JPH046285B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH046285B2 JPH046285B2 JP22945984A JP22945984A JPH046285B2 JP H046285 B2 JPH046285 B2 JP H046285B2 JP 22945984 A JP22945984 A JP 22945984A JP 22945984 A JP22945984 A JP 22945984A JP H046285 B2 JPH046285 B2 JP H046285B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- section
- cut crystal
- support frame
- oscillator
- crystal resonator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
［本発明の技術分野］
本発明は、HTカツト水晶振動子に関し、振動
モレを阻止して諸特性を向上させ小型化を果たし
たHTカツト水晶振動子。
モレを阻止して諸特性を向上させ小型化を果たし
たHTカツト水晶振動子。
［従来技術の説明］
圧電振動子としては、水晶振動子が最も広く利
用されている。この水晶振動子を使用して0.8〜
数ＭHzの低周波帯のものを得る場合、従来より輪
郭振動系と厚みすべり振動系の境界にあたり製造
が難しかつた。つまり、輪郭振動系では形状が小
さすぎて加工上難しいのと、支持の影響が水晶振
動子の性能に大きなウエイトを占めていることで
満足のいくものが出来なかつた。一方厚みすべり
振動系の場合、支持の影響は少ないものの周波数
が厚みと反比例する関係から、この低周波数帯を
得る場合には必然的に厚みが厚くなり、それにと
もない形状もおおきくなりすぎてしまう欠点があ
り、小型化に難点があつた。また、小型化、高精
度化を目指すため水晶振動子は、フオトリソグラ
フイー法による加工で多数個同時に成形すること
を前提としており、厚みすべり振動系でこの低周
波数帯を形成することは水晶振動子の厚みが厚す
ぎるために、エツチングに難点があるのに対し輪
郭振動系の場合、周波数が厚みにほとんど寄与し
ていないため水晶振動子の厚みを薄くすることが
可能であり、これはフオトリソグラフイー法の加
工をすることによつて都合がよく、本発明では輪
郭振動系を取り上げている。
用されている。この水晶振動子を使用して0.8〜
数ＭHzの低周波帯のものを得る場合、従来より輪
郭振動系と厚みすべり振動系の境界にあたり製造
が難しかつた。つまり、輪郭振動系では形状が小
さすぎて加工上難しいのと、支持の影響が水晶振
動子の性能に大きなウエイトを占めていることで
満足のいくものが出来なかつた。一方厚みすべり
振動系の場合、支持の影響は少ないものの周波数
が厚みと反比例する関係から、この低周波数帯を
得る場合には必然的に厚みが厚くなり、それにと
もない形状もおおきくなりすぎてしまう欠点があ
り、小型化に難点があつた。また、小型化、高精
度化を目指すため水晶振動子は、フオトリソグラ
フイー法による加工で多数個同時に成形すること
を前提としており、厚みすべり振動系でこの低周
波数帯を形成することは水晶振動子の厚みが厚す
ぎるために、エツチングに難点があるのに対し輪
郭振動系の場合、周波数が厚みにほとんど寄与し
ていないため水晶振動子の厚みを薄くすることが
可能であり、これはフオトリソグラフイー法の加
工をすることによつて都合がよく、本発明では輪
郭振動系を取り上げている。
この輪郭振動系としては、従来より正方形状の
CTカツト、DTカツトが知られているが、さら
に小型化させるためにＸ軸方向をＺ軸方向よりも
長くとり短冊形状のいわゆるHTカツト、SLカツ
トがある。本発明では、このうちのHTカツト水
晶振動子を取り上げたものである。このHTカツ
ト水晶振動子は、従来水晶振動子主面の中央部に
支持と電気的導出をワイヤー線により行つていた
が、小型化するに従い製造、構造上難点があつ
た。これに代わりフオトリソグラフイー法により
加工し、エネルギー閉じ込めより形成しようとす
るものである。
CTカツト、DTカツトが知られているが、さら
に小型化させるためにＸ軸方向をＺ軸方向よりも
長くとり短冊形状のいわゆるHTカツト、SLカツ
トがある。本発明では、このうちのHTカツト水
晶振動子を取り上げたものである。このHTカツ
ト水晶振動子は、従来水晶振動子主面の中央部に
支持と電気的導出をワイヤー線により行つていた
が、小型化するに従い製造、構造上難点があつ
た。これに代わりフオトリソグラフイー法により
加工し、エネルギー閉じ込めより形成しようとす
るものである。
従来は、第３図のように振動板部４３の短辺よ
り長さ方向に伸びるに従い幅を狭くしていく減衰
部４４をつくり、減衰部の端部で固着していた。
しかし保持器に支持する場合に保持器からのスト
レスを受けるおそれがあつた。そこで第４図のよ
うに減衰部５４の端部に振動子部を取り囲む支持
枠部５２と繋ぎ、かつ振動を支持枠部に伝播させ
