JPH04346060A - Ｘ線回折像露光装置 - Google Patents
Ｘ線回折像露光装置Info
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- JPH04346060A JPH04346060A JP3146941A JP14694191A JPH04346060A JP H04346060 A JPH04346060 A JP H04346060A JP 3146941 A JP3146941 A JP 3146941A JP 14694191 A JP14694191 A JP 14694191A JP H04346060 A JPH04346060 A JP H04346060A
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- imaging plate
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- sample
- ray diffraction
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、Ｘ線回折を用いて金属
や非金属の構造を解析するためのＸ線回折像露光装置に
関する。
や非金属の構造を解析するためのＸ線回折像露光装置に
関する。
【０００２】
【従来の技術】Ｘ線回折による構造解析の分野では、当
初、Ｘ線写真法が用いられてきた。この手法によれば、
試料の結晶組織についての様々な情報を得ることができ
る。ところが、Ｘ線写真法は、測定の定量性や能率、更
には感度の面で問題があったため、これらの点に優れた
計数管法が発達し、現在、主流を占めている。しかしな
がら、計数管法は、定量性には優れているが、点検出方
式であるため、面検出方式である写真法に比べて、得ら
れる結晶組織に関する情報が極めて不充分であるという
問題があった。
初、Ｘ線写真法が用いられてきた。この手法によれば、
試料の結晶組織についての様々な情報を得ることができ
る。ところが、Ｘ線写真法は、測定の定量性や能率、更
には感度の面で問題があったため、これらの点に優れた
計数管法が発達し、現在、主流を占めている。しかしな
がら、計数管法は、定量性には優れているが、点検出方
式であるため、面検出方式である写真法に比べて、得ら
れる結晶組織に関する情報が極めて不充分であるという
問題があった。
【０００３】そこで、本発明者らは、特開平２−１２０
４３号公報に示すように、定量性と感度に優れた二次元
検出器であるイメージングプレートを利用し、複数のＸ
線回折像を連続的に、順次、露光・読み取り・消去する
ことができる連続的Ｘ線回折像撮影法を考案した。
４３号公報に示すように、定量性と感度に優れた二次元
検出器であるイメージングプレートを利用し、複数のＸ
線回折像を連続的に、順次、露光・読み取り・消去する
ことができる連続的Ｘ線回折像撮影法を考案した。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記公報に記載の方法
では、定量性に優れたイメージングプレートを使用して
いるが、回折Ｘ線の露光時にイメージングプレートが平
面をなしているために、その定量性の良さを充分に生か
していなかった。また、この方法を実施する装置は、露
光・読み取り等が一体式のために、その重量が約１００
ｋｇと重く、このため、この装置を用いて、任意の回折
角度で露光可能に構成することは困難であった。即ち、
この装置は、特定の回折角度に固定されて使用されるも
のであり、これを任意の角度に移動可能に構成すること
は、その重量と大きさのために困難であった。
では、定量性に優れたイメージングプレートを使用して
いるが、回折Ｘ線の露光時にイメージングプレートが平
面をなしているために、その定量性の良さを充分に生か
していなかった。また、この方法を実施する装置は、露
光・読み取り等が一体式のために、その重量が約１００
ｋｇと重く、このため、この装置を用いて、任意の回折
角度で露光可能に構成することは困難であった。即ち、
この装置は、特定の回折角度に固定されて使用されるも
のであり、これを任意の角度に移動可能に構成すること
は、その重量と大きさのために困難であった。
【０００５】「定量性を確保すること」は、Ｘ線回折法
によるどのような測定においても重要であるが、特に、
デバイ−シェラー環の測定のように、回折線の強度を測
定し、比較する必要がある場合には、その重要性が高い
