JPH04359436A - 樹脂封止形半導体装置成形用モールド金型 - Google Patents
樹脂封止形半導体装置成形用モールド金型Info
- Publication number
- JPH04359436A JPH04359436A JP13403391A JP13403391A JPH04359436A JP H04359436 A JPH04359436 A JP H04359436A JP 13403391 A JP13403391 A JP 13403391A JP 13403391 A JP13403391 A JP 13403391A JP H04359436 A JPH04359436 A JP H04359436A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mold
- resin
- runner
- cavity
- gate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
- Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は半導体ペレットを封止
する樹脂封止形半導体装置成形用モールド金型に関する
。
する樹脂封止形半導体装置成形用モールド金型に関する
。
【0002】
【従来の技術】図3は従来の樹脂封止形半導体装置成形
用モールド金型(以下モールド金型と略す)の概略を示
す平面図、図4は図3のIV−IV線での断面図である
。これらの図において上型1にランナー3とキャビティ
4を結ぶゲート5を設ける。ゲート5はゲート幅6,ゲ
ート深さ7,入射角α,サブランナーの深さ9aで構成
される。このゲート5を通して各キャビティに樹脂は入
る。 半導体ペレットが組み立てられたリードフレーム10を
下型2に載置し、上型と下型を合わせて締め着けた後に
樹脂を注入点11から矢印の方向に供給して該半導体ペ
レットを封止するようになっている。
用モールド金型(以下モールド金型と略す)の概略を示
す平面図、図4は図3のIV−IV線での断面図である
。これらの図において上型1にランナー3とキャビティ
4を結ぶゲート5を設ける。ゲート5はゲート幅6,ゲ
ート深さ7,入射角α,サブランナーの深さ9aで構成
される。このゲート5を通して各キャビティに樹脂は入
る。 半導体ペレットが組み立てられたリードフレーム10を
下型2に載置し、上型と下型を合わせて締め着けた後に
樹脂を注入点11から矢印の方向に供給して該半導体ペ
レットを封止するようになっている。
【0003】ランナー3からの樹脂はゲート5を通りキ
ャビティ4に注入されるものであるがゲート幅6,ゲー
ト深さ7,入射角α,サブランナーの深さ9aが全キャ
ビティで同一の寸法であったため、注入点11に遠い程
、近い所に比べキャビティ4への注入時間がかかり、ま
たモールド金型は熱硬化性樹脂を用いるため、流入速度
にも変化がでていた。
ャビティ4に注入されるものであるがゲート幅6,ゲー
ト深さ7,入射角α,サブランナーの深さ9aが全キャ
ビティで同一の寸法であったため、注入点11に遠い程
、近い所に比べキャビティ4への注入時間がかかり、ま
たモールド金型は熱硬化性樹脂を用いるため、流入速度
にも変化がでていた。
【0004】これに鑑み全キャビティが同時に充填され
るようにゲート幅6,ゲート深さ7,入射角αを変化さ
せたもの、更に、他の従来の技術として図5に示す如く
サブランナー9のランナー3に対する角度θを順次変化
させたもの(実開昭61−196009号参照)、ある
いは図6に示す如くサブランナーの長さを注入点11か
ら遠くなるにつれて短くしたもの(実開昭63−157
932号参照)があるが、ゲートブレーク性(製品の離
型性)の問題、及びモールド金型の製作が困難であった
。
るようにゲート幅6,ゲート深さ7,入射角αを変化さ
せたもの、更に、他の従来の技術として図5に示す如く
サブランナー9のランナー3に対する角度θを順次変化
させたもの(実開昭61−196009号参照)、ある
いは図6に示す如くサブランナーの長さを注入点11か
ら遠くなるにつれて短くしたもの(実開昭63−157
932号参照)があるが、ゲートブレーク性(製品の離
型性)の問題、及びモールド金型の製作が困難であった
。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】特に図3および図4に
示す従来のモールド金型ではゲートブレーク性は良いが
、早く充填が終了したキャビティでは樹脂が滞留するの
でモールド金型全体の充填が終了し最終的に注入圧力が
かかる前にゲート部が固化し、キャビティ内に圧力が伝
播せず、キャビティ内に残留した気泡をつぶすことがで
きない(ボイド不良)、及び下流側に位置するキャビテ
ィでは同時刻に充填されているキャビティ数が次第に減
少していくので、キャビティ内を流れる樹脂の流速が大
きくなる。加えて硬化反応の進行で樹脂の粘度が上昇し
ているので金線が大きな抗力を受けて変形する(金線変
形不良)。
示す従来のモールド金型ではゲートブレーク性は良いが
、早く充填が終了したキャビティでは樹脂が滞留するの
でモールド金型全体の充填が終了し最終的に注入圧力が
かかる前にゲート部が固化し、キャビティ内に圧力が伝
播せず、キャビティ内に残留した気泡をつぶすことがで
きない(ボイド不良)、及び下流側に位置するキャビテ
ィでは同時刻に充填されているキャビティ数が次第に減
少していくので、キャビティ内を流れる樹脂の流速が大
きくなる。加えて硬化反応の進行で樹脂の粘度が上昇し
ているので金線が大きな抗力を受けて変形する(金線変
形不良)。
【0006】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、製作が容易でしかもボイド不良
、金線変形不良を発生させないモールド金型を得ること
を目的とする。
ためになされたもので、製作が容易でしかもボイド不良
、金線変形不良を発生させないモールド金型を得ること
を目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】この発明に係るモールド
金型は各キャビティ毎にサブランナーの深さを樹脂の注
入点から遠くなるに従って深くすることにより全キャビ
ティを同時充填させ、キャビティ内への注入時間,注入
