JPH04356706A - 薄膜磁気ヘッド - Google Patents
薄膜磁気ヘッドInfo
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- JPH04356706A JPH04356706A JP346891A JP346891A JPH04356706A JP H04356706 A JPH04356706 A JP H04356706A JP 346891 A JP346891 A JP 346891A JP 346891 A JP346891 A JP 346891A JP H04356706 A JPH04356706 A JP H04356706A
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- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 title claims abstract description 144
- 239000010409 thin film Substances 0.000 title claims abstract description 43
- 230000004907 flux Effects 0.000 claims abstract description 52
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims abstract description 10
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 10
- 239000003302 ferromagnetic material Substances 0.000 claims description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 6
- 229910001030 Iron–nickel alloy Inorganic materials 0.000 claims description 4
- WPYVAWXEWQSOGY-UHFFFAOYSA-N indium antimonide Chemical compound [Sb]#[In] WPYVAWXEWQSOGY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- RHZWSUVWRRXEJF-UHFFFAOYSA-N indium tin Chemical compound [In].[Sn] RHZWSUVWRRXEJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 4
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 abstract description 7
- 239000010408 film Substances 0.000 abstract description 6
- 230000005355 Hall effect Effects 0.000 description 4
- 230000002547 anomalous effect Effects 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 2
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052681 coesite Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052593 corundum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052906 cristobalite Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 1
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 229910000889 permalloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- -1 resist Substances 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 1
- 230000002269 spontaneous effect Effects 0.000 description 1
- 229910052682 stishovite Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001131 transforming effect Effects 0.000 description 1
