JPH04346241A - 半導体ウェーハプロービング装置 - Google Patents
半導体ウェーハプロービング装置Info
- Publication number
- JPH04346241A JPH04346241A JP11855191A JP11855191A JPH04346241A JP H04346241 A JPH04346241 A JP H04346241A JP 11855191 A JP11855191 A JP 11855191A JP 11855191 A JP11855191 A JP 11855191A JP H04346241 A JPH04346241 A JP H04346241A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- marking
- pellet
- wafer stage
- wafer
- probing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 7
- 239000008188 pellet Substances 0.000 claims abstract description 26
- 239000003550 marker Substances 0.000 claims abstract description 6
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims abstract description 3
- 230000002950 deficient Effects 0.000 abstract description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造工程のウェ
ーハ段階でペレットの良否を判断する半導体測定装置に
関し、特に測定装置にウェーハを供給し、ウェーハ内の
各ペレットと測定装置を接続させるウェーハプロービン
グ装置に関する。
ーハ段階でペレットの良否を判断する半導体測定装置に
関し、特に測定装置にウェーハを供給し、ウェーハ内の
各ペレットと測定装置を接続させるウェーハプロービン
グ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種のプロービング装置は、ペ
レット内の所望の位置に不良マーキングするために、マ
ーカーを手動で位置調整していた。
レット内の所望の位置に不良マーキングするために、マ
ーカーを手動で位置調整していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来のプロー
ビング装置では、後工程での良品・不良品の自動認識装
置における誤動作を低減させるために、ペレット内での
回路ブロックのレイアウトに応じてマーキング位置を変
えているが、その際、マーカーの位置調整を手動で行な
わなければならなかった。従って、同一のプロービング
装置で回路ブロックのレイアウトが異なる品種を連続的
に処理する場合、その都度マーカーの位置調整をしなけ
ればならず、作業性を低下させるという問題を有してい
た。
ビング装置では、後工程での良品・不良品の自動認識装
置における誤動作を低減させるために、ペレット内での
回路ブロックのレイアウトに応じてマーキング位置を変
えているが、その際、マーカーの位置調整を手動で行な
わなければならなかった。従って、同一のプロービング
装置で回路ブロックのレイアウトが異なる品種を連続的
に処理する場合、その都度マーカーの位置調整をしなけ
ればならず、作業性を低下させるという問題を有してい
た。
【０００４】本発明の目的は前記課題を解決した半導体
ウェーハプロービング装置を提供することにある。
ウェーハプロービング装置を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
、本発明に係る半導体ウェーハプロービング装置におい
ては、ペレット内におけるマーキング跡の位置を入力す
る機構と、前記入力内容を満たすために、ウェーハステ
ージの補正方向及び補正量を算出する機構と、前記補正
方向及び補正量に従い実際にウェーハステージを移動さ
せてマーキングを行なう機構とを有し、固定されたマー
カーでペレット内の所望の位置に不良マーキングを行な
うものである。
、本発明に係る半導体ウェーハプロービング装置におい
ては、ペレット内におけるマーキング跡の位置を入力す
る機構と、前記入力内容を満たすために、ウェーハステ
ージの補正方向及び補正量を算出する機構と、前記補正
方向及び補正量に従い実際にウェーハステージを移動さ
せてマーキングを行なう機構とを有し、固定されたマー
カーでペレット内の所望の位置に不良マーキングを行な
うものである。
【０００６】
【作用】本発明の半導体ウェーハプロービング装置は、
ペレット内におけるマーキング位置を入力し、前記入力
内容を満たすためのウェーハステージの補正方向及び補
正量を算出し、前記補正方向及び補正量に従い実際にウ
ェーハステージを移動させて不良ペレットの所望の位置
にマーキングを行なうものである。
ペレット内におけるマーキング位置を入力し、前記入力
内容を満たすためのウェーハステージの補正方向及び補
正量を算出し、前記補正方向及び補正量に従い実際にウ
ェーハステージを移動させて不良ペレットの所望の位置
にマーキングを行なうものである。
【０００７】
【実施例】次に、本発明について図面を参照して説明す
る。図１は本発明の一実施例を示すフローチャートであ
