JPH0434710A - 磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 本発明は、ハードディスクドライブ装置、ＶＴＲ装置等
に使用され、記録再生を行う磁気ヘッドの製造方法に関
するもので、詳しくは磁気ヘッドの磁気コアのトラック
の製造方法についてのものである。

「従来の技術」 磁気ヘッドの磁気コアからの漏れ磁束を集中させるため
、磁気コアに狭幅のトラックを形成している。第１９図
に従来の磁気ヘッドの磁気コアを示す。符号１０１は■
バー、１０２はＣバー、１０３はギャップ、１０４は溜
りガラスで、狭幅のトラック１０５を形成するために、
破線部を研削加工で削除する。

「発明が解決しようとする課ＲＪ 従来の磁気コアで、研削加工によりトラックを形成して
いるため、トラック幅にバラツキが生じ、また、トラッ
ク幅が狭い時はトラック１０５に欠けやクラックが生じ
たりして良品としての歩留りが低下している。その後の
工程においてもトラック１０５が欠けたり、あるいはク
ラックの起こる可能性が高いため、取り扱いに注意が必
要である。

「課題を解決するための手段」 そこで、本発明は、上記の事情に鑑み、磁気コアのトラ
ックの研削加工を不要として、高品質のトラックでしか
も磁気ヘッドの安定な製造方法を提供すべく、一対のコ
ア素材、例えばＩ形コア素材とＣ形コア素材、Ｃ形コア
素材とＣ形コア素材をギャップ部材を介して接合し、所
定厚みに切り出した磁気コアを備えた磁気ヘッドの製造
方法であって、少なくとも一方のコア素材の対向面に形
成したギャップ部材を薄膜でもって形成し、該薄膜ギャ
ップ部材の一部に、作成する磁気コアの厚さ以上の間隔
でトラック幅に相当する薄膜トラック突出部を形成した
後、他方のコア素材と接合させ、接合させた両コア素材
の薄膜トラック突出部間で所要の磁気コア厚さに切り出
すようにした磁気ヘッドの製造方法である。

「実施例」 本発明を添付する図面に示す具体的な実施例に基づいて
詳細に説明する。

本発明の磁気ヘッドに用いる磁気コアは次の工程により
作成する。

まず、第１図に示すように、磁性材料のフェライトの直
方体状の素材１．２をスライシングにより切り出す。

次に、第２図に示すように、フェライトのコア素材ｌを
例えば断面がＩ形状のＩ形フェライトのＩ形コア素材（
以下、Ｉ形素材という）１１に、フェライトのコア素材
２を例えば断面がＣ形状のＣ形フェライトのＣ形コア素
材（以下、Ｃ形素材という）１２にそれぞれ作成する。

なお、Ｉ形素材１１およびＣ形素材１２の高さは、例え
ば０．９６ｍｍである。

また、図では■形素材とＣ形素材であるが、Ｃ形素材ど
うしを用いてもよい。

続いて、第３図に示すように、Ｉ形素材１１のＣ形素材
１２との対向面に金属Ｗｌ！３−ギャップガラス４−金
属膜３の薄膜面７を作成する。薄膜面７の全体の厚さ５
ｎ前後である。薄膜面７にはその上端部に作成する磁気
コアの厚さ以上の所要の間隔でトラック幅に相当する薄
膜トラック突出部３４を形成する０例えば薄膜トラック
突出部３４の突出高さ１００μ、幅１０４．ＴＲ膜トラ
ック突出部３４の間隔１００〜２００ｎである。

なお、金属膜３は例えばセンダストを用い厚さ約２−で
ある。ギャップガラス４は例えばＳｉｎ！で厚さ０．５
〜０．６−である。

薄膜の形成は、Ｉ形素材１１だけでなくＣ形素材１２に
も形成することができる。

次に、ギャップ６の形成は、第４図に示すように、上記
のＩ形素材１１とＣ形素材１２とを薄膜面７を対向させ
て挟持し、軟化点６３０℃の鉛系ガラスの溜りガラス５
により接合する。

