタン酸鉛(PbTiO3)とヂルコン酸鉛(PbZrO3)
を0.5 ：0.35：0.15の重量比で複合したものを原料と
し、これを焼成してなるセラミックスが最良の特性が得
られるものとして公知である。また、圧電・電歪アクチ
ュエータ素子としては積層セラミックコンデンサ型をと
るものが公知である。
タの材料としてはニッケル・ニオブ酸鉛〔Pb(Ni1/3Nb
2/3)03] とチタン酸鉛(PbTiO3)とヂルコン酸鉛(PbZrO3)
を0.5 ：0.35：0.15の重量比で複合したものを原料と
し、これを焼成してなるセラミックスが最良の特性が得
られるものとして公知である。また、圧電・電歪アクチ
ュエータ素子としては積層セラミックコンデンサ型をと
るものが公知である。
【０００４】図８はこの断面構造を示すもので、上記の
三種類の複合粉末にバインダと可塑剤とを加えて混練し
て泥漿を作り、この泥漿をドクタブレード法で所定の厚
さに引き出して乾燥させた後に所定の大きさに切断して
多数のグリーンシート１を作り、次に、このグリーンシ
ート１の一端にはマージン（余白）２を残し、他端には
端部に達するまで導体ペーストをスクリーン印刷して内
部電極３を形成する。そして、このグリーンシートを交
互に積層することにより一層毎に端面にマージン２と内
部電極３が配列する積層体が得られる。
三種類の複合粉末にバインダと可塑剤とを加えて混練し
て泥漿を作り、この泥漿をドクタブレード法で所定の厚
さに引き出して乾燥させた後に所定の大きさに切断して
多数のグリーンシート１を作り、次に、このグリーンシ
ート１の一端にはマージン（余白）２を残し、他端には
端部に達するまで導体ペーストをスクリーン印刷して内
部電極３を形成する。そして、このグリーンシートを交
互に積層することにより一層毎に端面にマージン２と内
部電極３が配列する積層体が得られる。
【０００５】次に、この積層体を加圧して一体化して
後、低温で加熱してバインダを除去してから高温に加熱
してセラミック原料粉末を焼結させて素子とし、次に、
端面に導体ペーストを塗布して後に焼き付けて外部電極
４とすることによりアクチュエータ素子５が形成されて
いた。
後、低温で加熱してバインダを除去してから高温に加熱
してセラミック原料粉末を焼結させて素子とし、次に、
端面に導体ペーストを塗布して後に焼き付けて外部電極
４とすることによりアクチュエータ素子５が形成されて
いた。
【０００６】然し、かゝる構造をとるアクチュエータ素
子５は上下の内部電極３に挟まれた部分のみが活性領域
として働いて圧電・電歪動作をするが、マージン２が存
在する部分は電圧が加わらないために圧電・電歪動作を
せず、不活性領域となる。そのためにパルス駆動による
寿命試験を行なうとその境界部で容易に破壊すると云う
問題がある。そこで、全面電極型構造が提案された。
子５は上下の内部電極３に挟まれた部分のみが活性領域
として働いて圧電・電歪動作をするが、マージン２が存
在する部分は電圧が加わらないために圧電・電歪動作を
せず、不活性領域となる。そのためにパルス駆動による
寿命試験を行なうとその境界部で容易に破壊すると云う
問題がある。そこで、全面電極型構造が提案された。
【０００７】図９はこの断面構造を示すもので、グリー
ンシート１の全面に亙って内部電極３を設けて積層し、
この両端部に現れる内部電極３を一層置きにガラスペー
ストなどの絶縁材料を塗布し焼成するなどの方法で絶縁
物７で被覆した後、これを含む端面に導体ペーストを塗
布し、焼き付けて外部電極４を形成している。このよう
にすると不活性領域が存在しないために寿命を延長する
ことができる。然し、絶縁被覆を行なうための作業が複
雑であり、また、作業性を考慮するとグリーンシートの
厚さをあまり薄くできないと云う問題があった。
ンシート１の全面に亙って内部電極３を設けて積層し、
この両端部に現れる内部電極３を一層置きにガラスペー
