JPH04339305A - 磁気ヘッド - Google Patents
磁気ヘッドInfo
- Publication number
- JPH04339305A JPH04339305A JP14111291A JP14111291A JPH04339305A JP H04339305 A JPH04339305 A JP H04339305A JP 14111291 A JP14111291 A JP 14111291A JP 14111291 A JP14111291 A JP 14111291A JP H04339305 A JPH04339305 A JP H04339305A
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- Japan
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- magnetic
- film
- slider
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- magnetic head
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、浮上型の磁気ヘッドに
関する。
関する。
【０００２】
【従来の技術】浮上型磁気ヘッドは、大記憶容量、高速
データ転送速度を実現するため、コンピュータの磁気記
録再生用として広く利用されている。浮上型磁気ヘッド
は、磁気記憶媒体との間の相対的高速移動により、空気
の粘性によって発生する動圧を利用して、微小な浮上量
を保たせながら、磁気記録再生を行なうもので、その代
表例としては、磁性体でなるスライダに磁気変換素子を
装着したウインチェスタ型磁気ヘッド、非磁性のセラミ
ック構造体でなるスライダの溝内に磁気変換素子を挿入
したコンポジット型磁気ヘッド、及び、半導体製造テク
ノロジーと同様のプロセスによって造られた薄膜素子を
セラミック構造体に付着させた薄膜磁気ヘッド等がある
。
データ転送速度を実現するため、コンピュータの磁気記
録再生用として広く利用されている。浮上型磁気ヘッド
は、磁気記憶媒体との間の相対的高速移動により、空気
の粘性によって発生する動圧を利用して、微小な浮上量
を保たせながら、磁気記録再生を行なうもので、その代
表例としては、磁性体でなるスライダに磁気変換素子を
装着したウインチェスタ型磁気ヘッド、非磁性のセラミ
ック構造体でなるスライダの溝内に磁気変換素子を挿入
したコンポジット型磁気ヘッド、及び、半導体製造テク
ノロジーと同様のプロセスによって造られた薄膜素子を
セラミック構造体に付着させた薄膜磁気ヘッド等がある
。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の磁気ヘッドには次のような問題点がある。 （Ａ）ウインチェスタ型磁気ヘッドやコンポジット型磁
気ヘッド等のいわゆるバルクタイプ磁気ヘッドは、線材
でなるコイルを、コアとなる磁性体に対して巻き付ける
面倒で複雑なコイル巻回作業が必須である。また、高密
度記録等のために要求される小型化、トラック幅の狭小
化等に対応しにくい。 （Ｂ）薄膜磁気ヘッドは、コイル膜をほぼ同一面上で渦
巻状に巻回するため、コイル面積が増大し、導体有効長
が長くなり、コイルインダクタンス成分及び直流抵抗値
の増大等を招き、高周波応答性改善に限界を生じる。 （Ｃ）薄膜磁気ヘッドでは、下部磁性膜及び上部磁性膜
の対向面積が大きくなること、しかもこれらの磁性膜間
の間隔が微小であること等のために、漏れ磁束が大きく
なる傾向にある。このため、効率改善に限界がある。 （Ｄ）従来の磁気ヘッドは、何れのタイプであっても、
基本的には、磁気変換素子を読み書き素子として兼用す
る構成であるため、読み出し及び書き込みのそれぞれの
最適値に設定することができない。このため、性能向上
に限界を生じている。
た従来の磁気ヘッドには次のような問題点がある。 （Ａ）ウインチェスタ型磁気ヘッドやコンポジット型磁
気ヘッド等のいわゆるバルクタイプ磁気ヘッドは、線材