続いて、第５図に示すように、ワイヤソーやダイア砥石
によるスライシングで例えば厚さ１７８μの磁気コア８
を切り出す、符号２１はＩバーで、２２はＣバーである
。第５図（ａ）では磁気コア８のギャップ６において、
トラック１３が磁気コア８の厚さ方向で中央に位置して
いる例で、第５図（ロ）ではトラック１４が磁気コア８
の側面寄りに形成された例を示す。このようにギャップ
６におけるトラックの位置は、接合した■形素材１１と
Ｃ形素材１２との￥ＩＩＩ）ラック突出部３４間のどの
位置で切断するかによって決定される。

上記の薄膜面７作成について詳述する。

二の薄膜面７の作成法として、フォトレジストパターン
による形成方法と、エツチングによるパターン形成方法
とがある。

まず、フォトレジストパターンによる形成方法について
述べる。

まず、第６図に示すように、Ｉ形素材あるいはＣ形素材
の素材３１ギャップ対向面にレジスト３２を塗布する。

次に、第７図に示すように、レジスト３２面上にマスク
３３を配置して現像する。

第８図に示すように、現像された部分と他の部分とに同
時に、例えば厚さ約２−のセンダストの金属膜３を蒸着
で形成し、続いて金属膜３上に例えば厚さ０．５〜０．
６ｎのＳｉＯ□のギャップガラス４を蒸着で形成し、ギ
ャップガラス４上に例えば厚さ約２ｉａのセンダストの
金属膜３を蒸着で形成する。

次に、第９図に示すように、現像された部分を残し、他
の現像されなかった部分を剥離し、て薄膜面７を形成す
る。この薄膜面７は所要の薄膜トラツク突出部３４が形
成されるパターンとなるように現像してお（。薄膜トラ
ック突出部３４は第３図に明示されている。

今度は、エツチングによる薄膜面７の形成方法について
述べる。

まず、第１０図に示すように、素材３１上に金属膜３、
ギャップガラス４、金属膜３を前記と同様にして形成す
る。

次に、第１１図に示すように、金属膜３上にレジスト３
２を塗布する。

続いて、第１２図に示すように、レジスト３２上にマス
ク３３を配置し、現像する。

第１３図に示すように、エツチング３５を施す。エツチ
ングとしては、プラズマエツチング、励起ガスエツチン
グ、反応性イオンエツチング、スパッタエツチング、反
応性イオンビームエツチング、イオンビームエツチング
などがある。

次に、第１４図に示すように、レジスト３２を剥離して
、所要の薄膜面７を形成する。この場合も所要薄膜トラ
ック突出部３４が形成されているのは前記と同様である
。

本発明は、上述のように、予め薄膜トラック突出部を形
成したＩ形素材とＣ形素材とを薄膜トラック突出部の間
で所要の磁気コア厚さに切り出し薄膜加工にてトラック
幅を形成したので、従来のトラックの形成が研削加工な
どの機械的加工により形成し加工にバラツキが生じてい
たのに比し、バラツキが少なく精度のよい磁気ヘッドが
提供できる。

第１５図（ａ）に本発明により製造した磁気コア４２の
スライダー４１への装着部の拡大縦断面図を示し、同図
（ロ）に従来の同郡の拡大縦断面図を示す、スライダー
４１の溝に磁気コア４２がボンディングガラス４３によ
り接着されている。

従来の同図（ロ）では、スライダー４１の溝に従来の研
削加工により狭幅のトラック４４を有する磁気コア４５
がボンディングガラス４３により接着されている。従来
の磁気ヘッドがボンディングガラス４３０面積が大きい
ために、研磨した際にガラス部が凹み平面度が悪くなる
。これに対し、本発明により製作した磁気コア４２では
同図（ａ）で明らかなように、ボンディングガラス４３
が小さいことから凹み部が小さく平面度が向上する。

従来の研削などによる機械加工ではフェライトの透磁率
が３０００から１５００に低下するが、本発明による薄
膜を形成して製作する製造方法では、透磁率の低下がな
いため特性の向上が計れる。

第１６図に示すようにスライダー５１に磁気コア５２を
挿入する際に、磁気コア５２の浮きをなくするために、
上部より押さえるが、従来の磁気コアの形状ではトラッ
ク部が細いため、欠けが生じやすいことから作業に手間
が掛かかるが、本発明による磁気コアの形状では欠ける
心配がなく押さえられるため、作業性および歩留まりの
向上が計れる。