。また、「任意の回折角度で露光させること」は、試料
の材質や形状、更には、Ｘ線波長等に応じ、種々のＸ線
回折結晶面の測定を行う必要から、デバイ−シェラー環
などの回折像を、入射Ｘ線に対する任意の角度範囲（透
過、反射両法を含めた）で露光させる必要がある場合に
は、特に重要な構成である。更に、「複数の回折像を連
続的に露光させること」は、測定を効率的に行う上で重
要な構成である。
によるどのような測定においても重要であるが、特に、
デバイ−シェラー環の測定のように、回折線の強度を測
定し、比較する必要がある場合には、その重要性が高い
。また、「任意の回折角度で露光させること」は、試料
の材質や形状、更には、Ｘ線波長等に応じ、種々のＸ線
回折結晶面の測定を行う必要から、デバイ−シェラー環
などの回折像を、入射Ｘ線に対する任意の角度範囲（透
過、反射両法を含めた）で露光させる必要がある場合に
は、特に重要な構成である。更に、「複数の回折像を連
続的に露光させること」は、測定を効率的に行う上で重
要な構成である。
【０００６】そこで、本発明の目的は、定量性を確保し
た上で、任意の回折角度で露光を行うことが容易に可能
であり、更に、複数の像を連続的に露光させることが容
易に可能なＸ線回折像露光装置を提供することである。
た上で、任意の回折角度で露光を行うことが容易に可能
であり、更に、複数の像を連続的に露光させることが容
易に可能なＸ線回折像露光装置を提供することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上述した課題を解決する
ために、本発明のＸ線回折像露光装置は、回転可能な試
料台と、この試料台と同一の回転中心を持つゴニオメー
タアームと、このゴニオメータアーム上に、このゴニオ
メータアームの回転面に対して垂直な軸の回りに回転可
能に取り付けられたイメージングプレート支持手段とを
有し、前記イメージングプレート支持手段がその回転方
向に沿って複数の支持面を有していて、各支持面が、試
料から発生した回折Ｘ線をイメージングプレートの感光
面に実質的に垂直に入射させるように、そのイメージン
グプレートを湾曲させて支持するように構成されている
。
ために、本発明のＸ線回折像露光装置は、回転可能な試
料台と、この試料台と同一の回転中心を持つゴニオメー
タアームと、このゴニオメータアーム上に、このゴニオ
メータアームの回転面に対して垂直な軸の回りに回転可
能に取り付けられたイメージングプレート支持手段とを
有し、前記イメージングプレート支持手段がその回転方
向に沿って複数の支持面を有していて、各支持面が、試
料から発生した回折Ｘ線をイメージングプレートの感光
面に実質的に垂直に入射させるように、そのイメージン
グプレートを湾曲させて支持するように構成されている
。
【０００８】イメージングプレート支持手段の各支持面
は、イメージングプレートを、例えば、試料位置を中心
とする球面又は円筒面に湾曲させて支持するように構成
される。
は、イメージングプレートを、例えば、試料位置を中心
とする球面又は円筒面に湾曲させて支持するように構成
される。
【０００９】また、イメージングプレート支持手段の各
支持面は、例えば、真空吸着によってイメージングプレ
ートを支持するように構成される。
支持面は、例えば、真空吸着によってイメージングプレ
ートを支持するように構成される。
【００１０】
【作用】本発明においては、イメージングプレートが、
イメージングプレート支持手段の支持面に、例えば、試
料から発生した回折Ｘ線がそのイメージングプレートの
感光面に常に垂直に入射するように、球面に湾曲した状
態で支持される。従って、イメージングプレートの全有
効面（感光面）にわたって、定量性が確保される。なお
、デバイ−シェラー環の弧のような目的とする回折像が
短くても良い場合には、イメージングプレートを球面で
なく、円筒面に湾曲させた状態で使用しても良い。
イメージングプレート支持手段の支持面に、例えば、試
料から発生した回折Ｘ線がそのイメージングプレートの
感光面に常に垂直に入射するように、球面に湾曲した状
態で支持される。従って、イメージングプレートの全有
効面（感光面）にわたって、定量性が確保される。なお
、デバイ−シェラー環の弧のような目的とする回折像が
短くても良い場合には、イメージングプレートを球面で
なく、円筒面に湾曲させた状態で使用しても良い。
【００１１】また、イメージングプレートを支持するイ
メージングプレート支持手段をゴニオメータアームに取
り付けて、その角度を可変に構成したので、任意の回折
