JPH04364097A - 基板供給・収納装置および基板供給・収納方法 - Google Patents
基板供給・収納装置および基板供給・収納方法Info
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- JPH04364097A JPH04364097A JP3138710A JP13871091A JPH04364097A JP H04364097 A JPH04364097 A JP H04364097A JP 3138710 A JP3138710 A JP 3138710A JP 13871091 A JP13871091 A JP 13871091A JP H04364097 A JPH04364097 A JP H04364097A
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- substrate
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- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は電子部品の実装ラインや
電子部品実装装置に対して基板を供給し、又は電子部品
を実装された基板を収納する基板供給装置や基板収納装
置、さらには実装ラインの途中でのバッファとして一時
的に基板を収納し、再び供給する中間バッファ装置など
の基板供給・収納装置に関するものである。
電子部品実装装置に対して基板を供給し、又は電子部品
を実装された基板を収納する基板供給装置や基板収納装
置、さらには実装ラインの途中でのバッファとして一時
的に基板を収納し、再び供給する中間バッファ装置など
の基板供給・収納装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、例えば図９に示すように、基板を
上下に互いに適当間隔を設けて積層した状態で保持する
マガジン５２を用い、このマガジン５２を基板の積層ピ
ッチに合わせて間歇的に上昇駆動可能なリフター５３上
に供給し、リフター５３の間歇上昇にてマガジン５２内
の基板を最上部の基板から順次実装ラインの基板搬送経
路に対向位置させ、基板搬送経路に対向位置した基板を
プッシャー５４にて押し出して基板を供給するように構
成した基板供給装置５１が知られている。
上下に互いに適当間隔を設けて積層した状態で保持する
マガジン５２を用い、このマガジン５２を基板の積層ピ
ッチに合わせて間歇的に上昇駆動可能なリフター５３上
に供給し、リフター５３の間歇上昇にてマガジン５２内
の基板を最上部の基板から順次実装ラインの基板搬送経
路に対向位置させ、基板搬送経路に対向位置した基板を
プッシャー５４にて押し出して基板を供給するように構
成した基板供給装置５１が知られている。
【０００３】また、この基板供給装置５１においては、
図示していないが、マガジン５２内の基板が無くなると
これを検出する手段が設けられるとともに、リフター５
３の下降限と上昇限の側部に搬入コンベアと搬出コンベ
アが設けられ、マガジン５２内に基板が無くなるとその
マガジン５２を搬出コンベア上に排出した後リフター５
３を下降させて搬入コンベア上に予め供給されている基
板が満杯のマガジン５２をリフター５３上に搬入するよ
うに構成されている。
図示していないが、マガジン５２内の基板が無くなると
これを検出する手段が設けられるとともに、リフター５
３の下降限と上昇限の側部に搬入コンベアと搬出コンベ
アが設けられ、マガジン５２内に基板が無くなるとその
マガジン５２を搬出コンベア上に排出した後リフター５
３を下降させて搬入コンベア上に予め供給されている基
板が満杯のマガジン５２をリフター５３上に搬入するよ
うに構成されている。
【０００４】また、搬入コンベア上に予備のマガジンが
供給されているかどうかを検出する手段や搬出コンベア
上に未回収の空マガジンが待機状態のままであるかどう
かを検出する手段が設けられている。
供給されているかどうかを検出する手段や搬出コンベア
上に未回収の空マガジンが待機状態のままであるかどう
かを検出する手段が設けられている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記構成で
は搬入コンベア上にマガジンが供給されているかどうか
は任意の時点に検出できても、リフター５３上のマガジ
ン５２内の基板が残り少なくなったときに搬入コンベア
上にすでに予備のマガジンが供給されているかどうかを
知ることができず、リフター５３上のマガジン５２内の
基板が無くなったときに搬入コンベア上に予備のマガジ
ンが供給されていないという事態を生じることがあり、
