JPH04363115A - 排ガス処理装置 - Google Patents
排ガス処理装置Info
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- JPH04363115A JPH04363115A JP3137728A JP13772891A JPH04363115A JP H04363115 A JPH04363115 A JP H04363115A JP 3137728 A JP3137728 A JP 3137728A JP 13772891 A JP13772891 A JP 13772891A JP H04363115 A JPH04363115 A JP H04363115A
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- 239000007789 gas Substances 0.000 claims abstract description 56
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims abstract description 29
- MWUXSHHQAYIFBG-UHFFFAOYSA-N Nitric oxide Chemical compound O=[N] MWUXSHHQAYIFBG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 9
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims abstract description 6
- XTQHKBHJIVJGKJ-UHFFFAOYSA-N sulfur monoxide Chemical compound S=O XTQHKBHJIVJGKJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 3
- 229910052815 sulfur oxide Inorganic materials 0.000 claims description 2
- TXKMVPPZCYKFAC-UHFFFAOYSA-N disulfur monoxide Inorganic materials O=S=S TXKMVPPZCYKFAC-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 36
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 16
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 9
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 6
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 5
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 229910000069 nitrogen hydride Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02A—TECHNOLOGIES FOR ADAPTATION TO CLIMATE CHANGE
- Y02A50/00—TECHNOLOGIES FOR ADAPTATION TO CLIMATE CHANGE in human health protection, e.g. against extreme weather
- Y02A50/20—Air quality improvement or preservation, e.g. vehicle emission control or emission reduction by using catalytic converters
