JPH04345002A - 希土類磁石の製造方法 - Google Patents
希土類磁石の製造方法Info
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- JPH04345002A JPH04345002A JP3145296A JP14529691A JPH04345002A JP H04345002 A JPH04345002 A JP H04345002A JP 3145296 A JP3145296 A JP 3145296A JP 14529691 A JP14529691 A JP 14529691A JP H04345002 A JPH04345002 A JP H04345002A
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
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- H01F1/00—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties
- H01F1/01—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials
- H01F1/03—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity
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- H01F1/04—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity of hard-magnetic materials metals or alloys
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- H01F1/053—Alloys characterised by their composition containing rare earth metals
- H01F1/055—Alloys characterised by their composition containing rare earth metals and magnetic transition metals, e.g. SmCo5
- H01F1/057—Alloys characterised by their composition containing rare earth metals and magnetic transition metals, e.g. SmCo5 and IIIa elements, e.g. Nd2Fe14B
- H01F1/0571—Alloys characterised by their composition containing rare earth metals and magnetic transition metals, e.g. SmCo5 and IIIa elements, e.g. Nd2Fe14B in the form of particles, e.g. rapid quenched powders or ribbon flakes
- H01F1/0572—Alloys characterised by their composition containing rare earth metals and magnetic transition metals, e.g. SmCo5 and IIIa elements, e.g. Nd2Fe14B in the form of particles, e.g. rapid quenched powders or ribbon flakes with a protective layer
