JPH04363905A - Ｓｌカット水晶振動子 - Google Patents
Ｓｌカット水晶振動子Info
- Publication number
- JPH04363905A JPH04363905A JP27630991A JP27630991A JPH04363905A JP H04363905 A JPH04363905 A JP H04363905A JP 27630991 A JP27630991 A JP 27630991A JP 27630991 A JP27630991 A JP 27630991A JP H04363905 A JPH04363905 A JP H04363905A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vibrator
- section
- crystal resonator
- cut
- cut crystal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、振動モレを阻止して諸
特性を向上させ小型化を果たしたＳＬカット水晶振動子
。
特性を向上させ小型化を果たしたＳＬカット水晶振動子
。
【０００２】
【従来の技術】圧電振動子としては、水晶振動子が最も
広く利用されている。この水晶振動子を使用して０．８
〜数ＭＨｚの低周波帯のものを得る場合、従来より輪郭
振動系と厚みすべり振動系の境界にあたり製造が難しか
った。つまり、輪郭振動系では形状が小さすぎて加工上
難しいのと、支持の影響が水晶振動子の性能に大きなウ
エイトを占めていることで満足のいくものが出来なかっ
た。一方厚みすべり振動系の場合、支持の影響は少ない
ものの周波数が厚みと反比例する関係から、この低周波
数帯を得る場合には必然的に厚みが厚くなり、それにと
もない形状も大きくなりすぎてしまう欠点があり、小型
化に難点があった。また、小型化、高精度化を目指すた
め水晶振動子は、フォトリソグラフィー法による加工で
多数個同時に成形することを前提としており、厚みすべ
り振動系でこの低周波数帯を成形することは水晶振動子
の厚みが厚すぎるために、エッチングに難点があるのに
対し輪郭振動系の場合、周波数が厚みにほとんど寄与し
ていないため水晶振動板の厚みを薄くすることが可能で
あり、これはフォトリソグラフィー法の加工をすること
にとって都合がよく本発明では輪郭振動系を取り上げて
いる。この輪郭振動系としては、従来より正方形状のＣ
Ｔカット、ＤＴカットが知られているが、さらに小型化
させるためにＸ軸方向をＺ軸方向よりも長くとり短冊形
状のいわゆるＨＴカット、ＳＬカットがある。本発明で
は、このうちのＳＬカット水晶振動子を取り上げたもの
である。このＳＬカット水晶振動子は、従来水晶振動子
主面の中央部に支持と電気的導出をワイヤー線により行
っていたが、小型化するに従い製造、構造上難点があっ
た。これに代わりフォトリソグラフィー法により加工し
、エネルギー閉じ込めより形成しようとするものである
。図４は、ＳＬカット水晶振動子をフォトリソグラフィ
ー法により加工した例を示す平面図であるが、支持部へ
の振動モレを防ぐため、減衰部を長くとらなければなら
ない。
広く利用されている。この水晶振動子を使用して０．８
〜数ＭＨｚの低周波帯のものを得る場合、従来より輪郭
振動系と厚みすべり振動系の境界にあたり製造が難しか
った。つまり、輪郭振動系では形状が小さすぎて加工上
難しいのと、支持の影響が水晶振動子の性能に大きなウ
エイトを占めていることで満足のいくものが出来なかっ
た。一方厚みすべり振動系の場合、支持の影響は少ない
ものの周波数が厚みと反比例する関係から、この低周波
数帯を得る場合には必然的に厚みが厚くなり、それにと
もない形状も大きくなりすぎてしまう欠点があり、小型
化に難点があった。また、小型化、高精度化を目指すた
め水晶振動子は、フォトリソグラフィー法による加工で
多数個同時に成形することを前提としており、厚みすべ
り振動系でこの低周波数帯を成形することは水晶振動子
の厚みが厚すぎるために、エッチングに難点があるのに
対し輪郭振動系の場合、周波数が厚みにほとんど寄与し
ていないため水晶振動板の厚みを薄くすることが可能で
あり、これはフォトリソグラフィー法の加工をすること
にとって都合がよく本発明では輪郭振動系を取り上げて
いる。この輪郭振動系としては、従来より正方形状のＣ
Ｔカット、ＤＴカットが知られているが、さらに小型化
させるためにＸ軸方向をＺ軸方向よりも長くとり短冊形
状のいわゆるＨＴカット、ＳＬカットがある。本発明で
は、このうちのＳＬカット水晶振動子を取り上げたもの
である。このＳＬカット水晶振動子は、従来水晶振動子
主面の中央部に支持と電気的導出をワイヤー線により行
っていたが、小型化するに従い製造、構造上難点があっ
