JPS6384174A - 電歪効果素子の製造方法 - Google Patents
電歪効果素子の製造方法Info
- Publication number
- JPS6384174A JPS6384174A JP61228464A JP22846486A JPS6384174A JP S6384174 A JPS6384174 A JP S6384174A JP 61228464 A JP61228464 A JP 61228464A JP 22846486 A JP22846486 A JP 22846486A JP S6384174 A JPS6384174 A JP S6384174A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layers
- insulating
- laminate
- layer
- insulating layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/87—Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
- H10N30/872—Interconnections, e.g. connection electrodes of multilayer piezoelectric or electrostrictive devices
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/01—Manufacture or treatment
- H10N30/06—Forming electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
- H10N30/063—Forming interconnections, e.g. connection electrodes of multilayered piezoelectric or electrostrictive parts
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は圧電体の電歪効果（逆圧電効果）を利用した素
子、より詳しくは、圧電体に電圧を印加して圧電体に歪
（ひずみ）を生じさせ、その歪を変位量とした微動変位
素子に関するものである。
子、より詳しくは、圧電体に電圧を印加して圧電体に歪
（ひずみ）を生じさせ、その歪を変位量とした微動変位
素子に関するものである。
電歪効果素子（微動変位素子）として大きな変位量を得
るために、圧電材層と内部電極層とを交互に積層した積
層チップコンデンサ型の構造が提案されている。このよ
うな積層チップコンデンサ型電歪効果素子は、例えば、
特開昭５８−１９６０６８号公報、特開昭５８−１９６
０７１号公報、特開昭５８−１９６０７２号公報、特開
昭５８−１９６０７４号公報などで提案されている。そ
して、この素子の応用についても研究されており、例え
ば、リニヤパルスモーク、高速バルブ、マイクロサーボ
用アクチュエータ、振動発生源などの応用が考えられて
いる。
るために、圧電材層と内部電極層とを交互に積層した積
層チップコンデンサ型の構造が提案されている。このよ
うな積層チップコンデンサ型電歪効果素子は、例えば、
特開昭５８−１９６０６８号公報、特開昭５８−１９６
０７１号公報、特開昭５８−１９６０７２号公報、特開
昭５８−１９６０７４号公報などで提案されている。そ
して、この素子の応用についても研究されており、例え
ば、リニヤパルスモーク、高速バルブ、マイクロサーボ
用アクチュエータ、振動発生源などの応用が考えられて
いる。
積層構造での内部電極層の全てを一層おきに２つの外部
電極の一方に接続する必要があり、そのための外部電極
が上述した公開特許公報に開示されている。特開昭５８
−１９６０７２号および特開昭５８−１９６０７４号公
報においては外部電極にリード線を用いて一層おきに内
部電極層に半田付けで接続している。また、特開昭５８
−１９６０６８号および特開昭５８−１９６０７１号公
報では、内部電極の露出端部を一層おきに絶縁層で覆っ
てから外部電極を形成している。これら公報では内部電
極の間隙（すなわち、圧電材層の厚さ）は数百マイクロ
メートルであり、特に、特開昭５８−１９６０７４号公
報での実施例１では２５０マイクロメートルであった。
電極の一方に接続する必要があり、そのための外部電極
