JPH04364213A - ヘッドギャップ位置検出装置 - Google Patents
ヘッドギャップ位置検出装置Info
- Publication number
- JPH04364213A JPH04364213A JP27014491A JP27014491A JPH04364213A JP H04364213 A JPH04364213 A JP H04364213A JP 27014491 A JP27014491 A JP 27014491A JP 27014491 A JP27014491 A JP 27014491A JP H04364213 A JPH04364213 A JP H04364213A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- head
- gap
- dimensional sensor
- image
- signal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は磁気ヘッドのギャップ位
置検出装置に関し、特にビデオテープレコーダのアジマ
スギャップヘッドを回転ドラムに自動取付する装置に用
いて最適なものである。
置検出装置に関し、特にビデオテープレコーダのアジマ
スギャップヘッドを回転ドラムに自動取付する装置に用
いて最適なものである。
【0002】
【従来の技術】VTRの磁気ヘッドは、回転ドラム(デ
ィスク)に対して回転方向、高さ方向及び突出方向の3
要素について極めて高い精度で取付られる必要がある。 従来より、回転ヘッドの組立て装置として、種々の治具
が開発されているが、基本的には人間が調整して組立て
るための補助治具である。
ィスク)に対して回転方向、高さ方向及び突出方向の3
要素について極めて高い精度で取付られる必要がある。 従来より、回転ヘッドの組立て装置として、種々の治具
が開発されているが、基本的には人間が調整して組立て
るための補助治具である。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】磁気ヘッドのテープ摺
動面をビデオカメラ等で撮像して画像解析によりギャッ
プ位置を測定することが試みられているが、装置が大が
かりにるな割には所要の検出精度が得られない問題があ
る。
動面をビデオカメラ等で撮像して画像解析によりギャッ
プ位置を測定することが試みられているが、装置が大が
かりにるな割には所要の検出精度が得られない問題があ
る。
【0004】本発明は、回転ヘッドを自動組立すること
を目的とし、そのためのヘッドのギャップ位置検出装置
を提供するものである。本発明によれば、比較的簡単な
構成の装置で磁気ヘッドと回転ドラムとの相対位置を極
めて高精度で測定することができ、その測定値に基き磁
気ヘッドを位置決めして自動組立てを行うことが可能に
なる。
を目的とし、そのためのヘッドのギャップ位置検出装置
を提供するものである。本発明によれば、比較的簡単な
構成の装置で磁気ヘッドと回転ドラムとの相対位置を極
めて高精度で測定することができ、その測定値に基き磁
気ヘッドを位置決めして自動組立てを行うことが可能に
なる。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明の磁気ヘッドのギ
ャップ位置検出装置は、磁気ヘッドのヘッドギャップに
対して所定角度だけ傾き、上記磁気ヘッドのテープ摺動
面を撮像する一次元センサと、該一次元センサをテープ
摺動方向に移動させる移動手段と、上記磁気ヘッドのテ
ープ摺動面の像を一次元センサ上において検出する像検
出手段と、上記移動手段によって上記一次元センサがテ
ープの摺動方向に移動した際に、上記一次元センサと上
記ヘッドギャップとが交差する第1の位置及び第2の位
置における上記像検出手段の第1の像出力及び第2の像
出力と、上記ヘッドギャップの上記一次元センサに対す
る傾き情報とに基づいて、上記ヘッドギャップ位置を検
出する検出手段とを具備する。
ャップ位置検出装置は、磁気ヘッドのヘッドギャップに
対して所定角度だけ傾き、上記磁気ヘッドのテープ摺動
面を撮像する一次元センサと、該一次元センサをテープ
摺動方向に移動させる移動手段と、上記磁気ヘッドのテ
ープ摺動面の像を一次元センサ上において検出する像検
出手段と、上記移動手段によって上記一次元センサがテ
ープの摺動方向に移動した際に、上記一次元センサと上
記ヘッドギャップとが交差する第1の位置及び第2の位
置における上記像検出手段の第1の像出力及び第2の像
出力と、上記ヘッドギャップの上記一次元センサに対す
る傾き情報とに基づいて、上記ヘッドギャップ位置を検
出する検出手段とを具備する。
【0006】
【作用】ヘッドギャップと一次元センサとが所定の角度
関係を有し、第1及び第2の異なる交差位置における各
像出力のギャップ情報がノイズ等の擬似信号か否かを角