Landscapes
- Treating Waste Gases (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は発電プラント用ボイラー
、ディーゼルエンジン、ガスタービン、各種燃焼炉など
から排出される排気ガス中のＮＯＸ ，Ｎ２ Ｏ及びＳ
ＯＸ を効果的にかつ大容量を除去することができるグ
ロー放電による排ガス処理装置に関する。
、ディーゼルエンジン、ガスタービン、各種燃焼炉など
から排出される排気ガス中のＮＯＸ ，Ｎ２ Ｏ及びＳ
ＯＸ を効果的にかつ大容量を除去することができるグ
ロー放電による排ガス処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図４から図６により従来から用いられて
いるグロー放電プラズマによる排ガス処理装置について
説明する。
いるグロー放電プラズマによる排ガス処理装置について
説明する。
【０００３】図４において、１は汎用の燃焼炉で排気ガ
ス公害対策を講じるための対象物である。３は除じん器
、２は上記汎用の燃焼炉１の排ガスを除じん器（サイク
ロン・コレクター等）３に移送する排気管、６はプラズ
マ反応容器、４は上記除じん器３の排ガスをプラズマ反
応容器６に移送する排気管、７は上記プラズマ反応容器
６の電極にプラズマ発生電圧を印加する電源、８はプラ
ズマ反応容器６に連結された排ガス出力管、または１５
はアンモニアを数ｌ／ｍｉｎ 〜数１０ｌ／ｍｉｎ の
範囲の所定の設定値で供給するアンモニア供給装置、１
４は排出管４に連結されたアンモニア供給管である。
ス公害対策を講じるための対象物である。３は除じん器
、２は上記汎用の燃焼炉１の排ガスを除じん器（サイク
ロン・コレクター等）３に移送する排気管、６はプラズ
マ反応容器、４は上記除じん器３の排ガスをプラズマ反
応容器６に移送する排気管、７は上記プラズマ反応容器
６の電極にプラズマ発生電圧を印加する電源、８はプラ
ズマ反応容器６に連結された排ガス出力管、または１５
はアンモニアを数ｌ／ｍｉｎ 〜数１０ｌ／ｍｉｎ の
範囲の所定の設定値で供給するアンモニア供給装置、１
４は排出管４に連結されたアンモニア供給管である。
【０００４】以下図５、図６によりプラズマ反応容器６
について説明する。両端が開口した筒状のプラズマ反応
容器６内には対向した鋸歯状電極１１０と板状電極１１
１が表面をガス流れに平行に設けられる。また鋸歯状電
極１１０及び板状電極１１１は誘電体１１２，１１３に
覆われ、直接排ガスに接触しない構成となっている。
について説明する。両端が開口した筒状のプラズマ反応
容器６内には対向した鋸歯状電極１１０と板状電極１１
１が表面をガス流れに平行に設けられる。また鋸歯状電
極１１０及び板状電極１１１は誘電体１１２，１１３に
覆われ、直接排ガスに接触しない構成となっている。
【０００５】以上の構成において、アンモニアがアンモ
ニア供給装置１６から数ｌ／ｍｉｎ 〜数１０ｌ／ｍｉ
ｎ の流量で排ガスとともに、プラズマ反応容器６に導
入される。プラズマ発生用の電源７から、鋸歯状電極１
１０と板状電極１１１に電力を供給すると、誘電体１１
２，１１３の間には、アンモニア入り排ガスのプラズマ
が発生する。
ニア供給装置１６から数ｌ／ｍｉｎ 〜数１０ｌ／ｍｉ
ｎ の流量で排ガスとともに、プラズマ反応容器６に導
入される。プラズマ発生用の電源７から、鋸歯状電極１
１０と板状電極１１１に電力を供給すると、誘電体１１
２，１１３の間には、アンモニア入り排ガスのプラズマ
が発生する。
【０００６】このプラズマは、グロー放電プラズマであ
り、アンモニア、ＮＯＸ 、ＳＯＸ などのガス分子を
励起及び解離させ、化学的に活性な状態とする。それに
よって以下に述べる化学反応がひき起こされる。
り、アンモニア、ＮＯＸ 、ＳＯＸ などのガス分子を
励起及び解離させ、化学的に活性な状態とする。それに
よって以下に述べる化学反応がひき起こされる。
【０００７】
ＮＨ３ ＋電子エネルギー約６．４ｅＶ→ＮＨ２