速度を一定にしたものである。
金型は各キャビティ毎にサブランナーの深さを樹脂の注
入点から遠くなるに従って深くすることにより全キャビ
ティを同時充填させ、キャビティ内への注入時間,注入
速度を一定にしたものである。
【0008】
【作用】この発明におけるモールド金型は、全キャビテ
ィが同時充填されることによりキャビティ内への注入時
間,注入速度が一定になり、ボイド不良,金線変形不良
を発生させないものである。またゲート幅,ゲート深さ
,入射角を変化させないので容易に加工ができ、ゲート
ブレーク性も最良にできる。
ィが同時充填されることによりキャビティ内への注入時
間,注入速度が一定になり、ボイド不良,金線変形不良
を発生させないものである。またゲート幅,ゲート深さ
,入射角を変化させないので容易に加工ができ、ゲート
ブレーク性も最良にできる。
【0009】
【実施例】以下、この発明の一実施例を図について説明
する。図1はゲート部を示す平面図、図2は図1のII
−II線での断面図である。上型1にランナー3とキャ
ビティ4を結ぶゲート幅6,ゲート深さ7,入射角α,
サブランナー9で構成されるゲート5を設け、各キャビ
ティ毎にサブランナーの深さ9aを樹脂の注入点から遠
くなるに従って9a′の如く深くする。
する。図1はゲート部を示す平面図、図2は図1のII
−II線での断面図である。上型1にランナー3とキャ
ビティ4を結ぶゲート幅6,ゲート深さ7,入射角α,
サブランナー9で構成されるゲート5を設け、各キャビ
ティ毎にサブランナーの深さ9aを樹脂の注入点から遠
くなるに従って9a′の如く深くする。
【0010】ランナー3からの樹脂は、ゲート5を通り
、キャビティ4に注入されるものであるが、サブランナ
ーの深さ9aを各キャビティ毎に樹脂の注入点から遠く
なるに従って深くするため、注入点11からの距離にか
かわらず、キャビティ4への注入時間及び注入速度を一
定にすることができ、全キャビティが同時に充填される
。
、キャビティ4に注入されるものであるが、サブランナ
ーの深さ9aを各キャビティ毎に樹脂の注入点から遠く
なるに従って深くするため、注入点11からの距離にか
かわらず、キャビティ4への注入時間及び注入速度を一
定にすることができ、全キャビティが同時に充填される
。
【0011】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば全キャ
ビティに同時に充填するため注入圧力が全キャビティに
均一にかかり、キャビティ内に残留する気泡をつぶすこ
とができる。及び全キャビティに同時に充填するため、
キャビティ内を流れる樹脂の流速が一定に保たれ、硬化
反応の進行で樹脂の粘度が上昇しても金線に大きな抗力
を受けることはなくなる。またゲート幅6,入射角αは
変更しないのでゲートブレーク性を最良に設定でき量産
性が良い。
ビティに同時に充填するため注入圧力が全キャビティに
均一にかかり、キャビティ内に残留する気泡をつぶすこ
とができる。及び全キャビティに同時に充填するため、
キャビティ内を流れる樹脂の流速が一定に保たれ、硬化
反応の進行で樹脂の粘度が上昇しても金線に大きな抗力
を受けることはなくなる。またゲート幅6,入射角αは
変更しないのでゲートブレーク性を最良に設定でき量産
性が良い。
【図1】本発明の樹脂封止形半導体装置成形用モールド
金型の一実施例の概略を示す平面図。
金型の一実施例の概略を示す平面図。
【図2】図1のII−II線に沿った断面図。
【図3】従来の樹脂封止形半導体装置成形用モールド金
型の概略を示す平面図。
型の概略を示す平面図。
【図4】図3のIV−IV線に沿った断面図。
【図5】従来の別の樹脂封止形半導体装置成形用モール
ド金型の概略を示す平面図。
ド金型の概略を示す平面図。
【図6】従来の更に別の樹脂封止形半導体装置成形用モ
ールド金型の概略を示す平面図。
ールド金型の概略を示す平面図。
1 上型
2 下型
3 ランナー
4 キャビティ
5 ゲート
6 ゲート幅
7 ゲート深さ
9 サブランナー
9a サブランナーの深さ
10 リードフレーム
11 注入点
Claims (1)
- 【請求項1】 上型及び下型から成り、該下型に半導
体ペレットが組みたてられたリードフレームを載置し、
該上型及び下型を合わせて締め着けた後に樹脂を注入し
て該半導体ペレットを封止する半導体装置の樹脂封止用
モールド金型において、各キャビティに樹脂を送りこむ
経路のランナーとゲートの間にサブランナー部を設け、
樹脂の注入点から遠くなるに従って該サブランナーの深
さを深くすることにより、各キャビティへの樹脂の同時
充填ができ、金線変形不良、ボイド不良をなくしたこと
を特徴とする樹脂封止形半導体装置成形用モールド金型
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13403391A JPH04359436A (ja) | 1991-06-05 | 1991-06-05 | 樹脂封止形半導体装置成形用モールド金型 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13403391A JPH04359436A (ja) | 1991-06-05 | 1991-06-05 | 樹脂封止形半導体装置成形用モールド金型 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04359436A true JPH04359436A (ja) | 1992-12-11 |
Family
ID=15118804
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13403391A Pending JPH04359436A (ja) | 1991-06-05 | 1991-06-05 | 樹脂封止形半導体装置成形用モールド金型 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04359436A (ja) |
-
1991
- 1991-06-05 JP JP13403391A patent/JPH04359436A/ja active Pending
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