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、磁気特性に優れるだ
けでなく、耐蝕性及び温度特性にも優れた希土類−遷移
金属系焼結磁石の製造方法に関するものである。
けでなく、耐蝕性及び温度特性にも優れた希土類−遷移
金属系焼結磁石の製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年の磁気応用機器の小型化、高効率化
に伴い、使用される永久磁石もフェライト磁石から、よ
り高エネルギー積の希土類磁石へと移ってきている。希
土類磁石としては従来Ｓｍ−Ｃｏ系が用いられてきたが
、近年、より安価かつ高磁気特性を有するＮｄ−Ｆｅ−
Ｂ系が開発された（特公昭６１−３４２４２号公報）
。しかしながらこの磁石には、耐蝕性や耐熱性に劣ると
いう欠点があった。
に伴い、使用される永久磁石もフェライト磁石から、よ
り高エネルギー積の希土類磁石へと移ってきている。希
土類磁石としては従来Ｓｍ−Ｃｏ系が用いられてきたが
、近年、より安価かつ高磁気特性を有するＮｄ−Ｆｅ−
Ｂ系が開発された（特公昭６１−３４２４２号公報）
。しかしながらこの磁石には、耐蝕性や耐熱性に劣ると
いう欠点があった。
【０００３】この問題に対する解決策として、発明者ら
は先に、Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ系合金のＦｅの一部をＣｏ及び
Ｎｉで高濃度に複合置換した希土類合金磁石を提案した
（特開平２−４９３９号公報） 。
は先に、Ｎｄ−Ｆｅ−Ｂ系合金のＦｅの一部をＣｏ及び
Ｎｉで高濃度に複合置換した希土類合金磁石を提案した
（特開平２−４９３９号公報） 。
【０００４】また発明者らはさらに、かかる磁石を発展
させたものとして、二相組織の希土類−遷移金属系磁石
をその有利な製造方法と共に提案した（特願平２−２６
９６３５号明細書）。上記の二相組織磁石は、 ＲＥ２
ＴＭ１４Ｂ１相（主相）とそれよりも融点の低いＲＥ−
ＴＭ相の粉末を混合し、通常の粉末冶金法で焼結磁石に
することにより、主相のまわりを低融点相で囲まれた組
成を形成し、高磁気特性と高耐蝕性を効率よく実現する
ものである。従って主相のまわりを低融点相で均一に囲
むことが、この磁石の諸特性を引き出す上で重要で、二
相粉混合時に主相のまわりに低融点相が充分均一に配布
された状態にする必要がある。
させたものとして、二相組織の希土類−遷移金属系磁石
をその有利な製造方法と共に提案した（特願平２−２６
９６３５号明細書）。上記の二相組織磁石は、 ＲＥ２
ＴＭ１４Ｂ１相（主相）とそれよりも融点の低いＲＥ−
ＴＭ相の粉末を混合し、通常の粉末冶金法で焼結磁石に
することにより、主相のまわりを低融点相で囲まれた組
成を形成し、高磁気特性と高耐蝕性を効率よく実現する
ものである。従って主相のまわりを低融点相で均一に囲
むことが、この磁石の諸特性を引き出す上で重要で、二
相粉混合時に主相のまわりに低融点相が充分均一に配布
された状態にする必要がある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、ボールミル等
により機械的に主相と低融点相を混合する従来の方法で
は、主相のまわりを低融点相で均一に囲むことは極めて
難しく、これを補って保磁力を高めるためには比較的多
量の低融点相を必要とし、相対的に磁石中の非磁性相の
割合が多くなることから、主相の持つ高エネルギー積を
充分に発現させるまでには至っていない。この発明は、
上記の問題を有利に解決するもので、主相粉のまわりを
低融点合金で効率よく囲むことにより、高い磁気特性を
耐蝕性と共に兼ね備える希土類磁石を有利に得ることが
できる製造方法を提案することを目的とする。
により機械的に主相と低融点相を混合する従来の方法で
は、主相のまわりを低融点相で均一に囲むことは極めて