- 229910052905 tridymite Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001845 yogo sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/33—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only
- G11B5/37—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using galvano-magnetic devices, e.g. Hall-effect devices using Hall or Hall-related effect, e.g. planar-Hall effect or pseudo-Hall effect
- G11B5/372—Structure or manufacture of flux-sensitive heads, i.e. for reproduction only; Combination of such heads with means for recording or erasing only using galvano-magnetic devices, e.g. Hall-effect devices using Hall or Hall-related effect, e.g. planar-Hall effect or pseudo-Hall effect in magnetic thin films
- G11B5/374—Integrated structures
Landscapes
- Magnetic Heads (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気ディスク装置やP
CMレコーダなどに用いられて、バルクによる磁気ヘッ
ドでは実現できなかった大幅な記録密度の上昇を可能に
する薄膜磁気ヘッドに関するものである。
CMレコーダなどに用いられて、バルクによる磁気ヘッ
ドでは実現できなかった大幅な記録密度の上昇を可能に
する薄膜磁気ヘッドに関するものである。
【0002】
【従来の技術】薄膜磁気ヘッドは半導体製造プロセスに
使用される薄膜技術を利用して製造される磁気ヘッドで
、半導体プロセスレベルのパターン精度で製造されるの
で、記録密度を極めて高くできる特徴をもっている。
使用される薄膜技術を利用して製造される磁気ヘッドで
、半導体プロセスレベルのパターン精度で製造されるの
で、記録密度を極めて高くできる特徴をもっている。
【0003】そのような薄膜磁気ヘッドの一従来例を図
9に示す。これは、薄膜形成技術の応用により製作され
たもので、先端部が磁気ギャップ26を形成し、その反
対側後部でバックギャップ部28を形成するように下部
ヨーク12と上部ヨーク10とでリング状の磁気回路を
形成し、その内側に絶縁材22で被包されたコイル導体
24を配した構成のものである。
9に示す。これは、薄膜形成技術の応用により製作され
たもので、先端部が磁気ギャップ26を形成し、その反
対側後部でバックギャップ部28を形成するように下部
ヨーク12と上部ヨーク10とでリング状の磁気回路を
形成し、その内側に絶縁材22で被包されたコイル導体
24を配した構成のものである。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】上記一般の磁気ヘッド
においては記録再生を兼用して用い、再生出力を増大さ
せるためにはコイルのターン数を増やさなければならな
いが、ターン数を増やすとヨークが大きくなり、コア磁
路長が長くなり、効率が低下してしまうものであった。 また、コイルの多層化はプロセスの複雑化を招き、さら
にターン数の増加はインダクタンスLを増大させ、高周
波特性の悪化、低電圧ドライブの困難化を招くものであ
った。
においては記録再生を兼用して用い、再生出力を増大さ
せるためにはコイルのターン数を増やさなければならな
いが、ターン数を増やすとヨークが大きくなり、コア磁
路長が長くなり、効率が低下してしまうものであった。 また、コイルの多層化はプロセスの複雑化を招き、さら
にターン数の増加はインダクタンスLを増大させ、高周
波特性の悪化、低電圧ドライブの困難化を招くものであ
った。
【0005】本発明は前記課題を解決するためになされ
たもので、磁気コア内に磁束バイパス部とその磁束バイ
パス部と下部ヨークの間にホール素子を設けたものであ
る。
たもので、磁気コア内に磁束バイパス部とその磁束バイ
パス部と下部ヨークの間にホール素子を設けたものであ
る。
【0006】
