JPH0436458Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0436458Y2 JPH0436458Y2 JP8478788U JP8478788U JPH0436458Y2 JP H0436458 Y2 JPH0436458 Y2 JP H0436458Y2 JP 8478788 U JP8478788 U JP 8478788U JP 8478788 U JP8478788 U JP 8478788U JP H0436458 Y2 JPH0436458 Y2 JP H0436458Y2
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- Japan
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- blower
- air
- door
- chamber
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- Expired
Links
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- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 3
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 3
- 238000004887 air purification Methods 0.000 description 2
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
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- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 description 1
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Landscapes
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Ventilation (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Of Devices, Machine Parts, Or Other Structures Thereof (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本考案は磁気デイスク、光デイスク、各種半導
体製品について清浄条件下で耐熱テスト、耐寒テ
スト等の試験を行い、あるいは熱処理を行う等に
用いるクリーン恒温器に関するものである。
体製品について清浄条件下で耐熱テスト、耐寒テ
スト等の試験を行い、あるいは熱処理を行う等に
用いるクリーン恒温器に関するものである。
この種の恒温器は一般に器内空気循環用送風機
が外部モータによつて駆動されるように構成され
ており、通常はクリーンルームに設置される。
が外部モータによつて駆動されるように構成され
ており、通常はクリーンルームに設置される。
そして前記外部モータからの発塵が認められる
場合には、第３図に示すように恒温器１００上の
外部モータ１０１の周囲にカバー体１０２を設
け、このカバー体１０２をクリーンルーム１０５
の天井部に通した排気ダクト１０３に接続ダクト
１０４にて接続し、これによつてモータからの粉
塵がクリーンルーム１０５内に飛散することを防
止している。
場合には、第３図に示すように恒温器１００上の
外部モータ１０１の周囲にカバー体１０２を設
け、このカバー体１０２をクリーンルーム１０５
の天井部に通した排気ダクト１０３に接続ダクト
１０４にて接続し、これによつてモータからの粉
塵がクリーンルーム１０５内に飛散することを防
止している。
しかしながら、従来のこのような排塵手段で
は、クリーンルーム天井部に排気ダクトを設置す
る工事が手間取り、コスト高につくばかりか、か
かる排気ダクトの位置に拘束されて恒温器を任意
の場所に移動設置することが容易でないという問
題がある。
は、クリーンルーム天井部に排気ダクトを設置す
る工事が手間取り、コスト高につくばかりか、か
かる排気ダクトの位置に拘束されて恒温器を任意
の場所に移動設置することが容易でないという問
題がある。
そこで本考案は、器内空気循環用送風機が外部
モータによつて駆動されるクリーン恒温器であつ
て、恒温器の設置場所にかかわらず、前記外部モ
ータからの発塵を除去できるとともに、該発塵の
除去によつて得られた浄化空気を恒温器開扉時に
器内へ進入しようとする外気の遮断に有効に利用
して器内の清浄な雰囲気を維持することができる
恒温器を提供することを目的とする。
モータによつて駆動されるクリーン恒温器であつ
て、恒温器の設置場所にかかわらず、前記外部モ
ータからの発塵を除去できるとともに、該発塵の
除去によつて得られた浄化空気を恒温器開扉時に
器内へ進入しようとする外気の遮断に有効に利用
して器内の清浄な雰囲気を維持することができる
恒温器を提供することを目的とする。
本考案は前記目的にしたがい、器内空気循環用
送風機が外部モータによつて駆動されるクリーン
恒温器において、前記外部モータをカバー体で囲
み、該カバー体内気体をフイルタに通して浄化し
たのち恒温器扉部分へ吹き出す空気浄化吹出し装
置を備えたことを特徴とするクリーン恒温器を提
供するものである。
送風機が外部モータによつて駆動されるクリーン