た。これに代わりフォトリソグラフィー法により加工し
、エネルギー閉じ込めより形成しようとするものである
。図４は、ＳＬカット水晶振動子をフォトリソグラフィ
ー法により加工した例を示す平面図であるが、支持部へ
の振動モレを防ぐため、減衰部を長くとらなければなら
ない。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、前述した欠
点を改善するためになされるものであって、ＳＬカット
水晶振動子の振動モレを阻止することによって特性を向
上させ、またフォトリソグラフィー法による加工により
、小型化に際し、寸法精度を良好に形成しコスト低減を
果たしたＳＬカット水晶振動子を得ようとするものであ
る。
点を改善するためになされるものであって、ＳＬカット
水晶振動子の振動モレを阻止することによって特性を向
上させ、またフォトリソグラフィー法による加工により
、小型化に際し、寸法精度を良好に形成しコスト低減を
果たしたＳＬカット水晶振動子を得ようとするものであ
る。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、切断方位（ｙ
ｘｌ）が−５１°３０’から−５３°３０’にあり振動
子部から支持部が引出され一体成形されたＳＬカット水
晶振動子において、該振動子部長手の平行部と減衰部と
の傾斜角θが３０°近辺において該振動子部の長さＬと
幅Ｗとの比Ｌ／Ｗを３．８０〜４．８２の範囲内にした
ＳＬカット水晶振動子である。
ｘｌ）が−５１°３０’から−５３°３０’にあり振動
子部から支持部が引出され一体成形されたＳＬカット水
晶振動子において、該振動子部長手の平行部と減衰部と
の傾斜角θが３０°近辺において該振動子部の長さＬと
幅Ｗとの比Ｌ／Ｗを３．８０〜４．８２の範囲内にした
ＳＬカット水晶振動子である。
【０００５】
【実施例】図１は、本実施例を示す平面図である。ＳＬ
カット水晶振動子１０は、フォトリソグラフィー法によ
り成形されたため、厚みは数十ミクロンにしてある。カ
ットアングルは通常ＳＬカットで使用する−５１°３０
’〜−５３°３０’にとってあり、振動子部１１と枠部
１５とから構成されている。振動子部１１には、ほぼ中
央に矩形状をしたＳＬカットの振動部１２と振動子部１
１の長さ方向に行くに従い幅寸法が小さくなる減衰部１
３とからなり、減衰部１３は振動部１２の短辺方向両側
に設けてある。この減衰部１３の側面のほぼ中央部から
支持部１４が引き出され枠部１５に至っている。枠部１
５は振動子部１１の全体を囲って、強度を増し、また外
部からの影響を直接受けないようにしてある。振動子部
１１の長さＬ、同幅Ｗ、振動部１２の長さｌ、そして振
動部１２の長手方向と減衰部１３との傾斜角をθで表し
てある。なお斜線は電極を表し、振動部１２に施してあ
る電極は振動部１２を励振させるための励振電極で、こ
の励振電極から枠部まで電気的導出のための引き出し電
極が施されている。
カット水晶振動子１０は、フォトリソグラフィー法によ
り成形されたため、厚みは数十ミクロンにしてある。カ
ットアングルは通常ＳＬカットで使用する−５１°３０
’〜−５３°３０’にとってあり、振動子部１１と枠部
１５とから構成されている。振動子部１１には、ほぼ中
央に矩形状をしたＳＬカットの振動部１２と振動子部１
１の長さ方向に行くに従い幅寸法が小さくなる減衰部１
３とからなり、減衰部１３は振動部１２の短辺方向両側
に設けてある。この減衰部１３の側面のほぼ中央部から
支持部１４が引き出され枠部１５に至っている。枠部１
５は振動子部１１の全体を囲って、強度を増し、また外
部からの影響を直接受けないようにしてある。振動子部
１１の長さＬ、同幅Ｗ、振動部１２の長さｌ、そして振
動部１２の長手方向と減衰部１３との傾斜角をθで表し
てある。なお斜線は電極を表し、振動部１２に施してあ
る電極は振動部１２を励振させるための励振電極で、こ
の励振電極から枠部まで電気的導出のための引き出し電
極が施されている。
【０００６】図２は、図１のＳＬカット水晶振動子１０
を使用し、振動子部長手の平行部と減衰部との傾斜角θ
とＣＩ（Ｃｒｙｓｔａｌ Ｉｍｐｅｄａｎｃｅ）の関
係を示す相関図であり、３０°近辺において最適値とな
ることがわかる。そして傾斜角θが３０°近辺における
振動子部の長さＬと幅Ｗとの比Ｌ／Ｗに対するＳＬカッ
ト水晶振動子１０のＣＩ値との相関図が図３である。図
３は２次関数のグラフとなり、辺比Ｌ／Ｗが３．８０〜
４．８２の間でＣＩ値が１ＫΩ以下となる。なおＣＩ値
はより小さい方が好ましいが、１ｋΩ以下であると回路
の消費電流も少なく良好である。
を使用し、振動子部長手の平行部と減衰部との傾斜角θ
とＣＩ（Ｃｒｙｓｔａｌ Ｉｍｐｅｄａｎｃｅ）の関
係を示す相関図であり、３０°近辺において最適値とな
ることがわかる。そして傾斜角θが３０°近辺における