難しく、これを補って保磁力を高めるためには比較的多
量の低融点相を必要とし、相対的に磁石中の非磁性相の
割合が多くなることから、主相の持つ高エネルギー積を
充分に発現させるまでには至っていない。この発明は、
上記の問題を有利に解決するもので、主相粉のまわりを
低融点合金で効率よく囲むことにより、高い磁気特性を
耐蝕性と共に兼ね備える希土類磁石を有利に得ることが
できる製造方法を提案することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】すなわちこの発明は、Ｒ
Ｅ２ＴＭ１４Ｂ（ここでＲＥはＹ，Ｓｃ及びランタノイ
ドのうちから選んだ一種又は二種以上、またＴＭはＦｅ
， Ｃｏ及びＮｉのうちから選んだ一種又は二種以上）
から成る粉末のまわりを、それより融点の低いＲＥ−Ｔ
Ｍ系合金（ここでＲＥ及びＴＭについては上と同じ）で
、膜厚：１０ｎｍ〜３．０ μｍ にコーティングした
粉末を原料とし、この原料粉末を、圧縮成形した後、焼
結することからなる希土類磁石の製造方法である。
Ｅ２ＴＭ１４Ｂ（ここでＲＥはＹ，Ｓｃ及びランタノイ
ドのうちから選んだ一種又は二種以上、またＴＭはＦｅ
， Ｃｏ及びＮｉのうちから選んだ一種又は二種以上）
から成る粉末のまわりを、それより融点の低いＲＥ−Ｔ
Ｍ系合金（ここでＲＥ及びＴＭについては上と同じ）で
、膜厚：１０ｎｍ〜３．０ μｍ にコーティングした
粉末を原料とし、この原料粉末を、圧縮成形した後、焼
結することからなる希土類磁石の製造方法である。
【０００７】この発明において、主相のまわりを低融点
合金でコーティングする方法としては、熱蒸着法、スパ
ッタリング法、イオンプレーティング法及び無電解めっ
き法等がとりわけ有利に適合する。またコーティング膜
厚としては１０ｎｍ〜３．０ μｍ とする必要がある
。というのは１０ｎｍに満たないと充分な保磁力が得ら
れず、一方 ３．０μｍ を超えると、高い保磁力は得
られるものの、主相の量が相対的に減少し、残留磁束密
度の低下を招くからである。
合金でコーティングする方法としては、熱蒸着法、スパ
ッタリング法、イオンプレーティング法及び無電解めっ
き法等がとりわけ有利に適合する。またコーティング膜
厚としては１０ｎｍ〜３．０ μｍ とする必要がある
。というのは１０ｎｍに満たないと充分な保磁力が得ら
れず、一方 ３．０μｍ を超えると、高い保磁力は得
られるものの、主相の量が相対的に減少し、残留磁束密
度の低下を招くからである。
【０００８】図１〜３にそれぞれ、スパッタリング法、
熱蒸着法及びイオンプレーティング法によってコーティ
ングする場合の好適装置を模式で示す。図中、番号１は
アノード、２はターゲット、３は磁粉、４はプラズマ、
５は蒸発源、６はヒータ、７は蒸着板である。
熱蒸着法及びイオンプレーティング法によってコーティ
ングする場合の好適装置を模式で示す。図中、番号１は
アノード、２はターゲット、３は磁粉、４はプラズマ、
５は蒸発源、６はヒータ、７は蒸着板である。
【０００９】
【作用】この発明法によれば、従来に比べ主相のまわり
を低融点合金でより均一に取り囲むことができ、その結
果、■低融点合金が従来と同量の場合には、一層高い保
磁力と耐蝕性を実現でき、■従来と同程度の保磁力、耐
蝕性を得る場合には、より少量の低融点合金の量で充分
なため、相対的に主相の量を多くでき、ひいてはより大
きなエネルギー積を達成できる、という利点が生じる。
を低融点合金でより均一に取り囲むことができ、その結
果、■低融点合金が従来と同量の場合には、一層高い保
磁力と耐蝕性を実現でき、■従来と同程度の保磁力、耐
蝕性を得る場合には、より少量の低融点合金の量で充分
なため、相対的に主相の量を多くでき、ひいてはより大
きなエネルギー積を達成できる、という利点が生じる。
【００１０】さて ＲＥ２ＴＭ１４Ｂ１相におけるＲＥ
としては、その磁気モーメントの大きさやＴＭ原子との
