JPH04337520A - 磁気記録媒体およびその製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体およびその製造方法Info
- Publication number
- JPH04337520A JPH04337520A JP13720591A JP13720591A JPH04337520A JP H04337520 A JPH04337520 A JP H04337520A JP 13720591 A JP13720591 A JP 13720591A JP 13720591 A JP13720591 A JP 13720591A JP H04337520 A JPH04337520 A JP H04337520A
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- JP
- Japan
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- magnetic
- recording medium
- coercive force
- recording
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- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は磁気記録媒体に関する。
更に詳細には、本発明は再生出力が向上された磁気記録
媒体およびその製造方法に関する。
媒体およびその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】高密度記録技術に対する要求の高まりと
共に、光記録，半導体メモリなど様々な分野で活発な技
術改良が進められるようになった。特に磁気記録の分野
では従来の磁性粉塗布型記録媒体に代わり、高密度記録
材料としてＣｏ−Ｎｉなどの磁性薄膜の研究が盛んに行
われるようになった。
共に、光記録，半導体メモリなど様々な分野で活発な技
術改良が進められるようになった。特に磁気記録の分野
では従来の磁性粉塗布型記録媒体に代わり、高密度記録
材料としてＣｏ−Ｎｉなどの磁性薄膜の研究が盛んに行
われるようになった。
【０００３】更に最近では、一層の高密度化を目指し、
従来の長手記録方式から垂直記録方式へ移行しようとい
う動きもある。この記録方式においては、記録密度が高
くなるほど記録磁化に作用する反磁界が減少し、そのた
め原理的に高密度記録に適した記録方式といわれている
。
従来の長手記録方式から垂直記録方式へ移行しようとい
う動きもある。この記録方式においては、記録密度が高
くなるほど記録磁化に作用する反磁界が減少し、そのた
め原理的に高密度記録に適した記録方式といわれている
。
【０００４】この垂直記録媒体材料としては、現在Ｃｏ
−Ｃｒ合金薄膜が最も活発に研究され、既に優れた高密
度記録性能を有することが実証されている。最近では、
リング型磁気ヘッドによる記録再生を考えた場合、Ｃｏ
−Ｃｒ膜の磁気異方性を完全な垂直ではなく、若干面内
方向に傾けたほうが、良好な記録特性を実現できること
が報告されている（例えば、越後らによる、“テレビジ
ョン学会技術報告，第１４巻、２３号（１９９０年），
３９〜４４頁参照）。しかし、このような工夫によって
も、再生出力の点で、未だ満足できるレベルには到達し
ておらず、一層の特性改良が必要とされている。
−Ｃｒ合金薄膜が最も活発に研究され、既に優れた高密
度記録性能を有することが実証されている。最近では、
リング型磁気ヘッドによる記録再生を考えた場合、Ｃｏ
−Ｃｒ膜の磁気異方性を完全な垂直ではなく、若干面内
方向に傾けたほうが、良好な記録特性を実現できること
が報告されている（例えば、越後らによる、“テレビジ
ョン学会技術報告，第１４巻、２３号（１９９０年），