振動子部の長さＬと幅Ｗとの比Ｌ／Ｗに対するＳＬカッ
ト水晶振動子１０のＣＩ値との相関図が図３である。図
３は２次関数のグラフとなり、辺比Ｌ／Ｗが３．８０〜
４．８２の間でＣＩ値が１ＫΩ以下となる。なおＣＩ値
はより小さい方が好ましいが、１ｋΩ以下であると回路
の消費電流も少なく良好である。
【０００７】
【発明の効果】本発明は、ＳＬカット水晶振動子の辺比
の最適値を見いだしたものであり、傾斜角を従来よりも
大きくし、減衰部がより短くなり小型化に有利となった
。これにより水晶振動子の特性の１つであるＣＩ値を下
げることが出来、水晶振動子の特性を十分に引き出すこ
とが出来た。また本発明では振動子部にある減衰部側面
中央部から支持部を引きだしたものであり、振動モレが
少なく、振動部の特性を引き出すことが出来た。また４
点支持で耐衝撃性に強い構造である。さらにフォトリソ
グラフィー法で加工するため、従来のＳＬカットに比べ
同一水晶板から多数個を同時に成形でき、しかも均一な
製品を量産出来るようになった。
の最適値を見いだしたものであり、傾斜角を従来よりも
大きくし、減衰部がより短くなり小型化に有利となった
。これにより水晶振動子の特性の１つであるＣＩ値を下
げることが出来、水晶振動子の特性を十分に引き出すこ
とが出来た。また本発明では振動子部にある減衰部側面
中央部から支持部を引きだしたものであり、振動モレが
少なく、振動部の特性を引き出すことが出来た。また４
点支持で耐衝撃性に強い構造である。さらにフォトリソ
グラフィー法で加工するため、従来のＳＬカットに比べ
同一水晶板から多数個を同時に成形でき、しかも均一な
製品を量産出来るようになった。
【図１】本発明の実施例を示す平面図である。
【図２】傾斜角とＣＩ値の相関図である。
【図３】振動子部長さＬと幅Ｗとの比Ｌ／ＷとＣＩ値の
相関図である。
相関図である。
【図４】従来のＳＬカット水晶振動子の平面図である。
１０ ＳＬカット水晶振動子
１１ 振動子部
１３ 減衰部
１４ 支持部
Ｌ 振動子部の長さ
Ｗ 振動部の幅
θ 傾斜角
Claims (1)
- 【請求項１】 切断方位（ｙｘｌ）が−５１°３
０’から−５３°３０’にあり振動子部から支持部が引
出され一体成形されたＳＬカット水晶振動子において、
該振動子部長手の平行部と減衰部との傾斜角θが３０°
付近において該振動子部の長さＬと幅Ｗとの比Ｌ／Ｗが
３．８０〜４．８２の範囲内にあることを特徴とするＳ
Ｌカット水晶振動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27630991A JPH04363905A (ja) | 1991-09-30 | 1991-09-30 | Ｓｌカット水晶振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27630991A JPH04363905A (ja) | 1991-09-30 | 1991-09-30 | Ｓｌカット水晶振動子 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5122285A Division JPS61208915A (ja) | 1985-03-13 | 1985-03-13 | Ｓｌカット水晶振動子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04363905A true JPH04363905A (ja) | 1992-12-16 |
Family
ID=17567663
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27630991A Pending JPH04363905A (ja) | 1991-09-30 | 1991-09-30 | Ｓｌカット水晶振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04363905A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61208915A (ja) * | 1985-03-13 | 1986-09-17 | Kinseki Kk | Ｓｌカット水晶振動子 |
-
1991
- 1991-09-30 JP JP27630991A patent/JPH04363905A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61208915A (ja) * | 1985-03-13 | 1986-09-17 | Kinseki Kk | Ｓｌカット水晶振動子 |
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