恒温器において、前記外部モータをカバー体で囲
み、該カバー体内気体をフイルタに通して浄化し
たのち恒温器扉部分へ吹き出す空気浄化吹出し装
置を備えたことを特徴とするクリーン恒温器を提
供するものである。
なお、ここにいう恒温器にはクリーン恒温恒湿
器も含まれる。
器も含まれる。
本考案恒温器によると、送風機を駆動する外部
モータからの発塵は、前記カバー体内に閉じ込め
られ、該カバー体内の気体は前記フイルタを通つ
て浄化された後、恒温器の扉部分へ吹き出し、恒
温器開扉時に器内へ進入しようとする外気を遮断
する。
モータからの発塵は、前記カバー体内に閉じ込め
られ、該カバー体内の気体は前記フイルタを通つ
て浄化された後、恒温器の扉部分へ吹き出し、恒
温器開扉時に器内へ進入しようとする外気を遮断
する。
以下、本考案の実施例を図面を参照しつつ説明
する。
する。
第１図は一実施例の概略断面を示している。第
１図に示す実施例は、クリーン恒温恒湿器であ
り、内部試験槽７の奥に仕切り壁７１が設けら
れ、該仕切り壁７１後方に下から上へ順次加熱蒸
発式加湿器７２、冷却兼除湿器７３、加熱器７４
及び空気循環用送風機７５が設けられている。送
風機７５が外部モータ２によつて駆動されること
により、試験槽内気体は仕切り壁７１の後方へ下
から入り、こおで調温調湿された後、試験槽７上
部のフイルタ７６を通つて浄化された状態で試験
槽７内へ入る。
１図に示す実施例は、クリーン恒温恒湿器であ
り、内部試験槽７の奥に仕切り壁７１が設けら
れ、該仕切り壁７１後方に下から上へ順次加熱蒸
発式加湿器７２、冷却兼除湿器７３、加熱器７４
及び空気循環用送風機７５が設けられている。送
風機７５が外部モータ２によつて駆動されること
により、試験槽内気体は仕切り壁７１の後方へ下
から入り、こおで調温調湿された後、試験槽７上
部のフイルタ７６を通つて浄化された状態で試験
槽７内へ入る。
浄化フイルタ７６は、ヘパ（HEPA）フイル
タと通称されている高集塵性フイルタである。
タと通称されている高集塵性フイルタである。
また試験槽７の開口部７７は扉６によつて開閉
される。
される。
外部モータ２に対しては空気浄化吹出し装置Ａ
が設けられている。
が設けられている。
装置Ａは、外部モータ２を覆つて扉６の上方ま
で延びるカバー体１を備えている。このカバー体
は扉６の上端面部分に臨む開口５を有する。また
カバー体１は外部モータ２の図示しない自冷扇の
上方に気体導入口８を備えている。装置Ａはさら
にカバー体１内に送風機３及びその前方のヘパフ
イルタ４を備えている。
で延びるカバー体１を備えている。このカバー体
は扉６の上端面部分に臨む開口５を有する。また
カバー体１は外部モータ２の図示しない自冷扇の
上方に気体導入口８を備えている。装置Ａはさら
にカバー体１内に送風機３及びその前方のヘパフ
イルタ４を備えている。
この恒温恒湿器によると、試験槽７内気体は、
モータ２によつて駆動される送風機７５の回転に
よつて循環せしめられ、且つ加湿器７２、冷却兼
除湿器７３及び加熱器７４によつて所定温度湿度
に維持される。
モータ２によつて駆動される送風機７５の回転に
よつて循環せしめられ、且つ加湿器７２、冷却兼
除湿器７３及び加熱器７４によつて所定温度湿度
に維持される。
またモータ２からの発塵は、空気浄化吹出し装
置Ａによつて除去される。すなわちモータ２の運
転中装置Ａ内の送風機３も運転され、これによつ
てカバー体１内の気体はヘパフイルタ４へ向けら
れ、ここで浄化されたのち開口５から扉部分へ流
下する。またカバー体１内へは送風機３の運転に
伴つて空気導入口８から空気が導入される。
置Ａによつて除去される。すなわちモータ２の運
転中装置Ａ内の送風機３も運転され、これによつ
てカバー体１内の気体はヘパフイルタ４へ向けら
れ、ここで浄化されたのち開口５から扉部分へ流
下する。またカバー体１内へは送風機３の運転に
伴つて空気導入口８から空気が導入される。
扉６が閉じられているときには、浄化空気は開
口前壁５１と扉６との隙間から流下する。扉６が
開かれた時には、開口５全体から流下して試験槽
開口部７７に沿つて下降し、該開口部７７から試
験槽７内へ進入しようとする外気を遮断し、槽７
内を清浄に維持する。
口前壁５１と扉６との隙間から流下する。扉６が
開かれた時には、開口５全体から流下して試験槽
開口部７７に沿つて下降し、該開口部７７から試
験槽７内へ進入しようとする外気を遮断し、槽７
内を清浄に維持する。
次に第２図に概略断面を示すもう一つの実施例
について説明する。
について説明する。
第２図に示す実施例は、クリーン恒温恒湿器で
あり恒温恒湿器本体部分の構造は第１図に示すも
のと同じである。この実施例においては、空気浄
化吹出し装置A′が第１図に示す実施例における
装置Ａと若干異なつている。すなわちモータ２を
囲むカバー体１０は、第１図実施例におけるもの
より更に長く扉前方へ延び、カバー体１０の下方
へ向く空気吹出し開口５０は広い面積を有してお
り、該吹出し開口５０の前端からはビニル等から
なる外気遮断カーテン５０１が吊るされている。
該カーテンと扉６との間には作業空間９が形成さ
れている。
あり恒温恒湿器本体部分の構造は第１図に示すも
のと同じである。この実施例においては、空気浄
化吹出し装置A′が第１図に示す実施例における
装置Ａと若干異なつている。すなわちモータ２を
囲むカバー体１０は、第１図実施例におけるもの
より更に長く扉前方へ延び、カバー体１０の下方
へ向く空気吹出し開口５０は広い面積を有してお
り、該吹出し開口５０の前端からはビニル等から
なる外気遮断カーテン５０１が吊るされている。
該カーテンと扉６との間には作業空間９が形成さ
れている。
また前記吹出し開口５０にはヘパフイルタ４０
