JPH0475577B2 - - Google Patents
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- JPH0475577B2 JPH0475577B2 JP59009169A JP916984A JPH0475577B2 JP H0475577 B2 JPH0475577 B2 JP H0475577B2 JP 59009169 A JP59009169 A JP 59009169A JP 916984 A JP916984 A JP 916984A JP H0475577 B2 JPH0475577 B2 JP H0475577B2
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- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/64—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent
- G11B5/65—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent characterised by its composition
- G11B5/658—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent characterised by its composition containing oxygen, e.g. molecular oxygen or magnetic oxide
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- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/68—Record carriers characterised by the selection of the material comprising one or more layers of magnetisable material homogeneously mixed with a bonding agent
- G11B5/70—Record carriers characterised by the selection of the material comprising one or more layers of magnetisable material homogeneously mixed with a bonding agent on a base layer
- G11B5/706—Record carriers characterised by the selection of the material comprising one or more layers of magnetisable material homogeneously mixed with a bonding agent on a base layer characterised by the composition of the magnetic material
- G11B5/70605—Record carriers characterised by the selection of the material comprising one or more layers of magnetisable material homogeneously mixed with a bonding agent on a base layer characterised by the composition of the magnetic material metals or alloys
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- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/225—Oblique incidence of vaporised material on substrate
- C23C14/226—Oblique incidence of vaporised material on substrate in order to form films with columnar structure
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/84—Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers
- G11B5/85—Coating a support with a magnetic layer by vapour deposition
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- Mechanical Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Description
産業上の利用分野
本発明は、磁気記録媒体、特にノイズを低減せ