角度で露光を行うことができる。これは、既述した公報
に記載の装置が、露光・読み取り一体式のために、重く
て大きいのに対し、本発明の装置が、露光のみを行って
、読み取りを別の装置で行うようにしたために、可能と
なったのである。
メージングプレート支持手段をゴニオメータアームに取
り付けて、その角度を可変に構成したので、任意の回折
角度で露光を行うことができる。これは、既述した公報
に記載の装置が、露光・読み取り一体式のために、重く
て大きいのに対し、本発明の装置が、露光のみを行って
、読み取りを別の装置で行うようにしたために、可能と
なったのである。
【００１２】更に、イメージングプレート支持手段を回
転可能に構成し、その回転方向に沿って設けられた複数
の支持面に複数のイメージングプレートを支持させるよ
うに構成したので、イメージングプレート支持手段を回
転させるだけで、複数の回折像を連続的に露光させるこ
とが可能である。これにより、露光と読み取りを別個に
行うようにしてもなお効率的な測定を行うことができる
。
転可能に構成し、その回転方向に沿って設けられた複数
の支持面に複数のイメージングプレートを支持させるよ
うに構成したので、イメージングプレート支持手段を回
転させるだけで、複数の回折像を連続的に露光させるこ
とが可能である。これにより、露光と読み取りを別個に
行うようにしてもなお効率的な測定を行うことができる
。
【００１３】
【実施例】以下、本発明を実施例につき図面を参照して
説明する。
説明する。
【００１４】図１に、本発明の第１の実施例によるＸ線
回折像露光装置を示す。Ｘ線源１で発生したＸ線４は、
シャッター２、フィルター３及びコリメータ５を経て試
料６に照射される。１３は、この入射Ｘ線のための光学
系を載せる入射Ｘ線台である。試料６は、回転可能な試
料台８に載せられている。Ｘ線回折像露光装置は、この
試料台８と同一の回転中心を持つゴニオメータアーム１
２を有している。そして、このゴニオメータアーム１２
の上に垂直に軸１１が設けられ、この軸１１にイメージ
ングプレート支持台１０が回転可能に取り付けられてい
る。
回折像露光装置を示す。Ｘ線源１で発生したＸ線４は、
シャッター２、フィルター３及びコリメータ５を経て試
料６に照射される。１３は、この入射Ｘ線のための光学
系を載せる入射Ｘ線台である。試料６は、回転可能な試
料台８に載せられている。Ｘ線回折像露光装置は、この
試料台８と同一の回転中心を持つゴニオメータアーム１
２を有している。そして、このゴニオメータアーム１２
の上に垂直に軸１１が設けられ、この軸１１にイメージ
ングプレート支持台１０が回転可能に取り付けられてい
る。
【００１５】イメージングプレート支持台１０は、図示
の如く、ほぼ正方形状の輪郭を有しており、その４つの
側面が夫々支持面１０ａに構成されている。各支持面１
０ａは球面状に窪んでおり、真空吸着用の多数の孔（図
示せず）を有している。そして、カセットに封入された
イメージングプレート９が各支持面１０ａに真空吸着さ
れて、各支持面１０ａに密着支持されるようになってい
る。これにより、各イメージングプレート９は、各支持
面１０ａの形状に一致した球面状に湾曲されて各支持面
１０ａに支持される。そして、各イメージングプレート
９は、その表面を黒い紙で覆われる。なお、真空吸着の
ための機構は図示省略する。
の如く、ほぼ正方形状の輪郭を有しており、その４つの
側面が夫々支持面１０ａに構成されている。各支持面１
０ａは球面状に窪んでおり、真空吸着用の多数の孔（図
示せず）を有している。そして、カセットに封入された
イメージングプレート９が各支持面１０ａに真空吸着さ
れて、各支持面１０ａに密着支持されるようになってい
る。これにより、各イメージングプレート９は、各支持
面１０ａの形状に一致した球面状に湾曲されて各支持面
１０ａに支持される。そして、各イメージングプレート
９は、その表面を黒い紙で覆われる。なお、真空吸着の
ための機構は図示省略する。
【００１６】イメージングプレート支持台１０の各支持
面１０ａの球面形状は、その支持面１０ａに密着支持さ
れたイメージングプレート９がイメージングプレート支
持台１０の回転によってその露光位置にセットされた時
、図示の如く、そのイメージングプレート９が、試料台
８上の試料６の位置を中心とした半径Ｒの球面を形成す
るように予め設定されている。この場合、試料６とイメ
ージングプレート９との間の距離Ｒを短くすると、測定
される回折線の強度は増すが、角度分解能が劣化する。 回折線の強度と角度分解能とのバランスを考慮すると、