ないように透孔５５を設けているが、振動子全体
の形状が大きくなる欠点がある。
り長さ方向に伸びるに従い幅を狭くしていく減衰
部４４をつくり、減衰部の端部で固着していた。
しかし保持器に支持する場合に保持器からのスト
レスを受けるおそれがあつた。そこで第４図のよ
うに減衰部５４の端部に振動子部を取り囲む支持
枠部５２と繋ぎ、かつ振動を支持枠部に伝播させ
ないように透孔５５を設けているが、振動子全体
の形状が大きくなる欠点がある。
［本発明の目的・構成］
本発明の目的は、前述した欠点を改善するため
になされたものであつて、HTカツト水晶振動子
の振動モレを阻止することによつて特性を向上さ
せ、またフオトリソグラフイー法による加工によ
り、小型化に際し、寸法精度を良好に形成しコス
ト低減を果たしたHTカツト水晶振動子を提供す
ることにある。
になされたものであつて、HTカツト水晶振動子
の振動モレを阻止することによつて特性を向上さ
せ、またフオトリソグラフイー法による加工によ
り、小型化に際し、寸法精度を良好に形成しコス
ト低減を果たしたHTカツト水晶振動子を提供す
ることにある。
このような目的を達成するため、本発明では切
断方位（yxl）が＋34゜30′から＋39゜30′にあり振動
子部から支持枠部とが一体成形されたHTカツト
水晶振動子において、該振動子部の長さＬと幅Ｗ
の比Ｌ／Ｗが3.25において該振動板部長手の平行
部と減衰部との傾斜角θが19゜〜42゜の範囲内にあ
るHTカツト水晶振動子である。
断方位（yxl）が＋34゜30′から＋39゜30′にあり振動
子部から支持枠部とが一体成形されたHTカツト
水晶振動子において、該振動子部の長さＬと幅Ｗ
の比Ｌ／Ｗが3.25において該振動板部長手の平行
部と減衰部との傾斜角θが19゜〜42゜の範囲内にあ
るHTカツト水晶振動子である。
［実施例の説明］
第１図は、本実施例を示す平面図である。
HTカツト水晶振動子１０は、フオトリソグラ
フイー法により成形されたため、厚みは数十ミク
ロンにしてある。カツトアングルは通常SLカツ
トで使用する切断方位（yxl）が＋30゜30′〜＋
39゜30′にとつてある。振動子部１１と支持枠部１
２とから構成され、振動子部１１には中央に矩形
状の振動板部１３と長さ方向に行くに従い幅寸法
が小さくなる減衰部１４とからなり、減衰部１４
からは支持枠部１２の一部である橋絡部１５を経
て支持枠部１２に至り、支持枠部には振動子部１
１の全体を囲つている。図中振動子部１１の長さ
Ｌ、同幅Ｗ、振動板部１３の長さ、振動板部１３
の長手方向と減衰部１４との傾斜角をθで表して
ある。なお斜線は、振動板部１３を励振させるた
め励振電極と外部への電気的導出のための引き出
し電極を表す。
フイー法により成形されたため、厚みは数十ミク
ロンにしてある。カツトアングルは通常SLカツ
トで使用する切断方位（yxl）が＋30゜30′〜＋
39゜30′にとつてある。振動子部１１と支持枠部１
２とから構成され、振動子部１１には中央に矩形
状の振動板部１３と長さ方向に行くに従い幅寸法
が小さくなる減衰部１４とからなり、減衰部１４
からは支持枠部１２の一部である橋絡部１５を経
て支持枠部１２に至り、支持枠部には振動子部１
１の全体を囲つている。図中振動子部１１の長さ
Ｌ、同幅Ｗ、振動板部１３の長さ、振動板部１３
の長手方向と減衰部１４との傾斜角をθで表して
ある。なお斜線は、振動板部１３を励振させるた
め励振電極と外部への電気的導出のための引き出
し電極を表す。
第２図は、第１図のHTカツト水晶振動子１０
を使用し、辺比Ｌ／Ｗが3.25における傾斜角θに
対するHTカツト水晶振動子１０のCI（Crystal
Impedance）値との相関図である。図は２次関数
のグラフとなり、傾斜角θが19゜〜42゜の間でCI値
が1KΩ以下となる。なおCI値はより小さい方が
好ましいが、1kΩ以下であると回路の消費電流も
少なく良好である。さらに最良の範囲としては、
28゜〜32゜とするとよい。
を使用し、辺比Ｌ／Ｗが3.25における傾斜角θに
対するHTカツト水晶振動子１０のCI（Crystal
Impedance）値との相関図である。図は２次関数
のグラフとなり、傾斜角θが19゜〜42゜の間でCI値
が1KΩ以下となる。なおCI値はより小さい方が
好ましいが、1kΩ以下であると回路の消費電流も
少なく良好である。さらに最良の範囲としては、
28゜〜32゜とするとよい。
［本発明の効果］
本発明は、HTカツト水晶振動子の傾斜角の最
適値を見いだしたものであり、傾斜角を大きく
し、減衰部がより短かくなり小型化に有利となつ
た。これにより水晶振動子の特性の１つである
CI値を下げることが出来、水晶振動子の特性を
十分に引き出すことが出来た。
適値を見いだしたものであり、傾斜角を大きく
し、減衰部がより短かくなり小型化に有利となつ
た。これにより水晶振動子の特性の１つである
CI値を下げることが出来、水晶振動子の特性を
十分に引き出すことが出来た。
また本発明では振動子部の外部からの保護と支
持とを兼ね合わせた支持枠部が振動子部と一体に
成形されており、これにより支持板部の振動がエ
ネルギー閉じ込めにより、さらに振動モレが生じ