が上述した公開特許公報に開示されている。特開昭５８
−１９６０７２号および特開昭５８−１９６０７４号公
報においては外部電極にリード線を用いて一層おきに内
部電極層に半田付けで接続している。また、特開昭５８
−１９６０６８号および特開昭５８−１９６０７１号公
報では、内部電極の露出端部を一層おきに絶縁層で覆っ
てから外部電極を形成している。これら公報では内部電
極の間隙（すなわち、圧電材層の厚さ）は数百マイクロ
メートルであり、特に、特開昭５８−１９６０７４号公
報での実施例１では２５０マイクロメートルであった。
これら公報で開示された一層おきのリード線接続あるい
は一層おきの′ＩＩＩＡ縁層形成では上述の数百マイク
ロメートル間隙よりもさらに狭くすることはむずかしい
。このような外部電極の形成方法が圧電材層の厚さを規
定する要因となっている。
は一層おきの′ＩＩＩＡ縁層形成では上述の数百マイク
ロメートル間隙よりもさらに狭くすることはむずかしい
。このような外部電極の形成方法が圧電材層の厚さを規
定する要因となっている。
本発明の目的は、電歪効果素子の外部電極を容易に形成
する方法を提案することである。
する方法を提案することである。
本発明の別の目的は、内部電極間隙をより小さくするこ
とができる外部電極を形成する電歪効果素子の製造方法
を提供することである。
とができる外部電極を形成する電歪効果素子の製造方法
を提供することである。
上述の目的が、同じ平面寸法の圧電材層と内部電極層と
を交互に積層した積層体の電歪効果素子の製造方法にお
いて、焼結した前記積層体の側面上に絶縁層を長手方向
で連続的に形成し、前記内部電極層が一層おきに露出す
るように前記絶縁層を精密加工で選択的に除去し、前記
絶縁層よりも幅の狭い導体ペーストを前記絶縁層上およ
び除去され露出した前記積層体側面上に塗布し、該導体
ペーストを焼成して外部電極層とする工程を含んでなる
ことを特徴とする電歪効果素子の製造方法によって達成
される。
を交互に積層した積層体の電歪効果素子の製造方法にお
いて、焼結した前記積層体の側面上に絶縁層を長手方向
で連続的に形成し、前記内部電極層が一層おきに露出す
るように前記絶縁層を精密加工で選択的に除去し、前記
絶縁層よりも幅の狭い導体ペーストを前記絶縁層上およ
び除去され露出した前記積層体側面上に塗布し、該導体
ペーストを焼成して外部電極層とする工程を含んでなる
ことを特徴とする電歪効果素子の製造方法によって達成
される。
精密加工がレーザ加工あるいはウォータジェット加工で
あることが望ましく、絶縁層を幅５０〜５００マイクロ
メートルの帯状に除去することができる。
あることが望ましく、絶縁層を幅５０〜５００マイクロ
メートルの帯状に除去することができる。
以下・添付図面を参照して本発明の実施態様例によって
本発明の詳細な説明する。
本発明の詳細な説明する。
第１図（Ａ）〜（Ｄ）は、本発明に係る製造方法にした
がった電歪効果素子の製造工程を説明する電歪効果素子
の斜視図である。
がった電歪効果素子の製造工程を説明する電歪効果素子
の斜視図である。
第１図（Ｄ）に示すような電歪効果素子が次のようにし
て製造される。
て製造される。
まず、圧電材層を形成するために、チタン酸ジルコン亜
鉛Ｐｂ （ＴｉｘＺｒｌ−ｘ） ０３ （Ｘ ＝０．
４０〜０．６０：を主成分とする圧電材料仮焼粉末に微
量の有機バインダーを添加し、これを有機溶媒中に分散
させたスラリーを用意した。通常の積層セラミックコン
デンサの製造に使用されるキャスティング製膜装置によ
ってスラリーをポリエチレングリコールテレフタレート
フィルム（マイラーフイルム二Ｄｕ Ｐｏｌｎｔ社商品
）上に５０〜５００μｍの厚さに塗布し乾燥させた。こ
のフィルムから剥離して圧電材料のグリーンシートを得
た。グリーンシート上に内部電極層となる白金ペースト
を全面にスクリーン印刷した。このグリーンシートを所
定形状（例えば、第１図（Ａ）のような矩形）に切断し
、それを数１０枚重ね、熱プレスによって圧着一体化し
た後で約１２５０℃の温度にて焼成した。このようにし
て、第１図（Ａ）に示すような、圧電材層１と白金の内
部電極層２とが交互に積層された焼結積層体３が得られ
た。この積層体３の最上層となる圧電材層４には白金ペ
ーストを塗布しないグリーンシートを用いた。
鉛Ｐｂ （ＴｉｘＺｒｌ−ｘ） ０３ （Ｘ ＝０．
４０〜０．６０：を主成分とする圧電材料仮焼粉末に微
量の有機バインダーを添加し、これを有機溶媒中に分散
させたスラリーを用意した。通常の積層セラミックコン