【課題を解決するための手段】請求項1記載の薄膜磁気
ヘッドは、下部ヨークと、絶縁材で被包されたコイル導
体と、上部ヨークが積層されて、下部ヨークと上部ヨー
クの先端部が磁気ギャップを形成してなる薄膜磁気ヘッ
ドにおいて、前記絶縁材中の前記コイル導体よりも磁気
ギャップに近い部位に前記下部ヨークと上部ヨークを連
接する磁束バイパス部が形成され、磁束バイパス部と下
部ヨークの間にホール素子が設けられていることを特徴
とするものである。
ヘッドは、下部ヨークと、絶縁材で被包されたコイル導
体と、上部ヨークが積層されて、下部ヨークと上部ヨー
クの先端部が磁気ギャップを形成してなる薄膜磁気ヘッ
ドにおいて、前記絶縁材中の前記コイル導体よりも磁気
ギャップに近い部位に前記下部ヨークと上部ヨークを連
接する磁束バイパス部が形成され、磁束バイパス部と下
部ヨークの間にホール素子が設けられていることを特徴
とするものである。
【0007】請求項2記載の薄膜磁気ヘッドは、下部ヨ
ークと、絶縁材で被包されたコイル導体と、上部ヨーク
が積層されて、下部ヨークと上部ヨークの先端部が磁気
ギャップを形成し、磁気ギャップの反対側では前記下部
ヨークと上部ヨークを接続してバックギャップ部を形成
してなる薄膜磁気ヘッドにおいて、前記バックギャップ
部の下部ヨークと上部ヨークの間にホール素子が設けら
れていることを特徴とするものである。
ークと、絶縁材で被包されたコイル導体と、上部ヨーク
が積層されて、下部ヨークと上部ヨークの先端部が磁気
ギャップを形成し、磁気ギャップの反対側では前記下部
ヨークと上部ヨークを接続してバックギャップ部を形成
してなる薄膜磁気ヘッドにおいて、前記バックギャップ
部の下部ヨークと上部ヨークの間にホール素子が設けら
れていることを特徴とするものである。
【0008】請求項3記載の薄膜磁気ヘッドは、請求項
1または2記載の薄膜磁気ヘッドにおいて、ホール素子
がインジウム・アンチモンやインジウム・スズ等の半導
体またはNiFe等の強磁性体からなることを特徴とす
るものである。
1または2記載の薄膜磁気ヘッドにおいて、ホール素子
がインジウム・アンチモンやインジウム・スズ等の半導
体またはNiFe等の強磁性体からなることを特徴とす
るものである。
【0009】
【作用】ホール素子はMR素子(磁気抵抗素子)同様、
磁界の強弱を電気抵抗の変化として取り出すように構成
された電子部品で、再生時に大きな出力を得ることがで
きる。しかしながら、MR素子はその平面に対して平行
に磁束が通過するために磁路の効率化を妨げるものであ
る。それに比べてホール素子においては、磁束は板状に
構成されたホール素子のその平面に対して垂直に通過し
て作用する為に、薄膜磁気ヘッドの膜厚を薄くしたまま
感度を上げることができる。
磁界の強弱を電気抵抗の変化として取り出すように構成
された電子部品で、再生時に大きな出力を得ることがで
きる。しかしながら、MR素子はその平面に対して平行
に磁束が通過するために磁路の効率化を妨げるものであ
る。それに比べてホール素子においては、磁束は板状に
構成されたホール素子のその平面に対して垂直に通過し
て作用する為に、薄膜磁気ヘッドの膜厚を薄くしたまま
感度を上げることができる。
【0010】ホール素子の材料は、インジウム・アンチ
モンやインジウム・スズ等の半導体または異常ホール効
果を有するNiFe等の強磁性体からなることが望まし
い。尚、ここで異常ホール効果とは、強磁性体を用いた
場合に自発磁化のために、みかけ上非常に大きなホール
効果が現れることをいう。
モンやインジウム・スズ等の半導体または異常ホール効
果を有するNiFe等の強磁性体からなることが望まし
い。尚、ここで異常ホール効果とは、強磁性体を用いた
場合に自発磁化のために、みかけ上非常に大きなホール
効果が現れることをいう。
【0011】
(実施例1) 図1と図2に実施例1の薄膜磁気ヘッ
ドを示す。この薄膜磁気ヘッドは、下部ヨーク12と上
部ヨーク10がそれらの先端部で磁気ギャップ26を形
成し、その反対側でバックギャップ部28を形成すると
ともに、下部ヨーク12と上部ヨーク10の間の絶縁材
22中には、バックギャップ部28を中心に1ターンで
太い記録コイル20が形成されている。そして、記録コ
イル20と磁気ギャプ26の間には磁束バイパス部14
が設けられ、磁束バイパス部14と下部ヨーク12の間
にはホール素子30が設けられて、この磁束バイパス部
14とホール素子30で下部ヨーク12と上部ヨーク1
0を連接している。さらにホール素子30には電極電圧
線34と電極電流線36が配設されている。
ドを示す。この薄膜磁気ヘッドは、下部ヨーク12と上
部ヨーク10がそれらの先端部で磁気ギャップ26を形
成し、その反対側でバックギャップ部28を形成すると
ともに、下部ヨーク12と上部ヨーク10の間の絶縁材
22中には、バックギャップ部28を中心に1ターンで