度関係に基く計算により判定することができる。従って
ギャップ位置信号を他の擬似信号と区別して抽出するこ
とができ、抽出されたギャップ位置信号のレベル情報や
位相(位置)情報に基いて基準に対するヘッドの二次元
の位置情報が高精度に得られる。
関係を有し、第1及び第2の異なる交差位置における各
像出力のギャップ情報がノイズ等の擬似信号か否かを角
度関係に基く計算により判定することができる。従って
ギャップ位置信号を他の擬似信号と区別して抽出するこ
とができ、抽出されたギャップ位置信号のレベル情報や
位相(位置)情報に基いて基準に対するヘッドの二次元
の位置情報が高精度に得られる。
【0007】以下本発明の実施例を図面に基いて説明す
る。
る。
【0008】図1は本発明によるヘッドギャップ位置検
出装置を用いた回転ヘッド組立装置の概略斜視図で、図
2は回転ヘッド組立体の斜視図である。
出装置を用いた回転ヘッド組立装置の概略斜視図で、図
2は回転ヘッド組立体の斜視図である。
【0009】回転ヘッド組立体(1)は、図2に示すよ
うに、回転ディスク(2)上にAチャンネル及びBチャ
ンネルの磁気ヘッド(3A)(3B)を180°の間隔
でマウントしたものである。各磁気ヘッド(3A)(3
B)は、ヘッドチップ(4)と取付ピース(5)とから
成り、取付ピース(5)はビス(6)でもってディスク
(2)に固定される。
うに、回転ディスク(2)上にAチャンネル及びBチャ
ンネルの磁気ヘッド(3A)(3B)を180°の間隔
でマウントしたものである。各磁気ヘッド(3A)(3
B)は、ヘッドチップ(4)と取付ピース(5)とから
成り、取付ピース(5)はビス(6)でもってディスク
(2)に固定される。
【0010】図2のヘッド組立体(1)は、磁気ヘッド
(3A)(3B)が仮固定された状態で、図1のように
、ディスク用X−Yテーブル(8)に設けられたクラン
プアーム(9)によってクランプされる。ディスク用X
−Yテーブル(8)は、この組立装置の主座標となっい
て、ディスク(2)はこの主座標X−Yの原点にセット
される。なおディスク(2)は高精度に加工されていて
、どのディスクについても、同一の原点位置に固定され
る。磁気ヘッド(3A)(3B)の夫々の取付ピース(
5)は、ディスク用X−Yテーブル(8)の動作とは無
関係に固定されているチャック装置(図示せず)によっ
てチャックされる。
(3A)(3B)が仮固定された状態で、図1のように
、ディスク用X−Yテーブル(8)に設けられたクラン
プアーム(9)によってクランプされる。ディスク用X
−Yテーブル(8)は、この組立装置の主座標となっい
て、ディスク(2)はこの主座標X−Yの原点にセット
される。なおディスク(2)は高精度に加工されていて
、どのディスクについても、同一の原点位置に固定され
る。磁気ヘッド(3A)(3B)の夫々の取付ピース(
5)は、ディスク用X−Yテーブル(8)の動作とは無
関係に固定されているチャック装置(図示せず)によっ
てチャックされる。
【0011】Aチャンネル及びBチャンネルのヘッド(
3A)(3B)のディスク(2)(主座標の原点)に対
する位置は、夫々Aチャンネル用X−Yテーブル(10
A)及びBチャンネル用X−Yテーブル(10B)上に
設けられた光学読み取り装置(11A)(11B)によ
って読取られる。これらのX−Yテーブル(10A)(
10B)は、夫々前記ディスク用X−Yテーブル(8)
とは無関係にX−Y方向に自由に動かすことができ、前
記主座標に対して副座標系を構成する。
3A)(3B)のディスク(2)(主座標の原点)に対
する位置は、夫々Aチャンネル用X−Yテーブル(10
A)及びBチャンネル用X−Yテーブル(10B)上に
設けられた光学読み取り装置(11A)(11B)によ
って読取られる。これらのX−Yテーブル(10A)(
10B)は、夫々前記ディスク用X−Yテーブル(8)
とは無関係にX−Y方向に自由に動かすことができ、前
記主座標に対して副座標系を構成する。
【0012】光学読取装置(11A)(11B)は、ヘ
ッド(3A)(3B)の位置(ギャップのセンター)を
例えば0.5μの精度で読取ることができる。読取られ
た副座標の値(X,Y)は、予め高精度に組立てられた
基準のヘッド組立体(マスターワーク)を測定して得ら
れている副座標のデータ(X0 、Y0 )と比較され
る。 このマスターワークの測定値に対する差が現在測定して
いるヘッド組立体(1)についてのディスク(2)とヘ
ッド(3A)または(3B)との相対的位置関係である
。
ッド(3A)(3B)の位置(ギャップのセンター)を
例えば0.5μの精度で読取ることができる。読取られ
た副座標の値(X,Y)は、予め高精度に組立てられた
基準のヘッド組立体(マスターワーク)を測定して得ら
れている副座標のデータ(X0 、Y0 )と比較され
る。 このマスターワークの測定値に対する差が現在測定して