デンサの製造に使用されるキャスティング製膜装置によ
ってスラリーをポリエチレングリコールテレフタレート
フィルム（マイラーフイルム二Ｄｕ Ｐｏｌｎｔ社商品
）上に５０〜５００μｍの厚さに塗布し乾燥させた。こ
のフィルムから剥離して圧電材料のグリーンシートを得
た。グリーンシート上に内部電極層となる白金ペースト
を全面にスクリーン印刷した。このグリーンシートを所
定形状（例えば、第１図（Ａ）のような矩形）に切断し
、それを数１０枚重ね、熱プレスによって圧着一体化し
た後で約１２５０℃の温度にて焼成した。このようにし
て、第１図（Ａ）に示すような、圧電材層１と白金の内
部電極層２とが交互に積層された焼結積層体３が得られ
た。この積層体３の最上層となる圧電材層４には白金ペ
ーストを塗布しないグリーンシートを用いた。
次に、焼結積層体３の側面うちの２つの側面５Ａ、５Ｂ
上にペースト状の絶縁材料を、第１図（Ｂ）に示すよう
に、長手方向で連続的に塗布して絶縁Ｊｉ６Ａおよび６
Ｂを形成した。この絶縁材料にはガラスペーストなどが
あり、スクリーン印刷法、あるいははけ塗りで容易に塗
布できる。そして、塗布後に加熱炉にて焼成した。絶縁
層６Ａ。
上にペースト状の絶縁材料を、第１図（Ｂ）に示すよう
に、長手方向で連続的に塗布して絶縁Ｊｉ６Ａおよび６
Ｂを形成した。この絶縁材料にはガラスペーストなどが
あり、スクリーン印刷法、あるいははけ塗りで容易に塗
布できる。そして、塗布後に加熱炉にて焼成した。絶縁
層６Ａ。
６Ｂを塗布する積層体側面は隣り合った側面でもよいが
、第１図（Ｂ）のように、反対側の側面であるのが望ま
しい。
、第１図（Ｂ）のように、反対側の側面であるのが望ま
しい。
焼成した絶縁層６Ａ、６Ｂを、第１図（Ｃ）に示すよう
に、内部電極層２が一層おきに表出するように精密加工
法、例えば、レーザ加工によって選択的に帯状に除去し
た。レーザ加工は、ＹＡＧレーザ加工機で出カニ ４０
０Ｖ、 ３Ａ、パルス幅＝１ｍｓにて実施した。したが
って、絶縁Ｊｉ６Ａは小さな島状の絶縁層部分６Ｃに分
割され、かつもう一方の絶縁層６Ｂも同様に絶縁層部分
に分割され、それぞれの位置が絶縁層６Ａからの分割と
は違って表出していない内部電極層が反対側で表出した
。
に、内部電極層２が一層おきに表出するように精密加工
法、例えば、レーザ加工によって選択的に帯状に除去し
た。レーザ加工は、ＹＡＧレーザ加工機で出カニ ４０
０Ｖ、 ３Ａ、パルス幅＝１ｍｓにて実施した。したが
って、絶縁Ｊｉ６Ａは小さな島状の絶縁層部分６Ｃに分
割され、かつもう一方の絶縁層６Ｂも同様に絶縁層部分
に分割され、それぞれの位置が絶縁層６Ａからの分割と
は違って表出していない内部電極層が反対側で表出した
。
ＹＡＧレーザ加工なので除去する幅を任意に設定でき、
内部電極層厚さを考慮して約５０μｍ程度まで小さくす
ることができる。レーザ加工の代わりに、ウォータジェ
ット加工法で焼成した絶縁層６Ａ、６Ｂを同様に除去加
工してもよい。この場合には除去幅が約５０μ翔まで小
さくすることが可能である。
内部電極層厚さを考慮して約５０μｍ程度まで小さくす
ることができる。レーザ加工の代わりに、ウォータジェ
ット加工法で焼成した絶縁層６Ａ、６Ｂを同様に除去加
工してもよい。この場合には除去幅が約５０μ翔まで小
さくすることが可能である。
次に、第１図（Ｄ）に示すように、外部電極層７として
導体ペーストを絶縁層６Ａ、６Ｂの幅よりも小さい幅で
絶縁層部分６Ｃ上および積層体３の表出部分上に連続的
に塗布した。表出した内部電極層と一層おきにこの導体
ペーストは接触するが、絶縁層部分６Ｃでカバーされた
内部電極層とは接触しない。導体ペーストにはＡｇＰｄ
ペースト、 ＡｇＰｔペースト、Ａｕペースト、Ａｇペ
ーストなどを使用することができる。２つの導体ペース
ト７（第１図（Ｃ）では一方のみを図示し、他方は反対
側側面上にある）を形成してから、加熱炉にて焼成した
。
導体ペーストを絶縁層６Ａ、６Ｂの幅よりも小さい幅で
絶縁層部分６Ｃ上および積層体３の表出部分上に連続的
に塗布した。表出した内部電極層と一層おきにこの導体
ペーストは接触するが、絶縁層部分６Ｃでカバーされた
内部電極層とは接触しない。導体ペーストにはＡｇＰｄ
ペースト、 ＡｇＰｔペースト、Ａｕペースト、Ａｇペ
ーストなどを使用することができる。２つの導体ペース
ト７（第１図（Ｃ）では一方のみを図示し、他方は反対
側側面上にある）を形成してから、加熱炉にて焼成した
。
このようにして電歪効果素子が製造できた。