太い記録コイル20が形成されている。そして、記録コ
イル20と磁気ギャプ26の間には磁束バイパス部14
が設けられ、磁束バイパス部14と下部ヨーク12の間
にはホール素子30が設けられて、この磁束バイパス部
14とホール素子30で下部ヨーク12と上部ヨーク1
0を連接している。さらにホール素子30には電極電圧
線34と電極電流線36が配設されている。
【0012】下部ヨーク12および上部ヨーク10とし
ては、例えばパーマロイ等の強磁性材料が用いられ、そ
れらの透磁率の値はCGS単位系において1,000〜
3,000程度とされている。
ては、例えばパーマロイ等の強磁性材料が用いられ、そ
れらの透磁率の値はCGS単位系において1,000〜
3,000程度とされている。
【0013】絶縁材22としてはポリイミド、レジスト
、SiO2、Al2O3等の材料が用いられている。
、SiO2、Al2O3等の材料が用いられている。
【0014】ところで記録時には磁束バイパス部14は
磁気コアよりも先に充分飽和することが好ましい。図7
と図8を用いて磁束バイパス部14を構成する磁性体の
飽和磁束密度の要件を説明する。尚、この図7および図
8においてはコイル等の記載は省略した。
磁気コアよりも先に充分飽和することが好ましい。図7
と図8を用いて磁束バイパス部14を構成する磁性体の
飽和磁束密度の要件を説明する。尚、この図7および図
8においてはコイル等の記載は省略した。
【0015】ここでは、上部ヨーク10の厚さをtc、
磁束バイパス部14の長さをtbとし、磁束バイパス部
14の形成されている位置の上部ヨーク10の幅をWc
、磁束バイパス部14の幅をWbとし、磁気媒体16の
厚みをtm、磁気媒体16の幅をtwとする。さらに磁
気コアの飽和磁束密度をBs1、磁束バイパス部14の
飽和磁束密度をBs2、磁気媒体16の残留磁束密度を
Brとする。さらにまた、Sb=tb×Wb、Sc=t
c×Wcとする。
磁束バイパス部14の長さをtbとし、磁束バイパス部
14の形成されている位置の上部ヨーク10の幅をWc
、磁束バイパス部14の幅をWbとし、磁気媒体16の
厚みをtm、磁気媒体16の幅をtwとする。さらに磁
気コアの飽和磁束密度をBs1、磁束バイパス部14の
飽和磁束密度をBs2、磁気媒体16の残留磁束密度を
Brとする。さらにまた、Sb=tb×Wb、Sc=t
c×Wcとする。
【0016】磁気バイパス部14を磁気コアよりも先に
飽和させるためには、Bs2<(Sc/Sb)×Bs1
であることが必要である。この式を変形すると、B
s2<{(tc・Wc)/(tb・Wb)}×Bs1
となる。無論、Sb=Scならば、Bs2<Bs1
であればよい。
飽和させるためには、Bs2<(Sc/Sb)×Bs1
であることが必要である。この式を変形すると、B
s2<{(tc・Wc)/(tb・Wb)}×Bs1
となる。無論、Sb=Scならば、Bs2<Bs1
であればよい。
【0017】一方磁束バイパス部14の飽和磁束密度B
s2の下限は、再生時に飽和しないことが好ましいこと
から限定されうる。磁気媒体16の磁束φmは、φm=
Br・tw・tm である。これが全て磁束バイパス
部14に流入したとすると、磁束バイパス部14中の磁
束密度Bbは、Bb=φm/(Wb・tb)=(Br・
tw・tm)/(Wb・tb) となるので、磁束バ
イパス部14の飽和磁束密度Bs2は、Bs2>Bb=
(Br・tw・tm)/(Wb・tb)となる。
s2の下限は、再生時に飽和しないことが好ましいこと
から限定されうる。磁気媒体16の磁束φmは、φm=
Br・tw・tm である。これが全て磁束バイパス
部14に流入したとすると、磁束バイパス部14中の磁
束密度Bbは、Bb=φm/(Wb・tb)=(Br・
tw・tm)/(Wb・tb) となるので、磁束バ
イパス部14の飽和磁束密度Bs2は、Bs2>Bb=
(Br・tw・tm)/(Wb・tb)となる。
【0018】従って、磁束バイパス部14の飽和磁束密
度Bs2の範囲は次式で示される範囲内であることが好
ましい。 (Br・tw・tm)/(Wb・tb)<Bs2<
(tc・Wc・Bs)/(tb・Wb) ・・・■こ
こでは磁束の漏れ等は考慮していないので磁束密度は全
て大きく見積もられている。従って、実際上のBs2の
範囲は上記■式の範囲よりも低くなる。磁束の漏れ係数
をK:(0〜1)とすると、上記■式の範囲にこの漏れ
係数Kをかける必要がある。
度Bs2の範囲は次式で示される範囲内であることが好
ましい。 (Br・tw・tm)/(Wb・tb)<Bs2<
(tc・Wc・Bs)/(tb・Wb) ・・・■こ
こでは磁束の漏れ等は考慮していないので磁束密度は全
て大きく見積もられている。従って、実際上のBs2の
範囲は上記■式の範囲よりも低くなる。磁束の漏れ係数
をK:(0〜1)とすると、上記■式の範囲にこの漏れ
係数Kをかける必要がある。