その場合基板切れのために実装装置や実装ラインが停止
してしまい、稼働率を低下させるという問題があった。
は搬入コンベア上にマガジンが供給されているかどうか
は任意の時点に検出できても、リフター５３上のマガジ
ン５２内の基板が残り少なくなったときに搬入コンベア
上にすでに予備のマガジンが供給されているかどうかを
知ることができず、リフター５３上のマガジン５２内の
基板が無くなったときに搬入コンベア上に予備のマガジ
ンが供給されていないという事態を生じることがあり、
その場合基板切れのために実装装置や実装ラインが停止
してしまい、稼働率を低下させるという問題があった。
【０００６】又、電子部品を実装した後の基板をマガジ
ン内に収納する基板収納装置においても同様の問題があ
った。
ン内に収納する基板収納装置においても同様の問題があ
った。
【０００７】本発明は上記従来の問題点に鑑み、マガジ
ンなどの基板保持手段による基板の保持枚数が少なくな
ったり、基板の収納可能枚数が少なくなったときにこれ
を検出し、基板供給等の必要な処理を速やかに行うこと
によって実装ライン等の停止を防止できる基板供給・収
納装置を提供することを目的とする。
ンなどの基板保持手段による基板の保持枚数が少なくな
ったり、基板の収納可能枚数が少なくなったときにこれ
を検出し、基板供給等の必要な処理を速やかに行うこと
によって実装ライン等の停止を防止できる基板供給・収
納装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の基板供給・収納
装置は、基板を積層状態で収納保持する基板保持手段と
、基板保持手段による基板保持数が所定量になると検出
する検出手段とを備えていることを特徴とする。
装置は、基板を積層状態で収納保持する基板保持手段と
、基板保持手段による基板保持数が所定量になると検出
する検出手段とを備えていることを特徴とする。
【０００９】基板保持手段は、基板を単に積層するもの
でもよいが、基板を互いに間隔を設けて積層配置するマ
ガジンと、マガジンを基板の積層間隔で間歇的に移動さ
せる手段を備えたものが好適である。
でもよいが、基板を互いに間隔を設けて積層配置するマ
ガジンと、マガジンを基板の積層間隔で間歇的に移動さ
せる手段を備えたものが好適である。
【００１０】また検出手段は、基板の積層方向に位置変
更可能に配置したり、複数の検出手段を任意に切換え可
能に構成することができる。
更可能に配置したり、複数の検出手段を任意に切換え可
能に構成することができる。
【００１１】基板の供給又は収納可能残数が少なくなっ
たことを検出した検出手段の出力に基づいて予告通知す
る通知手段を設け、更にこの通知手段からの信号の入力
に基づいて基板保持手段に基板、又は基板を収納保持し
たマガジン、又は空マガジンを搬送供給する手段を設け
ることができる。
たことを検出した検出手段の出力に基づいて予告通知す
る通知手段を設け、更にこの通知手段からの信号の入力
に基づいて基板保持手段に基板、又は基板を収納保持し
たマガジン、又は空マガジンを搬送供給する手段を設け
ることができる。
【００１２】
【作用】本発明によれば、基板供給時に基板保持手段に
よる基板保持数が少なくなったり、基板収納時に基板保
持手段への収納可能残数が少なくなると、完全に無くな
る前に事前に検出手段にて検出されるので、その検出信
号に基づいて予告通知することによって直ちに基板を供
給したり、取り出したりすることができ、基板が不測に
無くなったり、収納不可能になったりして実装装置やラ
インの停止に至るのを確実に防止することができる。
よる基板保持数が少なくなったり、基板収納時に基板保
持手段への収納可能残数が少なくなると、完全に無くな
る前に事前に検出手段にて検出されるので、その検出信
号に基づいて予告通知することによって直ちに基板を供
給したり、取り出したりすることができ、基板が不測に
無くなったり、収納不可能になったりして実装装置やラ
インの停止に至るのを確実に防止することができる。
【００１３】又、基板の供給や取り出しに基板を互いに
間隔を設けて積層配置するマガジンを用いると、装置の
構成や動作が簡単になり、低コストで信頼性の高い装置
を得ることができる。また検出手段の位置調整や切換え
によって任意の残数で検出信号が出力されるようにする
ことによって基板の種類に応じて適当な余裕時間を任意
に設定することができる。さらに、予告通知信号によっ
て基板やマガジン等を搬送供給する手段を設けると、Ｆ
ＭＳ（フレキシブル・マニファクチャリング・システム
）やＣＩＭ（コンピュータ・インテグレイティド・マニ
ファクチャリング）に展開することができる。
間隔を設けて積層配置するマガジンを用いると、装置の
構成や動作が簡単になり、低コストで信頼性の高い装置