磁気的カップリングの観点から、またコスト的にも、Ｎ
ｄやＰｒが望ましいけれども、その他のＲＥ、さらには
それらとＮｄ， Ｐｒとの組合せでもよいのは言うまで
もない。
としては、その磁気モーメントの大きさやＴＭ原子との
磁気的カップリングの観点から、またコスト的にも、Ｎ
ｄやＰｒが望ましいけれども、その他のＲＥ、さらには
それらとＮｄ， Ｐｒとの組合せでもよいのは言うまで
もない。
【００１１】またＴＭについては、Ｆｅ， Ｃｏ及びＮ
ｉのうちから選んだ一種又は二種以上であれば良く、と
くに磁石の高耐蝕性の観点からはＮｉの割合を大きくす
ることが望ましい。さらにこのＲＥ２ＴＭ１４Ｂ相が磁
石の飽和磁束密度を担っているので、ＴＭ中のＦｅ，
Ｃｏ及びＮｉの存在割合は、Ｆｅが１０ａｔ％以上、７
５ａｔ％以下、Ｃｏが７ａｔ％以上、５０ａｔ％以下、
Ｎｉが５ａｔ％以上、３０ａｔ％以下程度とするのが望
ましいけれども、ＴＭとしてＦｅが １００％のＲＥ２
ＴＭ１４Ｂ相を主相とする場合も、この発明の永久磁石
の耐蝕性は従来のＲＥ−ＴＭ−Ｂ磁石より優れており、
従って磁石の用途によっては勿論主相として採用するこ
とができる。
ｉのうちから選んだ一種又は二種以上であれば良く、と
くに磁石の高耐蝕性の観点からはＮｉの割合を大きくす
ることが望ましい。さらにこのＲＥ２ＴＭ１４Ｂ相が磁
石の飽和磁束密度を担っているので、ＴＭ中のＦｅ，
Ｃｏ及びＮｉの存在割合は、Ｆｅが１０ａｔ％以上、７
５ａｔ％以下、Ｃｏが７ａｔ％以上、５０ａｔ％以下、
Ｎｉが５ａｔ％以上、３０ａｔ％以下程度とするのが望
ましいけれども、ＴＭとしてＦｅが １００％のＲＥ２
ＴＭ１４Ｂ相を主相とする場合も、この発明の永久磁石
の耐蝕性は従来のＲＥ−ＴＭ−Ｂ磁石より優れており、
従って磁石の用途によっては勿論主相として採用するこ
とができる。
【００１２】次にＲＥ−ＴＭ系低融点合金におけるＲＥ
としては、コストを重視する場合にはＬａ，Ｃｅ， Ｐ
ｒ， Ｎｄなどの軽希土類元素が、また一層耐蝕性を高
めたい場合には原子番号でＳｍ以降のＬｕまでの中重希
土類元素やＹ，Ｓｃなどが有利に適合する。またＴＭに
ついては、Ｎｉ及び／又はＣｏ、とくにＮｉを含有させ
ることが耐蝕性の向上に効果的なので、この発明では、
ＴＭとしてＮｉは必ず含有させるものとし、そのＴＭ中
における含有率は８％以上程度とするのが好適である。
としては、コストを重視する場合にはＬａ，Ｃｅ， Ｐ
ｒ， Ｎｄなどの軽希土類元素が、また一層耐蝕性を高
めたい場合には原子番号でＳｍ以降のＬｕまでの中重希
土類元素やＹ，Ｓｃなどが有利に適合する。またＴＭに
ついては、Ｎｉ及び／又はＣｏ、とくにＮｉを含有させ
ることが耐蝕性の向上に効果的なので、この発明では、
ＴＭとしてＮｉは必ず含有させるものとし、そのＴＭ中
における含有率は８％以上程度とするのが好適である。
【００１３】またＴＭについては、 ＲＥ２ＴＭ１４Ｂ
１相の場合と同様、Ｆｅ， Ｃｏ及びＮｉのうちから選
んだ一種又は二種以上が使用できるが、とくにＮｉを含
有させることが耐蝕性の向上の点から有利である。
１相の場合と同様、Ｆｅ， Ｃｏ及びＮｉのうちから選
んだ一種又は二種以上が使用できるが、とくにＮｉを含
有させることが耐蝕性の向上の点から有利である。
【００１４】さらに低融点合金のＮｉ及び／又はＣｏの
比率をＲＥ２ＴＭ１４Ｂ相のそれよりも高めることによ
って、耐蝕性を一段と向上させることがてきる。なお、
主相のＲＥと低融点合金のＲＥとは同一の元素である必
要はない。また上記した二相を主成分とする磁石におい
て、ＲＥとＴＭの一部を、Ｍｇ， Ａｌ， Ｓｉ， Ｔ
ｉ， Ｖ，Ｃｒ， Ｍｎ， Ｃｕ， Ａｇ， Ａｕ，
Ｃｄ， Ｒｈ， Ｐｄ， Ｉｒ， Ｐｔ， Ｚｎ， Ｇ
ａ， Ｇｅ， Ｚｒ， Ｎｂ， Ｍｏ， Ｉｎ， Ｓｎ
，Ｈｆ， Ｔａ及びＷのうちから選んだ少なくとも一種
で、磁石全体の８ａｔ％まで置換してもこの発明の効果
が失われることはない。