しめた薄膜型磁気記録媒体に関する。 背景技術とその問題点 近年、磁気記録の高密度化の目的で、磁性薄膜
型の磁気記録媒体即ち非磁性支持体上に、電気メ
ツキ，無電解メツキ，イオンプレーテイング，ス
パツタリング，真空蒸着等の方法により、数百Å
〜略1μの厚みの強磁性薄膜を形成させた磁気記
録媒体についての研究が盛んである。特に特公昭
41−19389号に開示された斜め蒸着法は、高い抗
磁力を有する磁気記録媒体が得られるので興味が
持たれ、種々の改良，改善がなされている。しか
し、この強磁性薄膜を磁気記録層とする磁気記録
媒体では、短波長域でのビデオ信号の出力が必ら
ずしも期待される程高くなく、ノイズレベルが高
いためＳ／Ｎ比としては充分満足されるものは得
られていない。 発明の目的 本発明は、上述の点に鑑み、ノイズレベルを低
減せしめ、Ｓ／Ｎ比を向上させた薄膜型磁気記録
媒体を提供せんとするものである。 発明の概要 本発明は、非磁性支持体上に酸素を含んだ真空
雰囲気中での斜め蒸着法により強磁性金属磁性材
料よりなる薄膜型磁気記録層を形成してなる磁気
記録媒体において、薄膜型磁気記録層を構成する
柱状結晶構造中に強磁性金属磁性材料の酸化物粒
子をランダムに配して成る磁気記録媒体である。 換言すると、この薄膜型磁気記録層は柱状結晶
構造の集合体から成り、各柱状結晶構造では強磁
性金属粒子と強磁性金属の酸化物粒子とがランダ
ムに配された構成となつている。 この発明の磁気記録媒体によれば、ノイズレベ
ルが低減し、Ｓ／Ｎ比が向上する。柱状結晶構造
中に蒸発物質である強磁性金属材料の酸化物粒子
をランダムに配することにより、ノイズレベルが
低減するのは、柱状結晶を構成する磁性蒸発粒子
のサイズが小さくなることに基因していると考え
られる。 実施例 以下、本発明の実施例を説明する。 第１図は本発明に適用される蒸着装置の概略図
である。この蒸着装置１は、所定量の酸素を含む
真空雰囲気に保たれた真空チヤンバー２内に金属
キヤン３が設けられ、これを繞つて非磁性支持体
４が供給リール５から巻取リール６に移送され、
金属キヤン３に対向する下方に適当な距離を置い
て金属磁性材料例えばCo，Fe，Niあるいはそれ
らの合金等の蒸着源７が配置され、この蒸着源７
から蒸発した金属磁性粒子がシヤツター８によつ
て非磁性支持体４上に所定の入射角をもつて斜め
蒸着されるように構成されている。 実施例 １ 上記蒸着装置１を使用し、酸素ガス（O2）の
流量を100c.c.／minとする１×10-4Torrの圧力下
で、10μ厚のポリエチレンテレフタレート
（PET）よりなる非磁性支持体４上にCo−Ni合
金（Coが80％，Niが20％）を順次斜め蒸着した。
蒸着時の入射角は40゜〜90゜，蒸着源７の加熱手段
は電子ビームである。このようにして作製された
蒸着テープを実施例１とした。このテープの特性
は以下の通りである。 Co−Ni蒸着膜厚 ：1000Å 磁気特性 抗磁力（Hc） ：820Oe 飽和磁束密度（Bm） ：6800G 残留磁束密度（Br） ：4900G 角型比（Br／Bm） ：0.72 第２図はこの実施例１の蒸着テープの磁性層を
構成する柱状結晶の断面構造をモデル化して示し
たものである。測定は透過電子顕微鏡（TEM）
を用いて解析したものであり、図中１０は柱状結
晶でその幅ｄは50〜100Å，１１はCo−Ni粒子で
粒径50〜100Å，１２はCo−Ni酸化物粒子で粒径
30〜70Åであつた。 比較例 １ 酸素ガスを流さずに１×10-5Torrの圧力とし、
また入射角を70゜〜90゜とし、他は実施例１と同じ
条件で作製した蒸着テープを比較例１とした。こ
のテープの特性は以下の通りである。 Co−Ni蒸着膜厚 ：1000Å 磁気特性 抗磁力（Hc） ：800Oe 飽和磁束密度（Bm） ：6900G 残留磁束密度（Br） ：6280G 角型比（Br／Bm） ：0.91 実施例 ２ 磁性材料をCo（100％）とした以外は実施例１
と同じ条件で作製した蒸着テープを実施例２とし
た。このテープの特性は以下の通りである。 Co蒸着膜厚 ：1000Å 磁気特性 抗磁力（Hc） ：910Oe 飽和磁束密度（Bm） ：7300G 残留磁束密度（Br） ：5300G 角型比（Br／Bm） ：0.73 この実施例２の磁性層を構成する柱状結晶の断
面構造も、図示せざるも第２図と同様であつて、
Co粒子とCoO粒子がランダムに分布した構造で
あつた。また各粒径も同様であり、Co粒子の粒
径は50〜100Å，CoO粒子の粒径は30〜70Å，柱
状結晶の幅は50〜100Åであつた。 比較例 ２ 酸素ガスを流さずに１×10-5Torrの圧力とし、
また入射角を70゜〜90゜とした以外は実施例２と同
じ条件で作製した蒸着テープを比較例２とした。
このテープの特性は以下の通りである。 Co蒸着膜厚 ：1000Å 磁気特性 抗磁力（Hc） ：900Oe 飽和磁束密度（Bm） ：7500G 残留磁束密度（Br） ：6800G 角型比（Br／Bm） ：0.91 上記各例のテープの電磁変換特性を比較した結
果を下記表に示す。この測定は、ギヤツプ長0.2μ
ｍのフエライトヘツドを用い、テープ相対速度を
3.8ｍ／secとして出力及びノイズをスペクトルア
ナライザーで測定した。これは5MHzの信号で比
較したものであり、比較例１のテープの相対出力
及びＳ／Ｎを0dBとした。
