JPH04365048A - 感光性組成物 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、平版印刷版、多色印刷
の校正刷、オーバーヘッドプロジェクター用図面、さら
には半導体素子の集積回路を製造する際に微細なレジス
トパターンを形成することが可能なポジ型感光性組成物
に関する。

【０００２】

【従来の技術】平版印刷版等の用途において、活性光線
により可溶化する、いわゆるポジチブに作用する感光性
物質としては、従来オルトキノンジアジド化合物が知ら
れており、実際平版印刷版等に広く利用されてきた。こ
のようなオルトキノンジアジド化合物としては、例えば
米国特許第　２，７６６，１１８号、同第　２，７６７
，０９２号、同第　２，７７２，９７２号、同第　２，
８５９，１１２号、同第　２，９０７，６６５号、同第
　３，０４６，１１０号、同第　３，０４６，１１１号
、同第　３，０４６，１１５号、同第　３，０４６，１
１８号、同第　３，０４６，１１９号、同第　３，０４
６，１２０号、同第　３，０４６，１２１号、同第　３
，０４６，１２２号、同第　３，０４６，１２３号、同
第　３，０６１，４３０号、同第　３，１０２，８０９
号、同第　３，１０６，４６５号、同第　３，６３５，
７０９号、同第　３，６４７，４４３号の各明細書をは
じめ、多数の刊行物に記されている。

【０００３】これらのオルトキノンジアジド化合物は、
活性光線の照射により分解を起こして５員環のカルボン
酸を生じ、アルカリ可溶性となることを利用したもので
あるが、いずれも十分な感度を示すものではなかった。 これは、オルトキノンジアジド化合物によっては、光化
学的な増感を達成するのが困難であり、本質的にその量
子収率が１を越えないことに起因するものである。また
感光波長が固定化される為、光源適性に乏しく、白燈安
全性付与が困難であり、更にＤｅｅｐ　　ＵＶ領域での
吸収が大きいため、低波長光使用によるフォトレジスト
の解像力向上を目的とした用途には適さない。

【０００４】これらの欠点を克服するために、例えば特
公昭４８−１２２４２号、特開昭５２−４０１２５号、
米国特許第　４，３０７，１７３号などの各公報および
明細書に記載の方法が試みられているが、いずれも不十
分な改良に留まっている。また最近、オルトキノンジア
ジド化合物に替わる新規ポジ型感光材料の開発を目的と
して、いくつかの提案がなされている。その１つとして
、例えば特公昭５６−２６９６号の公報に記載されてい
るオルトニトロカルビノールエステル基を有するポリマ
ー化合物が挙げられる。しかし、この場合においても十
分な感度が得られなかった。

【０００５】一方、半導体素子、磁気バルブメモリ、集
積回路等の電子部品を製造するためのパターン形成法と
して、フォトレジストを利用して作成する方法が一般に
行われている。フォトレジストには、光照射により被照
射部が現像液に不溶化するネガ型と、反対に可溶化する
ポジ型とがある。ネガ型はポジ型に比べて感度が良く、
湿式エッチングに必要な基板との接着性及び耐薬品性に
も優れていることから、近年までフォトレジストの主流
を占めていた。しかし、半導体素子等の高密度化、高集
積化に伴い、パターンの線幅や間隔が極めて小さくなり
、また、基板のエッチングにはドライエッチングが採用
されるようになったことから、フォトレジストには高解
像度および高ドライエッチング耐性が望まれるようにな
り、現在ではポジ型フォトレジストが主流となっている
。特に、ポジ型フォトレジストの中でも、感度、解像力
、ドライエッチング耐性に優れることから、例えばジェ
ー・シー・ストリエータ著、コダック・マイクロエレク
トロニクス・セミナー・プロシーディングス、第１１６
頁（１９７６年）（Ｊ．　Ｃ．　Ｓｔｒｉｅｔｅｒ、Ｋ
ｏｄａｋ　Ｍｉｃｒｏｅｌｅｃｔｏｒｏｎｉｃｓ　Ｓｅ
ｍｉｎｏｒ　Ｐｒｏｃｅｅｄｉｎｇｓ，１１６（１９７
６））等に記載されているアルカリ可溶性のノボラック
樹脂をベースにしたアルカリ現像型のポジ型フォトレジ
ストが現在広く使用されている。