を得ることができる。また検出手段の位置調整や切換え
によって任意の残数で検出信号が出力されるようにする
ことによって基板の種類に応じて適当な余裕時間を任意
に設定することができる。さらに、予告通知信号によっ
て基板やマガジン等を搬送供給する手段を設けると、Ｆ
ＭＳ（フレキシブル・マニファクチャリング・システム
）やＣＩＭ（コンピュータ・インテグレイティド・マニ
ファクチャリング）に展開することができる。
【００１４】
【実施例】以下、本発明の光接合用多層プリント基板の
一実施例を図１、図２及び図５を参照しながら説明する
。
一実施例を図１、図２及び図５を参照しながら説明する
。
【００１５】図１において、１は部品実装機２に対して
基板を供給する基板供給装置であり、基板を互いに適当
間隔を設けて上下に積層した状態で保持するマガジン３
を支持して昇降するリフター４と、下降限位置のリフタ
ー４上に基板を満杯状態で保持したマガジン３を供給す
る搬入コンベア５と、空になったマガジン３を上昇限位
置のリフター４から排出する搬出コンベア６とを備えて
いる。リフター４上にはリフター４と搬入、搬出コンベ
ア５、６との間でマガジン３を受渡しするための受渡し
コンベア４ａが設けられている。
基板を供給する基板供給装置であり、基板を互いに適当
間隔を設けて上下に積層した状態で保持するマガジン３
を支持して昇降するリフター４と、下降限位置のリフタ
ー４上に基板を満杯状態で保持したマガジン３を供給す
る搬入コンベア５と、空になったマガジン３を上昇限位
置のリフター４から排出する搬出コンベア６とを備えて
いる。リフター４上にはリフター４と搬入、搬出コンベ
ア５、６との間でマガジン３を受渡しするための受渡し
コンベア４ａが設けられている。
【００１６】基板供給装置１のリフター４の昇降経路の
側部には、リフター４が下降限位置にあることを検出す
る下降限センサ７と、マガジン３内の最上段の基板を供
給する位置を検出する供給開始位置センサ８と、マガジ
ン３内の基板の残数が少なくなった位置を検出する空予
告センサ１１と、マガジン３内の最下段の基板を供給す
る位置を検出する供給終了位置センサ９と、リフター４
が上昇限位置にあることを検出する上昇限センサ１０と
が配置され、空予告センサ１１は矢印で示すように上下
位置を任意に調整可能に構成されている。この空予告セ
ンサ１１は、複数設けて選択的に切換え得るようにして
も良く、空予告位置が固定的であってもよい場合は単体
を固定して設けてもよい。又、搬入コンベア５には、そ
の先端部上にマガジン３が供給されていることを検出す
る予備マガジン検出センサ１２が配設されている。
側部には、リフター４が下降限位置にあることを検出す
る下降限センサ７と、マガジン３内の最上段の基板を供
給する位置を検出する供給開始位置センサ８と、マガジ
ン３内の基板の残数が少なくなった位置を検出する空予
告センサ１１と、マガジン３内の最下段の基板を供給す
る位置を検出する供給終了位置センサ９と、リフター４
が上昇限位置にあることを検出する上昇限センサ１０と
が配置され、空予告センサ１１は矢印で示すように上下
位置を任意に調整可能に構成されている。この空予告セ
ンサ１１は、複数設けて選択的に切換え得るようにして
も良く、空予告位置が固定的であってもよい場合は単体
を固定して設けてもよい。又、搬入コンベア５には、そ
の先端部上にマガジン３が供給されていることを検出す
る予備マガジン検出センサ１２が配設されている。
【００１７】リフター４は、供給開始位置センサ８と供
給終了位置センサ９の間の区間では、マガジン３におけ
る基板保持間隔に対応したピッチで間歇的に上昇するよ
うに構成され、下降限位置から供給開始位置及び供給終
了位置から上昇限位置までは適当な速度で上昇し、上昇
限位置から下降限位置までは高速で下降するように構成
されている。
給終了位置センサ９の間の区間では、マガジン３におけ
る基板保持間隔に対応したピッチで間歇的に上昇するよ
うに構成され、下降限位置から供給開始位置及び供給終
了位置から上昇限位置までは適当な速度で上昇し、上昇
限位置から下降限位置までは高速で下降するように構成
されている。
【００１８】空予告センサ１１の出力は、図２に示すよ
うに、コントローラ１３に入力されており、このコント
ローラ１３にて空予告を通知するためのパトライト１４
を点灯し、制御用のパソコン１５等に空予告のデジタル
信号を出力するとともに該当するマガジンを搭載した自
動搬送車１６に搬送指令を出力するように構成されてい
る。
うに、コントローラ１３に入力されており、このコント
ローラ１３にて空予告を通知するためのパトライト１４
を点灯し、制御用のパソコン１５等に空予告のデジタル