距離Ｒは２００〜６００ｍｍ程度が適切と考えられる。
面１０ａの球面形状は、その支持面１０ａに密着支持さ
れたイメージングプレート９がイメージングプレート支
持台１０の回転によってその露光位置にセットされた時
、図示の如く、そのイメージングプレート９が、試料台
８上の試料６の位置を中心とした半径Ｒの球面を形成す
るように予め設定されている。この場合、試料６とイメ
ージングプレート９との間の距離Ｒを短くすると、測定
される回折線の強度は増すが、角度分解能が劣化する。 回折線の強度と角度分解能とのバランスを考慮すると、
距離Ｒは２００〜６００ｍｍ程度が適切と考えられる。
【００１７】本実施例においては、試料６は加熱炉７内
に設置されている。
に設置されている。
【００１８】本実施例の装置を用いて、例えば、デバイ
−シェラー環の測定を行うと、Ｌ＝Ｒ ｓｉｎγを半径
とするデバイ−シェラー環の弧を形成する回折Ｘ線がイ
メージングプレート９に常に垂直に入射する。この時の
角度γは回折角度で、ブラッグ角θの２倍に等しい。一
方、本実施例の装置で、イメージングプレート９を任意
の角度γに設定すれば、低角度γ１ から高角度γ２
までの角度範囲内での露光が可能である。この場合、本
実施例の装置では、γ１ 〜γ２ の角度範囲内の全て
の角度位置において回折Ｘ線がイメージングプレート９
に垂直に入射するので、イメージングプレート９の全域
において測定の定量性が確保される。なお、目的とする
デバイ−シェラー環の弧が短い時には、球面を円筒面で
代替することが可能である。
−シェラー環の測定を行うと、Ｌ＝Ｒ ｓｉｎγを半径
とするデバイ−シェラー環の弧を形成する回折Ｘ線がイ
メージングプレート９に常に垂直に入射する。この時の
角度γは回折角度で、ブラッグ角θの２倍に等しい。一
方、本実施例の装置で、イメージングプレート９を任意
の角度γに設定すれば、低角度γ１ から高角度γ２
までの角度範囲内での露光が可能である。この場合、本
実施例の装置では、γ１ 〜γ２ の角度範囲内の全て
の角度位置において回折Ｘ線がイメージングプレート９
に垂直に入射するので、イメージングプレート９の全域
において測定の定量性が確保される。なお、目的とする
デバイ−シェラー環の弧が短い時には、球面を円筒面で
代替することが可能である。
【００１９】１枚のイメージングプレート９の露光が完
了すると、イメージングプレート支持台１０を回転させ
て、次のイメージングプレート９の露光を開始する。こ
のようにして、複数のＸ線回折像の露光を連続的に行う
ことができる。露光の完了したイメージングプレート９
は、イメージングプレート支持台１０の支持面１０ａか
ら取り外され、読み取り工程に供される。同時に、新し
いイメージングプレート９がその支持面１０ａに取り付
けられ、測定は、中断されることなく、連続的に行われ
る。このように構成することによって、露光と読み取り
の工程を分離してもなお効率的な測定を行うことができ
る。イメージングプレート支持台１０のような１つのイ
メージングプレート支持手段に取り付けられるイメージ
ングプレートの枚数は、本実施例では４枚であるが、最
少２枚、最多は、特に制限は無いが、８枚程度が実用的
である。
了すると、イメージングプレート支持台１０を回転させ
て、次のイメージングプレート９の露光を開始する。こ
のようにして、複数のＸ線回折像の露光を連続的に行う
ことができる。露光の完了したイメージングプレート９
は、イメージングプレート支持台１０の支持面１０ａか
ら取り外され、読み取り工程に供される。同時に、新し
いイメージングプレート９がその支持面１０ａに取り付
けられ、測定は、中断されることなく、連続的に行われ
る。このように構成することによって、露光と読み取り
の工程を分離してもなお効率的な測定を行うことができ
る。イメージングプレート支持台１０のような１つのイ
メージングプレート支持手段に取り付けられるイメージ
ングプレートの枚数は、本実施例では４枚であるが、最
少２枚、最多は、特に制限は無いが、８枚程度が実用的
である。
【００２０】本実施例の装置は、露光・読み取り一体式
ではなく、露光のみを行うものである。そして、露光の
完了したイメージングプレート９の読み取りは別個の装
置で行われ、その装置はＸ線露光領域の外に隣接して設
置される。このように構成することによって、露光装置
（イメージングプレートを搭載したイメージングプレー
ト支持手段）の軽量化を図ることができ、従って、露光
装置をゴニオメータアームに取り付けることができるよ