【０００６】しかしながら、近年電子機器の多機能化、
高感化に伴い、さらに高密度ならびに高集積化を図るべ
くパターンの微細化が強く要請されている。これらの要
求に対し、従来のオルトキノンジアジド感光性に、アル
カリ可溶性を付与したポリシロキサン又は、ポリシルメ
チレン等のシリコンポリマーを組み合わせた感光性組成
物、例えば特開昭６１−２５６３４７号、同６１−１４
４６３９号、同６２−１５９１４１号、同６２−１９１
８４９号、同６２−２２０９４９号、同６２−２２９１
３６号、同６３−９０５３４号、同６３−９１６５４号
等の各公報に記載の感光性組成物、特開昭６２−１３６
６３８号の公報記載のポリシロキサン／カーボネートの
ブラック共重合体に有効量のオニウム塩を組み合わせた
感光性組成物が提示されている。しかしながら、これら
のシリコンポリマーは、アルカリ可溶性の機能付与等の
為にその製造が著しく困難となり、また経時安定性も十
分ではなかった。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、上記
問題点が解決された新規なポジ型感光性組成物を提供す
ることにある。即ち、高い感光性を有し、かつ、広範囲
の波長光の使用が可能である新規なポジ型感光性組成物
を提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明者は、上記目的を
達成すべく、オルトキノンジアジドに代わる新規なポジ
型感光性組成物の探索を行った結果、クレゾール樹脂の
ようなアルカリ可溶性ポリマー中に一般式（Ｉ）で示さ
れる化合物を含有させることにより、鮮明なポジ画像が
得られることを見出し、本発明を完成させるに至った。

【０００９】即ち、本発明は、下記一般式（Ｉ）で示さ
れる化合物とアルカリ可溶性ポリマーを含有することを
特徴とするポジ型感光性組成物である。

【００１０】

【化２】

【００１１】式中、Ｒ１　はアルキル基、置換アルキル
基、アリール基又は置換アリール基を示し、Ｒ２　はア
ルキル基、置換アルキル基、アリール基、置換アリール
基、スチリル基、置換スチリル基、ビニル基又は置換ビ
ニル基を示し、Ｒ３　、Ｒ４　、Ｒ５　およびＲ６　は
各々独立に水素原子、アルキル基、置換アルキル基、ア
リール基、置換アリール基、ハロゲン原子又はアルコキ
シ基を示す。

【００１２】又、Ｒ３　とＲ４　、Ｒ４　とＲ５　、Ｒ
５　とＲ６　は互いに結合して、それらが結合している
炭素原子とともにベンゼン環又は複素環を形成してもよ
い。現在のところ、鮮明なポジ画像が得られる理由は明
らかでないが、未露光部では、一般式（Ｉ）で示される
化合物とアルカリ可溶性ポリマーが相互作用をなし、感
光層のアルカリ現像液に対する溶解性を低下させ、一方
露光部では、光照射されることにより、一般式（Ｉ）の
化合物が分解され酸を発生することにより、アルカリ現
像液に対する溶解性が増加するため、ポジ画像になるも
のと推定される。

【００１３】以下、本発明のポジ型感光性組成物につい
て詳細に説明する。本発明で使用される一般式（Ｉ）の
化合物はディー・ハリソンらの文献（Ｄ．Ｈａｒｒｉｓ
ｏｎら著、Ｊｏｕｒｎａｌ　ｏｆ　ｔｈｅ　Ｃｈｅｍｉ
ｃａｌＳｏｃｉｅｔｙ　、第２１５７〜２１６０頁（１
９６０））記載の方法に従い合成される一般式（ＩＩ）
で示される２−置換−３−ヒドロキシ−４（３Ｈ）−キ
ナゾリノン誘導体