また、第１７図（荀に示すように、従来の磁気コア６１
の形状では磁束の絞り込みを行うために、破線部を機械
加工することにより磁気抵抗が大きくなるが、本発明に
よる第１７図（ロ）に示す磁気コア６２の形状では薄膜
部のみで磁束の絞り込みを行うために、全体的な磁気抵
抗が小さくなることにより記録再生効率を向上させるこ
とが可能である。なお、上述の実施例では一対のフェラ
イトバーを接合した磁気コアを用いてなるが、第１８図
Ｃａ）、（ロ）に示すようにアルミナセラミックのよう
な非磁性材７１の接合面側内面にセンダスト等の磁性材
７２を形成し一対の素材を用いてもよい。

「発明の効果」 以上、上述したように、本発明によれば、磁気コアのト
ラックの研削加工が不要となり、製造工程が簡素化し、
さらにトラック幅の精度、透磁率の向上、磁気抵抗の低
減ができ、しかもスライダーと磁気コアとの接合、加工
等が大幅に改善される磁気ヘッドの製造方法となる。

【図面の簡単な説明】

第１〜５図は磁気コアの製造工程を示し、第１図は素材
を切り出した状態の斜視図、第２図は素材を■形素材と
Ｃ形素材とに形成した状態を示す斜視図、第３図はＩ形
素材のギャップ対向面に薄膜面を形成した状態を示す斜
視図、第４図は１１面を形成した■形素材とＣ形素材を
嵌まりガラスで接合した状態を示す斜視図、第５図は磁
気コアに切り出した状態を示す斜視図で、同図（→はト
ラックが磁気コアのギャップの中央部にある状態を示す
斜視図、同図ら）はトラックが磁気コアの端面側に位置
した状態を示す斜視図、第６〜９図はフォトレジストパ
ターン形成方法により薄膜面を形成する工程を示す図で
あって、第６図はレジスト塗布状態を示す縦断面図、第
７図はマスクを配置して現像する状態を示す縦断面図、
第８図は金属膜、ギャップガラス、金属膜を蒸着した状
態を示す縦断面図、第９図は不要部分を剥離した状態を
示す縦断面図、第１０〜１４図はエツチングによる薄膜
面のパターンを形成する状態を示す図で、第１θ図は素
材３１上に金属膜、ガラス、金属膜を蒸着して形成した
状態を示す縦断面図、第１１図はレジストを塗布した状
態を示す縦断面図、第１２図はマスクを配して現像した
状態を示す縦断面図、第１３図はエツチングを施した状
態を示す縦断面図、第１４図はレジストを剥離した状態
を示す縦断面図、第１５図は本発明により製作された磁
気コアをスライダーに装着した状態を、従来のものと比
較する図で、同図（ａ）は本発明により製作された磁気
コアをスライダーに装着した拡大縦断面図、同図ら）は
従来の磁気コアをスライダーに装着した拡大縦断面図、
第１６図は磁気コアをスライダーに装着する作業状態を
示す斜視図、第１７図は磁気抵抗について説明する図で
、同図（ａ）は従来の磁気コアの斜視図、同図（ｂ）は
本発明の磁気コアの斜視図、第１８図は本発明の他の実
施例の磁気コアを説明する図であり、同図（ａ）は側面
図、同図の）はギャップ部分の上面図、第１９図は従来
の磁気コアの斜視図である。 出願人　　京　セ　ラ　株式会社 代理人　　高　　木　　義　　輝 第４図 第１５図（ａ） 第１５図（ｂ） 第旧図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）一対のコア素材をギャップ部材を介して接合し、
   所定厚みに切り出した磁気コアを備えた磁気ヘッドの製
   造方法であって、少なくとも一方のコア素材の対向面に
   形成したギャップ部材を薄膜でもって形成し、該薄膜ギ
   ャップ部材の一部に、作成する磁気コアの厚さ以上の間
   隔でトラック幅に相当する薄膜トラック突出部を形成し
   た後、他方のコア素材と接合させ、接合させた両コア素
   材の薄膜トラック突出部間で所要の磁気コア厚さに切り
   出すことを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。