比率をＲＥ２ＴＭ１４Ｂ相のそれよりも高めることによ
って、耐蝕性を一段と向上させることがてきる。なお、
主相のＲＥと低融点合金のＲＥとは同一の元素である必
要はない。また上記した二相を主成分とする磁石におい
て、ＲＥとＴＭの一部を、Ｍｇ， Ａｌ， Ｓｉ， Ｔ
ｉ， Ｖ，Ｃｒ， Ｍｎ， Ｃｕ， Ａｇ， Ａｕ，
Ｃｄ， Ｒｈ， Ｐｄ， Ｉｒ， Ｐｔ， Ｚｎ， Ｇ
ａ， Ｇｅ， Ｚｒ， Ｎｂ， Ｍｏ， Ｉｎ， Ｓｎ
，Ｈｆ， Ｔａ及びＷのうちから選んだ少なくとも一種
で、磁石全体の８ａｔ％まで置換してもこの発明の効果
が失われることはない。
【００１５】
実施例１
表１中、Ｎｏ．１， Ｎｏ．２に示す組成の ＲＥ２Ｔ
Ｍ１４Ｂ１合金及びＲＥ−ＴＭ合金をそれぞれ溶解作製
し、前者については ９５０℃で７日間の均一化処理を
施した後、スタンプミル、ジェットミルにより数μｍ
の微粉とした。後者のＲＥ−ＴＭ合金はスパッタ用ター
ゲットに加工し、前掲図１に示すスパッタリング装置に
組み込んだ。同図のパッタリング装置において、チャン
バー内にＡｒガスを流し、陽極と陰極（ターゲット）の
間に６ｋＶの直流電圧を印加し、Ａｒイオンスパッタに
より、ＲＥ，ＴＭ粒子が飛び交う中に、上述のようにし
て得た ＲＥ２ＴＭ１４Ｂ１微粉をフローさせ、表面に
ＲＥ−ＴＭ合金をコーティングした。なおコーティング
厚さはアルゴンガスのガス圧により調整した。
Ｍ１４Ｂ１合金及びＲＥ−ＴＭ合金をそれぞれ溶解作製
し、前者については ９５０℃で７日間の均一化処理を
施した後、スタンプミル、ジェットミルにより数μｍ
の微粉とした。後者のＲＥ−ＴＭ合金はスパッタ用ター
ゲットに加工し、前掲図１に示すスパッタリング装置に
組み込んだ。同図のパッタリング装置において、チャン
バー内にＡｒガスを流し、陽極と陰極（ターゲット）の
間に６ｋＶの直流電圧を印加し、Ａｒイオンスパッタに
より、ＲＥ，ＴＭ粒子が飛び交う中に、上述のようにし
て得た ＲＥ２ＴＭ１４Ｂ１微粉をフローさせ、表面に
ＲＥ−ＴＭ合金をコーティングした。なおコーティング
厚さはアルゴンガスのガス圧により調整した。
【００１６】このようにして作製されたＲＥ−ＴＭ合金
のコーティング層をそなえる ＲＥ２ＴＭ１４Ｂ１粉を
磁場中プレスし、１０００℃で２時間焼結して磁石とし
た。かくして得られた希土類磁石の磁気特性及び耐蝕性
について調べた結果を表１に併せて示す。ここに耐蝕性
は、試料を温度：７０℃、相対湿度：９５％の環境に４
８時間曝したのちの試料表面の発錆面積率で評価した。
のコーティング層をそなえる ＲＥ２ＴＭ１４Ｂ１粉を
磁場中プレスし、１０００℃で２時間焼結して磁石とし
た。かくして得られた希土類磁石の磁気特性及び耐蝕性
について調べた結果を表１に併せて示す。ここに耐蝕性
は、試料を温度：７０℃、相対湿度：９５％の環境に４
８時間曝したのちの試料表面の発錆面積率で評価した。
【００１７】なお比較のため、従来法に従い、同じ組成
の ＲＥ２ＴＭ１４Ｂ１合金及びＲＥ−ＴＭ合金を均一
化処理した後、スタンプミル，ジェットミルで数μｍ
に微粉砕したものをシクロヘキサン中でボールミルによ
り混合し、ついで磁場中プレス、焼結を施して得た磁石
の各特性について調べた結果を、表１に併記する。
の ＲＥ２ＴＭ１４Ｂ１合金及びＲＥ−ＴＭ合金を均一
化処理した後、スタンプミル，ジェットミルで数μｍ
に微粉砕したものをシクロヘキサン中でボールミルによ
り混合し、ついで磁場中プレス、焼結を施して得た磁石
の各特性について調べた結果を、表１に併記する。
【００１８】実施例２
表１中、Ｎｏ．３， Ｎｏ．４に示す組成の ＲＥ２Ｔ
Ｍ１４Ｂ１合金及びＲＥ−ＴＭ合金をそれぞれ溶解作製
し、前者については ９５０℃で７日間の均一化処理を
施した後、スタンプミル、ジェットミルにより数μｍ
の微粉とした。後者のＲＥ−ＴＭ合金は蒸着用の蒸発源
に加工し、前掲図２に示す熱蒸着装置に組み込んだ。同
図の熱蒸着装置において、チャンバー内を１×１０−６