【００１４】

【化３】

【００１５】（式中、Ｒ２　、Ｒ３　、Ｒ４　、Ｒ５　
およびＲ６　は一般式（Ｉ）の場合と同様に定義される
）とＲ１　−ＳＯ２　−Ｃｌ（式中、Ｒ１　は一般式（
Ｉ）の場合と同様に定義される）で示される有機スルホ
ン酸クロリドを脱塩化水素剤共存下、脱塩化水素縮合反
応させることにより合成することができる。一般式（Ｉ
）におけるＲ１　およびＲ２　のアルキル基は直鎖、分
枝、環状のもののいずれでも良く、好ましくは、１〜１
０個の炭素原子を有する。例えばメチル基、エチル基、
ブチル基、ヘキシル基、オクチル基等が挙げられる。

【００１６】Ｒ１　およびＲ２　の置換アルキル基は、
上記のようなアルキル基が、例えば塩素原子のようなハ
ロゲン原子、例えばメトキシ基のような炭素原子数１〜
５のアルコキシ基などで置換された基である。具体的に
は２−クロロエチル基、２−メトキシエチル基などが含
まれる。またＲ１　およびＲ２　のアリール基は好まし
くは単環および２環のものであって、例えばフェニル基
、α−ナフチル基、β−ナフチル基などが含まれる。Ｒ
１　およびＲ２　の置換アリール基は、上記のようなア
リール基に、例えばメチル基、エチル基などの炭素原子
数１〜５のアルキル基、例えばメトキシ基、エトキシ基
などの炭素原子数１〜５のアルコキシ基、例えば塩素原
子などのハロゲン原子が置換したものが含まれる。具体
的にはメチルフェニル基、ジメチルフェニル基、メトキ
シフェニル基、クロロフェニル基、メトキシフェニル基
、メトキシナフチル基等が挙げられる。又Ｒ２　の置換
ビニル基及び置換スチリル基の置換基としては、炭素数
１〜５のアルキル基、炭素数１〜５のアルコキシ基、ハ
ロゲン原子が含まれる。具体的には、ｐ−メトキシスチ
リル基、ｐ−クロロスチリル基、ｐ−メチルスチリル基
及び２−プロペニル基が挙げられる。一般式（Ｉ）にお
いて、Ｒ３　、Ｒ４　、Ｒ５　およびＲ６　は各々独立
して、水素原子、アルキル基、置換アルキル基、アリー
ル基、置換アリール基、ハロゲン原子、アルコキシ基か
ら成る群より選ばれる。アルキル基としては炭素原子数
１〜５のものが好ましく、メチル基、エチル基、プロピ
ル基、ブチル基などが含まれる。

【００１７】置換アルキル基は、上記のようなアルキル
基がハロゲン原子、炭素原子数１〜５のアルコキシ基等
で置換された基である。具体的には２−クロロエチル基
、２−メトキシエチル基などが含まれる。アリール基は
好ましくは単環のものであって、例えばフェニル基など
が含まれる。置換アリール基は、上記のようなアリール
基が、例えばメチル基、エチル基などの炭素原子数１〜
５のアルキル基、例えばメトキシ基、エトキシ基などの
炭素原子数１〜５のアルコキシ基、例えば塩素原子など
のハロゲン原子が置換された基が含まれる。具体的には
メチルフェニル基、ジメチルフェニル基、メトキシフェ
ニル基、クロロフェニル基などが挙げられる。またＲ３
　とＲ４　、Ｒ４　とＲ５　、及びＲ５　とＲ６　は互
いに結合して、それらが結合している炭素原子とともに
ベンゼン環を又は複素環を形成してもよい。上記の例と
しては、ベンゼン環、ピリジン環、フラン環、ピペリジ
ン環等が挙げられる。

【００１８】下記に本発明に使用される一般式（Ｉ）の
化合物の例を列挙するが、本発明の範囲はこれらに限定
されるものではない。

【００１９】

【化４】

【００２０】

【化５】

【００２１】

【化６】

【００２２】

【化７】

【００２３】

【化８】

【００２４】一般式（Ｉ）で示される化合物は単一で使
用できるが、数種の混合物として使用してもよい。感光
性組成物中の一般式（Ｉ）で示される化合物の添加量は
、好ましくは感光性組成物全固形分に対し、１〜５０重
量％、更に好ましくは５〜３０重量％の範囲である。