３９〜４４頁参照）。しかし、このような工夫によって
も、再生出力の点で、未だ満足できるレベルには到達し
ておらず、一層の特性改良が必要とされている。
【０００５】従って、本発明の目的は、従来技術が有す
る再生出力の不足という欠点を解決し、以て、記録再生
得競りに優れた磁気記録媒体およびその製造方法を提供
することである。
る再生出力の不足という欠点を解決し、以て、記録再生
得競りに優れた磁気記録媒体およびその製造方法を提供
することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明では、非磁性下地層を介するか、または、介
さず、非磁性基板上にＣｏ−Ｃｒを主成分とする磁性層
を設けた磁気記録媒体において、磁気異方性主軸が膜面
に対し一方向に２０°〜８０°立ち上がり、かつ、前記
磁性層の膜表面側の保磁力が基板界面側の保磁力よりも
大であることを特徴とする磁気記録媒体を提供する。
に、本発明では、非磁性下地層を介するか、または、介
さず、非磁性基板上にＣｏ−Ｃｒを主成分とする磁性層
を設けた磁気記録媒体において、磁気異方性主軸が膜面
に対し一方向に２０°〜８０°立ち上がり、かつ、前記
磁性層の膜表面側の保磁力が基板界面側の保磁力よりも
大であることを特徴とする磁気記録媒体を提供する。
【０００７】
【作用】図１に本発明の磁気記録媒体の模式的断面構造
を示す。Ｃｏ−Ｃｒ膜２の異方性主軸３がｘ軸から角度
θだけ立ち上がっているものとし、この時のｘ軸を膜面
内磁化容易軸方向と呼ぶことにする。
を示す。Ｃｏ−Ｃｒ膜２の異方性主軸３がｘ軸から角度
θだけ立ち上がっているものとし、この時のｘ軸を膜面
内磁化容易軸方向と呼ぶことにする。
【０００８】具体的に異方性主軸の方向θを決定する方
法としては、トルク法による方法が正確かつ便利である
。以下に、この方法の概略を図１を用いて説明する。 先ず、Ｃｏ−Ｃｒ膜の飽和磁化をＭｓとして、この試料
に対し、φ方向に外部磁界Ｈｅｘ４を印加して試料を飽
和させる。この時の試料が有する磁気的エネルギーは、
ゼーマンエネルギーを無視すれば、次式で表される。
法としては、トルク法による方法が正確かつ便利である
。以下に、この方法の概略を図１を用いて説明する。 先ず、Ｃｏ−Ｃｒ膜の飽和磁化をＭｓとして、この試料
に対し、φ方向に外部磁界Ｈｅｘ４を印加して試料を飽
和させる。この時の試料が有する磁気的エネルギーは、
ゼーマンエネルギーを無視すれば、次式で表される。
【０００９】
【式１】
（但し、この式において、Ｋ１ およびＫ２ はＣｏ−
Ｃｒ膜の磁気異方性定数であり、第３項は薄膜という形
状に由来する巨視的形状異方性項であり、６次以上の項
は無視した。）
Ｃｒ膜の磁気異方性定数であり、第３項は薄膜という形
状に由来する巨視的形状異方性項であり、６次以上の項
は無視した。）
【００１０】前記式１をφで微分することによりトルク
曲線が得られる。
曲線が得られる。
【式２】
この式２と、実際に測定したトルク曲線をフーリエ解析
して得られる各周波数項を比較して連立方程式を解くと
、磁気異方性主軸の方向φが求まる。本発明における磁
気異方性主軸の方向は以上のようにして決定した。但し
、本発明の磁気記録媒体では、膜厚方向に磁気特性の分
布があり、磁気異方性主軸方向にも微視的な分布がある
。先に述べた磁気異方性主軸方向というのは、あくまで
も膜全体の平均で見た方向のことである。
して得られる各周波数項を比較して連立方程式を解くと
、磁気異方性主軸の方向φが求まる。本発明における磁
気異方性主軸の方向は以上のようにして決定した。但し
、本発明の磁気記録媒体では、膜厚方向に磁気特性の分
布があり、磁気異方性主軸方向にも微視的な分布がある
。先に述べた磁気異方性主軸方向というのは、あくまで
も膜全体の平均で見た方向のことである。
【００１１】このように傾斜した磁気異方性主軸を有す