うになって、任意の回折角度での露光が実現できる。例
えば、垂直ゴニオメータ（はねあげ式）のアームにも取
付けが可能な軽量の露光装置を実現することができる。 この場合、軽量というのは、例えば、大型のゴニオメー
タへの搭載であれば３０ｋｇ以下であれば良い。
ではなく、露光のみを行うものである。そして、露光の
完了したイメージングプレート９の読み取りは別個の装
置で行われ、その装置はＸ線露光領域の外に隣接して設
置される。このように構成することによって、露光装置
（イメージングプレートを搭載したイメージングプレー
ト支持手段）の軽量化を図ることができ、従って、露光
装置をゴニオメータアームに取り付けることができるよ
うになって、任意の回折角度での露光が実現できる。例
えば、垂直ゴニオメータ（はねあげ式）のアームにも取
付けが可能な軽量の露光装置を実現することができる。 この場合、軽量というのは、例えば、大型のゴニオメー
タへの搭載であれば３０ｋｇ以下であれば良い。
【００２１】図２は、本発明の第２の実施例によるＸ線
回折像露光装置を示す。この装置においては、図１に示
した第１の実施例の加熱炉７が存在せず、試料６は、試
料台８に設けられた紙面に垂直な方向に移動する試料走
査台１４上に載せられている。他の構成は、図１の第１
の実施例と同様である。
回折像露光装置を示す。この装置においては、図１に示
した第１の実施例の加熱炉７が存在せず、試料６は、試
料台８に設けられた紙面に垂直な方向に移動する試料走
査台１４上に載せられている。他の構成は、図１の第１
の実施例と同様である。
【００２２】次に、本発明を具体的な実験例について説
明する。
明する。
【００２３】本発明の装置を用いて以下の測定を実施し
た。 （１）試料加熱測定 （２）試料走査測定
た。 （１）試料加熱測定 （２）試料走査測定
【００２４】（１）試料加熱測定
【００２５】実験例１
図１に示した装置を用い、カセットに封入した角形のイ
メージングプレート９を４枚イメージングプレート支持
台１０に取り付けた。各イメージングプレート９は、長
さ２５０ｍｍ、幅２００ｍｍであった。また、４枚のイ
メージングプレート９を搭載したイメージングプレート
支持台１０の重量は２０ｋｇであった。
メージングプレート９を４枚イメージングプレート支持
台１０に取り付けた。各イメージングプレート９は、長
さ２５０ｍｍ、幅２００ｍｍであった。また、４枚のイ
メージングプレート９を搭載したイメージングプレート
支持台１０の重量は２０ｋｇであった。
【００２６】実験室において、Ｍｏ管球（５０ｋＶ、３
０ｍＡ）より発生させた特性Ｘ線を、フィルター３及び
コリメータ５を通して直径１ｍｍの平行ビームとし、鋼
板試料６に入射させた。イメージングプレート９は、Ｒ
＝３００ｍｍ、入射Ｘ線ビームに対してγ＝６０度の位
置に設定した。試料を加熱炉７の中に設置し、温度を、
２５℃、２００℃、４００℃、６００℃に保持し、計４
回の測定を行った。
０ｍＡ）より発生させた特性Ｘ線を、フィルター３及び
コリメータ５を通して直径１ｍｍの平行ビームとし、鋼
板試料６に入射させた。イメージングプレート９は、Ｒ
＝３００ｍｍ、入射Ｘ線ビームに対してγ＝６０度の位
置に設定した。試料を加熱炉７の中に設置し、温度を、
２５℃、２００℃、４００℃、６００℃に保持し、計４
回の測定を行った。
【００２７】試料６を透過し、回折したＸ線は、イメー
ジングプレート９の上に回折像を生じるが、低角度γ１
＝３６度から高角度γ２ ＝８４度までの回折角度範
囲で露光が行われた。露光でのシャッター２の開放時間
は１２０秒必要であった。
ジングプレート９の上に回折像を生じるが、低角度γ１
＝３６度から高角度γ２ ＝８４度までの回折角度範
囲で露光が行われた。露光でのシャッター２の開放時間
は１２０秒必要であった。
【００２８】実験例２
放射光（２．５ＧｅＶ、２００ｍＡ）をモノクロメータ
により単色化し、波長を０．７Åとして光源としたとこ
ろ、露光時間は１０秒で充分であった。他の条件は実験
例１と同様である。
により単色化し、波長を０．７Åとして光源としたとこ
ろ、露光時間は１０秒で充分であった。他の条件は実験
例１と同様である。
【００２９】比較実験例１
従来の露光・読み取り一体式の装置を用い、平面状のイ
メージングプレートを入射Ｘ線に対して垂直に配置した
。即ち、イメージングプレートの入射Ｘ線に対する角度
位置は固定され、γ＝０度となっている。実験室におい
て、Ｍｏ管球（５０ｋＶ、３０ｍＡ）より発生させた特
性Ｘ線を、フィルター及びコリメータを通して直径１ｍ