【0019】またホール素子30はインジウム・アンチ
モンやインジウム・スズ等の半導体または異常ホール効
果を有するNiFe等の強磁性体からなることが望まし
い。
モンやインジウム・スズ等の半導体または異常ホール効
果を有するNiFe等の強磁性体からなることが望まし
い。
【0020】本実施例の薄膜磁気ヘッドにおいては、記
録時には図3に示すように磁束M1を発生し、再生時に
は図4に示すような磁束M2の発生とともに、電極電流
線36に流す電流と磁界の強弱の変化に応じた電圧によ
る電流がホール素子30から電極電圧線34に流れる。 このことにより、再生時には磁束がホール素子30に垂
直に通過する為に薄膜磁気ヘッドの膜厚を薄くして感度
を向上し、さらに磁路の高効率化を招くことができる。 また記録時には記録コイル20はAT(電流(A)とタ
ーン数(T)の積)をかせぐことができればターン数を
1ターンまで減らす事ができ、インダクタンスLを低下
させて高周波数に対応し得るとともに低電圧駆動が可能
となる。
録時には図3に示すように磁束M1を発生し、再生時に
は図4に示すような磁束M2の発生とともに、電極電流
線36に流す電流と磁界の強弱の変化に応じた電圧によ
る電流がホール素子30から電極電圧線34に流れる。 このことにより、再生時には磁束がホール素子30に垂
直に通過する為に薄膜磁気ヘッドの膜厚を薄くして感度
を向上し、さらに磁路の高効率化を招くことができる。 また記録時には記録コイル20はAT(電流(A)とタ
ーン数(T)の積)をかせぐことができればターン数を
1ターンまで減らす事ができ、インダクタンスLを低下
させて高周波数に対応し得るとともに低電圧駆動が可能
となる。
【0021】(実施例2) 実施例2の薄膜磁気ヘッ
ドを図5に示す。この薄膜磁気ヘッドの特徴は実施例1
の薄膜磁気ヘッドに比べて磁束バイパス部14及びホー
ル素子30をより磁気ギャップ26に近付けたことにあ
る。 特に上部ヨーク10の磁気ギャップ26近傍を下部ヨー
ク12に近付けて薄層部38とし、この上部ヨーク10
の薄層部38とその下方の下部ヨーク12を連接するよ
うに磁束バイパス部14及びホール素子30を形成した
ものである。
ドを図5に示す。この薄膜磁気ヘッドの特徴は実施例1
の薄膜磁気ヘッドに比べて磁束バイパス部14及びホー
ル素子30をより磁気ギャップ26に近付けたことにあ
る。 特に上部ヨーク10の磁気ギャップ26近傍を下部ヨー
ク12に近付けて薄層部38とし、この上部ヨーク10
の薄層部38とその下方の下部ヨーク12を連接するよ
うに磁束バイパス部14及びホール素子30を形成した
ものである。
【0022】この薄膜磁気ヘッドのように磁束バイパス
部14及びホール素子30を磁気ギャップ26に近付け
ることで、磁気抵抗が小さくなり効率を上げて感度をよ
り高めることができる。
部14及びホール素子30を磁気ギャップ26に近付け
ることで、磁気抵抗が小さくなり効率を上げて感度をよ
り高めることができる。
【0023】(実施例3) 実施例3の薄膜磁気ヘッ
ドを図6に示す。この薄膜磁気ヘッドの特徴はホール素
子30をバックギャップ部28に設けたことにある。即
ち、先端部が磁気ギャップ26を形成し、その反対側後
部でバックギャップ部28を形成するように下部ヨーク
12と上部ヨーク10とでリング状の磁気回路を形成し
、その内側に絶縁材22で被包されたコイル導体24を
配した構成の薄膜磁気ヘッドにおいて、バックギャップ
部28における上部ヨーク10と下部ヨーク12の間に
ホール素子30を設けたものである。そして、ホール素
子30には電極電圧線34および電極電流線を配設した
。
ドを図6に示す。この薄膜磁気ヘッドの特徴はホール素
子30をバックギャップ部28に設けたことにある。即
ち、先端部が磁気ギャップ26を形成し、その反対側後
部でバックギャップ部28を形成するように下部ヨーク
12と上部ヨーク10とでリング状の磁気回路を形成し
、その内側に絶縁材22で被包されたコイル導体24を
配した構成の薄膜磁気ヘッドにおいて、バックギャップ
部28における上部ヨーク10と下部ヨーク12の間に
ホール素子30を設けたものである。そして、ホール素
子30には電極電圧線34および電極電流線を配設した
。
【0024】この薄膜磁気ヘッドにおいては、再生時に
ホール素子の平面に対して磁束を垂直に通過させて磁界
に対して感度の高い電流をホール素子30から電極電圧
線34へ流すことができ、薄膜磁気ヘッドの膜厚を薄く
したまま感度を上げることが可能であり、磁路に高効率
をもたらすことができる。
ホール素子の平面に対して磁束を垂直に通過させて磁界
に対して感度の高い電流をホール素子30から電極電圧
線34へ流すことができ、薄膜磁気ヘッドの膜厚を薄く
したまま感度を上げることが可能であり、磁路に高効率
をもたらすことができる。
【0025】