しめた薄膜型磁気記録媒体に関する。 背景技術とその問題点 近年、磁気記録の高密度化の目的で、磁性薄膜
型の磁気記録媒体即ち非磁性支持体上に、電気メ
ツキ，無電解メツキ，イオンプレーテイング，ス
パツタリング，真空蒸着等の方法により、数百Å
〜略1μの厚みの強磁性薄膜を形成させた磁気記
録媒体についての研究が盛んである。特に特公昭
41−19389号に開示された斜め蒸着法は、高い抗
磁力を有する磁気記録媒体が得られるので興味が
持たれ、種々の改良，改善がなされている。しか
し、この強磁性薄膜を磁気記録層とする磁気記録
媒体では、短波長域でのビデオ信号の出力が必ら
ずしも期待される程高くなく、ノイズレベルが高
いためＳ／Ｎ比としては充分満足されるものは得
られていない。 発明の目的 本発明は、上述の点に鑑み、ノイズレベルを低
減せしめ、Ｓ／Ｎ比を向上させた薄膜型磁気記録
媒体を提供せんとするものである。 発明の概要 本発明は、非磁性支持体上に酸素を含んだ真空
雰囲気中での斜め蒸着法により強磁性金属磁性材
料よりなる薄膜型磁気記録層を形成してなる磁気
記録媒体において、薄膜型磁気記録層を構成する
柱状結晶構造中に強磁性金属磁性材料の酸化物粒
子をランダムに配して成る磁気記録媒体である。 換言すると、この薄膜型磁気記録層は柱状結晶
構造の集合体から成り、各柱状結晶構造では強磁
性金属粒子と強磁性金属の酸化物粒子とがランダ
ムに配された構成となつている。 この発明の磁気記録媒体によれば、ノイズレベ
ルが低減し、Ｓ／Ｎ比が向上する。柱状結晶構造
中に蒸発物質である強磁性金属材料の酸化物粒子
をランダムに配することにより、ノイズレベルが
低減するのは、柱状結晶を構成する磁性蒸発粒子
のサイズが小さくなることに基因していると考え
られる。 実施例 以下、本発明の実施例を説明する。 第１図は本発明に適用される蒸着装置の概略図
である。この蒸着装置１は、所定量の酸素を含む
真空雰囲気に保たれた真空チヤンバー２内に金属
キヤン３が設けられ、これを繞つて非磁性支持体
４が供給リール５から巻取リール６に移送され、
金属キヤン３に対向する下方に適当な距離を置い
て金属磁性材料例えばCo，Fe，Niあるいはそれ
らの合金等の蒸着源７が配置され、この蒸着源７
から蒸発した金属磁性粒子がシヤツター８によつ
て非磁性支持体４上に所定の入射角をもつて斜め
蒸着されるように構成されている。 実施例 １ 上記蒸着装置１を使用し、酸素ガス（O2）の
流量を100c.c.／minとする１×10-4Torrの圧力下
で、10μ厚のポリエチレンテレフタレート
（PET）よりなる非磁性支持体４上にCo−Ni合
金（Coが80％，Niが20％）を順次斜め蒸着した。
蒸着時の入射角は40゜〜90゜，蒸着源７の加熱手段
は電子ビームである。このようにして作製された
蒸着テープを実施例１とした。このテープの特性
は以下の通りである。 Co−Ni蒸着膜厚 ：1000Å 磁気特性 抗磁力（Hc） ：820Oe 飽和磁束密度（Bm） ：6800G 残留磁束密度（Br） ：4900G 角型比（Br／Bm） ：0.72 第２図はこの実施例１の蒸着テープの磁性層を
構成する柱状結晶の断面構造をモデル化して示し
たものである。測定は透過電子顕微鏡（TEM）
を用いて解析したものであり、図中１０は柱状結
晶でその幅ｄは50〜100Å，１１はCo−Ni粒子で
粒径50〜100Å，１２はCo−Ni酸化物粒子で粒径
30〜70Åであつた。 比較例 １ 酸素ガスを流さずに１×10-5Torrの圧力とし、
また入射角を70゜〜90゜とし、他は実施例１と同じ
条件で作製した蒸着テープを比較例１とした。こ
のテープの特性は以下の通りである。 Co−Ni蒸着膜厚 ：1000Å 磁気特性 抗磁力（Hc） ：800Oe 飽和磁束密度（Bm） ：6900G 残留磁束密度（Br） ：6280G 角型比（Br／Bm） ：0.91 実施例 ２ 磁性材料をCo（100％）とした以外は実施例１
と同じ条件で作製した蒸着テープを実施例２とし
た。このテープの特性は以下の通りである。 Co蒸着膜厚 ：1000Å 磁気特性 抗磁力（Hc） ：910Oe 飽和磁束密度（Bm） ：7300G 残留磁束密度（Br） ：5300G 角型比（Br／Bm） ：0.73 この実施例２の磁性層を構成する柱状結晶の断
面構造も、図示せざるも第２図と同様であつて、
Co粒子とCoO粒子がランダムに分布した構造で
あつた。また各粒径も同様であり、Co粒子の粒
径は50〜100Å，CoO粒子の粒径は30〜70Å，柱
状結晶の幅は50〜100Åであつた。 比較例 ２ 酸素ガスを流さずに１×10-5Torrの圧力とし、
また入射角を70゜〜90゜とした以外は実施例２と同
じ条件で作製した蒸着テープを比較例２とした。
このテープの特性は以下の通りである。 Co蒸着膜厚 ：1000Å 磁気特性 抗磁力（Hc） ：900Oe 飽和磁束密度（Bm） ：7500G 残留磁束密度（Br） ：6800G 角型比（Br／Bm） ：0.91 上記各例のテープの電磁変換特性を比較した結
果を下記表に示す。この測定は、ギヤツプ長0.2μ
ｍのフエライトヘツドを用い、テープ相対速度を
3.8ｍ／secとして出力及びノイズをスペクトルア
ナライザーで測定した。これは5MHzの信号で比
較したものであり、比較例１のテープの相対出力