でなるコイルを、コアとなる磁性体に対して巻き付ける
面倒で複雑なコイル巻回作業が必須である。また、高密
度記録等のために要求される小型化、トラック幅の狭小
化等に対応しにくい。 （Ｂ）薄膜磁気ヘッドは、コイル膜をほぼ同一面上で渦
巻状に巻回するため、コイル面積が増大し、導体有効長
が長くなり、コイルインダクタンス成分及び直流抵抗値
の増大等を招き、高周波応答性改善に限界を生じる。 （Ｃ）薄膜磁気ヘッドでは、下部磁性膜及び上部磁性膜
の対向面積が大きくなること、しかもこれらの磁性膜間
の間隔が微小であること等のために、漏れ磁束が大きく
なる傾向にある。このため、効率改善に限界がある。 （Ｄ）従来の磁気ヘッドは、何れのタイプであっても、
基本的には、磁気変換素子を読み書き素子として兼用す
る構成であるため、読み出し及び書き込みのそれぞれの
最適値に設定することができない。このため、性能向上
に限界を生じている。
【０００４】そこで、本発明の課題は上述する従来の問
題点を解決し、コイル膜形成が容易で、磁束の漏れが少
なく、高効率であり、しかも、書き込み及び読み出しの
各条件を最適化するのに好適な磁気ヘッドを提供するこ
とである。
題点を解決し、コイル膜形成が容易で、磁束の漏れが少
なく、高効率であり、しかも、書き込み及び読み出しの
各条件を最適化するのに好適な磁気ヘッドを提供するこ
とである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上述した課題解決のため
、本発明は、 スライダと、磁気変換素子とを含む磁
気ヘッドであって、前記スライダは、一面側に空気ベア
リング面を有しており、前記磁気変換素子は、磁性膜と
、コイル膜とを有し、前記磁性膜が変換ギャップを介し
て対向する一対のポール部と前記一対のポール部に連な
るヨーク部とを有し、前記空気ベアリング面に空気流出
方向及びこれと直交するトラック幅方向を仮想したとき
、膜厚方向が前記トラック幅方向に一致するようにして
、スライダ側面に設けられ、前記コイル膜が前記ヨーク
部の周りに巻回配置されていることを特徴とする。
、本発明は、 スライダと、磁気変換素子とを含む磁
気ヘッドであって、前記スライダは、一面側に空気ベア
リング面を有しており、前記磁気変換素子は、磁性膜と
、コイル膜とを有し、前記磁性膜が変換ギャップを介し
て対向する一対のポール部と前記一対のポール部に連な
るヨーク部とを有し、前記空気ベアリング面に空気流出
方向及びこれと直交するトラック幅方向を仮想したとき
、膜厚方向が前記トラック幅方向に一致するようにして
、スライダ側面に設けられ、前記コイル膜が前記ヨーク
部の周りに巻回配置されていることを特徴とする。
【０００６】
【作用】磁気変換素子は、磁性膜と、コイル膜とを有す
る薄膜素子であるから、従来のウインチェスタ型磁気ヘ
ッドやコンポジット型磁気ヘッド等のいわゆるバルクタ
イプ磁気ヘッドと異なって、線材でなるコイルを、コア
となる磁性体に対して巻き付ける面倒で複雑なコイル巻
回作業が不要である。また、薄膜素子であるので、小型
化、トラック幅の狭小化、高密度記録等にも容易に対応
できる。
る薄膜素子であるから、従来のウインチェスタ型磁気ヘ
ッドやコンポジット型磁気ヘッド等のいわゆるバルクタ
イプ磁気ヘッドと異なって、線材でなるコイルを、コア
となる磁性体に対して巻き付ける面倒で複雑なコイル巻
回作業が不要である。また、薄膜素子であるので、小型
化、トラック幅の狭小化、高密度記録等にも容易に対応
できる。
【０００７】磁気変換素子は、空気流出方向と平行とな
るスライダ側面に設けられており、磁性膜は膜厚方向が
トラック幅方向に一致しているから、トラック幅が磁性
膜の膜厚精度によって定まる高精度の微小厚みに設定さ
れ、高密度記録に適した磁気ヘッドが得られることとな
る。
るスライダ側面に設けられており、磁性膜は膜厚方向が
トラック幅方向に一致しているから、トラック幅が磁性
膜の膜厚精度によって定まる高精度の微小厚みに設定さ
れ、高密度記録に適した磁気ヘッドが得られることとな
る。
【０００８】コイル膜は、スライダ側面上において、磁