ストなどの絶縁材料を塗布し焼成するなどの方法で絶縁
物７で被覆した後、これを含む端面に導体ペーストを塗
布し、焼き付けて外部電極４を形成している。このよう
にすると不活性領域が存在しないために寿命を延長する
ことができる。然し、絶縁被覆を行なうための作業が複
雑であり、また、作業性を考慮するとグリーンシートの
厚さをあまり薄くできないと云う問題があった。
【０００８】そこで、これを改良した図10に示すような
製造方法が提案されている。（特願平４−３２６６５６
村上他 富士電気化学）すなわち、ドクタブレード法
により形成したグリーンシートの上に導体ペーストを印
刷して内部電極３を作った後、この上にグリーンシート
を当接し、加圧して図10（Ａ）に示すような貼り合わせ
シート９を形成する。次に、自動穿孔装置を用いて貼り
合わせシート９に同図（Ｂ）に示すように長穴形状のス
リット10を素子の大きさの二倍の寸法位置に千鳥状に形
成する。なお、貼り合わせシート９の四隅に設けた穴は
位置合わせ孔11である。
製造方法が提案されている。（特願平４−３２６６５６
村上他 富士電気化学）すなわち、ドクタブレード法
により形成したグリーンシートの上に導体ペーストを印
刷して内部電極３を作った後、この上にグリーンシート
を当接し、加圧して図10（Ａ）に示すような貼り合わせ
シート９を形成する。次に、自動穿孔装置を用いて貼り
合わせシート９に同図（Ｂ）に示すように長穴形状のス
リット10を素子の大きさの二倍の寸法位置に千鳥状に形
成する。なお、貼り合わせシート９の四隅に設けた穴は
位置合わせ孔11である。
【０００９】次に、このスリット10にガラスセラミック
のような絶縁ペーストを充填した後、同図（Ｃ）に示す
ようにスリット間隔の1/2 ずらせた状態で積層し、加圧
して一体化した後に焼成してセラミックとした後、同図
（Ｂ），（Ｃ）において点線で示す位置で切断すること
により不活性領域がなく素子の対向面に内部電極３と絶
縁物が交互に現れた単位素子を作ることができ、この端
面に銀（Ag) 焼付けなどの方法で外部電極を設けること
によりアクチュエータ素子が完成している。然し、この
工程は比較的複雑であることから、量産化のためにはよ
り簡単な製造方法を実用化する必要があった。
のような絶縁ペーストを充填した後、同図（Ｃ）に示す
ようにスリット間隔の1/2 ずらせた状態で積層し、加圧
して一体化した後に焼成してセラミックとした後、同図
（Ｂ），（Ｃ）において点線で示す位置で切断すること
により不活性領域がなく素子の対向面に内部電極３と絶
縁物が交互に現れた単位素子を作ることができ、この端
面に銀（Ag) 焼付けなどの方法で外部電極を設けること
によりアクチュエータ素子が完成している。然し、この
工程は比較的複雑であることから、量産化のためにはよ
り簡単な製造方法を実用化する必要があった。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】積層圧電・電歪アクチ
ュエータの構造としては積層コンデンサ型が一般である
が、信頼性を向上するためには不活性領域を含まぬこと
が必要で、この点を改良した各種の構造が提案されてい
る。然し、量産の見地からすると、なるべく工数の掛か
らぬことが必要で、この目的に沿った製造方法を実用化
することが課題である。
ュエータの構造としては積層コンデンサ型が一般である
が、信頼性を向上するためには不活性領域を含まぬこと
が必要で、この点を改良した各種の構造が提案されてい
る。然し、量産の見地からすると、なるべく工数の掛か
らぬことが必要で、この目的に沿った製造方法を実用化
することが課題である。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記の課題は位置合わせ
孔を設けた圧電・電歪セラミックグリーンシートに導電
ペーストを印刷して後、乾燥する工程と、この圧電・電
