JPH0436113Y2 - - Google Patents

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JPH0436113Y2
JPH0436113Y2 JP1986085604U JP8560486U JPH0436113Y2 JP H0436113 Y2 JPH0436113 Y2 JP H0436113Y2 JP 1986085604 U JP1986085604 U JP 1986085604U JP 8560486 U JP8560486 U JP 8560486U JP H0436113 Y2 JPH0436113 Y2 JP H0436113Y2
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layer
electrodes
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Description

【考案の詳細な説明】 (イ) 産業上の利用分野 本考案はワイヤをボンデイングするための電極
構造に関する。
(ロ) 従来の技術 半導体素子の電極、配線基板の導電路上等にワ
イヤボンデイングを行なう場合、上記電極及び導
電路表面が酸化しているとそのボンダビリテイが
極端に悪化する。
そこで、例えばSolid−State
Electronics.1975.Vol.18.PP.541−550に開示され
ている如く上記電極表面には非酸化性金属である
Au（金）層を積層してなる構成が広く採用され、
また配線基板のワイヤボンデイング部にも表面に
Au層を積層してなる構成が広く採用されている
（特公昭60−37640号公報）。更に、上記Au層を積
層する方法の他にワイヤーボンデイング直前に電
極及び導電路表面をエツチング等により洗浄する
方法も考えられている。
(ハ) 考案が解決しようとする問題点 然るに、上記Au層を積層する方法では、斯る
Au層が薄いと下地となる酸化性金属がAu層表面
に浮き出し酸化膜を形成するため、上記Au層を
厚く形成する必要がありコスト高となつていた。
また、上記洗浄方法を採用すると工程が非常に
繁雑となるという問題があつた。
(ニ) 問題点を解決するための手段 本考案は斯る問題に鑑みてなされたもので、そ
の構成的特徴はボンデイングが行われる電極表面
上にラングミユア（Langmuir）膜を積層したこ
とにある。尚、斯るラングミユア膜はラングミユ
ア−プロジエクト（Langmuir−Blodgett膜とも
呼ばれるため、以下LB膜と称す。
(ホ) 作用 上記LB膜は水面上に広がつた親水基と疏水基
とを合わせもつ海面活性物質からなる単分子膜を
移し取ることにより形成されるものであり、従つ
て均一な薄膜（数＋Å）でかつ緻密性の高い膜と
なる。ゆえに、上記電極表面に形成すると、電極
表面に対する保護膜として作用する。
(ヘ) 実施例 第１図は本考案の実施例を示し、１は半導体基
板、２は該基板上に形成された電極であり、該電
極は80Å厚のCr（クロム）層、300Å厚のSn（錫）
層及び2500Å厚のAu（金）層を順次積層後400℃、
５分間の条件で熱処理を行なつたものである。３
は上記電極２表面に積層されたLB膜であり、該
LB膜は例えばアラキン酸（CH3CH218COOH）
の単分子膜（膜厚約20〜30Å）からなる。
斯る構成において、超音波ボンデイング法によ
り電極２表面にワイヤ４をボンデイングすると、
上記LB膜３が20〜30Åと薄いため上記超音波の
衝撃により斯るLB膜３が部分的に破壊され第２
図に示す如くワイヤ４は電極２に直接ボンデイン
グされる。
第３図は本実施例の如くLB膜３が表面に積層
された電極と上記LB膜３が積層されていない電
極とにおける夫々のボンダビイリテイの経時変化
を調べた結果を示す。
具体的には、まずLB膜を有する電極と有しな
い電極とを夫々準備し、この各電極を湿度60％以
上の室温（20℃）中に長時間保管した後、ワイヤ
ボンデイングを行なつた際の良品率を調べたもの
である。尚、第３図中、実線ＡはLB膜を有する
電極の良品率を示し、破線ＢはLB膜を有さない
電極の良品率を示す。
第３図より明らかな如く、LB膜を有する電極
では30日以上経過しても良品率は100％を保てる
が、LB膜を有さない電極では10日経過すると良
品率は50％以下となる。これはLB膜が存在する
ときには、斯る膜の存在により電極表面に酸化膜
が発生することを防止できるためであると考えら
れる。
(ト) 考案の効果 本考案の構成ではIB膜を電極表面上に形成す
るだけでボンダビリテイの低下原因である酸化膜
の発生を防止できるので、従来に比べて上記酸化
膜防止のコストが低減できる。また、本考案構成
ではLB膜上より直接ボンデイングが行なえるた
めボンデイング工程も繁雑とならない。
【図面の簡単な説明】
第１図及び第２図は本考案の実施例を示す断面
図、第３図はボンダビイリテイの経時変化を示す
特性図である。 ２……電極、３……LB膜。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. ボンデイングが行わされる電極、該電極表面上
    に積層されたラングミユア膜からなることを特徴
    とする電極構造。
JP1986085604U 1986-06-05 1986-06-05 Expired JPH0436113Y2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1986085604U JPH0436113Y2 (ja) 1986-06-05 1986-06-05

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JP1986085604U JPH0436113Y2 (ja) 1986-06-05 1986-06-05

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Publication Number Publication Date
JPS62196338U JPS62196338U (ja) 1987-12-14
JPH0436113Y2 true JPH0436113Y2 (ja) 1992-08-26

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