上述の場合にはレーザ加工で絶縁層を分割したが、レー
ザでもって絶縁層に穴をあけ、この穴内に内部電極層が
表出するようにしてもよい。
ザでもって絶縁層に穴をあけ、この穴内に内部電極層が
表出するようにしてもよい。
本発明によれば、電歪効果素子積層体での内部電極層と
一層おきに接続した外部電極層を容易に形成することが
でき、しかも外部電極層の下にある絶縁層を精密加工で
内部電極層を一層おきに表出できその加工幅も小さいの
で外部電極形成方法からの内部電極間隙（圧電材層の厚
さ）に対する制約はない。
一層おきに接続した外部電極層を容易に形成することが
でき、しかも外部電極層の下にある絶縁層を精密加工で
内部電極層を一層おきに表出できその加工幅も小さいの
で外部電極形成方法からの内部電極間隙（圧電材層の厚
さ）に対する制約はない。
第１図（Ａ）〜第１図（Ｄ）は、本発明に係る製造方法
を説明する製造工程での電歪効果素子の斜視図である。 １・・・圧電材層、 ２・・・内部電極層、
３・・・積層体、 ６Ａ 、 ６Ｂ・・・絶縁層
、６Ｃ・・・絶縁層部分、 ７・・・外部電極
層。
を説明する製造工程での電歪効果素子の斜視図である。 １・・・圧電材層、 ２・・・内部電極層、
３・・・積層体、 ６Ａ 、 ６Ｂ・・・絶縁層
、６Ｃ・・・絶縁層部分、 ７・・・外部電極
層。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、同じ平面寸法の圧電材層と内部電極層とを交互に積
層した積層体の電歪効果素子の製造方法において、焼結
した前記積層体の側面上に絶縁層を長手方向で連続的に
形成し、前記内部電極層が一層おきに露出するように前
記絶縁層を精密加工で選択的に除去し、前記絶縁層より
も幅の狭い導体ペーストを前記絶縁層上および除去され
露出した前記積層体側面上に塗布し、該導体ペーストを
焼成して外部電極層とする工程を含んでなることを特徴
とする電歪効果素子の製造方法。 ２、前記精密加工がレーザ加工であることを特徴とする
特許請求の範囲第１項記載の製造方法。 ３、前記精密加工がウォータジェット加工であることを
特徴とする特許請求の範囲第１項記載の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61228464A JPS6384174A (ja) | 1986-09-29 | 1986-09-29 | 電歪効果素子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61228464A JPS6384174A (ja) | 1986-09-29 | 1986-09-29 | 電歪効果素子の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6384174A true JPS6384174A (ja) | 1988-04-14 |
Family
ID=16876893
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61228464A Pending JPS6384174A (ja) | 1986-09-29 | 1986-09-29 | 電歪効果素子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6384174A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0251289A (ja) * | 1988-08-15 | 1990-02-21 | Sekisui Plastics Co Ltd | レーザー光線による複合圧電素子材料の製作方法 |
| JPH04340778A (ja) * | 1991-01-30 | 1992-11-27 | Nec Corp | 積層圧電アクチュエータ素子 |
| JPH05259524A (ja) * | 1992-12-25 | 1993-10-08 | Hitachi Metals Ltd | 積層型圧電素子 |
| WO2017028986A1 (de) * | 2015-08-14 | 2017-02-23 | Continental Automotive Gmbh | Herstellungsverfahren zum herstellen eines elektromechanischen aktors und elektromechanischer aktor |