いるヘッド組立体(1)についてのディスク(2)とヘ
ッド(3A)または(3B)との相対的位置関係である
。
【0013】測定が終了すると、上記マスターワークの
測定データに対する差分が零になるように、ディスク用
X−Yテーブル(8)が動かされ、これによって磁気ヘ
ッド(3A)(3B)のディスク(2)に対する位置決
めが達成される。この位置決め作業では、ディスク(2
)のみが動かされ、ヘッド取付ピース(5)はチャック
によって固定されたまま動かない。位置決め後には、ネ
ジ締装置(12)が動作され、ヘッド(3A)(3B)
がディスク(2)に固着される。
測定データに対する差分が零になるように、ディスク用
X−Yテーブル(8)が動かされ、これによって磁気ヘ
ッド(3A)(3B)のディスク(2)に対する位置決
めが達成される。この位置決め作業では、ディスク(2
)のみが動かされ、ヘッド取付ピース(5)はチャック
によって固定されたまま動かない。位置決め後には、ネ
ジ締装置(12)が動作され、ヘッド(3A)(3B)
がディスク(2)に固着される。
【0014】なお光学読取装置(11A)(11B)は
、ヘッドの高さ(Z軸)についての情報をも読取るが、
これはヘッド高さが規定値の公差以内であるか否かを確
認するためである。図1の組立装置は、ディスク(2)
に対するヘッドの高さを自動調整する機能は無く、ヘッ
ドチップ(4)を装着した取付ピース(5)の形状を予
めマイクロメータ等で機械的に計測して、所要のヘッド
高さが得られるように、図2のようにヘッド(3A)(
3B)をディスクに仮固定する際に、例えば5μ単位の
スペーサーでもって高さを調整されている。
、ヘッドの高さ(Z軸)についての情報をも読取るが、
これはヘッド高さが規定値の公差以内であるか否かを確
認するためである。図1の組立装置は、ディスク(2)
に対するヘッドの高さを自動調整する機能は無く、ヘッ
ドチップ(4)を装着した取付ピース(5)の形状を予
めマイクロメータ等で機械的に計測して、所要のヘッド
高さが得られるように、図2のようにヘッド(3A)(
3B)をディスクに仮固定する際に、例えば5μ単位の
スペーサーでもって高さを調整されている。
【0015】図3は一方の光学読取装置(11A)の略
斜視図を示す。他方の読取装置も同じ構成である。この
読取装置は、光源(14)と、この光源からの光を対物
レンズ系(16)に与えるハーフミラー(15)と、ヘ
ッド(3B)からの反射光が対物レンズ系(16)によ
って結像されるスクリーン(17)と、このスクリーン
(17)上においてZ軸方向に設けられたラインセンサ
(18)とを具備している。
斜視図を示す。他方の読取装置も同じ構成である。この
読取装置は、光源(14)と、この光源からの光を対物
レンズ系(16)に与えるハーフミラー(15)と、ヘ
ッド(3B)からの反射光が対物レンズ系(16)によ
って結像されるスクリーン(17)と、このスクリーン
(17)上においてZ軸方向に設けられたラインセンサ
(18)とを具備している。
【0016】ラインセンサ(18)は、図4の平面図(
A)に示すように256個のフォトダイオードなどを一
列に並べたものであって、その1ピッチは25.4μで
ある。図3の対物レンズ系(16)の倍率を40倍にす
ると、25.4/40=0.635μの分解能を得るこ
とができる。ラインセンサ(18)の各受光エレメント
(19)からは、例えばCRTによる掃引波形で示すと
、図4の波形図(B)のように、ヘッドのテープ摺動面
の像(20)をZ軸(ラインセンサの長手方向)に沿っ
た線で走査したビデオ信号が得られる。このようなビデ
オ信号を形成する各エレメント(画素)(19)の出力
は、画素ごとにA/D変換され、ヘッド位置を特定する
ための図5に示すデータ処理装置に送られる。
A)に示すように256個のフォトダイオードなどを一
列に並べたものであって、その1ピッチは25.4μで
ある。図3の対物レンズ系(16)の倍率を40倍にす
ると、25.4/40=0.635μの分解能を得るこ
とができる。ラインセンサ(18)の各受光エレメント
(19)からは、例えばCRTによる掃引波形で示すと
、図4の波形図(B)のように、ヘッドのテープ摺動面
の像(20)をZ軸(ラインセンサの長手方向)に沿っ
た線で走査したビデオ信号が得られる。このようなビデ
オ信号を形成する各エレメント(画素)(19)の出力
は、画素ごとにA/D変換され、ヘッド位置を特定する
ための図5に示すデータ処理装置に送られる。
【0017】データ処理装置は、CPU(23)、メモ
リー(24)(ROM及びRAM)及びこれらを結合す
るデータバス(25)を備えるマイクロプロセッサで構
成されている。Aチャンネル及びBチャンネルのライン
センサ(18A)(18B)の各画素の出力は、切換ス
イッチ(26)を通って8ビットA/D変換器(27)
に送られ、ディジタル信号に変換される。なお切換スイ