歪セラミックグリーンシートを打ち抜いて単位素子の二
倍の寸法位置に内部電極の幅よりも大きな長穴形状のス
リットを千鳥状に形成する工程と、このグリーンシート
を交互に180 度向きを変えて積層し、加圧して一体化す
る工程と、この積層体を大気中で加熱して脱脂した後に
焼成する工程と、セラミック上の各スリットの縦方向中
心線の位置でこのセラミックを単位素子に切断する工程
と、各単位素子の外部電極形成面に非酸化性の金属箔を
当接して加熱し、内部電極と融着させて外部電極とする
工程と、この外部電極にリードを付けた後に分極処理す
る工程とからなる積層型圧電・電歪アクチュエータの製
造方法をとることにより解決することができる。
孔を設けた圧電・電歪セラミックグリーンシートに導電
ペーストを印刷して後、乾燥する工程と、この圧電・電
歪セラミックグリーンシートを打ち抜いて単位素子の二
倍の寸法位置に内部電極の幅よりも大きな長穴形状のス
リットを千鳥状に形成する工程と、このグリーンシート
を交互に180 度向きを変えて積層し、加圧して一体化す
る工程と、この積層体を大気中で加熱して脱脂した後に
焼成する工程と、セラミック上の各スリットの縦方向中
心線の位置でこのセラミックを単位素子に切断する工程
と、各単位素子の外部電極形成面に非酸化性の金属箔を
当接して加熱し、内部電極と融着させて外部電極とする
工程と、この外部電極にリードを付けた後に分極処理す
る工程とからなる積層型圧電・電歪アクチュエータの製
造方法をとることにより解決することができる。
【００１２】
【作用】本発明は積層圧電・電歪アクチュエータの製造
工程を簡単化する方法として内部電極を上下のグリーン
シートで包んだ貼り合わせシートを用いる代わりに図２
に示すように単純にグリーンシート１の上に内部電極３
を形成し、この内部電極３を含むグリーンシート１に図
３に示すように単位素子の二倍の寸法位置に内部電極の
幅よりも大きな長穴形状のスリット10を千鳥状に形成す
るものである。
工程を簡単化する方法として内部電極を上下のグリーン
シートで包んだ貼り合わせシートを用いる代わりに図２
に示すように単純にグリーンシート１の上に内部電極３
を形成し、この内部電極３を含むグリーンシート１に図
３に示すように単位素子の二倍の寸法位置に内部電極の
幅よりも大きな長穴形状のスリット10を千鳥状に形成す
るものである。
【００１３】なお、図３に示す点線13は位置合わせして
積層した後に行なう切断位置を示すもので、横方向に配
列しているスリット10の間から二個づつの素子を得るこ
とができる。次に、アクチュエータ素子の製造方法とし
ては図３に示すグリーンシート１とこのグリーンシート
１を面内で180 度向きを変えたグリーンシート１を交互
に積層し、加圧して一体化し、焼成した後に点線13の位
置で切断すると第１図に示すように内部電極３とスリッ
ト10の1/2幅の空隙とが側面に交互に現れる積層体を得
ることができ、この端面にメタライズして外部電極４を
形成することによりアクチュエータ素子ができあがる。
積層した後に行なう切断位置を示すもので、横方向に配
列しているスリット10の間から二個づつの素子を得るこ
とができる。次に、アクチュエータ素子の製造方法とし
ては図３に示すグリーンシート１とこのグリーンシート
１を面内で180 度向きを変えたグリーンシート１を交互
に積層し、加圧して一体化し、焼成した後に点線13の位
置で切断すると第１図に示すように内部電極３とスリッ
ト10の1/2幅の空隙とが側面に交互に現れる積層体を得
ることができ、この端面にメタライズして外部電極４を
形成することによりアクチュエータ素子ができあがる。
【００１４】なお、このような構造をとると、絶縁封口
したい内部電極３はスリットの1/2幅の僅かの空隙をへ
だてゝ内側にあるので端面に導体ペーストのような浸透
性の材料で外部電極を構成するのは好ましくなく、金属