性膜のヨーク部の周りに巻回配置されている。このため
、導体有効長が短縮され、コイルのインダクタンス成分
及び直流抵抗値が低下し、高周波応答性が向上する。 また、磁性膜間の磁束の漏れが少なくなり、効率が向上
する。
性膜のヨーク部の周りに巻回配置されている。このため
、導体有効長が短縮され、コイルのインダクタンス成分
及び直流抵抗値が低下し、高周波応答性が向上する。 また、磁性膜間の磁束の漏れが少なくなり、効率が向上
する。
【０００９】磁気変換素子は、スライダ側面において、
書き込み専用、及び、読み出し専用の２種類のもを、同
一トラック上に別々に形成できる。このため、書き込み
及び読み出しのそれぞれに個別的に要求される各条件を
最適化できる。
書き込み専用、及び、読み出し専用の２種類のもを、同
一トラック上に別々に形成できる。このため、書き込み
及び読み出しのそれぞれに個別的に要求される各条件を
最適化できる。
【００１０】
【実施例】図１は本発明に係る磁気ヘッドの斜視図、図
２は磁気変換素子部分の拡大斜視図、図３は磁気変換素
子を設けたスライダ部分の拡大斜視図である。図におい
て、１はスライダ、２は磁気変換素子である。スライダ
１はセラミック構造体である。使用できるセラミック構
造体の例としてはＳｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３−ＴｉＣ 、Ｓ
ｉ、フォトセラム等をあげることができる。スライダ１
をＳｉ基板とした場合、読み書き回路をスライダ１の上
に直接に形成できる。スライダ１は、媒体対向面側とな
る一面側にレール部１０１、１０２を有する。レール部
１０１、１０２の表面は平面度の高い空気ベアリング面
１０３、１０４となっている。１０５、１０６はテーパ
部、ａは媒体との組合せにおける空気流出方向を示して
いる。図示はしないが、レール部のない平面状の空気ベ
アリング面であってもよい。
２は磁気変換素子部分の拡大斜視図、図３は磁気変換素
子を設けたスライダ部分の拡大斜視図である。図におい
て、１はスライダ、２は磁気変換素子である。スライダ
１はセラミック構造体である。使用できるセラミック構
造体の例としてはＳｉＯ２、Ａｌ２Ｏ３−ＴｉＣ 、Ｓ
ｉ、フォトセラム等をあげることができる。スライダ１
をＳｉ基板とした場合、読み書き回路をスライダ１の上
に直接に形成できる。スライダ１は、媒体対向面側とな
る一面側にレール部１０１、１０２を有する。レール部
１０１、１０２の表面は平面度の高い空気ベアリング面
１０３、１０４となっている。１０５、１０６はテーパ
部、ａは媒体との組合せにおける空気流出方向を示して
いる。図示はしないが、レール部のない平面状の空気ベ
アリング面であってもよい。
【００１１】磁気変換素子２は、磁性膜２１と、コイル
膜２２とを有し、空気流出方向ａと平行となるスライダ
側面１０８に設けられている。磁気変換素子２は薄膜素
子であるから、従来のウインチェスタ型磁気ヘッドやコ
ンポジット型磁気ヘッド等のいわゆるバルクタイプ磁気
ヘッドと異なって、線材でなるコイルを、コアとなる磁
性体に対して巻き付ける面倒で複雑なコイル巻回作業が
不要である。また、薄膜であるので、小型化、トラック
幅の狭小化、高密度記録等にも容易に対応できる。
膜２２とを有し、空気流出方向ａと平行となるスライダ
側面１０８に設けられている。磁気変換素子２は薄膜素
子であるから、従来のウインチェスタ型磁気ヘッドやコ
ンポジット型磁気ヘッド等のいわゆるバルクタイプ磁気
ヘッドと異なって、線材でなるコイルを、コアとなる磁
性体に対して巻き付ける面倒で複雑なコイル巻回作業が
不要である。また、薄膜であるので、小型化、トラック
幅の狭小化、高密度記録等にも容易に対応できる。
【００１２】磁性膜２１は、変換ギャップ２３を介して
対向する一対のポール部２１１、２１２と、ポール部２
１１、２１２に連なるヨーク部２１３とを有し、膜厚方
向が空気流出方向ａと直交するトラック幅方向ｂに一致
している。このため、トラック幅が、磁性膜２１の膜厚
精度によって定まる高精度の微小厚みに設定され、高密
度記録に適した磁気ヘッドが得られることとなる。磁性
