JPH04339313A - 磁気ディスク媒体 - Google Patents
磁気ディスク媒体Info
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- JPH04339313A JPH04339313A JP13867391A JP13867391A JPH04339313A JP H04339313 A JPH04339313 A JP H04339313A JP 13867391 A JP13867391 A JP 13867391A JP 13867391 A JP13867391 A JP 13867391A JP H04339313 A JPH04339313 A JP H04339313A
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- Japan
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- magnetic disk
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- disk medium
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- Pending
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Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は磁気ディスク媒体に関し
、特に高密度記録が可能な磁気ディスク媒体に関する。
、特に高密度記録が可能な磁気ディスク媒体に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、情報を磁気的に記憶するための
記録膜として金属磁性膜（磁性膜）を用いる磁気記録媒
体は磁性膜の機械的な耐久性を向上させ、かつ空気中の
水分等による劣化（腐蝕）を防ぐため、磁性膜の上に保
護膜を被覆し、更に表面層として磁気ヘッドとの摩擦力
を軽減するため潤滑膜が被覆されている。磁性膜の材質
としてはＣｏ 系合金、ｒ−Ｆｅ２Ｏ３ 、保護膜の材
質としてはカーボン、ＳｉＯ２，ＺｒＯ２、潤滑膜の材
質としてはパーフロロアルキルポリエーテルが広く用い
られている。特にｒ−Ｆｅ２Ｏ３ は耐蝕性に優れ、ま
たＣｏ 系合金に関しても耐蝕性を向上させるクロムを
添加したＣｏ−Ｃｒ系合金が主流になりつつある。その
ため、保護膜の役目としては耐蝕性の向上は不要となり
、機械的な耐久性の向上だけが必要となる。一方、磁気
ディスク装置は益々高記録密度へと進歩しており、この
ため磁気ヘッドが磁気ディスク表面上を浮上している時
の磁気ヘッドと磁性膜との距離（以下単にスペーシング
と言う）を小さくする必要がある。したがって、磁気ヘ
ッドの浮上量を小さくすると共に、保護膜を出来るだけ
薄くすることが好ましいが、ＣＳＳによる磁気ヘッドと
の摺動に耐えるだけの最小膜厚（一般には２００〜３０
０オングストローム）は必要となる。また、ラップトッ
プパソコン、ブック型パソコンに磁気ディスク装置が搭
載されるようになると、数十万回のＣＳＳに耐える保護
膜が必要となり、膜厚も増加する。
記録膜として金属磁性膜（磁性膜）を用いる磁気記録媒
体は磁性膜の機械的な耐久性を向上させ、かつ空気中の
水分等による劣化（腐蝕）を防ぐため、磁性膜の上に保
護膜を被覆し、更に表面層として磁気ヘッドとの摩擦力
を軽減するため潤滑膜が被覆されている。磁性膜の材質
としてはＣｏ 系合金、ｒ−Ｆｅ２Ｏ３ 、保護膜の材
質としてはカーボン、ＳｉＯ２，ＺｒＯ２、潤滑膜の材
質としてはパーフロロアルキルポリエーテルが広く用い
られている。特にｒ−Ｆｅ２Ｏ３ は耐蝕性に優れ、ま
たＣｏ 系合金に関しても耐蝕性を向上させるクロムを
添加したＣｏ−Ｃｒ系合金が主流になりつつある。その
ため、保護膜の役目としては耐蝕性の向上は不要となり