るＣｏ−Ｃｒ膜をリングヘッドにより記録再生する際、
ヘッド進行方向をｘ軸方向とすると、広い記録密度領域
において高い再生出力を得るには、異方性主軸の方位角
θを２０〜８０°の範囲内に入れることが好ましい。θ
が２０°未満の場合には、ほぼ従来の長手記録と同様に
、高密度記録特性の劣化が顕著となる。一方、θが８０
°を超えると、垂直記録となり、高密度記録特性には優
れるが、その反面、リングヘッドにより十分な記録を行
うことができず、再生出力およびオーバーライトＳ／Ｎ
が顕著に低下する。
るＣｏ−Ｃｒ膜をリングヘッドにより記録再生する際、
ヘッド進行方向をｘ軸方向とすると、広い記録密度領域
において高い再生出力を得るには、異方性主軸の方位角
θを２０〜８０°の範囲内に入れることが好ましい。θ
が２０°未満の場合には、ほぼ従来の長手記録と同様に
、高密度記録特性の劣化が顕著となる。一方、θが８０
°を超えると、垂直記録となり、高密度記録特性には優
れるが、その反面、リングヘッドにより十分な記録を行
うことができず、再生出力およびオーバーライトＳ／Ｎ
が顕著に低下する。
【００１２】更に、本発明者らは、θが２０〜８０°の
範囲内で、膜表面における保磁力を基板界面における保
磁力値よりも高くすることにより、更に優れた記録再生
特性得られることを見出した。膜表裏面における磁気特
性の違いは、具体的にはカー（Ｋｅｒｒ）効果（光波長
８３００Å）を利用し、膜表裏面から測定を行った。そ
の結果、記録特性に優れるのは、膜表面側の保磁力が５
００Ｏｅ〜２０００Ｏｅの範囲内で、基板界面側の値が
５００Ｏｅ未満の場合であることがわかった。
範囲内で、膜表面における保磁力を基板界面における保
磁力値よりも高くすることにより、更に優れた記録再生
特性得られることを見出した。膜表裏面における磁気特
性の違いは、具体的にはカー（Ｋｅｒｒ）効果（光波長
８３００Å）を利用し、膜表裏面から測定を行った。そ
の結果、記録特性に優れるのは、膜表面側の保磁力が５
００Ｏｅ〜２０００Ｏｅの範囲内で、基板界面側の値が
５００Ｏｅ未満の場合であることがわかった。
【００１３】このように、表面保磁力を基板界面保磁力
より高くすると記録再生特性が改善される理由は次のよ
うに考えられる。図２および図３は記録層断面の記録パ
ターンを模式的に示した図である。図２は従来の膜厚方
向に均質な磁気特性を有する膜の場合であるが、この場
合には、記録磁化には膜表裏面に生じる自由磁極からの
反磁界が作用し、強い減磁を受ける。これに対して、図
３に示されるような本発明の磁気記録媒体の場合、基板
界面には保磁力の低い領域８が存在するので、図示され
ているように記録パターンを半閉磁路的に閉じようとす
る。その結果、記録磁化に加わる反磁界が減少し、記録
磁化の増加により出力も向上する。表面保磁力を基板界
面側より大きくすることにより出力が向上するメカニズ
ムは以上のように考えられる。
より高くすると記録再生特性が改善される理由は次のよ
うに考えられる。図２および図３は記録層断面の記録パ
ターンを模式的に示した図である。図２は従来の膜厚方
向に均質な磁気特性を有する膜の場合であるが、この場
合には、記録磁化には膜表裏面に生じる自由磁極からの
反磁界が作用し、強い減磁を受ける。これに対して、図
３に示されるような本発明の磁気記録媒体の場合、基板
界面には保磁力の低い領域８が存在するので、図示され
ているように記録パターンを半閉磁路的に閉じようとす
る。その結果、記録磁化に加わる反磁界が減少し、記録
磁化の増加により出力も向上する。表面保磁力を基板界
面側より大きくすることにより出力が向上するメカニズ
ムは以上のように考えられる。
【００１４】また、本発明の磁気記録媒体の製造方法と
しては、基板としてポリエチレンテレフタレート、ポリ
イミド、ポリフェニレンサルファイド、ポリエチレンナ
フタレートなどの有機高分子フィルムを用いる場合、磁