膜２１はパーマロイ膜、センダストまたはアモルファス
等によって構成する。
対向する一対のポール部２１１、２１２と、ポール部２
１１、２１２に連なるヨーク部２１３とを有し、膜厚方
向が空気流出方向ａと直交するトラック幅方向ｂに一致
している。このため、トラック幅が、磁性膜２１の膜厚
精度によって定まる高精度の微小厚みに設定され、高密
度記録に適した磁気ヘッドが得られることとなる。磁性
膜２１はパーマロイ膜、センダストまたはアモルファス
等によって構成する。
【００１３】コイル膜２２は、ヨーク部２１３の周りに
巻回配置されている。即ち、ヨーク部２１の下側から上
側、上側から下側へと順次に、スパイラル状に巻回配置
されている。かかる構造であると、コイル膜２２の導体
有効長が短縮され、コイルインダクタンス成分及び直流
抵抗値が低下し、高周波応答性が向上する。また、従来
の薄膜磁気ヘッドと異なって、磁束の漏れが少なくなり
、効率が向上する。コイル膜２２は銅等の導電性の良好
な材料によって構成する。２２１、２２２はコイル膜２
２に接続された取出し電極である。
巻回配置されている。即ち、ヨーク部２１の下側から上
側、上側から下側へと順次に、スパイラル状に巻回配置
されている。かかる構造であると、コイル膜２２の導体
有効長が短縮され、コイルインダクタンス成分及び直流
抵抗値が低下し、高周波応答性が向上する。また、従来
の薄膜磁気ヘッドと異なって、磁束の漏れが少なくなり
、効率が向上する。コイル膜２２は銅等の導電性の良好
な材料によって構成する。２２１、２２２はコイル膜２
２に接続された取出し電極である。
【００１４】実施例において、磁性膜２１のポール部２
１１、２１２は、スライダ側面１０８に設けられた凹部
１０９、１１０の内部にそれぞれ配置されている。変換
ギャップ２３は凹部１０９ー１１０間に残したスライダ
部材によって構成されている。これにより、ポール部２
１１、２１２のパターン及び変換ギャップ２３が凹部１
０９、１１０の精度によって定まる高精度の値に設定さ
れる。
１１、２１２は、スライダ側面１０８に設けられた凹部
１０９、１１０の内部にそれぞれ配置されている。変換
ギャップ２３は凹部１０９ー１１０間に残したスライダ
部材によって構成されている。これにより、ポール部２
１１、２１２のパターン及び変換ギャップ２３が凹部１
０９、１１０の精度によって定まる高精度の値に設定さ
れる。
【００１５】図４は本発明に係る磁気ヘッドの別の実施
例を示す図である。この実施例はスライダ側面１０８に
、書き込み専用磁気変換素子２Ａ、及び、読み出し専用
磁気変換素子２Ｂの２種類を形成した例を示している。 磁気変換素子２Ａ、２Ｂは変換ギャップ２３、２３が同
一トラック上に位置するように形成する。これにより、
書き込み及び読み出しのそれぞれにおいて、個別的に要
求される各条件を最適値に設定できるようになる。
例を示す図である。この実施例はスライダ側面１０８に
、書き込み専用磁気変換素子２Ａ、及び、読み出し専用
磁気変換素子２Ｂの２種類を形成した例を示している。 磁気変換素子２Ａ、２Ｂは変換ギャップ２３、２３が同
一トラック上に位置するように形成する。これにより、
書き込み及び読み出しのそれぞれにおいて、個別的に要
求される各条件を最適値に設定できるようになる。
【００１６】図５〜図１１に本発明に係る磁気ヘッドの
製造工程例を示す。まず、図５に示すように、スライダ
となる基板１の一面に、ポール部２１１、２１２を形成
する。ポール部２１１、２１２はスパッタ等の膜形成技
術またはメッキ技術等によって形成できる。基板１はウ
エハとし、その一面上に多数の磁気ヘッドを形成する。 基板１のポール部２１１、２１２を形成する位置には予
め凹部（図３の参照符号１０９、１１０）を形成してお
く。凹部はイオンミーリング等の手段によって形成でき
る。
製造工程例を示す。まず、図５に示すように、スライダ
となる基板１の一面に、ポール部２１１、２１２を形成
する。ポール部２１１、２１２はスパッタ等の膜形成技
術またはメッキ技術等によって形成できる。基板１はウ