ッチ(26)は、ハードウエアを簡単にするために1チ
ャンネルずつデータを処理するように切換えられる。A
/D変換器(27)の出力は、ラインセンサによって検
出されたヘッド像信号の波形認識(勾配検出)を行うた
めに微分回路(28)で微分され、更にヘッド表面像の
図形認識を行うためにCPU(23)及びメモリー(2
4)を使ってデータ処理される。微分回路(28)は、
隣接する画素の出力の差分を求める回路であってよく、
勿論、CPU(23)を用いた演算プログラムによって
ソフトウエアで実現できる。
リー(24)(ROM及びRAM)及びこれらを結合す
るデータバス(25)を備えるマイクロプロセッサで構
成されている。Aチャンネル及びBチャンネルのライン
センサ(18A)(18B)の各画素の出力は、切換ス
イッチ(26)を通って8ビットA/D変換器(27)
に送られ、ディジタル信号に変換される。なお切換スイ
ッチ(26)は、ハードウエアを簡単にするために1チ
ャンネルずつデータを処理するように切換えられる。A
/D変換器(27)の出力は、ラインセンサによって検
出されたヘッド像信号の波形認識(勾配検出)を行うた
めに微分回路(28)で微分され、更にヘッド表面像の
図形認識を行うためにCPU(23)及びメモリー(2
4)を使ってデータ処理される。微分回路(28)は、
隣接する画素の出力の差分を求める回路であってよく、
勿論、CPU(23)を用いた演算プログラムによって
ソフトウエアで実現できる。
【0018】切換スイッチ(26)、A/D変換器(2
7)、微分回路(28)は、コントロールロジック(2
9)で制御される。ヘッド位置を測定するための光学読
取装置(11A)(11B)を移動させるX−Yテーブ
ル(10A)(10B)、回転ディスク(RD)(2)
用のX−Yテーブル(8)及びネジ締装置(12)は、
夫々パルスモータ(30A)〜(30E)によって駆動
される。これらのパルスモータの駆動信号は、CPU(
23)から発生される動作指令に基いて、データ出力ポ
ート(31)、パルスモータドライバ(32A)〜(3
2E)を経て与えられる。各X−Yテーブル(10A)
(10B)(8)の座標データはマイクロプロセッサの
メモリーに保持されている。
7)、微分回路(28)は、コントロールロジック(2
9)で制御される。ヘッド位置を測定するための光学読
取装置(11A)(11B)を移動させるX−Yテーブ
ル(10A)(10B)、回転ディスク(RD)(2)
用のX−Yテーブル(8)及びネジ締装置(12)は、
夫々パルスモータ(30A)〜(30E)によって駆動
される。これらのパルスモータの駆動信号は、CPU(
23)から発生される動作指令に基いて、データ出力ポ
ート(31)、パルスモータドライバ(32A)〜(3
2E)を経て与えられる。各X−Yテーブル(10A)
(10B)(8)の座標データはマイクロプロセッサの
メモリーに保持されている。
【0019】更に、測定データをモニターするために、
データバス(25)にシリアルインタフェイス(33)
を通じてCRTターミナル(34)が接続されている。
データバス(25)にシリアルインタフェイス(33)
を通じてCRTターミナル(34)が接続されている。
【0020】次に本実施例の回転ヘッド組立装置の動作
を説明する。図6は、ヘッド表面像(図3のスクリーン
(17)上のテープ摺動ヘッド面の投影像(20))と
、ラインセンサ(18)による線走査とを示す略線図で
ある。また図7は回転磁気ヘッドと読取光学系との部分
平面図である。
を説明する。図6は、ヘッド表面像(図3のスクリーン
(17)上のテープ摺動ヘッド面の投影像(20))と
、ラインセンサ(18)による線走査とを示す略線図で
ある。また図7は回転磁気ヘッドと読取光学系との部分
平面図である。
【0021】本発明によれば、ラインセンサとヘッドの
ギャップとが所定角度だけ傾けられている。この配置は
、ラインセンサの出力に基いてヘッドギャップの認識を
行ってヘッドセンターの位置(X及びY方向)を測定す
る目的には、後述の如く、データ処理上極めて都合が良
く、数々の利点を有する。
ギャップとが所定角度だけ傾けられている。この配置は
、ラインセンサの出力に基いてヘッドギャップの認識を
行ってヘッドセンターの位置(X及びY方向)を測定す
る目的には、後述の如く、データ処理上極めて都合が良
く、数々の利点を有する。
【0022】この実施例の磁気ヘッドは、その走査方向
(図6の矢印a方向)と直角な方向(Z軸)に対してギ
ャップ(36)が所定角度(例えば7度)傾いたアジマ
スヘッドである。従ってZ軸方向のラインセンサ(18
)に対してギャップ(36)が所定角度傾いている。 なおアジマスのないギャップを有するヘッドについて本
発明を実施する場合には、ラインセンサの方をZ軸から
傾ける。
(図6の矢印a方向)と直角な方向(Z軸)に対してギ
