JPH0421938U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例の要部構成説明図、
第２図、第３図、第４図は第１図の動作説明図、
第５図は本考案の他の実施例の要部構成説明図、
第６図は従来より一般に使用されている従来例の
構成説明図、第７図は第６図の動作説明図である
。 １……ハウジング、２……高圧側フランジ、３
……低圧側フランジ、４，５……導入口、６……
圧力測定室、６Ａ，６Ｂ，１０Ａ，１１Ａ……バ
ツクプレート、８……シリコンダイアフラム、９
……支持体、１０，１１……圧力同入室、１２，
１３……隔液ダイアフラム、１４，１５，１６，
１７……連通口、８０……ストレインゲージ、２
１……センタダイアフラム、２２……板ばね、２
３……第１室、２４……第２室、２５，３１……
連通孔。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 内部に封入液が満たされたハウジングと、 該ハウジングの両側に設けられた一対の隔液ダ
   イアフラムと、 該隔液ダイアフラムが一定以上ハウジング側に
   変位しないように設けられた移動阻止手段と、 前記ハウジング内に設けられた圧力−電気変換
   素子を有するシリコンダイアフラムと、 前記ハウジングに該シリコンダイアフラムと共
   に高圧側室と低圧側室とに２分するように設けら
   れたセンタダイアフラムと、 前記低圧側室内に設けられ前記低圧側室を第１
   室と第２室とに２分するように設けられた板ばね
   と、 前記ハウジングに設けられ前記第１室と第２室
   とを連通する連通孔と を具備したことを特徴とする差圧測定装置。