箔を治具を用いて当接した状態で加熱し、内部電極３と
回路接続させるのがよい。
したい内部電極３はスリットの1/2幅の僅かの空隙をへ
だてゝ内側にあるので端面に導体ペーストのような浸透
性の材料で外部電極を構成するのは好ましくなく、金属
箔を治具を用いて当接した状態で加熱し、内部電極３と
回路接続させるのがよい。
【００１５】次に、本発明に係る構造をとる場合はスリ
ット10は空隙であるから、焼成処理中に過度の変形が生
じる場合は図３においてスリット10の周りにある内部電
極３が下のグリーンシート上に形成してある内部電極３
と接触する危険性がある。そこで、これを防ぐには図５
に示すようにスリット10の周りにマージン14をとればよ
く、その方法としては図４に示すように先ずグリーンシ
ート１にスリット10を設けた後、導体ペーストをスクリ
ーン印刷して内部電極３を形成すればよい。このように
するとマージン14の存在により内部電極の相互短絡をな
くすることができるが、この場合に必要なことはこのマ
ージン14の領域が不活性領域になることである。そのた
めにはこのマージンの幅は50μm 程度に留める必要があ
る。
ット10は空隙であるから、焼成処理中に過度の変形が生
じる場合は図３においてスリット10の周りにある内部電
極３が下のグリーンシート上に形成してある内部電極３
と接触する危険性がある。そこで、これを防ぐには図５
に示すようにスリット10の周りにマージン14をとればよ
く、その方法としては図４に示すように先ずグリーンシ
ート１にスリット10を設けた後、導体ペーストをスクリ
ーン印刷して内部電極３を形成すればよい。このように
するとマージン14の存在により内部電極の相互短絡をな
くすることができるが、この場合に必要なことはこのマ
ージン14の領域が不活性領域になることである。そのた
めにはこのマージンの幅は50μm 程度に留める必要があ
る。
【００１６】
実施例１：（請求項１，図２，３に対応）Pb(Ni1/3Nb
2/3)03と PbTiO3 と PbZrO3 を0.5 ：0.35：0.15の重量
比に混合しこれにバインダとしてＰＶＢ（ポリビニルブ
チラール）を、また、可塑剤としてＤＢＰ（ジブチルフ
タレート）を加え、混練した後、ドクタブレード法によ
り厚さが80μm のグリーンシートを作り、これを100mm
角に打ち抜いた後、Ag-Pd ペーストをスクリーン印刷し
て図２に示すように厚さが５μm の内部電極を形成し
た。
2/3)03と PbTiO3 と PbZrO3 を0.5 ：0.35：0.15の重量
比に混合しこれにバインダとしてＰＶＢ（ポリビニルブ
チラール）を、また、可塑剤としてＤＢＰ（ジブチルフ
タレート）を加え、混練した後、ドクタブレード法によ
り厚さが80μm のグリーンシートを作り、これを100mm
角に打ち抜いた後、Ag-Pd ペーストをスクリーン印刷し
て図２に示すように厚さが５μm の内部電極を形成し
た。
【００１７】次に、自動穿孔装置を用いて幅４ mm ，長
さ20 mm のスリットを図３に示すように千鳥状に打ち抜
いた後、面内で交互に180 度向きを変えて150 枚積層
し、この上下に穴のないダミー層を20層づつ積層し、50
ＭPaの圧力を加えて一体化した。次に、この積層体を電
気炉に入れ、２℃／Ｈの昇温速度で500 ℃まで上げ、こ
の温度で10時間脱脂した後、200 ℃／Ｈの昇温速度で11
00℃まで上げ、２時間焼成してセラミックにした。次
に、図３の点線の位置で切断した後、各素子の端面に厚
さが100 μm のAg箔を当接した状態で600 ℃,30 分間大
気中で加熱して外部電極を作り、リード線を半田付けし
て後、100 Ｖを印加して分極させることで積層圧電・電
歪アクチュエータが完成した。
さ20 mm のスリットを図３に示すように千鳥状に打ち抜
いた後、面内で交互に180 度向きを変えて150 枚積層