性膜形成に先立ち、基板表面を不活性ガスあるいは窒素
などのプラズマに曝し、次いで、Ｃｏ−Ｃｒ合金を蒸着
することにより、膜表面保磁力を基板界面保磁力よりも
大きくすることができる。
しては、基板としてポリエチレンテレフタレート、ポリ
イミド、ポリフェニレンサルファイド、ポリエチレンナ
フタレートなどの有機高分子フィルムを用いる場合、磁
性膜形成に先立ち、基板表面を不活性ガスあるいは窒素
などのプラズマに曝し、次いで、Ｃｏ−Ｃｒ合金を蒸着
することにより、膜表面保磁力を基板界面保磁力よりも
大きくすることができる。
【００１５】なお、上記プラズマ処理を行う際、プラズ
マ電極はＢ，Ｃ，Ｓｉ，Ｔｉ，Ｇｅ，Ｍｏ，Ｒｕ，Ｒｈ
，Ｐｄ，Ｔａ，Ｗ，Ｒｅ，Ｏｓ，Ｐｔあるいはこれらを
主成分とする材料であることが好ましい。プラズマ処理
の際には、電極材が僅か乍らフィルム基板上にスパッタ
され、上記以外の材料では、その上に成長するＣｏ−Ｃ
ｒ膜の結晶学的配向が著しく乱される。
マ電極はＢ，Ｃ，Ｓｉ，Ｔｉ，Ｇｅ，Ｍｏ，Ｒｕ，Ｒｈ
，Ｐｄ，Ｔａ，Ｗ，Ｒｅ，Ｏｓ，Ｐｔあるいはこれらを
主成分とする材料であることが好ましい。プラズマ処理
の際には、電極材が僅か乍らフィルム基板上にスパッタ
され、上記以外の材料では、その上に成長するＣｏ−Ｃ
ｒ膜の結晶学的配向が著しく乱される。
【００１６】
【実施例】以下、実施例により本発明を更に詳細に説明
する。
する。
【００１７】実施例
実験に使用した薄膜形成装置の概略図を図４に示す。厚
さ２０μｍのポリイミドフィルム基板１０をロール１１
から送り出し、２４０℃に加熱したキャンロール７に沿
わせた状態でプラズマ室８に於いてフィルム表面をＡｒ
ガスプラズマに曝す。そして次にＣｏ蒸発源１３からの
蒸気を基板表面に２０００Å堆積させ、最後にロール１
１に巻き取る。比較例として、プラズマ処理を行わずに
同じ蒸着原反を作製した。なお、磁気異方性主軸の方向
はマスクを移動し、入射角および出射角を変えることに
より調整した。このようにして形成したＣｏ−Ｃｒ膜の
磁気異方性主軸の傾きθは、上述したようなトルク法に
より求め、また、膜表面および基板界面の保磁力はカー
（Ｋｅｒｒ）効果（波長８３００Å）により測定した。 なお、記録媒体は１／２インチテープ状に切り出し、評
価を行った。作製した試料の磁気特性および記録特性の
評価結果を下記の表１に要約して示す。
さ２０μｍのポリイミドフィルム基板１０をロール１１
から送り出し、２４０℃に加熱したキャンロール７に沿
わせた状態でプラズマ室８に於いてフィルム表面をＡｒ
ガスプラズマに曝す。そして次にＣｏ蒸発源１３からの
蒸気を基板表面に２０００Å堆積させ、最後にロール１
１に巻き取る。比較例として、プラズマ処理を行わずに
同じ蒸着原反を作製した。なお、磁気異方性主軸の方向
はマスクを移動し、入射角および出射角を変えることに
より調整した。このようにして形成したＣｏ−Ｃｒ膜の
磁気異方性主軸の傾きθは、上述したようなトルク法に
より求め、また、膜表面および基板界面の保磁力はカー
（Ｋｅｒｒ）効果（波長８３００Å）により測定した。 なお、記録媒体は１／２インチテープ状に切り出し、評
価を行った。作製した試料の磁気特性および記録特性の
評価結果を下記の表１に要約して示す。
【００１８】
【表１】
【００１９】表１に示された結果から明らかなように、
プラズマ処理をしてから蒸着すると、膜表面側保磁力と
基板界面側保磁力との値に極めて明確な差が生じる。そ
の結果、θが３０°〜７０°の範囲内の試料の場合、プ
ラズマ処理してから蒸着した磁性膜の磁気特性は、プラ
ズマ処理しなかった試料に比べて格段に優れている。
プラズマ処理をしてから蒸着すると、膜表面側保磁力と
基板界面側保磁力との値に極めて明確な差が生じる。そ
の結果、θが３０°〜７０°の範囲内の試料の場合、プ
ラズマ処理してから蒸着した磁性膜の磁気特性は、プラ