【００２５】本発明で使用されるアルカリ可溶性ポリマ
ーは、好ましくはフェノール性ヒドロキシ基、カルボン
酸基、スルホン酸基、イミド基、スルホンアミド基、Ｎ
−スルホニルアミド基、Ｎ−スルホニルウレタン基、活
性メチレン基等のｐＫａ　１１以下の酸性基を有するポ
リマーである。好適なアルカリ可溶性ポリマーとしては
、ノボラック型フェノール樹脂、具体的にはフェノール
−ホルムアルデヒド樹脂、ｏ−クレゾール−ホルムアル
デヒド樹脂、ｍ−クレゾール−ホルムアルデヒド樹脂、
ｐ−クレゾール−ホルムアルデヒド樹脂、キシレノール
−ホルムアルデヒド樹脂またはこれらの共縮合物などが
ある。更に、特開昭５０−１２５８０６号公報に記され
ている様に上記の様なフェノール樹脂と共に、ｔ−ブチ
ルフェノール−ホルムアルデヒド樹脂のような炭素数３
〜８のアルキル基で置換されたフェノールまたはクレゾ
ールとホルムアルデヒドとの縮合物とを併用してもよい
。 またＮ−（４−ヒドロキシフェニル）メタクリルアミド
のようなフェノール性ヒドロキシ基含有モノマーを共重
合成分とするポリマー、ｐ−ヒドロキシスチレン、ｏ−
ヒドロキシスチレン、ｍ−イソプロペニルフェノール、
ｐ−イソプロペニルフェノール等の単独または共重合ポ
リマー、更にこれらのポリマーの部分エーテル化もしく
は部分エステル化したポリマーも使用できる。

【００２６】更に、アクリル酸、メタクリル酸等のカル
ボキシ基含有モノマーを共重合成分とするポリマー、特
開昭６１−２６７０４２号公報記載のカルボキシ基含有
ポリビニルアセタール樹脂、特開昭６３−１２４０４７
号公報記載のカルボキシル基含有ポリウレタン樹脂も好
適に使用される。更にまた、Ｎ−（４−スルファモイル
フェニル）メタクリルアミド、Ｎ−フェニルスルホニル
メタクリルアミド、マレイミドを共重合成分とするポリ
マー、特開昭６３−１２７２３７号公報記載の活性メチ
レン基含有ポリマーも使用できる。

【００２７】これらのアルカリ可溶性ポリマーは単一で
使用できるが、数種の混合物として使用してもよい。感
光性組成物中のアルカリ可溶性ポリマーの添加量は、好
ましくは感光性組成物全固形分に対し、１０〜９０重量
％、更に好ましくは３０〜８０重量％の範囲である。

【００２８】本発明のポジ型感光性組成物には必要に応
じて、更に染料、顔料、可塑剤および前記酸を発生する
化合物の酸発生効率を増大させる化合物（増感剤）など
を添加することができる。このような増感剤としては、
メロシアニン色素、シアニン色素等が使用できるが、こ
れらに限定されるものではない。

【００２９】これらの増感剤と一般式（Ｉ）で示される
化合物との割合は、好ましくはモル比で０．０１／１〜
２０／１、重量比で０．１／１〜５／１の範囲で使用さ
れる。また、本発明のポジ型感光性組成物には着色剤と
して染料を用いることができるが、好適な染料としては
油溶性染料および塩基性染料がある。具体的には、例え
ばオイルイエロー＃１０１、オイルイエロー＃１３０、
オイルピンク＃３１２、オイルグリーンＢＧ、オイルブ
ルーＢＯＳ、オイルブラックＢＹ、オイルブラックＢＳ
、オイルブラックＴ−５０５（以上オリエンタル化学工
業（株）製）、クリスタルバイオレット（ＣＩ４２５５
５）、メチルバイオレット（ＣＩ４２５３５）、ローダ
ミンＢ（ＣＩ４５１７０Ｂ）、マラカイトグリーン（Ｃ
Ｉ４２０００）、メチレンブルー（ＣＩ５２０１５）な
どを挙げることができる。

