JPH046286B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH046286B2 JPH046286B2 JP60051222A JP5122285A JPH046286B2 JP H046286 B2 JPH046286 B2 JP H046286B2 JP 60051222 A JP60051222 A JP 60051222A JP 5122285 A JP5122285 A JP 5122285A JP H046286 B2 JPH046286 B2 JP H046286B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- crystal resonator
- vibrator
- cut crystal
- section
- damping
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
［本発明の技術分野］
本発明は、SLカツト水晶振動子に関し、振動
モレを阻止して諸特性を向上させ小型化を果たし
たSLカツト水晶振動子。
モレを阻止して諸特性を向上させ小型化を果たし
たSLカツト水晶振動子。
［従来技術の説明］
圧電振動子としては、水晶振動子が最も広く利
用されている。この水晶振動子を使用して0.8〜
数ＭHzの低周波帯のものを得る場合、従来より輪
郭振動系と厚みすべり振動系の境界にあたり製造
が難しかつた。つまり、輪郭振動系では形状が小
さすぎて加工上難しいのと、支持の影響が水晶振
動子の性能に大きなウエイトを占めていることで
満足のいくものが出来なかつた。一方厚みすべり
振動系の場合、支持の影響は少ないものの周波数
が厚みと反比例する関係から、この低周波数帯を
得る場合には必然的に厚みが厚くなり、それにと
もない形状も大きくなりすぎてしまう欠点があ
り、小型化に難点があつた。また、小型化、高精
度化を目指すため水晶振動子は、フオトリソグラ
フイー法による加工で多数個同時に成形すること
を前提としており、厚みすべり振動系でこの低周
波数帯を成形することは水晶振動子の厚みが厚す
ぎるために、エツチングに難点があるのに対し輪
郭振動系の場合、周波数が厚みにほとんど寄与し
ていないため水晶振動子の厚みを薄くすることが
可能であり、これはフオトリソグラフイー法の加
工をすることによつて都合がよく、本発明では輪
郭振動系を取り上げている。
用されている。この水晶振動子を使用して0.8〜
数ＭHzの低周波帯のものを得る場合、従来より輪
郭振動系と厚みすべり振動系の境界にあたり製造
が難しかつた。つまり、輪郭振動系では形状が小
さすぎて加工上難しいのと、支持の影響が水晶振
動子の性能に大きなウエイトを占めていることで
満足のいくものが出来なかつた。一方厚みすべり
振動系の場合、支持の影響は少ないものの周波数
が厚みと反比例する関係から、この低周波数帯を
得る場合には必然的に厚みが厚くなり、それにと
もない形状も大きくなりすぎてしまう欠点があ
り、小型化に難点があつた。また、小型化、高精
度化を目指すため水晶振動子は、フオトリソグラ
フイー法による加工で多数個同時に成形すること
を前提としており、厚みすべり振動系でこの低周
波数帯を成形することは水晶振動子の厚みが厚す
ぎるために、エツチングに難点があるのに対し輪
郭振動系の場合、周波数が厚みにほとんど寄与し
ていないため水晶振動子の厚みを薄くすることが
可能であり、これはフオトリソグラフイー法の加
工をすることによつて都合がよく、本発明では輪
郭振動系を取り上げている。
この輪郭振動系としては、従来より正方形状の
CTカツト、DTカツトが知られているが、さら
に小型化させるためにＸ軸方向をＺ軸方向よりも
長くとり短冊形状のいわゆるHTカツト、SLカツ
トがある。本発明では、このうちのSLカツト水
晶振動子を取り上げたものである。このSLカツ
ト水晶振動子は、従来水晶振動子主面の中央部に
支持と電気的導出をワイヤー線により行つていた
が、小型化するに従い製造、構造上難点があつ
た。これに代わりフオトリソグラフイー法により
加工し、エネルギー閉じ込めより形成しようとす
るものである。第３図は、SLカツト水晶振動子
をフオトリソグラフイー法により加工した例を示
す平面図であるが、支持部への振動モレを防ぐた
め、減衰部を長くとらなければならない。
CTカツト、DTカツトが知られているが、さら
に小型化させるためにＸ軸方向をＺ軸方向よりも
長くとり短冊形状のいわゆるHTカツト、SLカツ
トがある。本発明では、このうちのSLカツト水
晶振動子を取り上げたものである。このSLカツ
ト水晶振動子は、従来水晶振動子主面の中央部に
支持と電気的導出をワイヤー線により行つていた
が、小型化するに従い製造、構造上難点があつ
た。これに代わりフオトリソグラフイー法により
加工し、エネルギー閉じ込めより形成しようとす
るものである。第３図は、SLカツト水晶振動子
をフオトリソグラフイー法により加工した例を示
す平面図であるが、支持部への振動モレを防ぐた
め、減衰部を長くとらなければならない。
［本発明の目的・構成］
本発明の目的は、前述した欠点を改善するため
になされたものであつて、SLカツト水晶振動子
の振動モレを阻止することによつて特性を向上さ
せ、またフオトリソグラフイー法による加工によ
り、小型化に際し、寸法精度を良好に形成しコス
ト低減を果たしたSLカツト水晶振動子を提供す
ることにある。
になされたものであつて、SLカツト水晶振動子
の振動モレを阻止することによつて特性を向上さ
せ、またフオトリソグラフイー法による加工によ
り、小型化に際し、寸法精度を良好に形成しコス
ト低減を果たしたSLカツト水晶振動子を提供す