ｍの平行ビームとし、鋼板試料をイメージングプレート
の前３００ｍｍに置いて測定したが、デバイ−シェラー
環は視野外で測定が不可能であった。そこで、定量性の
検討のため、装置を仮設台に載せて測定を行った。
メージングプレートを入射Ｘ線に対して垂直に配置した
。即ち、イメージングプレートの入射Ｘ線に対する角度
位置は固定され、γ＝０度となっている。実験室におい
て、Ｍｏ管球（５０ｋＶ、３０ｍＡ）より発生させた特
性Ｘ線を、フィルター及びコリメータを通して直径１ｍ
ｍの平行ビームとし、鋼板試料をイメージングプレート
の前３００ｍｍに置いて測定したが、デバイ−シェラー
環は視野外で測定が不可能であった。そこで、定量性の
検討のため、装置を仮設台に載せて測定を行った。
【００３０】以上の実験結果を次表１に示す。
【００３１】
表 １ ────────────
──────────────────────
Ｘ線源
測定
定量性
最大誤差（％） ───────
─────────────────────────
── 比較実験例１ Ｍｏ管球
不可
１０＊ （５０
ｋＶ、３０ｍＡ） 実験例１
Ｍｏ管球 可
２
（５０ｋＶ、３０ｍＡ） 実験例
２ 放射光
可 １
（２．５ＧｅＶ、２００ｍＡ
） ──────────────────────
──────────── ＊
仮設台に載せて測定
表 １ ────────────
──────────────────────
Ｘ線源
測定
定量性
最大誤差（％） ───────
─────────────────────────
── 比較実験例１ Ｍｏ管球
不可
１０＊ （５０
ｋＶ、３０ｍＡ） 実験例１
Ｍｏ管球 可
２
（５０ｋＶ、３０ｍＡ） 実験例
２ 放射光
可 １
（２．５ＧｅＶ、２００ｍＡ
） ──────────────────────
──────────── ＊
仮設台に載せて測定
【００３２】（２）試料走査測
定
定
【００３３】実験例３
図２に示す装置を用い、反射法の配置で、Ｆｅ管球を用
い、鋼板の高角度での測定を行った。イメージングプレ
ート９は、入射Ｘ線ビームに対してγ＝１３５度の位置
に設定した。他の条件は実験例１と同様であるが、加熱
は行わず、２５℃において、試料６を紙面に垂直方向に
５ｍｍステップで移動させ、イメージングプレート９を
交換しながら、計４回の測定を行った。
い、鋼板の高角度での測定を行った。イメージングプレ
ート９は、入射Ｘ線ビームに対してγ＝１３５度の位置
に設定した。他の条件は実験例１と同様であるが、加熱
は行わず、２５℃において、試料６を紙面に垂直方向に
５ｍｍステップで移動させ、イメージングプレート９を
交換しながら、計４回の測定を行った。
【００３４】低角度γ１ ＝１１１度から高角度γ２
＝１５９度までの回折角度範囲で露光が行われた。露光
でのシャッター２の開放時間は２４０秒必要であった。
＝１５９度までの回折角度範囲で露光が行われた。露光
でのシャッター２の開放時間は２４０秒必要であった。
【００３５】実験例４
放射光（２．５ＧｅＶ、２００ｍＡ）をモノクロメータ
により単色化し、波長を１．９Åとして光源としたとこ
ろ、露光時間は２０秒で充分であった。他の条件は実験
例３と同様である。
により単色化し、波長を１．９Åとして光源としたとこ
ろ、露光時間は２０秒で充分であった。他の条件は実験
例３と同様である。
【００３６】比較実験例２
上述した比較実験例１の装置で、管球のみをＦｅ管球に
変更して測定を試みたが、デバイ−シェラー環は視野外
で測定は不可能であった。また、仮設台の設置は、装置
同士が衝突して設置が不可能であったため、行わなかっ
た。
変更して測定を試みたが、デバイ−シェラー環は視野外
で測定は不可能であった。また、仮設台の設置は、装置
同士が衝突して設置が不可能であったため、行わなかっ
た。
【００３７】以上の実験結果を次表２に示す。
【００３８】
表 ２ ────────────
──────────────────────
Ｘ線源
測定
定量性
最大誤差（％） ───────
─────────────────────────
── 比較実験例２ Ｆｅ管球
不可
− （５０ｋ
Ｖ、３０ｍＡ） 実験例３
Ｆｅ管球 可
３
（５０ｋＶ、３０ｍＡ） 実験例４
放射光
可 ２
（２．５ＧｅＶ、２００ｍＡ）
─────────────────────────
─────────
表 ２ ────────────
──────────────────────
Ｘ線源
測定
定量性
最大誤差（％） ───────
─────────────────────────