Ｔｏｒｒの真空にし、抵抗加熱によりＲＥ−ＴＭ合金を
加熱蒸発させ、このＲＥ−ＴＭ蒸気の中に、 ＲＥ２Ｔ
Ｍ１４Ｂ１微粉を流し、表面にＲＥ−ＴＭ合金をコーテ
ィングした。なおコーティング厚さは、蒸発源の加熱温
度により調整した。
Ｍ１４Ｂ１合金及びＲＥ−ＴＭ合金をそれぞれ溶解作製
し、前者については ９５０℃で７日間の均一化処理を
施した後、スタンプミル、ジェットミルにより数μｍ
の微粉とした。後者のＲＥ−ＴＭ合金は蒸着用の蒸発源
に加工し、前掲図２に示す熱蒸着装置に組み込んだ。同
図の熱蒸着装置において、チャンバー内を１×１０−６
Ｔｏｒｒの真空にし、抵抗加熱によりＲＥ−ＴＭ合金を
加熱蒸発させ、このＲＥ−ＴＭ蒸気の中に、 ＲＥ２Ｔ
Ｍ１４Ｂ１微粉を流し、表面にＲＥ−ＴＭ合金をコーテ
ィングした。なおコーティング厚さは、蒸発源の加熱温
度により調整した。
【００１９】このようにして作製したＲＥ−ＴＭ合金の
コーティング層をそなえる ＲＥ２ＴＭ１４Ｂ１粉を磁
場中プレスし、１０００℃で２時間焼結して磁石とした
。かくして得られた希土類磁石の磁気特性及び耐蝕性に
ついて調べた結果を表１に併せて示す。
コーティング層をそなえる ＲＥ２ＴＭ１４Ｂ１粉を磁
場中プレスし、１０００℃で２時間焼結して磁石とした
。かくして得られた希土類磁石の磁気特性及び耐蝕性に
ついて調べた結果を表１に併せて示す。
【００２０】なお比較のため、従来法に従い、同じ組成
の ＲＥ２ＴＭ１４Ｂ１合金及びＲＥ−ＴＭ合金を均一
化処理した後、スタンプミル，ジェットミルで数μｍ
に微粉砕したものをシクロヘキサン中でボールミルによ
り混合し、ついで磁場中プレス、焼結を施して得た磁石
の各特性について調べた結果を、表１に併記する。
の ＲＥ２ＴＭ１４Ｂ１合金及びＲＥ−ＴＭ合金を均一
化処理した後、スタンプミル，ジェットミルで数μｍ
に微粉砕したものをシクロヘキサン中でボールミルによ
り混合し、ついで磁場中プレス、焼結を施して得た磁石
の各特性について調べた結果を、表１に併記する。
【００２１】実施例３
表１中、Ｎｏ．５， Ｎｏ．６に示す組成の ＲＥ２Ｔ
Ｍ１４Ｂ１合金及びＲＥ−ＴＭ合金をそれぞれ溶解作製
し、前者については ９５０℃で７日間の均一化処理を
施した後、スタンプミル、ジェットミルにより数μｍ
の微粉とした。後者のＲＥ−ＴＭ合金はイオンプレーテ
ィング用の蒸発源に加工し、前掲図３に示すイオンプレ
ーティング装置に組み込んだ。同図のイオンプレーティ
ング装置において、チャンバー内にＡｒガスを流し、陽
極と陰極の間に５ｋＶの電圧をかけプラズマを発生させ
た。ＲＥ−ＴＭ合金は抵抗加熱により加熱蒸発させ、Ｒ
Ｅ， ＴＭ粒子が飛び交う中に上述のようにして得た
ＲＥ２ＴＭ１４Ｂ１微粉をフローさせ、表面にＲＥ−Ｔ
Ｍ合金をコーティングした。なおコーティング厚さはア
ルゴンガスのガス圧により調整した。
Ｍ１４Ｂ１合金及びＲＥ−ＴＭ合金をそれぞれ溶解作製
し、前者については ９５０℃で７日間の均一化処理を
施した後、スタンプミル、ジェットミルにより数μｍ
の微粉とした。後者のＲＥ−ＴＭ合金はイオンプレーテ
ィング用の蒸発源に加工し、前掲図３に示すイオンプレ
ーティング装置に組み込んだ。同図のイオンプレーティ
ング装置において、チャンバー内にＡｒガスを流し、陽
極と陰極の間に５ｋＶの電圧をかけプラズマを発生させ
た。ＲＥ−ＴＭ合金は抵抗加熱により加熱蒸発させ、Ｒ
Ｅ， ＴＭ粒子が飛び交う中に上述のようにして得た
ＲＥ２ＴＭ１４Ｂ１微粉をフローさせ、表面にＲＥ−Ｔ
Ｍ合金をコーティングした。なおコーティング厚さはア
ルゴンガスのガス圧により調整した。
【００２２】このようにして作製したＲＥ−ＴＭ合金の
コーティング層をそなえる ＲＥ２ＴＭ１４Ｂ１粉を磁
場中プレスし、１０００℃で２時間焼結して磁石とした
。かくして得られた希土類磁石の磁気特性及び耐蝕性に
ついて調べた結果を表１に併せて示す。