、機械的な耐久性の向上だけが必要となる。一方、磁気
ディスク装置は益々高記録密度へと進歩しており、この
ため磁気ヘッドが磁気ディスク表面上を浮上している時
の磁気ヘッドと磁性膜との距離（以下単にスペーシング
と言う）を小さくする必要がある。したがって、磁気ヘ
ッドの浮上量を小さくすると共に、保護膜を出来るだけ
薄くすることが好ましいが、ＣＳＳによる磁気ヘッドと
の摺動に耐えるだけの最小膜厚（一般には２００〜３０
０オングストローム）は必要となる。また、ラップトッ
プパソコン、ブック型パソコンに磁気ディスク装置が搭
載されるようになると、数十万回のＣＳＳに耐える保護
膜が必要となり、膜厚も増加する。
【０００３】図３は従来の磁気ディスク媒体を示す断面
図である。同図において、１はアルミ合金基板、２はこ
のアルミ合金基板１上に形成したＮＩＰ膜、３，４およ
び５はこのＮＩＰ膜２上に順次形成した下地クロム膜、
ＣｏＣｒＴａ 磁性膜およびカーボン保護膜、６は潤滑
膜である。次に上記構成による磁気ディスク媒体の製造
方法について説明すると、まず、アルミ合金基板１の上
に無電解めっきによりＮＩＰ膜２を１０μｍの厚さに形
成したのち、表面を研磨してＮＩＰ基板を得る。次に、
スパッタにより下地クロム膜３を膜厚１，０００オング
ストロームに、ＣｏＣｒＴａ 磁性膜４を膜厚５００オ
ングストロームに、カーボン保護膜５を膜厚３００オン
グストロームに順次形成し、最後にスピンコートにより
潤滑膜６を膜厚２０オングストロームに形成するもので
ある。
図である。同図において、１はアルミ合金基板、２はこ
のアルミ合金基板１上に形成したＮＩＰ膜、３，４およ
び５はこのＮＩＰ膜２上に順次形成した下地クロム膜、
ＣｏＣｒＴａ 磁性膜およびカーボン保護膜、６は潤滑
膜である。次に上記構成による磁気ディスク媒体の製造
方法について説明すると、まず、アルミ合金基板１の上
に無電解めっきによりＮＩＰ膜２を１０μｍの厚さに形
成したのち、表面を研磨してＮＩＰ基板を得る。次に、
スパッタにより下地クロム膜３を膜厚１，０００オング
ストロームに、ＣｏＣｒＴａ 磁性膜４を膜厚５００オ
ングストロームに、カーボン保護膜５を膜厚３００オン
グストロームに順次形成し、最後にスピンコートにより
潤滑膜６を膜厚２０オングストロームに形成するもので
ある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】この従来の磁気ディス
ク媒体では、保護膜に関して耐久性の観点から記録密度
向上にとって有利な薄膜化を行うことが出来ない。また
、データの記録・再生を行う領域（以下、単にデータゾ
ーンと言う）、ヘッドがＣＳＳの領域（以下、単にＣＳ
Ｓゾーンと言う）に各々厚い保護膜、薄い保護膜を被覆
した場合にはＣＳＳゾーンとデータゾーンとの間に段差
ができ、この場所での磁気ヘッドの浮上姿勢が乱れると
いうような問題点があった。
ク媒体では、保護膜に関して耐久性の観点から記録密度
向上にとって有利な薄膜化を行うことが出来ない。また
、データの記録・再生を行う領域（以下、単にデータゾ
ーンと言う）、ヘッドがＣＳＳの領域（以下、単にＣＳ
Ｓゾーンと言う）に各々厚い保護膜、薄い保護膜を被覆
した場合にはＣＳＳゾーンとデータゾーンとの間に段差
ができ、この場所での磁気ヘッドの浮上姿勢が乱れると
いうような問題点があった。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明に係る磁気ディス
ク媒体は、データゾーンには磁性膜上にスペーシングロ
スになる保護膜を被覆せず、ＣＳＳゾーンにはこの磁性
膜上に耐摺動作を有する充分な膜厚を持つ保護膜を被覆
するものである。
ク媒体は、データゾーンには磁性膜上にスペーシングロ
スになる保護膜を被覆せず、ＣＳＳゾーンにはこの磁性
膜上に耐摺動作を有する充分な膜厚を持つ保護膜を被覆
するものである。
【０００６】
【作用】本発明は高密度記録が可能になり、しかも磁気
ヘッドの浮上姿勢を安定に保つことができる。
ヘッドの浮上姿勢を安定に保つことができる。