ズマ処理しなかった試料に比べて格段に優れている。
【００２０】
【発明の効果】以上説明したように、非磁性基板面に対
し、磁気異方性主軸が一方向に２０°〜８０°立ち上が
ったＣｏ−Ｃｒの磁性層を設けた磁気記録媒体に於いて
、膜表面側の保磁力を基板界面側のそれより大とするこ
とにより、再生出力を大幅に向上できる。
し、磁気異方性主軸が一方向に２０°〜８０°立ち上が
ったＣｏ−Ｃｒの磁性層を設けた磁気記録媒体に於いて
、膜表面側の保磁力を基板界面側のそれより大とするこ
とにより、再生出力を大幅に向上できる。
【００２１】
【図１】本発明の記録媒体構造の模式的概念図である。
【図２】従来の磁気記録媒体における記録層断面の記録
パターンを模式的に示した概念図である。
パターンを模式的に示した概念図である。
【図３】本発明の磁気記録媒体における記録層断面の記
録パターンを模式的に示した概念図である。
録パターンを模式的に示した概念図である。
【図４】実施例で使用した真空蒸着装置の模式図である
。
。
１…基板
２…磁性層
３…磁気異方性主軸
４…外部磁界印加方向
５…低保磁力初期層
６…マスク
７…キャン
８…プラズマ室
９…ガイドロール
１０…基板
１１…ロール
１２…交流電源
１３…蒸発源
１４…排気口
Claims (4)
- 【請求項１】 非磁性下地層を介するか、または、介
さず、非磁性基板上にＣｏ−Ｃｒを主成分とする磁性層
を設けた磁気記録媒体において、磁気異方性主軸が膜面
に対し一方向に２０°〜８０°立ち上がり、かつ、前記
磁性層の膜表面側の保磁力が基板界面側の保磁力よりも
大であることを特徴とする磁気記録媒体。 - 【請求項２】 波長８３００Åの可視光によるカー効
果で測定した基板界面側保磁力が５００Ｏｅ未満であり
、膜表面側保磁力が５００〜２０００Ｏｅの範囲内であ
ることを特徴とする請求項１の磁気記録媒体。 - 【請求項３】 非磁性基板表面を不活性ガスまたは窒
素ガス雰囲気中でプラズマ処理し、その後、Ｃｏ−Ｃｒ
合金を蒸着することを特徴とする磁気記録媒体の製造方
法。 - 【請求項４】 プラズマを発生させる電極材が、Ｂ，
Ｃ，Ｓｉ，Ｔｉ，Ｇｅ，Ｚｒ，Ｍｏ，Ｒｕ，Ｒｈ，Ｐｄ
，Ｔａ，Ｗ，Ｒｅ，Ｏｓ，Ｐｔあるいはこれらを主成分
とする材料からなることを特徴とする請求項３の磁気記
録媒体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13720591A JPH04337520A (ja) | 1991-05-13 | 1991-05-13 | 磁気記録媒体およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13720591A JPH04337520A (ja) | 1991-05-13 | 1991-05-13 | 磁気記録媒体およびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04337520A true JPH04337520A (ja) | 1992-11-25 |
Family
ID=15193248
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13720591A Withdrawn JPH04337520A (ja) | 1991-05-13 | 1991-05-13 | 磁気記録媒体およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04337520A (ja) |
-
1991
- 1991-05-13 JP JP13720591A patent/JPH04337520A/ja not_active Withdrawn
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19980806 |