ることにある。
このような目的を達成するため、本発明では切
断方位（yxl）が−51゜30′から−53゜30′にあり振動
子部から支持部が引出され一体成形されたSLカ
ツト水晶振動子において、該振動子部の長さＬと
幅Ｗとの比Ｌ／Ｗが4.3において該振動子部長手
の平行部と減衰部との傾斜角θが19゜〜42゜の範囲
内にあるSLカツト水晶振動子である。
断方位（yxl）が−51゜30′から−53゜30′にあり振動
子部から支持部が引出され一体成形されたSLカ
ツト水晶振動子において、該振動子部の長さＬと
幅Ｗとの比Ｌ／Ｗが4.3において該振動子部長手
の平行部と減衰部との傾斜角θが19゜〜42゜の範囲
内にあるSLカツト水晶振動子である。
［実施例の説明］
第１図は、本実施例を示す平面図である。
SLカツト水晶振動子１０は、フオトリソグラ
フイー法による加工により成形されたため、厚み
は数十ミクロンにしてある。カツトアングルは通
常SLカツトで使用する−51゜30′〜−53゜30′にとつ
てあり、振動子部１１と枠部１５とから構成され
ている。振動子部１１には、ほぼ中央に矩形状を
したSLカツトの振動部１２と振動子部１１の長
さ方向に行くに従い幅寸法が小さくなる減衰部１
３とからなり、減衰部１３は振動部１２の短辺方
向両側に設けてある。この減衰部１３の側面のほ
ぼ中央部から支持部１４が引き出され枠部１５に
至つている。枠部１５は振動子部１１の全体を囲
つて、強度を増し、また外部からの影響を直接受
けないようにしてある。振動子部１１の長さＬ、
同幅Ｗ、振動部１２の長さ１、そして振動部１２
の長手方向と減衰部１３との傾斜角をθで表わし
てある。なお斜線は電極を表し、振動部１２に施
してある電極は振動部１２を励振させるための励
振電極で、この励振電極から枠部まで電気的導出
のための引出し電極が施されている。
フイー法による加工により成形されたため、厚み
は数十ミクロンにしてある。カツトアングルは通
常SLカツトで使用する−51゜30′〜−53゜30′にとつ
てあり、振動子部１１と枠部１５とから構成され
ている。振動子部１１には、ほぼ中央に矩形状を
したSLカツトの振動部１２と振動子部１１の長
さ方向に行くに従い幅寸法が小さくなる減衰部１
３とからなり、減衰部１３は振動部１２の短辺方
向両側に設けてある。この減衰部１３の側面のほ
ぼ中央部から支持部１４が引き出され枠部１５に
至つている。枠部１５は振動子部１１の全体を囲
つて、強度を増し、また外部からの影響を直接受
けないようにしてある。振動子部１１の長さＬ、
同幅Ｗ、振動部１２の長さ１、そして振動部１２
の長手方向と減衰部１３との傾斜角をθで表わし
てある。なお斜線は電極を表し、振動部１２に施
してある電極は振動部１２を励振させるための励
振電極で、この励振電極から枠部まで電気的導出
のための引出し電極が施されている。
第２図は、第１図のSLカツト水晶振動子１０
を使用し、辺比Ｌ／Ｗが4.30において、この傾斜
角θに対するSLカツト水晶振動子１０のCI
（Crystal Impedance）値との相関図である。図
は２次関数のグラフとなり、傾斜角θが19゜〜42゜
の間でCI値が1KΩ以下となる。なおCI値はより
小さい方が好ましいが、1KΩ以下であると回路
の消費電流も少なく良好である。
を使用し、辺比Ｌ／Ｗが4.30において、この傾斜
角θに対するSLカツト水晶振動子１０のCI
（Crystal Impedance）値との相関図である。図
は２次関数のグラフとなり、傾斜角θが19゜〜42゜
の間でCI値が1KΩ以下となる。なおCI値はより
小さい方が好ましいが、1KΩ以下であると回路
の消費電流も少なく良好である。
本発明は、実施例の形状に限定されず実質的な
振動部の寸法比が3.80〜4.82にあればよい。そし
ても実施例の様に振動部は減衰部との境界までで
あるが、境界面が不確定の際には、励振電極の長
さｌを振動部とする。
振動部の寸法比が3.80〜4.82にあればよい。そし
ても実施例の様に振動部は減衰部との境界までで
あるが、境界面が不確定の際には、励振電極の長
さｌを振動部とする。
［本発明の効果］
本発明は、SLカツト水晶振動子の傾斜角の最
適値を見いだしたものであり、傾斜角を大きく
し、減衰部がより短かくなり小型化に有利となつ
た。これにより水晶振動子の特性の１つである
CI値を下げることが出来、水晶振動子の特性を
十分に引き出すことが出来た。
適値を見いだしたものであり、傾斜角を大きく
し、減衰部がより短かくなり小型化に有利となつ
た。これにより水晶振動子の特性の１つである
CI値を下げることが出来、水晶振動子の特性を
十分に引き出すことが出来た。
また本発明では振動子部にある減衰部側面中央
部から支持部を引きだしたものであり、振動モレ
が少なく、振動部の特性を引き出すことが出来
た。また４点支持で耐衝撃性に強い構造である。
部から支持部を引きだしたものであり、振動モレ
が少なく、振動部の特性を引き出すことが出来
た。また４点支持で耐衝撃性に強い構造である。
さらにフオトリソグラフイー法で加工するた
め、従来のSLカツトに比べ同一水晶板から多数
個を同時に成形でき、しかも均一な製品を量産出
来るようになつた。
め、従来のSLカツトに比べ同一水晶板から多数
個を同時に成形でき、しかも均一な製品を量産出
来るようになつた。
第１図は本発明の実施例を示す平面図、第２図
は傾斜角とCI値の相関図、第３図は従来のSLカ
ツト水晶振動子の平面図である。 １０……SLカツト水晶振動子、１１……振動
子部、１３……減衰部、１４……支持部、Ｌ……
振動子部の長さ、Ｗ……振動部の幅、θ……傾斜
角。
は傾斜角とCI値の相関図、第３図は従来のSLカ
ツト水晶振動子の平面図である。 １０……SLカツト水晶振動子、１１……振動