【００３０】これらの染料は、感光性組成物全固形分に
対し、０．０１〜１０重量％、好ましくは０．１〜３重
量％の割合で感光性組成物中に添加することができる。 本発明の組成物中には、更に感度を高めるために環状酸
無水物、その他のフィラーなどを加えることができる。 環状酸無水物としては米国特許第　４，１１５，１２８
号明細書に記載されているような無水フタル酸、テトラ
ヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、３，
６−エンドオキシ−テトラヒドロ無水フタル酸、テトラ
クロル無水フタル酸、無水マレイン酸、クロル無水マレ
イン酸、α−フェニル無水マレイン酸、無水コハク酸、
ピロメリット酸等がある。これらの環状酸無水物を好ま
しくは感光性組成物全固形分に対し１〜１５重量％含有
させることによって感度を最大３倍程度まで高めること
ができる。

【００３１】本発明のポジ型感光性組成物は、平版印刷
版用の材料として使用する場合には上記各成分を溶解す
る溶剤に溶かして、支持体上に塗布する。また、半導体
等のレジスト材料用としては、溶媒に溶解したままで使
用する。ここで使用する溶媒としては、エチレンジクロ
ライド、シクロヘキサノン、メチルエチルケトン、メタ
ノール、エタノール、プロパノール、エチレングリコー
ルモノメチルエーテル、１−メトキシ−２−プロパノー
ル、エチレングリコールモノエチルエーテル、２−メト
キシエチルアセテート、１−メトキシ−２−プロピルア
セテート、ジメトキシエタン、乳酸メチル、乳酸エチル
、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルホ
ルムアミド、テトラメチルウレア、Ｎ−メチルピロリド
ン、ジメチルスルホキシド、スルホラン、γ−ブチルラ
クトン、トルエン、酢酸エチルなどがあり、これらの溶
媒を単独あるいは混合して使用する。そして溶媒中の上
記成分（添加物を含む全固形分）の濃度は、好ましくは
２〜５０重量％である。また、塗布して使用する場合、
塗布量は用途により異なるが、例えば感光性平版印刷版
についていえば一般的に固形分として０．５〜３．０ｇ
／ｍ２　、またフォトレジストについていえば一般的に
固形分として０．１〜３．０ｇ／ｍ２　が好ましい。塗
布量が少なくなるにつれて、感光性は大になるが、感光
膜の皮膜特性は低下する。