ないように減衰部、橋絡部を経てきており、振動
のロスを支持枠部に伝わらせないように工夫がさ
れており振動子部の特性を十二分に引き出すこと
が出来、また従来の透孔だけの場合と違つて振動
モレの対策が橋絡部によりはたされているために
特性の劣化をさせずにすみ、これによつて支持枠
部端子側に引き出された電気的導出をベース等の
保持器に固着しても、振動モレ対策がなされてい
るため、特性に際を生じることなく、均一な製品
を量産させることが可能になり、コスト低減を図
れる。
持とを兼ね合わせた支持枠部が振動子部と一体に
成形されており、これにより支持板部の振動がエ
ネルギー閉じ込めにより、さらに振動モレが生じ
ないように減衰部、橋絡部を経てきており、振動
のロスを支持枠部に伝わらせないように工夫がさ
れており振動子部の特性を十二分に引き出すこと
が出来、また従来の透孔だけの場合と違つて振動
モレの対策が橋絡部によりはたされているために
特性の劣化をさせずにすみ、これによつて支持枠
部端子側に引き出された電気的導出をベース等の
保持器に固着しても、振動モレ対策がなされてい
るため、特性に際を生じることなく、均一な製品
を量産させることが可能になり、コスト低減を図
れる。
第１図は本発明の実施例を示す平面図、第２図
は傾斜角とCI値の相関図、第３図は従来のHTか
つと水晶振動板部の斜視図、第４図は平面図であ
る。 １０……HTカツト水晶振動子、１１……振動
子部、１２……支持枠部、１４……減衰部、１５
……橋絡部、Ｌ……振動子部の長さ、Ｗ……振動
部の幅、θ……傾斜角。
は傾斜角とCI値の相関図、第３図は従来のHTか
つと水晶振動板部の斜視図、第４図は平面図であ
る。 １０……HTカツト水晶振動子、１１……振動
子部、１２……支持枠部、１４……減衰部、１５
……橋絡部、Ｌ……振動子部の長さ、Ｗ……振動
部の幅、θ……傾斜角。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 切断方位（yxl）が＋34゜30′から＋39゜30′にあ
り振動子部から支持枠部とが一体成形されたHT
カツト水晶振動子において、該振動子部の長さＬ
と幅Ｗの比Ｌ／Ｗが3.25において該振動板部長手
の平行部と減衰部との傾斜角θが19゜〜42゜の範囲
内にあることを特徴とするHTカツト水晶振動
子。 ２ 該振動子部と該振動子部を支える該支持枠部
との間に橋絡部を設けたことを特徴とする特許請
求の範囲第１項記載のHTカツト水晶振動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22945984A JPS61107806A (ja) | 1984-10-30 | 1984-10-30 | Ｈｔカット水晶振動子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22945984A JPS61107806A (ja) | 1984-10-30 | 1984-10-30 | Ｈｔカット水晶振動子 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27630891A Division JPH05102779A (ja) | 1991-09-30 | 1991-09-30 | Ｈｔカツト水晶振動子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61107806A JPS61107806A (ja) | 1986-05-26 |
| JPH046285B2 true JPH046285B2 (ja) | 1992-02-05 |
Family
ID=16892530
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22945984A Granted JPS61107806A (ja) | 1984-10-30 | 1984-10-30 | Ｈｔカット水晶振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61107806A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05102779A (ja) * | 1991-09-30 | 1993-04-23 | Kinseki Ltd | Ｈｔカツト水晶振動子 |
| JP2607668Y2 (ja) * | 1992-05-12 | 2002-03-04 | シチズン時計株式会社 | 水晶振動子 |
| JP4857492B2 (ja) * | 2001-07-09 | 2012-01-18 | 株式会社カナメ | 通気溝付き断熱材 |
-
1984
- 1984-10-30 JP JP22945984A patent/JPS61107806A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61107806A (ja) | 1986-05-26 |
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