ャップ(36)が所定角度(例えば7度)傾いたアジマ
スヘッドである。従ってZ軸方向のラインセンサ(18
)に対してギャップ(36)が所定角度傾いている。 なおアジマスのないギャップを有するヘッドについて本
発明を実施する場合には、ラインセンサの方をZ軸から
傾ける。
【0023】ヘッドの(3A)または(3B)のディス
ク(2)に対する回転方向の位置は、図6のA、B、C
のようにラインセンサ(18)(読取装置)をY軸方向
に動かすことにより測定される。またヘッドのディスク
周面に対する突出し量は、図7のA´、B´、C´のよ
うに読取装置をX軸方向(光学系の光軸方向)に動かす
ことにより測定される。
ク(2)に対する回転方向の位置は、図6のA、B、C
のようにラインセンサ(18)(読取装置)をY軸方向
に動かすことにより測定される。またヘッドのディスク
周面に対する突出し量は、図7のA´、B´、C´のよ
うに読取装置をX軸方向(光学系の光軸方向)に動かす
ことにより測定される。
【0024】図8は図6及び図7のように読取装置(1
1)をX−Y方向に動かしたときのラインセンサ(18
)の出力をCRTの掃引波形で示したものである。光学
系の対物レンズ(16)の焦点位置にヘッド面がある場
合、Y方向の移動により、図6のA、B、Cの位置で図
8A、B、Cで示す信号が得られる。Cの位置では、ヘ
ッドのトラック巾Tの境界に相当する急峻な立上り、立
下り及びヘッドギャップ(36)を示すギャップ信号g
を夫々有する波形が生じる。一方、図6Cの位置で読取
装置(11)をX方向に移動させると、図7のA´、B
´、C´の位置で図8A´、B´、C´で示す信号が得
られる。すなわちA´→B´の方向に向って焦点が整合
され、C´の位置で焦点整合状態の波形が得られる。 焦点整合時の読取光学系のX座標でもってヘッドの突出
し量が分る。
1)をX−Y方向に動かしたときのラインセンサ(18
)の出力をCRTの掃引波形で示したものである。光学
系の対物レンズ(16)の焦点位置にヘッド面がある場
合、Y方向の移動により、図6のA、B、Cの位置で図
8A、B、Cで示す信号が得られる。Cの位置では、ヘ
ッドのトラック巾Tの境界に相当する急峻な立上り、立
下り及びヘッドギャップ(36)を示すギャップ信号g
を夫々有する波形が生じる。一方、図6Cの位置で読取
装置(11)をX方向に移動させると、図7のA´、B
´、C´の位置で図8A´、B´、C´で示す信号が得
られる。すなわちA´→B´の方向に向って焦点が整合
され、C´の位置で焦点整合状態の波形が得られる。 焦点整合時の読取光学系のX座標でもってヘッドの突出
し量が分る。
【0025】ヘッド位置測定系は、図8のようなX−Y
軸方向への移動によるラインセンサ(18)の出力波形
をデータ処理して位置データを算出する。具体的な測定
手順における波形変化は図9の■〜■の如くである。す
なわち、図6のスタート点Sの位置で、図9の■→■の
ように焦点粗調を行い、次に■のようにY方向にAの位
置まで粗送し、ここで■のように焦点を微調する。次に
■のように図6のBの位置まで中送りしてトラック巾T
を検出し、更に図6のCの位置でギャップ信号を検出す
る。Cの位置では、ギャップ信号のピークを検出するこ
とにより焦点が整合される。
軸方向への移動によるラインセンサ(18)の出力波形
をデータ処理して位置データを算出する。具体的な測定
手順における波形変化は図9の■〜■の如くである。す
なわち、図6のスタート点Sの位置で、図9の■→■の
ように焦点粗調を行い、次に■のようにY方向にAの位
置まで粗送し、ここで■のように焦点を微調する。次に
■のように図6のBの位置まで中送りしてトラック巾T
を検出し、更に図6のCの位置でギャップ信号を検出す
る。Cの位置では、ギャップ信号のピークを検出するこ
とにより焦点が整合される。
【0026】次に図9の各段階におけるデータ処理につ
いて説明する。■の焦点微調では、ラインセンサ(18
)の出力の微分値(画素列方向についての微分または差
分)の絶対値が図10A´→B´→C´のように最大に
なるまで読取光学系を図7のA´→B´→C´のように
X方向に移動させる。すなわち、焦点整合位置では映像
の濃淡境界が極めて明確となり、ラインセンサによって
検出されたヘッド表面の像信号の勾配の絶対値が最大に
なることを利用して、焦点微調の自動制御を行っている
。このためデータ処理は、図5の微分回路(28)とC
PU(23)とでもって、例えば微分値の絶対値の最大
値の時間変化を観察して、最大値が増加から減少に移る
点をとらえることで達成される。
いて説明する。■の焦点微調では、ラインセンサ(18
)の出力の微分値(画素列方向についての微分または差
分)の絶対値が図10A´→B´→C´のように最大に
なるまで読取光学系を図7のA´→B´→C´のように
X方向に移動させる。すなわち、焦点整合位置では映像
の濃淡境界が極めて明確となり、ラインセンサによって