【００３２】本発明のポジ型感光性組成物を用いて平版
印刷版を製造する場合、その支持体としては、例えば、
紙、プラスチック（例えばポリエチレン、ポリプロピレ
ン、ポリスチレンなど）がラミネートされた紙、例えば
アルミニウム（アルミニウム合金も含む）、亜鉛、銅な
どのような金属板、例えば、二酢酸セルロース、三酢酸
セルロース、プロピオン酸セルロース、酪酸セルロース
、酢酸酪酸セルロース、硝酸セルロース、ポリエチレン
テレフタレート、ポリエチレン、ポリスチレン、ポリプ
ロピレン、ポリカーボネート、ポリビニルアセタールな
どのようなプラスチックのフィルム、上記のごとき金属
がラミネート、もしくは蒸着された紙、もしくはプラス
チックフィルムなどが含まれる。これらの支持体のうち
、アルミニウム板は寸度的に著しく安定であり、しかも
安価であるので特に好ましい。更に特公昭４８−１８３
２７号公報に記されているようなポリエチレンテレフタ
レートフィルム上にアルミニウムシートが結合された複
合体シートも好ましい。アルミニウム板の表面をワイヤ
ブラシングレイニングで研磨粒子のスラリーを注ぎなが
らナイロンブラシ粗面化するブラシグレイニング、ボー
ルグレイニング、液体ホーニングによるグレイニング、
バフグレイニング等の機械的方法、ＨＦやＡｌＣｌ３　
、ＨＣｌをエッチャントとするケミカルグレイニング、
硝酸または塩酸を電解液とする電解グレイニングやこれ
らの粗面化法を複合させて行った複合グレイニングによ
って表面を砂目立てした後、必要に応じて酸またはアル
カリによりエッチング処理され、引き続き硫酸、リン酸
、ホウ酸、クロム酸、スルファミン酸またはこれらの混
酸中で直流または交流電源にて陽極酸化を行い、アルミ
ニウム表面に強固な不動態皮膜を設けたものが好ましい
。このような不動態皮膜自体でアルミニウム表面は親水
化されてしまうが、更に必要に応じて米国特許第　２，
７１４，０６６号明細書や米国特許第　３，１８１，４
６１号明細書に記載されている珪酸塩処理（珪酸ナトリ
ウム、珪酸カリウム）、米国特許第　２，９４６，６３
８号明細書に記載されているフッ化ジルコニウム酸カリ
ウム処理、米国特許第　３，２０１，２４７号明細書に
記載されているホスホモリブデート処理、英国特許第　
１，１０８，５５９号明細書に記載されているアルキル
チタネート処理、独国特許第　１，０９１，４４３号明
細書に記載されているポリアクリル酸処理、独国特許第
　１，１３４，０９３号明細書や英国特許第　１，２３
０，４４７号明細書に記載されているポリビニルホスホ
ン酸処理、特公昭４４−６４０９号公報に記載されてい
るホスホン酸処理、米国特許第　３，３０７，９５１号
明細書に記載されているフイチン酸処理、特開昭５８−
１６８９３号や特開昭５８−１６２９１号の各公報に記
載されている親水性有機高分子化合物と２価の金属より
なる複合処理、特開昭５９−１０１６５１号公報に記載
されているスルホン酸基を有する水溶性重合体の下塗に
よって親水化処理を行ったものは特に好ましい。その他
の親水化処理方法としては、米国特許第　３，６５８，
６６２号明細書に記載されているシリケート電着を挙げ
ることができる。

【００３３】また砂目立て処理、陽極酸化後、封孔処理
を施したものが好ましい。かかる封孔処理は熱水および
無機塩または有機塩を含む熱水溶液への浸漬並びに水蒸
気浴などによって行われる。本発明のポジ型感光性組成
物をフォトレジストとして使用する場合には銅板又は銅
メッキ板、シリコン板、ステンレス板、ガラス板等の種
々の材質の基板を支持体として用いることができる。

【００３４】本発明のポジ型感光性組成物は公知の塗布
技術により上記の支持体上に塗布される。上記の塗布技
術の例としては、回転塗布法、ワイヤーバー塗布法、デ
ィップ塗布法、エアーナイフ塗布法、ロール塗布法、ブ
レード塗布法、カーテン塗布法及びスプレー塗布法等を
挙げることができる。上記のようにして塗布されたポジ
型感光性組成物層は、４０〜１５０℃で３０秒〜１０分
間、熱風乾燥機、赤外線乾燥機等を用いて乾燥される。

【００３５】本発明のポジ型感光性組成物を含む感光性
平版印刷版及びフォトレジスト等は、通常、像露光、現
像工程を施される。像露光に用いられる活性光線の光源
としては、例えば、水銀灯、メタルハライドランプ、キ
セノンランプ、ケミカルランプ、カーボンアーク灯など
がある。放射線としては、電子線、Ｘ線、イオンビーム
、遠紫外線などがある。フォトレジスト用の光源として
は、ｇ線、ｉ線、Ｄｅｅｐ−ＵＶ光が好ましく使用され
る。また高密度エネルギービーム（レーザービームまた
は電子線）による走査露光も本発明に使用することがで
きる。このようなレーザービームとしてはヘリウム・ネ
オンレーザー、アルゴンレーザー、クリプトンイオンレ
ーザー、ヘリウム・カドミウムレーザー、ＫｒＦエキシ
マレーザーなどが挙げられる。