【０００７】
【実施例】図１は本発明に係る磁気ディスク媒体の一実
施例を示す断面図である。同図において、７はデータゾ
ーンに形成した磁性膜、８はＣＳＳゾーンに形成したカ
ーボン保護膜などの耐摺動性を有する保護膜である。な
お、磁性膜７はｒ−Ｆｅ２Ｏ３ ，Ｃｏ−Ｃｒ系合金な
どが用いられる。また図２−（ａ）は図１のデータゾー
ンおよびＣＳＳゾーンの表面状態を示し、縦方向倍率が
２００，０００ 倍、横方向倍率が５００ 倍である。 図１−（ｂ）は図２のＣＳＳゾーンのみ粗面化した場合
のデータゾーンおよびＣＳＳゾーンの表面状態を示し、
縦方向倍率が２００，０００ 倍、横方向倍率が５００
倍である。
施例を示す断面図である。同図において、７はデータゾ
ーンに形成した磁性膜、８はＣＳＳゾーンに形成したカ
ーボン保護膜などの耐摺動性を有する保護膜である。な
お、磁性膜７はｒ−Ｆｅ２Ｏ３ ，Ｃｏ−Ｃｒ系合金な
どが用いられる。また図２−（ａ）は図１のデータゾー
ンおよびＣＳＳゾーンの表面状態を示し、縦方向倍率が
２００，０００ 倍、横方向倍率が５００ 倍である。 図１−（ｂ）は図２のＣＳＳゾーンのみ粗面化した場合
のデータゾーンおよびＣＳＳゾーンの表面状態を示し、
縦方向倍率が２００，０００ 倍、横方向倍率が５００
倍である。
【０００８】次に、上記構成による磁気ディスク媒体の
製造方法について説明する。まず、アルミ合金基板１の
上に無電解めっきによりＮＩＰ膜２を１０μｍの厚さに
形成したのち、表面を研磨してＮＩＰ基板を得る。次に
、スパッタにより下地クロム膜３を膜厚１，０００オン
グストロームに、ＣｏＣｒＴａ 磁性膜４を５００オン
グストロームに形成する。次に、データゾーンにのみレ
ジストを回転塗布したのち、イオンミリングによりレジ
ストの塗布されていないＣＳＳゾーンにあるＣｏＣｒＴ
ａ 磁性膜４を除去すると、データゾーンにのみＣｏＣ
ｒＴａ磁性膜７が形成される。そして、スパッタにより
ＣＳＳゾーンにカーボン保護膜８を５００オングストロ
ームの厚さに形成する。そして、シンナーもしくはリム
ーバー溶液中に浸漬してレジストを除去する。このとき
、レジスト上に被覆されたカーボン膜も同時に除去され
、データゾーンにはＣｏＣｒＴａ 磁性膜７の表面が現
れる。最後にスピンコートにより潤滑膜６を２０オング
ストロームの厚さに形成して磁気ディスク媒体を得るこ
とができる。
製造方法について説明する。まず、アルミ合金基板１の
上に無電解めっきによりＮＩＰ膜２を１０μｍの厚さに
形成したのち、表面を研磨してＮＩＰ基板を得る。次に
、スパッタにより下地クロム膜３を膜厚１，０００オン
グストロームに、ＣｏＣｒＴａ 磁性膜４を５００オン
グストロームに形成する。次に、データゾーンにのみレ
ジストを回転塗布したのち、イオンミリングによりレジ
ストの塗布されていないＣＳＳゾーンにあるＣｏＣｒＴ
ａ 磁性膜４を除去すると、データゾーンにのみＣｏＣ
ｒＴａ磁性膜７が形成される。そして、スパッタにより
ＣＳＳゾーンにカーボン保護膜８を５００オングストロ
ームの厚さに形成する。そして、シンナーもしくはリム
ーバー溶液中に浸漬してレジストを除去する。このとき
、レジスト上に被覆されたカーボン膜も同時に除去され
、データゾーンにはＣｏＣｒＴａ 磁性膜７の表面が現
れる。最後にスピンコートにより潤滑膜６を２０オング
ストロームの厚さに形成して磁気ディスク媒体を得るこ
とができる。
【０００９】上述の一実施例では研磨後のＮＩＰ膜２の
表面粗さは全面均一であり、ＣＳＳゾーンのカーボン保
護膜８の表面粗さとデータゾーンのＣｏＣｒＴａ 磁性
膜７の表面粗さは同等であり、厚さも同じであるため、
ゾーン間の段差は見られない。また、ヘッド吸着を防止
するため、ＣＳＳゾーンのみ粗面化したい場合にはＮＩ
Ｐ膜２の研磨時にＣＳＳゾーンのみテクスチャー加工を
施せばよい。この場合のゾーン間の段差はＣＳＳゾーン
の表面粗さ以下となっている。このように、データゾー
ンとＣＳＳゾーンとの間をＣＳＳゾーンの表面粗さ以下
の段差にすることにより磁気ヘッドの浮上姿勢を乱すこ