＋Ｈ …（１） ２ＮＯ２ ＋電子エ
ネルギー約９．５ｅＶ→２ＮＯ＋Ｏ２ …（２
） ＮＨ２ ＋ＮＯ→Ｎ２ ＋Ｈ２ Ｏ
…（３
） ２ＮＨ２ ＋ＳＯ２ →Ｓ＋Ｎ２ ＋２Ｈ２ Ｏ
…（４）上記（
１）〜（４）の式は、プラズマ反応容器６に導入された
燃焼炉１の排ガス中のＮＯ，ＮＯ２ 及びＳＯ２ がＮ
２ ，Ｓ及びＨ２ Ｏになることを意味している。この
場合、上記のようにアンモニアを含む排ガスは鋸歯状電
極１１０や板状電極１１１に直接接触することなく、誘
電体（例えばガラスやセラミックスなど）１１２，１１
３に接触するのみである。排ガス（特にアンモニア）が
接触しないので電極の腐食・摩耗がなく、長時間安定し
たグロー放電プラズマを発生させることができる。
＋Ｈ …（１） ２ＮＯ２ ＋電子エ
ネルギー約９．５ｅＶ→２ＮＯ＋Ｏ２ …（２
） ＮＨ２ ＋ＮＯ→Ｎ２ ＋Ｈ２ Ｏ
…（３
） ２ＮＨ２ ＋ＳＯ２ →Ｓ＋Ｎ２ ＋２Ｈ２ Ｏ
…（４）上記（
１）〜（４）の式は、プラズマ反応容器６に導入された
燃焼炉１の排ガス中のＮＯ，ＮＯ２ 及びＳＯ２ がＮ
２ ，Ｓ及びＨ２ Ｏになることを意味している。この
場合、上記のようにアンモニアを含む排ガスは鋸歯状電
極１１０や板状電極１１１に直接接触することなく、誘
電体（例えばガラスやセラミックスなど）１１２，１１
３に接触するのみである。排ガス（特にアンモニア）が
接触しないので電極の腐食・摩耗がなく、長時間安定し
たグロー放電プラズマを発生させることができる。
【０００８】したがって、ボイラー、ガスタービン、デ
ィーゼルエンジンなど各種燃焼を伴う装置の排ガス公害
対策装置として活用されつつある。
ィーゼルエンジンなど各種燃焼を伴う装置の排ガス公害
対策装置として活用されつつある。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】上記、従来の装置では
次のような欠点があり実用化が困難であるという問題点
があった。 （１）電極１組あたりの排ガス処理量が１００ｌ／ｍｉ
ｎ 程度である場合、１０，０００ｌ／ｍｉｎ の処理
容量を得るためには電極１００組が必要となる。プラズ
マ発生用に交流電力を使用しているが、電極の静電容量
にバラツキ（ガスの温度分布、電極間隔の差などにより
生じる）があると、各電極のプラズマ電力が不均一にな
る。したがって電極１００組で流量１０，０００ｌ／ｍ
ｉｎ になると、プラズマ不均一のためＮＯＸ ，Ｎ２
Ｏ及びＳＯＸ の低減率が低下し満足な処理量が得ら
れない。 （２）電極１組の場合、プラズマ電源の電圧上昇又は周
波数上昇により電力を増すことでＮＯＸ ，Ｎ２ Ｏ及
びＳＯＸ の低減率が向上し処理量が増加する。しかし
、電極１００組の場合、上記（１）に述べたように各電
極のプラズマが不均一になっているときに、電圧及び周
波数を上昇させると各電極の電力の不均一性が更に助長
される。したがって電極を複数並列接続して処理量を増
大させようとしても、低減率が低下するので満足な処理
量を得ることができない。
次のような欠点があり実用化が困難であるという問題点
があった。 （１）電極１組あたりの排ガス処理量が１００ｌ／ｍｉ
ｎ 程度である場合、１０，０００ｌ／ｍｉｎ の処理
容量を得るためには電極１００組が必要となる。プラズ
マ発生用に交流電力を使用しているが、電極の静電容量
にバラツキ（ガスの温度分布、電極間隔の差などにより
生じる）があると、各電極のプラズマ電力が不均一にな
る。したがって電極１００組で流量１０，０００ｌ／ｍ
ｉｎ になると、プラズマ不均一のためＮＯＸ ，Ｎ２
Ｏ及びＳＯＸ の低減率が低下し満足な処理量が得ら
れない。 （２）電極１組の場合、プラズマ電源の電圧上昇又は周
波数上昇により電力を増すことでＮＯＸ ，Ｎ２ Ｏ及
びＳＯＸ の低減率が向上し処理量が増加する。しかし
、電極１００組の場合、上記（１）に述べたように各電
極のプラズマが不均一になっているときに、電圧及び周
波数を上昇させると各電極の電力の不均一性が更に助長