し、この上下に穴のないダミー層を20層づつ積層し、50
ＭPaの圧力を加えて一体化した。次に、この積層体を電
気炉に入れ、２℃／Ｈの昇温速度で500 ℃まで上げ、こ
の温度で10時間脱脂した後、200 ℃／Ｈの昇温速度で11
00℃まで上げ、２時間焼成してセラミックにした。次
に、図３の点線の位置で切断した後、各素子の端面に厚
さが100 μm のAg箔を当接した状態で600 ℃,30 分間大
気中で加熱して外部電極を作り、リード線を半田付けし
て後、100 Ｖを印加して分極させることで積層圧電・電
歪アクチュエータが完成した。
【００１８】図６と図７はかゝるアクチュエータの寿命
試験の結果であって、パルス繰り返し周波数１ＫHz, 波
高値50Ｖ，デューティ50％のパルスを109 回に亙って加
え、各測定点においてパルス印加を一時中断して静電容
量を測定し、また、DC 60 Ｖを印加して変位量を測定し
たものであるが、図に示すように変化はなく安定に動作
した。 実施例２：（請求項２，図４，５に対応）実施例１と同
様にして厚さが80μm のグリーンシートを作り、これを
100mm 角に打ち抜いた。これに自動穿孔装置を用いて幅
３ mm ，長さ19 mm の穴を図４に示すように千鳥状に打
ち抜いた後、50μm 幅のマージンをとって図５に示すよ
うにAg-Pd ペーストをスクリーン印刷して厚さが５μm
の内部電極を形成した。以下、実施例１と全く同様な工
程でアクチュエータ素子を作り、109 回に亙ってパルス
を印加して寿命試験を行なったが変位量についても、静
電容量値についても図６，７と同様に変化はなく安定に
動作した。
試験の結果であって、パルス繰り返し周波数１ＫHz, 波
高値50Ｖ，デューティ50％のパルスを109 回に亙って加
え、各測定点においてパルス印加を一時中断して静電容
量を測定し、また、DC 60 Ｖを印加して変位量を測定し
たものであるが、図に示すように変化はなく安定に動作
した。 実施例２：（請求項２，図４，５に対応）実施例１と同
様にして厚さが80μm のグリーンシートを作り、これを
100mm 角に打ち抜いた。これに自動穿孔装置を用いて幅
３ mm ，長さ19 mm の穴を図４に示すように千鳥状に打
ち抜いた後、50μm 幅のマージンをとって図５に示すよ
うにAg-Pd ペーストをスクリーン印刷して厚さが５μm
の内部電極を形成した。以下、実施例１と全く同様な工
程でアクチュエータ素子を作り、109 回に亙ってパルス
を印加して寿命試験を行なったが変位量についても、静
電容量値についても図６，７と同様に変化はなく安定に
動作した。
【００１９】
【発明の効果】本発明に係る製造方法を採ることにより
安定に動作する積層型圧電・電歪アクチュエータを従来
に較べて簡単な工程で作ることができる。
安定に動作する積層型圧電・電歪アクチュエータを従来
に較べて簡単な工程で作ることができる。
【図１】 本発明に係る積層圧電・電歪アクチュエータ
の断面図、
の断面図、
【図２】 グリーンシート上に形成した内部電極の平面
図、
図、
【図３】 内部電極を備えたグリーンシートにスリット
を設けた平面図、
を設けた平面図、
【図４】 グリーンシートにスリットを設けた状態を示
す平面図、
す平面図、
【図５】 グリーンシートに内部電極を形成した状態を
示す平面図、
示す平面図、
【図６】 アクチュエータの寿命試験結果（その１）
【図７】 アクチュエータの寿命試験結果（その２）
【図８】 積層圧電・電歪アクチュエータの従来の構造
を示す断面図、
を示す断面図、
【図９】 積層圧電・電歪アクチュエータの従来の構造
を示す別の断面図、
を示す別の断面図、
【図10】 積層圧電・電歪アクチュエータの先願（平成
４年１１月９日出願）の製造方法を示す断面図、
４年１１月９日出願）の製造方法を示す断面図、
１ グリーンシート ２，14 マージン ３ 内部電極 ４ 外部電極 ５ アクチュエータ素子 10 スリット