【発明の効果】本発明の薄膜磁気ヘッドにおいては、磁
気コア内にホール素子を形成したものであるので、ター
ン数を増加させて膜厚を厚くすることなく、再生時の感
度を向上させて磁路を高効率化させるものである。さら
にターン数の減少はインダクタンスLを低下させて高周
波数に対応し、低電圧駆動が可能になるものである。特
に磁束バイパス部およびホール素子を磁気ギャップに近
接させることでより感度を高めることができるものであ
る。
気コア内にホール素子を形成したものであるので、ター
ン数を増加させて膜厚を厚くすることなく、再生時の感
度を向上させて磁路を高効率化させるものである。さら
にターン数の減少はインダクタンスLを低下させて高周
波数に対応し、低電圧駆動が可能になるものである。特
に磁束バイパス部およびホール素子を磁気ギャップに近
接させることでより感度を高めることができるものであ
る。
【0026】またホール素子をバックギャップ部に設け
たものにおいては、膜厚を薄くしたまま非常に高効率な
薄膜磁気ヘッドとすることができる。
たものにおいては、膜厚を薄くしたまま非常に高効率な
薄膜磁気ヘッドとすることができる。
【図1】実施例1の薄膜磁気ヘッドの断面図である。
【図2】実施例1の薄膜磁気ヘッドの平面図である。
【図3】実施例1の薄膜磁気ヘッドの記録時の磁束分布
を示す薄膜磁気ヘッドの断面図である。
を示す薄膜磁気ヘッドの断面図である。
【図4】実施例1の薄膜磁気ヘッドの再生時の磁束分布
を示す薄膜磁気ヘッドの断面図である。
を示す薄膜磁気ヘッドの断面図である。
【図5】実施例2の薄膜磁気ヘッドの断面図である。
【図6】実施例3の薄膜磁気ヘッドの断面図である。
【図7】磁束バイパス部の飽和磁束密度の範囲を説明す
るための薄膜磁気ヘッドの断面図である。
るための薄膜磁気ヘッドの断面図である。
【図8】磁束バイパス部の飽和磁束密度の範囲を説明す
るための薄膜磁気ヘッドの平面図である。
るための薄膜磁気ヘッドの平面図である。
【図9】従来例の薄膜磁気ヘッドの断面図である。
10 上部ヨーク
12 下部ヨーク
14 磁束バイパス部
20 記録コイル
22 絶縁材
24 コイル導体
26 磁気ギャップ
28 バックギャップ部
30 ホール素子
Claims (3)
- 【請求項1】 下部ヨークと、絶縁材で被包されたコ
イル導体と、上部ヨークが積層されて、下部ヨークと上
部ヨークの先端部が磁気ギャップを形成してなる薄膜磁
気ヘッドにおいて、前記絶縁材中の前記コイル導体より
も磁気ギャップに近い部位に前記下部ヨークと上部ヨー
クを連接する磁束バイパス部が形成され、磁束バイパス
部と下部ヨークの間にホール素子が設けられていること
を特徴とする薄膜磁気ヘッド。 - 【請求項2】 下部ヨークと、絶縁材で被包されたコ
イル導体と、上部ヨークが積層されて、下部ヨークと上
部ヨークの先端部が磁気ギャップを形成し、磁気ギャッ
プの反対側では前記下部ヨークと上部ヨークを接続して
バックギャップ部を形成してなる薄膜磁気ヘッドにおい
て、前記バックギャップ部の下部ヨークと上部ヨークの
間にホール素子が設けられていることを特徴とする薄膜
磁気ヘッド。 - 【請求項3】 請求項1または2記載の薄膜磁気ヘッ
ドにおいて、ホール素子がインジウム・アンチモンやイ
ンジウム・スズ等の半導体またはNiFe等の強磁性体
からなることを特徴とする薄膜磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP346891A JPH04356706A (ja) | 1991-01-16 | 1991-01-16 | 薄膜磁気ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP346891A JPH04356706A (ja) | 1991-01-16 | 1991-01-16 | 薄膜磁気ヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04356706A true JPH04356706A (ja) | 1992-12-10 |
Family
ID=11558163
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP346891A Withdrawn JPH04356706A (ja) | 1991-01-16 | 1991-01-16 | 薄膜磁気ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04356706A (ja) |
-
1991
- 1991-01-16 JP JP346891A patent/JPH04356706A/ja not_active Withdrawn
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19980514 |