信号を出力するとともに該当するマガジンを搭載した自
動搬送車１６に搬送指令を出力するように構成されてい
る。
【００１９】このコントローラ１３は、図５に示すよう
に、空予告センサ１１から出力されるマガジン空予告信
号を待ち、この信号が入力されると次に搬入コンベア５
に設けられた予備マガジン検出センサ１２からの出力信
号に基づいて予備のマガジン３が待機中であるかどうか
を判別し、待機中でない場合には空予告信号を出力し、
速やかに基板を満杯に収納したマガジン３を供給しない
と電子部品実装機２が基板切れによって停止することを
警告する。一方、予備のマガジン３が待機していると中
断なくマガジン３が供給されるので、そのまま待機する
。
に、空予告センサ１１から出力されるマガジン空予告信
号を待ち、この信号が入力されると次に搬入コンベア５
に設けられた予備マガジン検出センサ１２からの出力信
号に基づいて予備のマガジン３が待機中であるかどうか
を判別し、待機中でない場合には空予告信号を出力し、
速やかに基板を満杯に収納したマガジン３を供給しない
と電子部品実装機２が基板切れによって停止することを
警告する。一方、予備のマガジン３が待機していると中
断なくマガジン３が供給されるので、そのまま待機する
。
【００２０】上記実施例では、電子部品実装機２に基板
を供給する基板供給装置１の例を示したが、図３に示す
ように、電子部品を実装された基板をマガジン３に収納
する基板収納装置２１の場合にも同様に適用される。図
３において、基板収納装置２１は図１の基板供給装置１
とほぼ同様の構成であり、リフター４の上昇限位置で空
のマガジン３を供給する搬入コンベア２２と、満杯にな
ったマガジン３を下降限位置のリフター４から排出する
搬出コンベア２３が設けられ、リフター４の昇降経路の
側部には、リフター４が上昇限位置にあることを検出す
る上昇限センサ２７と、マガジン３内の最下段に基板を
収納する位置を検出する収納開始位置センサ２８と、マ
ガジン３内への基板収納可能残数が少なくなった位置を
検出する満杯予告センサ３１と、マガジン３内の最上段
に基板を収納する位置を収納終了位置センサ２９と、リ
フター４が下降限位置にあることを検出する下降限セン
サ３０とが配置され、満杯予告センサ３１は矢印で示す
ように上下位置を任意に調整可能に構成されている。 又、搬入コンベア２２には、その先端部上にマガジン３
が供給されていることを検出する予備マガジン検出セン
サ３２が配設されている。
を供給する基板供給装置１の例を示したが、図３に示す
ように、電子部品を実装された基板をマガジン３に収納
する基板収納装置２１の場合にも同様に適用される。図
３において、基板収納装置２１は図１の基板供給装置１
とほぼ同様の構成であり、リフター４の上昇限位置で空
のマガジン３を供給する搬入コンベア２２と、満杯にな
ったマガジン３を下降限位置のリフター４から排出する
搬出コンベア２３が設けられ、リフター４の昇降経路の
側部には、リフター４が上昇限位置にあることを検出す
る上昇限センサ２７と、マガジン３内の最下段に基板を
収納する位置を検出する収納開始位置センサ２８と、マ
ガジン３内への基板収納可能残数が少なくなった位置を
検出する満杯予告センサ３１と、マガジン３内の最上段
に基板を収納する位置を収納終了位置センサ２９と、リ
フター４が下降限位置にあることを検出する下降限セン
サ３０とが配置され、満杯予告センサ３１は矢印で示す
ように上下位置を任意に調整可能に構成されている。 又、搬入コンベア２２には、その先端部上にマガジン３
が供給されていることを検出する予備マガジン検出セン
サ３２が配設されている。
【００２１】この実施例においても、満杯予告センサ３
１の出力は、図２と同様のコントローラに入力され、こ
のコントローラは上記実施例の図５と同様に、図６に示
すように動作する。図６は、図５の場合と空マガジンと
満杯のマガジンが逆になっているだけで動作としては同
様であるため、詳しい説明は省略する。
１の出力は、図２と同様のコントローラに入力され、こ
のコントローラは上記実施例の図５と同様に、図６に示
すように動作する。図６は、図５の場合と空マガジンと
満杯のマガジンが逆になっているだけで動作としては同
様であるため、詳しい説明は省略する。
【００２２】又、上記実施例では、基板を互いに間隔を
設けた積層状態で収納するマガジン３を用いた例を示し
たが、図４に示すように、基板を単純に積層して収納す
る基板収納部４２を設け、昇降可能な吸着手段４３にて
基板を吸着保持して上方の基板搬送経路４４と基板収納
部４２との間で基板を受渡しするようにした基板供給装
置４１や基板収納装置においても、基板の供給可能残数
や収納可能残数が少なくなったときにこれを検出する予
告センサ４５を基板収納部４２の側部に配置することに