検出されたヘッド表面の像信号の勾配の絶対値が最大に
なることを利用して、焦点微調の自動制御を行っている
。このためデータ処理は、図5の微分回路(28)とC
PU(23)とでもって、例えば微分値の絶対値の最大
値の時間変化を観察して、最大値が増加から減少に移る
点をとらえることで達成される。
【0027】図9の■の段階でトラック巾の検出では、
図11の黒丸P1 〜P3 、N1 〜N3 のように
、ラインセンサ出力の微分値(絶対値)が或る値以上で
ある画素が2つ(若しくは2つ以上)連続し、それが2
か所存在すること、及びこの2か所(PとN)の微分値
の符号が互いに反転していることを判別する。トラック
巾Tは上記2か所に相当するラインセンサの画素番号の
差として測定できる。
図11の黒丸P1 〜P3 、N1 〜N3 のように
、ラインセンサ出力の微分値(絶対値)が或る値以上で
ある画素が2つ(若しくは2つ以上)連続し、それが2
か所存在すること、及びこの2か所(PとN)の微分値
の符号が互いに反転していることを判別する。トラック
巾Tは上記2か所に相当するラインセンサの画素番号の
差として測定できる。
【0028】図9の■の段階でのギャップ信号の検出で
は、次の条件を満たすものを真のギャップ信号とし、他
の擬似ギャップ信号を排除している。すなわち、図12
に示すように既に検出されたトラック巾T内に斜線領域
Wを設定し、
は、次の条件を満たすものを真のギャップ信号とし、他
の擬似ギャップ信号を排除している。すなわち、図12
に示すように既に検出されたトラック巾T内に斜線領域
Wを設定し、
【0029】(I)、この領域内に存在する信号につい
て、(II)、左半部の登り勾配(微分値)及び右半部
の下り勾配が夫々一定値(例えば、±6ビット/10画
素)を持つこと、(III)、図13Aのように、測定
光学系をY方向に一定距離ΔYだけ送ったときに、図1
3Bのように、ギャップ信号の山がラインセンサ(18
)とギャップ(36)との傾き角θ(アジマス)の正接
tan θに対応して一定画素分ΔZ(∝ΔY/tan
θ)だけ移動すること(例えば、光学系をY方向に1
パルス(0.5μm)送ったとき山が3ビット(画素)
以上移すこと)。
て、(II)、左半部の登り勾配(微分値)及び右半部
の下り勾配が夫々一定値(例えば、±6ビット/10画
素)を持つこと、(III)、図13Aのように、測定
光学系をY方向に一定距離ΔYだけ送ったときに、図1
3Bのように、ギャップ信号の山がラインセンサ(18
)とギャップ(36)との傾き角θ(アジマス)の正接
tan θに対応して一定画素分ΔZ(∝ΔY/tan
θ)だけ移動すること(例えば、光学系をY方向に1
パルス(0.5μm)送ったとき山が3ビット(画素)
以上移すこと)。
【0030】を夫々条件として真のギャップ信号と、ゴ
ミ、外乱ノイズ等による擬似ギャップ信号を弁別してい
る。
ミ、外乱ノイズ等による擬似ギャップ信号を弁別してい
る。
【0031】更に、図9の■の段階での焦点整合では、
図14のg→g´→g″→に示すように、ヘッドギャッ
プ(36)とラインセンサ(18)とのクロス点に現わ
れるギャップ信号gのレベルが最大になるように、読取
光学系をX方向に微少移動させる。このギャップ信号の
レベル変化は極めてクリティカルなものであり、約2μ
の精度で焦点整合位置を検知して、これによってヘッド
突出量を測定することができる。
図14のg→g´→g″→に示すように、ヘッドギャッ
プ(36)とラインセンサ(18)とのクロス点に現わ
れるギャップ信号gのレベルが最大になるように、読取
光学系をX方向に微少移動させる。このギャップ信号の
レベル変化は極めてクリティカルなものであり、約2μ
の精度で焦点整合位置を検知して、これによってヘッド
突出量を測定することができる。
【0032】またヘッドギャップ(36)のY方向(デ
ィスク回転方向)のセンターは、上述のようにして弁別
されたギャップ信号の位置データと、トラック巾Tのデ
ータとに基いて算出することができる。すなわち、検出
されたギャップ位置でのラインセンサ(18)の画素番
号と、トラック巾Tの中点の画素番号とを互に一致させ
るには検出光学系をY方向に何ステップ動かせば良いか
を、計算で求めることができるから、これによってギャ
ップのY方向センターのデータを検出することができる
。なお実際に検出光学系をギャップのY方向センターま
で動かして、そのときのY座標の読み取ってもよい。
ィスク回転方向)のセンターは、上述のようにして弁別
されたギャップ信号の位置データと、トラック巾Tのデ
ータとに基いて算出することができる。すなわち、検出
されたギャップ位置でのラインセンサ(18)の画素番
号と、トラック巾Tの中点の画素番号とを互に一致させ
るには検出光学系をY方向に何ステップ動かせば良いか
を、計算で求めることができるから、これによってギャ