される。したがって電極を複数並列接続して処理量を増
大させようとしても、低減率が低下するので満足な処理
量を得ることができない。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
するため次の手段を講ずる。
するため次の手段を講ずる。
【００１１】すなわち、排ガス処理装置として、窒素酸
化物および硫黄酸化物を含む排ガスを通す反応容器と、
同反応容器内にガス流れに沿って設けられ表面が誘電体
で覆われた複数の平板型電極と、同各平板型電極にそれ
ぞれ対向して設けられ表面が誘導体で覆われた複数の鋸
歯状電極と、上記平板型電極および上記鋸歯状電極間に
接続され高周波および低周波の合成波を印加する電源手
段とを備ける。
化物および硫黄酸化物を含む排ガスを通す反応容器と、
同反応容器内にガス流れに沿って設けられ表面が誘電体
で覆われた複数の平板型電極と、同各平板型電極にそれ
ぞれ対向して設けられ表面が誘導体で覆われた複数の鋸
歯状電極と、上記平板型電極および上記鋸歯状電極間に
接続され高周波および低周波の合成波を印加する電源手
段とを備ける。
【００１２】
【作用】上記手段により、平板型電極と鋸歯状電極間に
グロー放電プラズマが発生し、排ガス中のＮＯＸ ，Ｎ
２ Ｏ及びＳＯＸ が活性化され、無害化される。この
とき、印加される合成波電圧のうち高周波成分でプラズ
マ電力が増加し、ＮＯＸ ，Ｎ２ Ｏ及びＳＯＸの除去
率が向上する。また低周波成分が対向する平板型電極と
鋸歯状電極との組間の静電容量バラツキによる電力の不
均一性を抑制する。その結果各組間の電力が均一になり
大容量の排ガス処理ができるようになる。
グロー放電プラズマが発生し、排ガス中のＮＯＸ ，Ｎ
２ Ｏ及びＳＯＸ が活性化され、無害化される。この
とき、印加される合成波電圧のうち高周波成分でプラズ
マ電力が増加し、ＮＯＸ ，Ｎ２ Ｏ及びＳＯＸの除去
率が向上する。また低周波成分が対向する平板型電極と
鋸歯状電極との組間の静電容量バラツキによる電力の不
均一性を抑制する。その結果各組間の電力が均一になり
大容量の排ガス処理ができるようになる。
【００１３】また電極が誘電体で覆われ、排ガスに直接
接触しないため、耐久性が向上する。
接触しないため、耐久性が向上する。
【００１４】
【実施例】本発明の１実施例を図１、図２及び図３によ
り説明する。
り説明する。
【００１５】図１において１は汎用の燃焼炉で排気ガス
公害対策を講じるための対象物である。２は、上記汎用
の燃焼炉１の排ガスを除じん器（サイクロンコレクター
等）３に移送する排気管、前記除じん器３では、排気ガ
スに含まれている粒子類を除去する。４は上記除じん器
３の排ガスを排ガス入口管５に移送する排気管、５は上
記排気管４からの排ガスをプラズマ反応容器６０に移送
する排気管、６０はグロー放電プラズマを発生し排ガス
を無害化する反応容器、７０は上記プラズマ反応容器６
０にプラズマ発生電力を供給する電源、８は排ガス出口
管で上記反応容器６０により処理された排ガスを排出す
る装置である。
公害対策を講じるための対象物である。２は、上記汎用
の燃焼炉１の排ガスを除じん器（サイクロンコレクター
等）３に移送する排気管、前記除じん器３では、排気ガ
スに含まれている粒子類を除去する。４は上記除じん器
３の排ガスを排ガス入口管５に移送する排気管、５は上
記排気管４からの排ガスをプラズマ反応容器６０に移送
する排気管、６０はグロー放電プラズマを発生し排ガス
を無害化する反応容器、７０は上記プラズマ反応容器６
０にプラズマ発生電力を供給する電源、８は排ガス出口
管で上記反応容器６０により処理された排ガスを排出す
る装置である。
【００１６】図２によりプラズマ反応容器６０について
詳細に説明する。ガラスまたはセラミックス製の両端が
開口した筒状の反応容器６０内の一方の壁に接して、表
面が誘電体ａで覆われた平板型電極６１−１が設けられ
る。電極６１−１に対向して表面が鋸歯状で、かつその
面が誘電体ａで覆われた平板型の鋸歯状電極６２−１が