よって同様の作用が得られる。
設けた積層状態で収納するマガジン３を用いた例を示し
たが、図４に示すように、基板を単純に積層して収納す
る基板収納部４２を設け、昇降可能な吸着手段４３にて
基板を吸着保持して上方の基板搬送経路４４と基板収納
部４２との間で基板を受渡しするようにした基板供給装
置４１や基板収納装置においても、基板の供給可能残数
や収納可能残数が少なくなったときにこれを検出する予
告センサ４５を基板収納部４２の側部に配置することに
よって同様の作用が得られる。
【００２３】又、上記各実施例では基板収納部の側部に
検出センサを配置した例を示したが、基板収納部に対す
る基板の出入れに伴ってカウントするカウンタを設け、
そのカウント値によって空予告や満杯予告を出力するよ
うにしてもよい。
検出センサを配置した例を示したが、基板収納部に対す
る基板の出入れに伴ってカウントするカウンタを設け、
そのカウント値によって空予告や満杯予告を出力するよ
うにしてもよい。
【００２４】次に、上記空予告や満杯予告を含めた基板
供給・収納動作について、図７、図８を参照しながら説
明する。空又は満杯予告が検出されない場合はそのまま
で、検出された場合は予告通知を出力した後、次に現在
時点で空又は満杯を検出しているかどうかを判定し、検
出している場合は満杯のマガジン又は空のマガジンが供
給されるのを待ち、検出していない場合は正常な基板の
供給又は収納動作を行うという動作を繰り返す。
供給・収納動作について、図７、図８を参照しながら説
明する。空又は満杯予告が検出されない場合はそのまま
で、検出された場合は予告通知を出力した後、次に現在
時点で空又は満杯を検出しているかどうかを判定し、検
出している場合は満杯のマガジン又は空のマガジンが供
給されるのを待ち、検出していない場合は正常な基板の
供給又は収納動作を行うという動作を繰り返す。
【００２５】一方、空又は満杯予告を検出して予告通知
が出力されると、図８に示すように、コントローラ１３
から自動搬送車１６にマガジン供給指令が通知され、自
動搬送車１６にて該当する基板供給装置又は基板収納装
置に所望のマガジン３が搬送され、そのマガジンが供給
され、図７の制御に復帰する。
が出力されると、図８に示すように、コントローラ１３
から自動搬送車１６にマガジン供給指令が通知され、自
動搬送車１６にて該当する基板供給装置又は基板収納装
置に所望のマガジン３が搬送され、そのマガジンが供給
され、図７の制御に復帰する。
【００２６】
【発明の効果】本発明の基板供給・収納装置によれば、
基板供給時に基板保持手段による基板保持数が少なくな
ったり、基板収納時に基板保持手段への収納可能残数が
少なくなると、完全に無くなる前に事前に検出手段にて
検出されるので、その検出信号に基づいて予告通知する
ことによって直ちに基板を供給したり、取り出したりす
ることができ、基板が不測に無くなったり、収納不可能
になったりして実装装置やラインの停止に至るのを確実
に防止することができる。
基板供給時に基板保持手段による基板保持数が少なくな
ったり、基板収納時に基板保持手段への収納可能残数が
少なくなると、完全に無くなる前に事前に検出手段にて
検出されるので、その検出信号に基づいて予告通知する
ことによって直ちに基板を供給したり、取り出したりす
ることができ、基板が不測に無くなったり、収納不可能
になったりして実装装置やラインの停止に至るのを確実
に防止することができる。
【００２７】又、基板の供給や取り出しに基板を互いに
間隔を設けて積層配置するマガジンを用いると、装置の
構成や動作が簡単になり、低コストで信頼性の高い装置
を得ることができる。また検出手段の位置調整や切換え
によって任意の残数で検出信号が出力されるようにする
ことによって基板の種類に応じて適当な余裕時間を任意
に設定することができる。さらに、予告通知信号によっ
て基板やマガジン等を搬送供給する手段を設けると、Ｆ
ＭＳ（フレキシブル・マニファクチャリング・システム
）やＣＩＭ（コンピュータ・インテグレイティド・マニ
ファクチャリング）に展開することができる。
間隔を設けて積層配置するマガジンを用いると、装置の
構成や動作が簡単になり、低コストで信頼性の高い装置
を得ることができる。また検出手段の位置調整や切換え
によって任意の残数で検出信号が出力されるようにする
ことによって基板の種類に応じて適当な余裕時間を任意
に設定することができる。さらに、予告通知信号によっ
て基板やマガジン等を搬送供給する手段を設けると、Ｆ
ＭＳ（フレキシブル・マニファクチャリング・システム
）やＣＩＭ（コンピュータ・インテグレイティド・マニ
ファクチャリング）に展開することができる。
【図１】本発明の第１実施例の基板供給装置の概略構成