エハとし、その一面上に多数の磁気ヘッドを形成する。 基板１のポール部２１１、２１２を形成する位置には予
め凹部（図３の参照符号１０９、１１０）を形成してお
く。凹部はイオンミーリング等の手段によって形成でき
る。
【００１７】次に、図６に示すように、ポール部２１１
、２１２の端部にかかるように、絶縁膜３１を形成する
。絶縁膜３１は有機絶縁膜、無機絶縁膜の何れであって
もよい。有機絶縁膜の場合はフォトリソグラフィ等の高
精度パターン形成技術が適用できる。無機絶縁膜はスパ
ッタ成膜技術によって形成できる。
、２１２の端部にかかるように、絶縁膜３１を形成する
。絶縁膜３１は有機絶縁膜、無機絶縁膜の何れであって
もよい。有機絶縁膜の場合はフォトリソグラフィ等の高
精度パターン形成技術が適用できる。無機絶縁膜はスパ
ッタ成膜技術によって形成できる。
【００１８】次に図７に示すように、下側コイル膜２２
Ａを形成した後、図８に示すように絶縁膜３２を形成す
る。下側コイル膜２２Ａはスパッタまたはメッキ等によ
って形成できる。絶縁膜３２は下側コイル膜２２Ａの両
端が露出するように設ける。
Ａを形成した後、図８に示すように絶縁膜３２を形成す
る。下側コイル膜２２Ａはスパッタまたはメッキ等によ
って形成できる。絶縁膜３２は下側コイル膜２２Ａの両
端が露出するように設ける。
【００１９】次に、図９に示すように、絶縁膜３２の上
にヨーク部２１３をスパッタ等の手段によって形成する
。ヨーク部２１３は両端がポール部２１１、２１２の上
に重なるように設ける。次に、図１０に示すように、ヨ
ーク部２１３の全体を覆うように、絶縁膜３３を形成し
た後、絶縁膜３３の上に上側コイル膜２２Ｂを形成する
。上側コイル膜２２Ｂは、ヨーク部２１３をスパイラル
状に回るコイル膜が形成されるように、両端を下側コイ
ル膜２２Ｂの端部に接続させてある。この後、絶縁膜や
保護膜を形成して全体を覆う。磁気変換素子をウエハの
上に形成した場合は、ウエハ切断、溝入れ加工等を経て
磁気ヘッドピースが得られる。
にヨーク部２１３をスパッタ等の手段によって形成する
。ヨーク部２１３は両端がポール部２１１、２１２の上
に重なるように設ける。次に、図１０に示すように、ヨ
ーク部２１３の全体を覆うように、絶縁膜３３を形成し
た後、絶縁膜３３の上に上側コイル膜２２Ｂを形成する
。上側コイル膜２２Ｂは、ヨーク部２１３をスパイラル
状に回るコイル膜が形成されるように、両端を下側コイ
ル膜２２Ｂの端部に接続させてある。この後、絶縁膜や
保護膜を形成して全体を覆う。磁気変換素子をウエハの
上に形成した場合は、ウエハ切断、溝入れ加工等を経て
磁気ヘッドピースが得られる。
【００２０】上記製造工程は、一例であり、種々の工程
をとり得ることは言うまでもない。
をとり得ることは言うまでもない。
【００２１】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、次
のような効果が得られる。 （ａ）磁気変換素子は、磁性膜と、コイル膜とを有する
から、従来のウインチェスタ型磁気ヘッドやコンポジッ
ト型磁気ヘッド等のバルクタイプ磁気ヘッドと異なって
、コイル巻回作業が不要で、小型化、トラック幅の狭小
化、高密度記録等に対応し得る磁気ヘッドを提供できる
。 （ｂ）磁気変換素子を構成する磁性膜が変換ギャップを
介して対向する一対のポール部と一対のポール部に連な
るヨーク部とを有し、膜厚方向がトラック幅方向に一致
するようにして、スライダ側面に設けられているから、
膜厚精度によって定まる高精度の微小トラック幅を有し
、高密度記録に適した磁気ヘッドを提供できる。 （ｃ）コイル膜は、スライダ側面上に設けられた磁性膜
のヨーク部の周りに巻回配置されているから、導体有効
長が短縮され、コイルインダクタンス成分及び直流抵抗
値が低く、高周波応答性に優れ、磁束の漏れが少なく、
高効率の磁気ヘッドを提供できる。 （ｄ）磁気変換素子は、書き込み専用、及び、読み出し
専用の２種類のもを、同一トラック上に別々に形成でき
るから、書き込み及び読み出しの各条件を最適化した磁
気ヘッドを提供できる。
のような効果が得られる。 （ａ）磁気変換素子は、磁性膜と、コイル膜とを有する