設けられる。これらの１組を第１組とする。さらにこの
１組をガス流れに沿った軸回りに反転し、隣接した電極
、すなわち平板型電極６１−２、鋸歯状電極６２−２を
第２組とする。以下同様にして第ｎ組（１００組）の平
板型電極６１−ｎ、鋸歯状電極６２−ｎが設けられる。 このとき平板型電極６１−ｎは反応容器６０の他方の壁
に接する。
詳細に説明する。ガラスまたはセラミックス製の両端が
開口した筒状の反応容器６０内の一方の壁に接して、表
面が誘電体ａで覆われた平板型電極６１−１が設けられ
る。電極６１−１に対向して表面が鋸歯状で、かつその
面が誘電体ａで覆われた平板型の鋸歯状電極６２−１が
設けられる。これらの１組を第１組とする。さらにこの
１組をガス流れに沿った軸回りに反転し、隣接した電極
、すなわち平板型電極６１−２、鋸歯状電極６２−２を
第２組とする。以下同様にして第ｎ組（１００組）の平
板型電極６１−ｎ、鋸歯状電極６２−ｎが設けられる。 このとき平板型電極６１−ｎは反応容器６０の他方の壁
に接する。
【００１７】また平板型電極６１−１、〜６１−ｎは電
源７０の一方の端子に、鋸歯状電極６２−１〜６２−ｎ
は他方の端子につながれる。排ガスは入口管５から反応
容器６０に入り平板電極と鋸歯状電極の間を通り出口管
８から排出される。また、入口管５にはアンモニア供給
管１４が連結されており、アンモニア供給装置１５から
、アンモニアを数ｌ／ｍｉｎ 〜数１０ｌ／ｍｉｎ の
範囲の所定の設定値で供給し、排ガスと混合させる。
源７０の一方の端子に、鋸歯状電極６２−１〜６２−ｎ
は他方の端子につながれる。排ガスは入口管５から反応
容器６０に入り平板電極と鋸歯状電極の間を通り出口管
８から排出される。また、入口管５にはアンモニア供給
管１４が連結されており、アンモニア供給装置１５から
、アンモニアを数ｌ／ｍｉｎ 〜数１０ｌ／ｍｉｎ の
範囲の所定の設定値で供給し、排ガスと混合させる。
【００１８】このような構成のプラズマ反応容器６０に
おいて、排ガス入口管５に排気管４から燃焼炉１の排ガ
スが、また同時にアンモニア供給管１４からアンモニア
供給装置のアンモニアが供給される。これらのガスは混
合されてアンモニアを含む排ガスとなり平板電極６１−
１〜６１−ｎと鋸歯状電極６２−１〜６２−ｎの間に導
入され、電源７０から各電極間に電圧が印加される。そ
うすると各電極の間の排ガスはプラズマ化され、化学反
応により排ガス中のＮＯＸ ，Ｎ２ Ｏ及びＳＯＸ が
無害化されて排ガス出口管８より排出される。このプラ
ズマは、グロー放電プラズマであり、ＮＯＸ およびＮ
２ などのガス分子を励起及び解離させ、化学的に活性
な状態とする。それによって、以下に述べる化学反応が
ひき起こされる。
おいて、排ガス入口管５に排気管４から燃焼炉１の排ガ
スが、また同時にアンモニア供給管１４からアンモニア
供給装置のアンモニアが供給される。これらのガスは混
合されてアンモニアを含む排ガスとなり平板電極６１−
１〜６１−ｎと鋸歯状電極６２−１〜６２−ｎの間に導
入され、電源７０から各電極間に電圧が印加される。そ
うすると各電極の間の排ガスはプラズマ化され、化学反
応により排ガス中のＮＯＸ ，Ｎ２ Ｏ及びＳＯＸ が
無害化されて排ガス出口管８より排出される。このプラ
ズマは、グロー放電プラズマであり、ＮＯＸ およびＮ
２ などのガス分子を励起及び解離させ、化学的に活性
な状態とする。それによって、以下に述べる化学反応が
ひき起こされる。
【００１９】
ＮＨ３ ＋電子エネルギー約６．４ｅＶ→ＮＨ２
＋Ｈ …（１） ２ＮＯ２ ＋電子エ
ネルギー約９．５ｅＶ→２ＮＯ＋Ｏ２ …（２
） ＮＨ２ ＋ＮＯ→Ｎ２ ＋Ｈ２ Ｏ
…（３
） ２ＮＨ２ ＋ＳＯ２ →Ｓ＋Ｎ２ ＋２Ｈ２ Ｏ
…（４） ２
Ｎ２ Ｏ→２Ｎ２ ＋Ｏ２
…（５）上
記（３）〜（５）式はプラズマ反応容器６０に導入され
た燃焼炉１の排ガス中のＮＯ，ＮＯ２ 、Ｎ２ ＯがＮ
２ 及びＯ２ に、ＳＯ２ がＳ及びＯ２ になり、無
害化されることを意味している。