となく磁気ヘッドと磁気ディスク媒体の接触を誘発する
ことはない。
表面粗さは全面均一であり、ＣＳＳゾーンのカーボン保
護膜８の表面粗さとデータゾーンのＣｏＣｒＴａ 磁性
膜７の表面粗さは同等であり、厚さも同じであるため、
ゾーン間の段差は見られない。また、ヘッド吸着を防止
するため、ＣＳＳゾーンのみ粗面化したい場合にはＮＩ
Ｐ膜２の研磨時にＣＳＳゾーンのみテクスチャー加工を
施せばよい。この場合のゾーン間の段差はＣＳＳゾーン
の表面粗さ以下となっている。このように、データゾー
ンとＣＳＳゾーンとの間をＣＳＳゾーンの表面粗さ以下
の段差にすることにより磁気ヘッドの浮上姿勢を乱すこ
となく磁気ヘッドと磁気ディスク媒体の接触を誘発する
ことはない。
【００１０】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明に係
る磁気ディスク媒体によれば、データゾーンにスペーシ
ングロスになる保護膜が被覆していないため、高記録密
度に適し、しかもＣＳＳゾーンには耐摺動性を有するに
充分な膜厚を持つ保護膜を付与することができるという
効果がある。
る磁気ディスク媒体によれば、データゾーンにスペーシ
ングロスになる保護膜が被覆していないため、高記録密
度に適し、しかもＣＳＳゾーンには耐摺動性を有するに
充分な膜厚を持つ保護膜を付与することができるという
効果がある。
【図１】本発明に係る磁気ディスク媒体の一実施例を示
す断面図である。
す断面図である。
【図２】図１のデータゾーンおよびＣＳＳゾーンの表面
状態を示す図である。
状態を示す図である。
【図３】従来の磁気ディスク媒体を示す断面図である。
７ データゾーンの磁性膜
８ ＣＳＳゾーンのカーボン保護膜
Claims (1)
- 【請求項１】 データの記録・再生を行う領域には磁
性膜上に保護膜を被覆せず、磁気ヘッドがＣＳＳ領域に
のみ耐摺動作を有する保護膜を被覆することを特徴とす
る磁気ディスク媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13867391A JPH04339313A (ja) | 1991-05-15 | 1991-05-15 | 磁気ディスク媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13867391A JPH04339313A (ja) | 1991-05-15 | 1991-05-15 | 磁気ディスク媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04339313A true JPH04339313A (ja) | 1992-11-26 |
Family
ID=15227439
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13867391A Pending JPH04339313A (ja) | 1991-05-15 | 1991-05-15 | 磁気ディスク媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04339313A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5977631A (ja) * | 1982-10-27 | 1984-05-04 | Toshiba Corp | 磁気デイスク装置用記録媒体 |
-
1991
- 1991-05-15 JP JP13867391A patent/JPH04339313A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5977631A (ja) * | 1982-10-27 | 1984-05-04 | Toshiba Corp | 磁気デイスク装置用記録媒体 |
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