コーティング層をそなえる ＲＥ２ＴＭ１４Ｂ１粉を磁
場中プレスし、１０００℃で２時間焼結して磁石とした
。かくして得られた希土類磁石の磁気特性及び耐蝕性に
ついて調べた結果を表１に併せて示す。
【００２３】なお比較のため、従来法に従い、同じ組成
の ＲＥ２ＴＭ１４Ｂ１合金及びＲＥ−ＴＭ合金を均一
化処理した後、スタンプミル，ジェットミルで数μｍ
に微粉砕したものをシクロヘキサン中でボールミルによ
り混合し、ついで磁場中プレス、焼結を施して得た磁石
の各特性について調べた結果を、表１に併記する。
の ＲＥ２ＴＭ１４Ｂ１合金及びＲＥ−ＴＭ合金を均一
化処理した後、スタンプミル，ジェットミルで数μｍ
に微粉砕したものをシクロヘキサン中でボールミルによ
り混合し、ついで磁場中プレス、焼結を施して得た磁石
の各特性について調べた結果を、表１に併記する。
【００２４】
【表１】
【００２５】表１から明らかなように、この発明法に従
って得られたものは、従来法により得られたものに比べ
、磁気特性及び耐蝕性とも改善されている。
って得られたものは、従来法により得られたものに比べ
、磁気特性及び耐蝕性とも改善されている。
【００２６】実施例４
Ｎｄ２（Ｆｅ０．６５Ｃｏ０．３Ｎｉ０．０５）１４Ｂ
１組成の合金及びＮｄ１Ｎｉ１組成の合金を各々アーク
溶融で作製し、前者については ９５０℃， ７日間、
後者については ４５０℃， ５日間の均一化処理を真
空中で行った後、Ｎｄ２（Ｆｅ０．６５Ｃｏ０．３Ｎｉ
０．０５）１４Ｂ１合金については、スタンプミル，ジ
ェットミルにて数μｍ 径の微粉末とした。次にＮｄ１
Ｎｉ１合金をスパッタ用ターゲットに加工し、前掲図１
に示したような装置でスパッタリングを行い、そこへＮ
ｄ２（Ｆｅ０．６５Ｃｏ０．３Ｎｉ０．０５）１４Ｂ１
合金粉末をフローさせ、Ｎｄ２（Ｆｅ０．６５Ｃｏ０．
３Ｎｉ０．０５）１４Ｂ１合金粉末の周りにＮｄ１Ｎｉ
１合金をコーティングした。このときアルゴンガスをガ
ス圧を調整して、種々の厚みのコーティング膜を被成し
た。その後、得られた磁粉を用い、磁場中プレス後、真
空中で１０００℃， ２時間の焼結を施した。
１組成の合金及びＮｄ１Ｎｉ１組成の合金を各々アーク
溶融で作製し、前者については ９５０℃， ７日間、
後者については ４５０℃， ５日間の均一化処理を真
空中で行った後、Ｎｄ２（Ｆｅ０．６５Ｃｏ０．３Ｎｉ
０．０５）１４Ｂ１合金については、スタンプミル，ジ
ェットミルにて数μｍ 径の微粉末とした。次にＮｄ１
Ｎｉ１合金をスパッタ用ターゲットに加工し、前掲図１
に示したような装置でスパッタリングを行い、そこへＮ
ｄ２（Ｆｅ０．６５Ｃｏ０．３Ｎｉ０．０５）１４Ｂ１
合金粉末をフローさせ、Ｎｄ２（Ｆｅ０．６５Ｃｏ０．
３Ｎｉ０．０５）１４Ｂ１合金粉末の周りにＮｄ１Ｎｉ
１合金をコーティングした。このときアルゴンガスをガ
ス圧を調整して、種々の厚みのコーティング膜を被成し
た。その後、得られた磁粉を用い、磁場中プレス後、真
空中で１０００℃， ２時間の焼結を施した。
【００２７】かくして得られた希土類焼結磁石の磁気特
性について調べた結果を、表２にまとめて示す。
性について調べた結果を、表２にまとめて示す。
【００２８】
【００２９】同表から明らかなように、コーティング厚
がこの発明の適正範囲を満足する場合にとりわけ優れた
最大エネルギー積が得られている。
がこの発明の適正範囲を満足する場合にとりわけ優れた
最大エネルギー積が得られている。
【００３０】
【発明の効果】かくしてこの発明によれば、大きな飽和
磁束密度を持つ主相のまわりを、保磁力の発現に有利な
低融点合金で均一に取り囲むことができ、ひいては磁気
特性及び耐蝕性とも優れた希土類磁石を得ることができ
る。
磁束密度を持つ主相のまわりを、保磁力の発現に有利な
低融点合金で均一に取り囲むことができ、ひいては磁気
特性及び耐蝕性とも優れた希土類磁石を得ることができ
る。
【図１】スパッタリング装置の模式図である。