ップのY方向センターのデータを検出することができる
。なお実際に検出光学系をギャップのY方向センターま
で動かして、そのときのY座標の読み取ってもよい。
【0033】上述のように測定されたヘッドの回転方向
(Y)及び突出方向(X)の副座標データ(Y´、X´
)は、既述のようにマスターワークの測定データ(Y0
、X0 )と比較され、差分(Y0 −Y´、X0
−X´)の符号を反転した距離だけ図1のディスク用X
−Yテーブル(8)(主座標)が移動される。この結果
、マスターワークと同一位置にヘッドが位置決めされる
。
(Y)及び突出方向(X)の副座標データ(Y´、X´
)は、既述のようにマスターワークの測定データ(Y0
、X0 )と比較され、差分(Y0 −Y´、X0
−X´)の符号を反転した距離だけ図1のディスク用X
−Yテーブル(8)(主座標)が移動される。この結果
、マスターワークと同一位置にヘッドが位置決めされる
。
【0034】
【発明の効果】上述の如く本発明によれば、テープ摺動
方向に位置ずれした2つの交差位置における像検出手段
の出力と、ヘッドギャップと一次元センサとの傾き情報
(実施例におけるアジマス角度)とに基いて、像検出手
段の出力からギャップ位置信号を他の擬似信号と区別し
て抽出することができる。そして抽出されるたギャップ
位置信号が持つ情報(レベルまたは位相)から基準に対
するヘッド位置の情報を極めて高い精度で得ることがで
きる。従って、このヘッド位置情報に基いて回転ヘッド
を高精度で自動組立することが可能である。
方向に位置ずれした2つの交差位置における像検出手段
の出力と、ヘッドギャップと一次元センサとの傾き情報
(実施例におけるアジマス角度)とに基いて、像検出手
段の出力からギャップ位置信号を他の擬似信号と区別し
て抽出することができる。そして抽出されるたギャップ
位置信号が持つ情報(レベルまたは位相)から基準に対
するヘッド位置の情報を極めて高い精度で得ることがで
きる。従って、このヘッド位置情報に基いて回転ヘッド
を高精度で自動組立することが可能である。
【図1】本発明によるヘッド位置測定装置を用いた回転
ヘッド組立装置の概略斜視図である。
ヘッド組立装置の概略斜視図である。
【図2】回転ヘッド組立体の斜視図である。
【図3】ヘッド位置を測定する図1の光学読取装置の原
理的な略斜視図である。
理的な略斜視図である。
【図4】図3の光学系におけるラインセンサの正面図及
びその出力波形図である。
びその出力波形図である。
【図5】図1のヘッド取付装置を制御するデータ処理装
置のブロック図である。
置のブロック図である。
【図6】ヘッド表面像とラインセンサによる測定光学系
との拡大された部分平面図である。
との拡大された部分平面図である。
【図7】ヘッドと測定光学系との拡大された部分平面図
である。
である。
【図8】図6及び図7のように測定光学系が移動する場
合のラインセンサの出力の掃引波形図である。
合のラインセンサの出力の掃引波形図である。
【図9】具体的な測定手順でのラインセンサ出力の掃引
波形図である。
波形図である。
【図10】光学系の焦点合せ時のラインセンサ出の微分
信号の波形図である。
信号の波形図である。
【図11】トラック巾のデータ測定時のラインセンサ出
の掃引波形図である。
の掃引波形図である。
【図12】ギャップ信号検出時のラインセンサ出力の掃
引波形図である。
引波形図である。
【図13】(A)はギャップ信号検出時のヘッド表面像
とラインセンサの位置とを示す略線図である。(B)は
図13(A)に対応するラインセンサ出力の掃引波形図
である。
とラインセンサの位置とを示す略線図である。(B)は
図13(A)に対応するラインセンサ出力の掃引波形図
である。
【図14】測定光学系の焦点整合時のギャップ信号の変
化を示す波形図である。
化を示す波形図である。
2 回転ディスク
3A 磁気ヘッド
3B 磁気ヘッド
4 ヘッドチップ
5 取付ピース
8 ディスク用X−Yテーブル10A A
チャンネルX−Yテーブル10B BチャンネルX−
Yテーブル11A 光学読取装置 11B 光学読取装置 18A ラインセンサ 18B ラインセンサ
チャンネルX−Yテーブル10B BチャンネルX−
Yテーブル11A 光学読取装置 11B 光学読取装置 18A ラインセンサ 18B ラインセンサ
Claims (1)
- 【請求項1】磁気ヘッドのヘッドギャップに対して所定
角度だけ傾き、上記磁気ヘッドのテープ摺動面を撮像す
る一次元センサと、該一次元センサをテープ摺動方向に
移動させる移動手段と、上記磁気ヘッドのテープ摺動面
の像を一次元センサ上において検出する像検出手段と、
上記移動手段によって上記一次元センサがテープの摺動
方向に移動した際に、上記一次元センサと上記ヘッドギ
ャップとが交差する第1の位置及び第2の位置における
上記像検出手段の第1の像出力及び第2の像出力と、上