る。図２は、図１のフローチャートによってマーキング
を行なったペレットの外観の概略図である。
る。図１は本発明の一実施例を示すフローチャートであ
る。図２は、図１のフローチャートによってマーキング
を行なったペレットの外観の概略図である。
【０００８】図１において、プロービング開始前に、あ
らかじめペレット内でのマーキング位置を入力部１に入
力する。その入力情報により、マーキング時におけるウ
ェーハステージの補正方向及び補正量が演算部２によっ
て算出される。
らかじめペレット内でのマーキング位置を入力部１に入
力する。その入力情報により、マーキング時におけるウ
ェーハステージの補正方向及び補正量が演算部２によっ
て算出される。
【０００９】プロービング開始後、試験部３で被測定ペ
レットの試験を行い、判定部４で良品であるか不良品で
あるかの判定を行い、被測定ペレットが不良品の場合、
算出された補正量に応じてウェーハステージをウェーハ
ステージ駆動部５により移動する。図２に示すように、
被測定ペレット７の回路ブロック９，１０，１１のうち
回路ブロック９が不良品である場合に、マーキング部６
により、回路ブロック９の所定の位置にマーキングを行
う。８はマーキング跡を示す。マーキング終了後、次の
ペレットへウェーハステージを移動させ、テストを開始
する。
レットの試験を行い、判定部４で良品であるか不良品で
あるかの判定を行い、被測定ペレットが不良品の場合、
算出された補正量に応じてウェーハステージをウェーハ
ステージ駆動部５により移動する。図２に示すように、
被測定ペレット７の回路ブロック９，１０，１１のうち
回路ブロック９が不良品である場合に、マーキング部６
により、回路ブロック９の所定の位置にマーキングを行
う。８はマーキング跡を示す。マーキング終了後、次の
ペレットへウェーハステージを移動させ、テストを開始
する。
【００１０】一方、被測定ペレットが良品の場合は、ウ
ェーハステージの補正は行なわずに、次のペレットへウ
ェーハステージを移動させ、テストを開始する。
ェーハステージの補正は行なわずに、次のペレットへウ
ェーハステージを移動させ、テストを開始する。
【００１１】以後、設定したウェーハの全ペレットにつ
いて上述したような動作を繰り返す。
いて上述したような動作を繰り返す。
【００１２】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、不良ペレ
ットに対してウェーハステージを補正移動させてペレッ
ト内の任意の位置にマーキングを行なうために、レイア
ウトの異なる複数の品種を、マーカーを一定の位置に固
定した状態でプロービングを行なうことができる。従っ
て、マーカーの位置調整を行なう作業が不良となり、作
業性を向上させる効果を有する。
ットに対してウェーハステージを補正移動させてペレッ
ト内の任意の位置にマーキングを行なうために、レイア
ウトの異なる複数の品種を、マーカーを一定の位置に固
定した状態でプロービングを行なうことができる。従っ
て、マーカーの位置調整を行なう作業が不良となり、作
業性を向上させる効果を有する。
【図１】本発明の一実施例を示すフローチャートである
。
。
【図２】図１のフローチャートによってマーキングを行
なったペレットの外観の概略図である。
なったペレットの外観の概略図である。
１ 入力部
２ 演算部
３ 試験部
４ 判定部
５ ウェーハステージ駆動部
６ マーキング部
７ ペレット
８ マーキング跡
９，１０，１１ 回路ブロック
Claims (1)
- 【請求項１】 ペレット内におけるマーキング跡の位
置を入力する機構と、前記入力内容を満たすために、ウ
ェーハステージの補正方向及び補正量を算出する機構と
、前記補正方向及び補正量に従い実際にウェーハステー
ジを移動させてマーキングを行なう機構とを有し、固定
されたマーカーでペレット内の所望の位置に不良マーキ
ングを行なうことを特徴とする半導体ウェーハプロービ
ング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11855191A JPH04346241A (ja) | 1991-05-23 | 1991-05-23 | 半導体ウェーハプロービング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11855191A JPH04346241A (ja) | 1991-05-23 | 1991-05-23 | 半導体ウェーハプロービング装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04346241A true JPH04346241A (ja) | 1992-12-02 |
Family
ID=14739387
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11855191A Pending JPH04346241A (ja) | 1991-05-23 | 1991-05-23 | 半導体ウェーハプロービング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04346241A (ja) |
-
1991
- 1991-05-23 JP JP11855191A patent/JPH04346241A/ja active Pending
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