図である。
図である。
【図２】同実施例の検出信号の処理システムの概略構成
図である。
図である。
【図３】本発明の第２実施例の基板収納装置の概略構成
図である。
図である。
【図４】本発明の第３実施例の基板供給・収納装置の概
略構成図である。
略構成図である。
【図５】本発明の第１実施例における予告動作のフロー
チャートである。
チャートである。
【図６】本発明の第２実施例における予告動作のフロー
チャートである。
チャートである。
【図７】本発明の第４実施例の供給・収納制御のフロー
チャートである。
チャートである。
【図８】本発明の第５実施例のマガジン供給動作のフロ
ーチャートである。
ーチャートである。
【図９】従来例の基板供給装置の斜視図である。
１ 基板供給装置
３ マガジン
４ リフター
１１ 空予告センサ
１２ 予備マガジン検出センサ
１３ コントローラ
１６ 自動搬送車
２１ 基板収納装置
３１ 満杯予告センサ
３２ 予備マガジン検出センサ
４１ 基板供給装置
４２ 基板収納部
４５ 予告センサ
Claims (6)
- 【請求項１】 基板を積層状態で収納保持する基板保
持手段と、基板保持手段による基板保持数が所定量にな
ると検出する検出手段とを備えていることを特徴とする
基板供給・収納装置。 - 【請求項２】 基板保持手段は、基板を互いに間隔を
設けて積層配置するマガジンと、マガジンを基板の積層
間隔で間歇的に移動させる手段を備えていることを特徴
とする請求項１記載の基板供給・収納装置。 - 【請求項３】 検出手段を基板の積層方向に位置変更
可能に配置したことを特徴とする請求項１又は２記載の
基板供給・収納装置。 - 【請求項４】 検出手段を基板の積層方向に複数配置
し、任意の検出手段に切換え可能に構成したことを特徴
とする請求項１又は２記載の基板供給・収納装置。 - 【請求項５】 検出手段にて基板の供給又は収納可能
残数が少なくなったことを検出し、この検出手段の出力
に基づいて予告通知する通知手段を設けたことを特徴と
する請求項１、２、３又は４記載の基板供給・収納装置
。 - 【請求項６】 通知手段からの信号の入力に基づいて
基板保持手段に基板、又は基板を収納保持したマガジン
、又は空マガジンを搬送供給する手段を設けたことを特
徴とする請求項５記載の基板供給・収納装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3138710A JPH04364097A (ja) | 1991-06-11 | 1991-06-11 | 基板供給・収納装置および基板供給・収納方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3138710A JPH04364097A (ja) | 1991-06-11 | 1991-06-11 | 基板供給・収納装置および基板供給・収納方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04364097A true JPH04364097A (ja) | 1992-12-16 |
Family
ID=15228322
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3138710A Pending JPH04364097A (ja) | 1991-06-11 | 1991-06-11 | 基板供給・収納装置および基板供給・収納方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04364097A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2021130546A (ja) * | 2020-02-19 | 2021-09-09 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | 基板供給装置、基板供給方法、基板収納装置、基板回収方法、及び、昇降装置 |
-
1991
- 1991-06-11 JP JP3138710A patent/JPH04364097A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2021130546A (ja) * | 2020-02-19 | 2021-09-09 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | 基板供給装置、基板供給方法、基板収納装置、基板回収方法、及び、昇降装置 |
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