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０４Ｒ 17/00 ３３０ Ｅ 9181−5Ｈ
Claims (2)
- 【請求項１】 導体ペーストを印刷して内部電極をパタ
ーン形成した圧電・電歪セラミックグリーンシートを該
内部電極の一端が反対方向に交互に現れるように積層し
一体化して焼成した後、前記内部電極が現れている端面
を繋ぐ外部電極を設ける圧電アクチュエータの製造方法
として、該工程が、 位置合わせ孔を設けた圧電・電歪セラミックグリーンシ
ートに導電ペーストを印刷して後、乾燥する工程と、 該圧電・電歪セラミックグリーンシートを打ち抜いて単
位素子の二倍の寸法位置に内部電極の幅よりも大きな長
穴形状のスリットを千鳥状に形成する工程と、 該グリーンシートを面内で交互に180 度向きを変えて積
層し、加圧して一体化する工程と、 該積層体を大気中で加熱して脱脂した後に焼成する工程
と、 セラミック上の各スリットの縦方向中心線の位置で該セ
ラミックを単位素子に切断する工程と、 各単位素子の外部電極形成面に非酸化性の金属箔を当接
して加熱し、内部電極と融着させて外部電極とする工程
と、 該外部電極にリードを付けた後に分極処理する工程と、 からなることを特徴とする積層型圧電・電歪アクチュエ
ータの製造方法。 - 【請求項２】 位置合わせ孔を設けた圧電・電歪セラミ
ックグリーンシートを打ち抜いて単位素子の二倍の寸法
位置に内部電極の幅よりも大きな長穴形状のスリットを
千鳥状に形成する工程と、 該長穴形状のスリットと該スリットの周辺端部を除くグ
リーンシートの全域に導電ペーストを印刷して後に乾燥
する工程と、 該グリーンシートを交互に180 度向きを変えて積層し、
加圧して一体化する工程と、 を含むことを特徴とする請求項１記載の積層型圧電・電
歪アクチュエータの製造方法。
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|---|---|---|---|
| JP11747593A JPH06334236A (ja) | 1993-05-20 | 1993-05-20 | 積層型圧電・電歪アクチュエータの製造方法 |
| US08/201,987 US5607535A (en) | 1993-05-20 | 1994-02-25 | Method of manufacturing a laminated piezoelectric actuator |
Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
| JP11747593A JPH06334236A (ja) | 1993-05-20 | 1993-05-20 | 積層型圧電・電歪アクチュエータの製造方法 |
Publications (1)
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|---|---|
| JPH06334236A true JPH06334236A (ja) | 1994-12-02 |
Family
ID=14712618
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11747593A Withdrawn JPH06334236A (ja) | 1993-05-20 | 1993-05-20 | 積層型圧電・電歪アクチュエータの製造方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5607535A (ja) |
| JP (1) | JPH06334236A (ja) |
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