子部、１３……減衰部、１４……支持部、Ｌ……
振動子部の長さ、Ｗ……振動部の幅、θ……傾斜
角。
Claims (1)
- １ 切断方位（yxl）が−51゜30′から−53゜30′にあ
り振動子部から支持部が引出され一体成形された
SLカツト水晶振動子において、該振動子部の長
さＬと幅Ｗとの比Ｌ／Ｗが4.3において該振動子
部長手の平行部と減衰部との傾斜角θが19゜〜42゜
の範囲内にあることを特徴とするSLカツト水晶
振動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5122285A JPS61208915A (ja) | 1985-03-13 | 1985-03-13 | Ｓｌカット水晶振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5122285A JPS61208915A (ja) | 1985-03-13 | 1985-03-13 | Ｓｌカット水晶振動子 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27630991A Division JPH04363905A (ja) | 1991-09-30 | 1991-09-30 | Ｓｌカット水晶振動子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61208915A JPS61208915A (ja) | 1986-09-17 |
| JPH046286B2 true JPH046286B2 (ja) | 1992-02-05 |
Family
ID=12880906
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5122285A Granted JPS61208915A (ja) | 1985-03-13 | 1985-03-13 | Ｓｌカット水晶振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61208915A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04363905A (ja) * | 1991-09-30 | 1992-12-16 | Kinseki Ltd | Ｓｌカット水晶振動子 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54138394A (en) * | 1978-04-19 | 1979-10-26 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Width slide oscillator |
| JPS5545283A (en) * | 1978-09-27 | 1980-03-29 | Toyo Commun Equip Co Ltd | Outline slip crystal vibrator |
| JPS579119A (en) * | 1980-06-18 | 1982-01-18 | Fujitsu Ltd | Quartz oscillator |
-
1985
- 1985-03-13 JP JP5122285A patent/JPS61208915A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61208915A (ja) | 1986-09-17 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4313071A (en) | Piezo-electric quartz resonator | |
| JPH0640612B2 (ja) | 圧電振動子 | |
| JPH046286B2 (ja) | ||
| JPH04127709A (ja) | Ａｔカット水晶振動子 | |
| JP4196641B2 (ja) | 超薄板圧電デバイスとその製造方法 | |
| JPH046285B2 (ja) | ||
| JPH0228922B2 (ja) | Atsudenshindoshi | |
| JPH04363905A (ja) | Ｓｌカット水晶振動子 | |
| JP2002190717A (ja) | 高周波圧電デバイス | |
| JP3475680B2 (ja) | 枠型水晶振動子及びそれを用いたデバイス素子 | |
| JPS60199211A (ja) | 圧電共振子 | |
| JPH0580172B2 (ja) | ||
| JPS58171119A (ja) | 水晶振動子 | |
| JPH0389617A (ja) | オーバートーン水晶振動子 | |
| JPS5824969B2 (ja) | アツデンジキシンドウシ | |
| JPH05243889A (ja) | 厚みすべり圧電振動素子 | |
| JPS5912805Y2 (ja) | 幅すべり振動子 | |
| JPH05102779A (ja) | Ｈｔカツト水晶振動子 | |
| JPS58141021A (ja) | 厚みすべり水晶振動子 | |
| JPH0637567A (ja) | 厚み系水晶振動子の電極形成方法 | |
| JPS6036901Y2 (ja) | Ｇｔカツト水晶振動子 | |
| JPH02226907A (ja) | 水晶振動子 | |
| JPH03139912A (ja) | 圧電振動子 | |
| JPS5929386Y2 (ja) | 小型厚みすべり水晶振動子 | |
| JPH08195643A (ja) | Ａｔカット水晶振動子 |