及びＳ／Ｎを0dBとした。
【表】
先ず共にCo−Ni磁性層である実施例１と比較
例１との比較について述べる。抗磁力Hcは互い
にほぼ等しく、残留磁束密度Br及び角型比Br／
Bmは共に比較例１が優つている。また前記表か
ら、実施例１のテープは出力では比較例１より低
く、Ｓ／Ｎでは比較例１より優つており、ノイズ
が低減しているのが判る。 そして、電子顕微鏡観察によれば、実施例１で
は第２図に示すように柱状結晶中にCo−Ni及び
Co−Ni酸化物の微結晶がランダムに分布してい
ることが判明した。他方、比較例１では柱状結晶
がCo−Niの微結晶で形成されている。実施例１
では柱状結晶を形成するCo−Ni微結晶が、生成
されたCo−Ni酸化物により細分化されて、微粒
子化される。これに対して比較例１ではCo−Ni
微結晶がCo−Ni酸化物により細分化されること
がない。従つて、実施例１ではCo−Ni磁性微結
晶の粒子サイズが比較例１のそれより小さくなる
ために電磁変換特性においてノイズが低減され
る。 次に、共にCo磁性層である実施例２と比較例
２の比較においても同様である。即ち抗磁力Hc
は互いにほぼ等しく、残留磁束密度Br及び角型
比Br／Bmは共に比較例２が優つている。そし
て、前記表から明らかなように実施例２は、出力
では比較例２より低く、Ｓ／Ｎでは比較例２より
優つており、ノイズが低くなつている。 一方、顕微鏡観察によれば、実施例２では柱状
結晶中にCo及びCo酸化物の微結晶がランダムに
分布している。これに対し比較例２では柱状結晶
がCoの微結晶で形成されている。そして実施例
２では柱状結晶を形成するCo微結晶が、生成さ
れたＣ酸化物により細分化され微粒子化されるの
に対し、比較例２ではCo微結晶はCo酸化物によ
り細分化されることはない。従つて、この実施例
２の場合もCo磁性微結晶の粒子サイズが比較例
２のそれより小さくなり、電磁変換特性において
ノイズが低減される。 尚、強磁性金属磁性材料としてはCo，Ni，Fe
あるいはそれらの合金を用いることができる。 発明の効果 本発明によれば、薄膜型磁気記録層を構成する
柱状結晶構造中にその強磁性金属磁性材料の酸化
物粒子をランダムに配したことにより、柱状結晶
を構成する強磁性金属微結晶が細分化される。従
つて電磁変換特性においてノイズレベルが低く、
Ｓ／Ｎ比が高い薄膜型磁気記録媒体が得られる。
例１との比較について述べる。抗磁力Hcは互い
にほぼ等しく、残留磁束密度Br及び角型比Br／
Bmは共に比較例１が優つている。また前記表か
ら、実施例１のテープは出力では比較例１より低
く、Ｓ／Ｎでは比較例１より優つており、ノイズ
が低減しているのが判る。 そして、電子顕微鏡観察によれば、実施例１で
は第２図に示すように柱状結晶中にCo−Ni及び
Co−Ni酸化物の微結晶がランダムに分布してい
ることが判明した。他方、比較例１では柱状結晶
がCo−Niの微結晶で形成されている。実施例１
では柱状結晶を形成するCo−Ni微結晶が、生成
されたCo−Ni酸化物により細分化されて、微粒
子化される。これに対して比較例１ではCo−Ni
微結晶がCo−Ni酸化物により細分化されること
がない。従つて、実施例１ではCo−Ni磁性微結
晶の粒子サイズが比較例１のそれより小さくなる
ために電磁変換特性においてノイズが低減され
る。 次に、共にCo磁性層である実施例２と比較例
２の比較においても同様である。即ち抗磁力Hc
は互いにほぼ等しく、残留磁束密度Br及び角型
比Br／Bmは共に比較例２が優つている。そし
て、前記表から明らかなように実施例２は、出力
では比較例２より低く、Ｓ／Ｎでは比較例２より
優つており、ノイズが低くなつている。 一方、顕微鏡観察によれば、実施例２では柱状
結晶中にCo及びCo酸化物の微結晶がランダムに
分布している。これに対し比較例２では柱状結晶
がCoの微結晶で形成されている。そして実施例
２では柱状結晶を形成するCo微結晶が、生成さ
れたＣ酸化物により細分化され微粒子化されるの
に対し、比較例２ではCo微結晶はCo酸化物によ
り細分化されることはない。従つて、この実施例
２の場合もCo磁性微結晶の粒子サイズが比較例
２のそれより小さくなり、電磁変換特性において
ノイズが低減される。 尚、強磁性金属磁性材料としてはCo，Ni，Fe
あるいはそれらの合金を用いることができる。 発明の効果 本発明によれば、薄膜型磁気記録層を構成する
柱状結晶構造中にその強磁性金属磁性材料の酸化
物粒子をランダムに配したことにより、柱状結晶
を構成する強磁性金属微結晶が細分化される。従
つて電磁変換特性においてノイズレベルが低く、
Ｓ／Ｎ比が高い薄膜型磁気記録媒体が得られる。
第１図は本発明に適用される蒸着装置、第２図
は本発明で得られた磁性層を構成する柱状結晶の
断面構造をモデル化した図である。 ４は非磁性支持体、１０は柱状結晶、１１は
Co−Ni粒子、１２はCo−Ni酸化物粒子である。
は本発明で得られた磁性層を構成する柱状結晶の
断面構造をモデル化した図である。 ４は非磁性支持体、１０は柱状結晶、１１は
Co−Ni粒子、１２はCo−Ni酸化物粒子である。
Claims (1)
- １ 非磁性支持体上に、酸素を含んだ真空雰囲気
中での斜め蒸着法により、強磁性金属磁性材料よ
りなる薄膜型磁気記録層を形成してなる磁気記録
媒体において、上記薄膜型磁気記録層を構成する