── 比較実験例２ Ｆｅ管球
不可
− （５０ｋ
Ｖ、３０ｍＡ） 実験例３
Ｆｅ管球 可
３
（５０ｋＶ、３０ｍＡ） 実験例４
放射光
可 ２
（２．５ＧｅＶ、２００ｍＡ）
─────────────────────────
─────────
【００３９】
【発明の効果】本発明の装置によれば、定量性に優れた
回折Ｘ線の測定を任意の回折角度で行うことができる。 また、複数のＸ線回折像を連続的に露光することができ
るので、測定の効率が良い。
回折Ｘ線の測定を任意の回折角度で行うことができる。 また、複数のＸ線回折像を連続的に露光することができ
るので、測定の効率が良い。
【図１】本発明の第１の実施例によるＸ線回折像露光装
置の概略構成図である。
置の概略構成図である。
【図２】本発明の第２の実施例によるＸ線回折像露光装
置の概略構成図である。
置の概略構成図である。
１ Ｘ線源
２ シャッター
３ フィルター
４ Ｘ線
５ コリメータ
６ 試料
７ 加熱炉
８ 試料台
９ イメージングプレート
１０ イメージングプレート支持台
１０ａ 支持面
１１ 軸
１２ ゴニオメータアーム
１３ 入射Ｘ線台
１４ 試料走査台
Claims (4)
- 【請求項１】 回転可能な試料台と、この試料台と同
一の回転中心を持つゴニオメータアームと、このゴニオ
メータアーム上に、このゴニオメータアームの回転面に
対して垂直な軸の回りに回転可能に取り付けられたイメ
ージングプレート支持手段とを有し、前記イメージング
プレート支持手段がその回転方向に沿って複数の支持面
を有していて、各支持面が、試料から発生した回折Ｘ線
をイメージングプレートの感光面に実質的に垂直に入射
させるように、そのイメージングプレートを湾曲させて
支持するように構成されていることを特徴とするＸ線回
折像露光装置。 - 【請求項２】 前記各支持面が、試料位置を中心とす
る球面にイメージングプレートを湾曲させて支持するよ
うに構成されていることを特徴とする請求項１に記載の
Ｘ線回折像露光装置。 - 【請求項３】 前記各支持面が、試料位置を中心とす
る円筒面にイメージングプレートを湾曲させて支持する
ように構成されていることを特徴とする請求項１に記載
のＸ線回折像露光装置。 - 【請求項４】 前記各支持面が、真空吸着によってイ
メージングプレートを支持するように構成されているこ
とを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のＸ
線回折像露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3146941A JPH04346060A (ja) | 1991-05-22 | 1991-05-22 | Ｘ線回折像露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3146941A JPH04346060A (ja) | 1991-05-22 | 1991-05-22 | Ｘ線回折像露光装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04346060A true JPH04346060A (ja) | 1992-12-01 |
Family
ID=15419040
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3146941A Withdrawn JPH04346060A (ja) | 1991-05-22 | 1991-05-22 | Ｘ線回折像露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04346060A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05126765A (ja) * | 1991-11-07 | 1993-05-21 | Rigaku Corp | Ｘ線回折装置 |
-
1991
- 1991-05-22 JP JP3146941A patent/JPH04346060A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05126765A (ja) * | 1991-11-07 | 1993-05-21 | Rigaku Corp | Ｘ線回折装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19980806 |