【図２】熱蒸着装置の模式図である。
【図３】イオンプレーティング装置の模式図である。
１ アノード
２ ターゲット
３ 磁粉
４ プラズマ
５ 蒸発源
６ ヒータ
７ 蒸着板
Claims (1)
- 【請求項１】 ＲＥ２ＴＭ１４Ｂ（ここでＲＥはＹ，
Ｓｃ及びランタノイドのうちから選んだ一種又は二種以
上、またＴＭはＦｅ，Ｃｏ及びＮｉのうちから選んだ一
種又は二種以上）から成る粉末のまわりを、それより融
点の低いＲＥ−ＴＭ系合金（ここでＲＥ及びＴＭについ
ては上と同じ）で、膜厚：１０ｎｍ〜３．０ μｍ に
コーティングした粉末を原料とし、この原料粉末を、圧
縮成形した後、焼結することを特徴とする希土類磁石の
製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3145296A JPH04345002A (ja) | 1991-05-22 | 1991-05-22 | 希土類磁石の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3145296A JPH04345002A (ja) | 1991-05-22 | 1991-05-22 | 希土類磁石の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04345002A true JPH04345002A (ja) | 1992-12-01 |
Family
ID=15381868
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3145296A Pending JPH04345002A (ja) | 1991-05-22 | 1991-05-22 | 希土類磁石の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04345002A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0737716A (ja) * | 1993-07-21 | 1995-02-07 | Hitachi Metals Ltd | 希土類永久磁石およびその製造方法 |
| JP2005226125A (ja) * | 2004-02-13 | 2005-08-25 | Hitachi Metals Ltd | 磁性粒子の製造方法 |
| JP2018123414A (ja) * | 2017-02-03 | 2018-08-09 | 株式会社豊田中央研究所 | 磁性粉およびその製造方法 |
| CN111554502A (zh) * | 2020-04-29 | 2020-08-18 | 南京理工大学 | 增压扩散热处理制备高矫顽力烧结钕铁硼的方法 |
-
1991
- 1991-05-22 JP JP3145296A patent/JPH04345002A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0737716A (ja) * | 1993-07-21 | 1995-02-07 | Hitachi Metals Ltd | 希土類永久磁石およびその製造方法 |
| JP2005226125A (ja) * | 2004-02-13 | 2005-08-25 | Hitachi Metals Ltd | 磁性粒子の製造方法 |
| JP2018123414A (ja) * | 2017-02-03 | 2018-08-09 | 株式会社豊田中央研究所 | 磁性粉およびその製造方法 |
| CN111554502A (zh) * | 2020-04-29 | 2020-08-18 | 南京理工大学 | 增压扩散热处理制备高矫顽力烧结钕铁硼的方法 |
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