が設けられている。
が設けられている。
この装置A′によると、モータ２からの発塵に
より汚れたカバー体１０内気体は送風機３によつ
てヘパフイルタ４０上方へ導かれ、ここからヘパ
フイルタ４０により浄化されて扉６の前方へ流下
する。扉６を開けた時には、この流下する浄化空
気によつて試験槽７内への外気進入が遮断され
る。この実施例においては、試験槽７内への外気
進入遮断は、カーテン５０１があるためにより一
層確実に防止される。この装置A′においては、
送風機３から吐出される気体は、送風機３より前
方の広い空間部分Ｓへ入つた後そこからフイルタ
４０を通過するので、送風機３から出たあと直ち
にフイルタ４０を通過する場合と比べると、送風
機３の負担が少ないとともに消音効果がある。
より汚れたカバー体１０内気体は送風機３によつ
てヘパフイルタ４０上方へ導かれ、ここからヘパ
フイルタ４０により浄化されて扉６の前方へ流下
する。扉６を開けた時には、この流下する浄化空
気によつて試験槽７内への外気進入が遮断され
る。この実施例においては、試験槽７内への外気
進入遮断は、カーテン５０１があるためにより一
層確実に防止される。この装置A′においては、
送風機３から吐出される気体は、送風機３より前
方の広い空間部分Ｓへ入つた後そこからフイルタ
４０を通過するので、送風機３から出たあと直ち
にフイルタ４０を通過する場合と比べると、送風
機３の負担が少ないとともに消音効果がある。
前記いずれの実施例においても、外部モータ２
からの発塵によつて汚れたモータ周辺の気体は、
送風機３によつてフイルタ４または４０へ運ば
れ、ここを通過することによつて浄化され、扉部
分へ流下する。扉６を開いた時にはこの流下する
浄化空気によつて試験槽７への外気の進入が防止
されフイルタ４，４０通過後の浄化空気が有効に
試験槽内清浄維持に利用される。
からの発塵によつて汚れたモータ周辺の気体は、
送風機３によつてフイルタ４または４０へ運ば
れ、ここを通過することによつて浄化され、扉部
分へ流下する。扉６を開いた時にはこの流下する
浄化空気によつて試験槽７への外気の進入が防止
されフイルタ４，４０通過後の浄化空気が有効に
試験槽内清浄維持に利用される。
本考案によると、器内空気循環用送風機が外部
モータによつて駆動されるクリーン恒温器であつ
て、恒温器の設置場所にかかわらず、前記外部モ
ータからの発塵を除去できるとともに、該発塵の
除去によつて得られた浄化空気を恒温器開扉時に
器内へ進入しようとする外気の遮断に有効に利用
して器内の清浄な雰囲気を維持することができる
クリーン恒温器を提供することができる効果があ
る。
モータによつて駆動されるクリーン恒温器であつ
て、恒温器の設置場所にかかわらず、前記外部モ
ータからの発塵を除去できるとともに、該発塵の
除去によつて得られた浄化空気を恒温器開扉時に
器内へ進入しようとする外気の遮断に有効に利用
して器内の清浄な雰囲気を維持することができる
クリーン恒温器を提供することができる効果があ
る。
第１図は本考案の一実施例の概略断面図、第２
図は本考案の他の実施例の概略断面図であり、第
３図は従来例の説明図である。 Ａ，A′……空気浄化吹出し装置、１，１０…
…カバー体、２……送風機７５駆動用モータ、３
……送風機、４，４０……フイルタ、５，５０…
…空気吹出し開口、８……空気導入口、６……
扉、７……試験槽。
図は本考案の他の実施例の概略断面図であり、第
３図は従来例の説明図である。 Ａ，A′……空気浄化吹出し装置、１，１０…
…カバー体、２……送風機７５駆動用モータ、３
……送風機、４，４０……フイルタ、５，５０…
…空気吹出し開口、８……空気導入口、６……
扉、７……試験槽。
Claims (1)
- 器内空気循環用送風機が外部モータによつて駆
動されるクリーン恒温器において、前記外部モー
タをカバー体で囲み、該カバー体内気体をフイル
タに通して浄化したのち恒温器扉部分へ吹き出す
空気浄化吹出し装置を備えたことを特徴とするク
リーン恒温器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8478788U JPH0436458Y2 (ja) | 1988-06-27 | 1988-06-27 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8478788U JPH0436458Y2 (ja) | 1988-06-27 | 1988-06-27 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH026276U JPH026276U (ja) | 1990-01-16 |
| JPH0436458Y2 true JPH0436458Y2 (ja) | 1992-08-27 |
Family
ID=31309467
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8478788U Expired JPH0436458Y2 (ja) | 1988-06-27 | 1988-06-27 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0436458Y2 (ja) |
-
1988
- 1988-06-27 JP JP8478788U patent/JPH0436458Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH026276U (ja) | 1990-01-16 |
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