-
1986
- 1986-09-29 JP JP61228464A patent/JPS6384174A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0251289A (ja) * | 1988-08-15 | 1990-02-21 | Sekisui Plastics Co Ltd | レーザー光線による複合圧電素子材料の製作方法 |
| JPH04340778A (ja) * | 1991-01-30 | 1992-11-27 | Nec Corp | 積層圧電アクチュエータ素子 |
| JPH05259524A (ja) * | 1992-12-25 | 1993-10-08 | Hitachi Metals Ltd | 積層型圧電素子 |
| WO2017028986A1 (de) * | 2015-08-14 | 2017-02-23 | Continental Automotive Gmbh | Herstellungsverfahren zum herstellen eines elektromechanischen aktors und elektromechanischer aktor |
| CN107851710A (zh) * | 2015-08-14 | 2018-03-27 | 大陆汽车有限公司 | 用于制造机电执行器的制造方法以及机电执行器 |
| KR20180039157A (ko) * | 2015-08-14 | 2018-04-17 | 콘티넨탈 오토모티브 게엠베하 | 전기 기계식 액추에이터의 제조 방법 및 전기 기계식 액추에이터 |
| JP2018529227A (ja) * | 2015-08-14 | 2018-10-04 | コンチネンタル オートモーティヴ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングＣｏｎｔｉｎｅｎｔａｌ Ａｕｔｏｍｏｔｉｖｅ ＧｍｂＨ | 電気機械式アクチュエータを製造するための製造方法および電気機械式アクチュエータ |
| CN107851710B (zh) * | 2015-08-14 | 2020-10-27 | 大陆汽车有限公司 | 用于制造机电执行器的制造方法以及机电执行器 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS6317354B2 (ja) | ||
| CN108183024B (zh) | 层叠陶瓷电子部件的制造方法 | |
| JP2016086063A (ja) | 積層型コンデンサおよび実装構造 | |
| JPS6384174A (ja) | 電歪効果素子の製造方法 | |
| JPH04139885A (ja) | 積層型変位素子 | |
| JPH0158850B2 (ja) | ||
| CN103606623A (zh) | 包括SrO应力缓冲体的压电元件的制造方法 | |
| JPH0563007B2 (ja) | ||
| JP2002270459A (ja) | 積層セラミック電子部品の製造方法 | |
| JP3279721B2 (ja) | 積層型圧電アクチュエータおよびその製造方法 | |
| JPH0534122Y2 (ja) | ||
| JPH04337682A (ja) | 圧電効果素子および電歪効果素子 | |
| CN103700764A (zh) | 包括HfO2应力缓冲体的压电元件的制造方法 | |
| JPH0745971Y2 (ja) | 電歪効果素子 | |
| JP2006303349A (ja) | 圧電セラミック積層素子の製造方法及び圧電セラミック積層アクチュエータ | |
| JPH0519995B2 (ja) | ||
| JPH02132870A (ja) | 積層圧電素子 | |
| JPH02159777A (ja) | 電歪効果素子 | |
| JPH04237172A (ja) | 電歪効果素子 | |
| JPH0472684A (ja) | 電歪効果素子 | |
| JPH04299587A (ja) | 電歪効果素子 | |
| JP2000021677A (ja) | 積層セラミックコンデンサ | |
| JP3166498B2 (ja) | 電子部品の電極形成方法 | |
| JPS6225475A (ja) | 電歪効果素子およびその製造方法 | |
| JPH0553312B2 (ja) |