＋Ｈ …（１） ２ＮＯ２ ＋電子エ
ネルギー約９．５ｅＶ→２ＮＯ＋Ｏ２ …（２
） ＮＨ２ ＋ＮＯ→Ｎ２ ＋Ｈ２ Ｏ
…（３
） ２ＮＨ２ ＋ＳＯ２ →Ｓ＋Ｎ２ ＋２Ｈ２ Ｏ
…（４） ２
Ｎ２ Ｏ→２Ｎ２ ＋Ｏ２
…（５）上
記（３）〜（５）式はプラズマ反応容器６０に導入され
た燃焼炉１の排ガス中のＮＯ，ＮＯ２ 、Ｎ２ ＯがＮ
２ 及びＯ２ に、ＳＯ２ がＳ及びＯ２ になり、無
害化されることを意味している。
【００２０】このとき電源７０からは図３（ｃ）に示す
合成波形の電圧が各電極に印加される。合成波形の電圧
は図３（ａ）に示す低周波数の電圧波形（例えばｆ＝５
０Ｈｚ）と、図３（ｂ）に示す高周波数の電圧波形（例
えばｆ＝５００Ｈｚ）を合成したものである。
合成波形の電圧が各電極に印加される。合成波形の電圧
は図３（ａ）に示す低周波数の電圧波形（例えばｆ＝５
０Ｈｚ）と、図３（ｂ）に示す高周波数の電圧波形（例
えばｆ＝５００Ｈｚ）を合成したものである。
【００２１】電極が複数並列接続されているので印加電
圧は周波数が低い程各電極の静電容量のバラツキの影響
が少なく均一したプラズマ電力が各電極に供給される。 そういう点では低い周波数の電圧でプラズマの電子エネ
ルギーが９．５ｅＶとなるように印加電圧を設定すれば
良いことになる。しかし、低い周波数では電力が低く、
特にＮ２ Ｏ除去効果が低下する。反対にＮ２ Ｏ除去
効果を向上させる為、周波数を高くすると、各電極の静
電容量のバラツキによるプラズマ電力の不均一性が助長
されることになり複数組の電極全体での処理量が低下す
る。 そこで図３（ｃ）に示すように高周波電圧と低周波電圧
の合成、すなわち高い周波数を低い周波数で変調した交
流電圧を用いると、低い周波数成分が各電極のプラズマ
電力の不均一性を抑制し、各電極に高い周波数を均一電
力で供給することができる。
圧は周波数が低い程各電極の静電容量のバラツキの影響
が少なく均一したプラズマ電力が各電極に供給される。 そういう点では低い周波数の電圧でプラズマの電子エネ
ルギーが９．５ｅＶとなるように印加電圧を設定すれば
良いことになる。しかし、低い周波数では電力が低く、
特にＮ２ Ｏ除去効果が低下する。反対にＮ２ Ｏ除去
効果を向上させる為、周波数を高くすると、各電極の静
電容量のバラツキによるプラズマ電力の不均一性が助長
されることになり複数組の電極全体での処理量が低下す
る。 そこで図３（ｃ）に示すように高周波電圧と低周波電圧
の合成、すなわち高い周波数を低い周波数で変調した交
流電圧を用いると、低い周波数成分が各電極のプラズマ
電力の不均一性を抑制し、各電極に高い周波数を均一電
力で供給することができる。
【００２２】したがって電極を１００組並列接続した本
実施例においても各電極に十分な電力を均一に印加する
ことができ、大容量（１０，０００ｌ／ｍｉｎ程度）か
つ高処理率の排ガス処理が可能である。
実施例においても各電極に十分な電力を均一に印加する
ことができ、大容量（１０，０００ｌ／ｍｉｎ程度）か
つ高処理率の排ガス処理が可能である。
【００２３】また、本実施例の装置をさらに多数並列接
続することにより処理量を増大することが容易であるの
で、適用範囲が広く排ガス処理装置としての産業上の価
値が著しく高い。
続することにより処理量を増大することが容易であるの
で、適用範囲が広く排ガス処理装置としての産業上の価
値が著しく高い。
【００２４】
【発明の効果】以上に説明したように、本発明の装置に
よれば、複数の電極への電力配分が均一になり従来装置
では不可能であったＮＯＸ ，Ｎ２Ｏ，ＳＯＸ を含む
排ガスを大容量で、効率よく容易に処理することができ
る。
よれば、複数の電極への電力配分が均一になり従来装置
では不可能であったＮＯＸ ，Ｎ２Ｏ，ＳＯＸ を含む
排ガスを大容量で、効率よく容易に処理することができ
る。
【図１】図１は本発明の一実施例の全体工程図である。
【図２】図２は同実施例の反応容器部の構成断面図であ
る。
る。
【図３】図３は同実施例の作用説明図である。