記ヘッドギャップの上記一次元センサに対する傾き情報
とに基づいて、上記ヘッドギャップ位置を検出する検出
手段とを具備することを特徴とする磁気ヘッドのギャッ
プ位置検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27014491A JPH0724095B2 (ja) | 1991-09-21 | 1991-09-21 | ヘッドギャップ位置検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27014491A JPH0724095B2 (ja) | 1991-09-21 | 1991-09-21 | ヘッドギャップ位置検出装置 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6780882A Division JPS58185024A (ja) | 1982-04-22 | 1982-04-22 | 磁気ヘツドの位置測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04364213A true JPH04364213A (ja) | 1992-12-16 |
| JPH0724095B2 JPH0724095B2 (ja) | 1995-03-15 |
Family
ID=17482161
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27014491A Expired - Lifetime JPH0724095B2 (ja) | 1991-09-21 | 1991-09-21 | ヘッドギャップ位置検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0724095B2 (ja) |
-
1991
- 1991-09-21 JP JP27014491A patent/JPH0724095B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0724095B2 (ja) | 1995-03-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6094269A (en) | Apparatus and method for optically measuring an object surface contour | |
| JP3511450B2 (ja) | 光学式測定装置の位置校正方法 | |
| EP0206744A2 (en) | Optical sensing of a surface | |
| JP3678915B2 (ja) | 非接触三次元測定装置 | |
| JPS59119204A (ja) | マ−ク位置検出方法 | |
| US4390278A (en) | Method of and apparatus for inspecting the accuracy of a machined contour in a workpiece | |
| JPH11351841A (ja) | 非接触三次元測定方法 | |
| USRE43463E1 (en) | Three-dimensional measuring apparatus and three-dimensional measuring method | |
| JPH04364213A (ja) | ヘッドギャップ位置検出装置 | |
| JPH0416847B2 (ja) | ||
| JPH0886631A (ja) | 物体の姿勢測定装置、姿勢測定方法、姿勢制御装置および物体表面の検査装置 | |
| EP0296252A1 (en) | Optical measuring instrument | |
| KR940003791B1 (ko) | 폭측정장치 | |
| JPS6133442B2 (ja) | ||
| JP2575128B2 (ja) | 面形状測定装置 | |
| KR0131566Y1 (ko) | 광픽업 스큐 조정장치 | |
| JP2812716B2 (ja) | 自動位置合せ計測用センサ装置 | |
| JPH05172524A (ja) | 光学式計測装置 | |
| JPH03186739A (ja) | 磁気ディスク基板の外周端部損傷の検出回路 | |
| JPH01243535A (ja) | ウエハプローバ装置 | |
| JP2695337B2 (ja) | 硬度測定方法 | |
| JPH04278555A (ja) | 微少寸法測定装置 | |
| JPH01242906A (ja) | 光切断法における線化方法 | |
| JPS58208603A (ja) | 位置検出方法 | |
| JPS63280429A (ja) | プロ−ブ針位置検出装置 |