JPH0421939U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0421939U JPH0421939U JP6288590U JP6288590U JPH0421939U JP H0421939 U JPH0421939 U JP H0421939U JP 6288590 U JP6288590 U JP 6288590U JP 6288590 U JP6288590 U JP 6288590U JP H0421939 U JPH0421939 U JP H0421939U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- housing
- diaphragm
- center
- pressure side
- side chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 5
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims 1
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- 238000009530 blood pressure measurement Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例の要部構成説明図、
第２図、第３図、第４図は第１図の動作説明図、
第５図は本考案の他の実施例の要部構成説明図、
第６図は第５図の動作説明図、第７図は従来より
一般に使用されている従来例の構成説明図。 １……ハウジング、２……高圧側フランジ、３
……低圧側フランジ、４，５……導入口、６……
圧力測定室、６Ａ，６Ｂ，１０Ａ，１１Ａ……バ
ツクプレート、８……シリコンダイアフラム、９
……支持体、１０，１１……圧力導入室、１２，
１３……隔液ダイアフラム、１４，１５，１６，
１７……連通孔、８０……ストレインゲージ、２
１，３１……センタダイアフラム、２２，３２…
…環状突起、３１１……中央厚肉部、１０１，１
０２……封入液。
第２図、第３図、第４図は第１図の動作説明図、
第５図は本考案の他の実施例の要部構成説明図、
第６図は第５図の動作説明図、第７図は従来より
一般に使用されている従来例の構成説明図。 １……ハウジング、２……高圧側フランジ、３
……低圧側フランジ、４，５……導入口、６……
圧力測定室、６Ａ，６Ｂ，１０Ａ，１１Ａ……バ
ツクプレート、８……シリコンダイアフラム、９
……支持体、１０，１１……圧力導入室、１２，
１３……隔液ダイアフラム、１４，１５，１６，
１７……連通孔、８０……ストレインゲージ、２
１，３１……センタダイアフラム、２２，３２…
…環状突起、３１１……中央厚肉部、１０１，１
０２……封入液。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 内部に封入液が満たされたハウジングと、 該ハウジングの両側に設けられた一対の隔液ダ
イアフラムと、 該隔液ダイアフラムが一定以上ハウジング側に
変位しないように設けられた移動阻止手段と、 前記ハウジング内に設けられた圧力−電気変換
素子を有するシリコンダイアフラムと、 前記ハウジングに該シリコンダイアフラムと共
に高圧側室と低圧側室とに２分するように設けら
れたセンタダイアフラムと、 前記低圧側室内の該センタダイアフラムと対向
する壁面に設けられセンタダイアフラムの中心と
同心円を成す環状突起とを、 具備したことを特徴とする差圧測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990062885U JPH081468Y2 (ja) | 1990-06-14 | 1990-06-14 | 差圧測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990062885U JPH081468Y2 (ja) | 1990-06-14 | 1990-06-14 | 差圧測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0421939U true JPH0421939U (ja) | 1992-02-24 |
| JPH081468Y2 JPH081468Y2 (ja) | 1996-01-17 |
Family
ID=31592440
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1990062885U Expired - Lifetime JPH081468Y2 (ja) | 1990-06-14 | 1990-06-14 | 差圧測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH081468Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2020016507A (ja) * | 2018-07-24 | 2020-01-30 | アズビル株式会社 | 圧力センサチップ |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2020173786A1 (en) | 2019-02-27 | 2020-09-03 | Kistler Holding Ag | Sensor |
-
1990
- 1990-06-14 JP JP1990062885U patent/JPH081468Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2020016507A (ja) * | 2018-07-24 | 2020-01-30 | アズビル株式会社 | 圧力センサチップ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH081468Y2 (ja) | 1996-01-17 |