柱状結晶構造中に上記強磁性金属磁性材料の酸化
物粒子をランダムに配したことを特徴とする磁気
記録媒体。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59009169A JPS60154323A (ja) | 1984-01-20 | 1984-01-20 | 磁気記録媒体 |
| NL8500085A NL192409C (nl) | 1984-01-20 | 1985-01-15 | Magnetische registratiedrager met een dunne film van ferromagnetisch metaal op een niet-magnetisch substraat. |
| FR858500746A FR2558631B1 (fr) | 1984-01-20 | 1985-01-18 | Milieu d'enregistrement magnetique |
| GB08501273A GB2153851B (en) | 1984-01-20 | 1985-01-18 | Ferro-magnetic layer of magnetic recording media |
| KR1019850000284A KR920008414B1 (ko) | 1984-01-20 | 1985-01-18 | 자기 기록 매체 |
| DE3501561A DE3501561C2 (de) | 1984-01-20 | 1985-01-18 | Magnetisches Aufzeichnungsmedium |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59009169A JPS60154323A (ja) | 1984-01-20 | 1984-01-20 | 磁気記録媒体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60154323A JPS60154323A (ja) | 1985-08-14 |
| JPH0475577B2 true JPH0475577B2 (ja) | 1992-12-01 |
Family
ID=11713089
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59009169A Granted JPS60154323A (ja) | 1984-01-20 | 1984-01-20 | 磁気記録媒体 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60154323A (ja) |
| KR (1) | KR920008414B1 (ja) |
| DE (1) | DE3501561C2 (ja) |
| FR (1) | FR2558631B1 (ja) |
| GB (1) | GB2153851B (ja) |
| NL (1) | NL192409C (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CA1235808A (en) * | 1984-03-22 | 1988-04-26 | Tetsuo Oka | Vertical magnetic recording medium and process for preparation thereof |
| JPS63237210A (ja) * | 1987-03-25 | 1988-10-03 | Sony Corp | 磁気記録媒体 |
| JP2639065B2 (ja) * | 1989-03-10 | 1997-08-06 | 松下電器産業株式会社 | 磁気記録媒体の製造法 |
| FR2713360B1 (fr) * | 1993-12-01 | 1996-03-08 | Aerospatiale | Système de commande centralisée d'une installation industrielle. |
| US7241519B2 (en) | 2003-07-07 | 2007-07-10 | Sony Corporation | Magnetic recording medium with columar magnetic layer |
Family Cites Families (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB1599161A (en) * | 1976-07-15 | 1981-09-30 | Matsushita Electric Industrial Co Ltd | Magnetic recording medium and method of making the same |
| JPS5629A (en) * | 1979-06-15 | 1981-01-06 | Ulvac Corp | Vacuum-evaporated film type magnetic recording substance and its manufacture |
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