JPH0434642U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例の要部構成説明図、
第２図、第３図、第４図は第１図の動作説明図、
第５図は従来より一般に使用されている従来例の
構成説明図。 １……ハウジング、２……高圧側フランジ、３
……低圧側フランジ、４，５……導入口、６……
圧力測定室、６Ａ，６Ｂ，１０Ａ，１１Ａ……バ
ツクプレート、８……シリコンダイアフラム、９
……支持体、１０，１１……圧力導入室、１２，
１３……隔液ダイアフラム、１４，１５，１６，
１７……連通孔、８０……ストレインゲージ、２
１……センタダイアフラム、２２……阻止手段、
１０１，１０２……封入液。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 内部に封入液が満たされたハウジングと、 該ハウジングの両側にそれぞれ設けられた高圧
   側隔液ダイアフラムと低圧側隔液ダイアフラムと
   、 該低圧側隔液ダイアフラムが一定量以上ハウジ
   ング側に変位しないように設けられた移動阻止手
   段と、 前記ハウジング内に設けられた圧力−電気変換
   素子を有するシリコンダイアフラムと、 前記ハウジングに該シリコンダイアフラムと共
   に高圧側室と低圧側室とに２分するように設けら
   れたセンタダイアフラムと、 前記低圧側室内の該センタダイアフラムと対向
   する壁面に設けられ該センタダイアフラムとわず
   かの隙間を形成し該センタダイアフラムが所定量
   以上変位するのを阻止する変位阻止手段と を具備したことを特徴とする差圧測定装置。