から、従来のウインチェスタ型磁気ヘッドやコンポジッ
ト型磁気ヘッド等のバルクタイプ磁気ヘッドと異なって
、コイル巻回作業が不要で、小型化、トラック幅の狭小
化、高密度記録等に対応し得る磁気ヘッドを提供できる
。 （ｂ）磁気変換素子を構成する磁性膜が変換ギャップを
介して対向する一対のポール部と一対のポール部に連な
るヨーク部とを有し、膜厚方向がトラック幅方向に一致
するようにして、スライダ側面に設けられているから、
膜厚精度によって定まる高精度の微小トラック幅を有し
、高密度記録に適した磁気ヘッドを提供できる。 （ｃ）コイル膜は、スライダ側面上に設けられた磁性膜
のヨーク部の周りに巻回配置されているから、導体有効
長が短縮され、コイルインダクタンス成分及び直流抵抗
値が低く、高周波応答性に優れ、磁束の漏れが少なく、
高効率の磁気ヘッドを提供できる。 （ｄ）磁気変換素子は、書き込み専用、及び、読み出し
専用の２種類のもを、同一トラック上に別々に形成でき
るから、書き込み及び読み出しの各条件を最適化した磁
気ヘッドを提供できる。
【図１】本発明に係る磁気ヘッドの斜視図である。
【図２】本発明に係る磁気ヘッドの磁気変換素子部分の
拡大斜視図である。
拡大斜視図である。
【図３】本発明に係る磁気ヘッドのスライダの拡大斜視
図である。
図である。
【図４】本発明に係る磁気ヘッドの他の実施例における
斜視図である。図５〜図１１本発明に係る磁気ヘッドの
製造工程例を示す図である。
斜視図である。図５〜図１１本発明に係る磁気ヘッドの
製造工程例を示す図である。
１ スライダ１０
３、１０４ 空気ベアリング面２
磁気変換素子２１
磁性膜２２
コイル２１１、２１２ ポ
ール部
３、１０４ 空気ベアリング面２
磁気変換素子２１
磁性膜２２
コイル２１１、２１２ ポ
ール部
Claims (2)
- 【請求項１】 スライダと、磁気変換素子とを含む磁
気ヘッドであって、前記スライダは、一面側に空気ベア
リング面を有しており、前記磁気変換素子は、磁性膜と
、コイル膜とを有し、前記磁性膜が変換ギャップを介し
て対向する一対のポール部と前記一対のポール部に連な
るヨーク部とを有し、前記空気ベアリング面に空気流出
方向及びこれと直交するトラック幅方向を仮想したとき
、膜厚方向が前記トラック幅方向に一致するようにして
、スライダ側面に設けられ、前記コイル膜が前記ヨーク
部の周りに巻回配置されていることを特徴とする磁気ヘ
ッド。 - 【請求項２】 前記ポール部は、前記スライダ側面に
設けられた凹部内に配置されていることを特徴とする請
求項１に記載の磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14111291A JPH04339305A (ja) | 1991-05-16 | 1991-05-16 | 磁気ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14111291A JPH04339305A (ja) | 1991-05-16 | 1991-05-16 | 磁気ヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04339305A true JPH04339305A (ja) | 1992-11-26 |
Family
ID=15284444
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14111291A Withdrawn JPH04339305A (ja) | 1991-05-16 | 1991-05-16 | 磁気ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04339305A (ja) |
-
1991
- 1991-05-16 JP JP14111291A patent/JPH04339305A/ja not_active Withdrawn
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19980806 |