【図４】図４は従来例の全体工程図である。
【図５】図５は同従来例の反応容器部の構成斜視図であ
る。
る。
【図６】図６は同従来例の反応容器の断面図である。
Claims (1)
- 【請求項１】 窒素酸化物および硫黄酸化物を含む排
ガスを通す反応容器と、同反応容器内にガス流れに沿っ
て設けられ表面が誘電体で覆われた複数の平板型電極と
、同各平板型電極にそれぞれ対向して設けられ表面が誘
導体で覆われた複数の鋸歯状電極と、上記平板型電極お
よび上記鋸歯状電極間に接続され高周波および低周波の
合成波を印加する電源手段とを備えてなることを特徴と
する排ガス処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3137728A JPH04363115A (ja) | 1991-06-10 | 1991-06-10 | 排ガス処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3137728A JPH04363115A (ja) | 1991-06-10 | 1991-06-10 | 排ガス処理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04363115A true JPH04363115A (ja) | 1992-12-16 |
Family
ID=15205447
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3137728A Withdrawn JPH04363115A (ja) | 1991-06-10 | 1991-06-10 | 排ガス処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04363115A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001087622A (ja) * | 1999-09-24 | 2001-04-03 | Anzai Setsu | 排気ガス浄化装置 |
| US7211227B2 (en) | 2002-03-19 | 2007-05-01 | Hyundai Motor Company | Plasma reactor, production method thereof, and emission control apparatus of a vehicle |
| DE10026725B4 (de) * | 1999-06-28 | 2009-05-20 | Denso Corp., Kariya-shi | Abgasemissionsreinigungsvorrichtung für Verbrennungsmotoren |
-
1991
- 1991-06-10 JP JP3137728A patent/JPH04363115A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10026725B4 (de) * | 1999-06-28 | 2009-05-20 | Denso Corp., Kariya-shi | Abgasemissionsreinigungsvorrichtung für Verbrennungsmotoren |
| JP2001087622A (ja) * | 1999-09-24 | 2001-04-03 | Anzai Setsu | 排気ガス浄化装置 |
| US7211227B2 (en) | 2002-03-19 | 2007-05-01 | Hyundai Motor Company | Plasma reactor, production method thereof, and emission control apparatus of a vehicle |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19980903 |