【００３６】本発明のポジ型感光性組成物の現像に用い
る現像液としては、珪酸ナトリウム、珪酸カリウム、水
酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化リチウム、第
三リン酸ナトリウム、第二リン酸ナトリウム、第三リン
酸アンモニウム、第二リン酸アンモニウム、メタ珪酸ナ
トリウム、重炭酸ナトリウム、アンモニア水などのよう
な無機アルカリ剤およびテトラアルキルアンモニウムハ
イドライドなどのような有機アルカリ剤の水溶液が適当
であり、それらの濃度が０．１〜１０重量％、好ましく
は０．５〜５重量％になるように添加される。

【００３７】また、該アルカリ性水溶液には、必要に応
じて界面活性剤やアルコールなどのような有機溶媒を加
えることもできる。

【００３８】

【発明の効果】本発明のポジ型感光性組成物は、高い感
光性を有し、かつ、広範囲の波長光の使用が可能である
。

【００３９】

【実施例】以下、本発明を実施例により更に詳細に説明
するが、本発明の内容がこれにより限定されるものでは
ない。 〔実施例１〜８〕厚さ０．２４ｍｍの２Ｓアルミニウム
板を８０℃に保った第三燐酸ナトリウムの１０％水溶液
に３分間浸漬して脱脂し、ナイロンブラシで砂目立てし
た後、アルミン酸ナトリウムで約１０分間エッチングし
て、硫酸水素ナトリウム３％水溶液でデスマット処理を
行った。このアルミニウム板を２０％硫酸中で電流密度
２Ａ／ｄｍ２　において２分間陽極酸化を行った。

【００４０】次に下記表１に示される化合物を用いて、
下記処分のとおりに８種類の感光液〔Ａ〕−１〜〔Ａ〕
−８を調製した。この感光液を陽極酸化されたアルミニ
ウム板上に塗布し、１００℃で２分間乾燥して、それぞ
れの感光性平版印刷版を作製した。このときの塗布量は
全て乾燥重量で１．５ｇ／ｍ２になるように調整した。 感光液処方〔Ａ〕 　　一般式（Ｉ）の化合物　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　０．２ｇ　　クレゾー
ルホルムアルデヒドノボラック樹脂　　　　　　　　１
．０ｇ　　オイルブルー＃６０３（オリエント工業（株
）製）　　０．０１ｇ　　メチルエチルケトン　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　５ｇ　　メチルセロソルブ　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　１５ｇ得られた
平版印刷版の感光層上に濃度差０．１５のグレースケー
ルを密着させ、２ＫＷの高圧水銀灯で５０ｃｍの距離か
ら２分間露光を行った。露光した平版印刷版をＤＰ−４
（商品名：富士写真フィルム（株）製）の８倍希釈水溶
液で２５℃において６０秒間浸漬現像したところ、すべ
て鮮明なポジ画像が得られた。表１に示す。

【００４１】 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　表　　　　　　１──────────
─────────────────────────
─　　実施例　　　　　　　　感光液　　　　　　一般
式（Ｉ）　の化合物　　　　グレイスケールの段数──
─────────────────────────
─────────　　　　１　　　　　　　　〔Ａ〕
−１　　　　　　　　化合物（１）　　　　　　　　　
　　　　　　　５　　　　２　　　　　　　　〔Ａ〕−
２　　　　　　　　　　〃　　（２）　　　　　　　　
　　　　　　　　４　　　　３　　　　　　　　〔Ａ〕
−３　　　　　　　　　　〃　　（３）　　　　　　　
　　　　　　　　　５　　　　４　　　　　　　　〔Ａ
〕−４　　　　　　　　　　〃　　（４）　　　　　　
　　　　　　　　　　６　　　　５　　　　　　　　〔
Ａ〕−５　　　　　　　　　　〃　　（５）　　　　　
　　　　　　　　　　　７　　　　６　　　　　　　　
〔Ａ〕−６　　　　　　　　　　〃　　（６）　　　　
　　　　　　　　　　　　３　　　　７　　　　　　　
　〔Ａ〕−７　　　　　　　　　　〃　　（７）　　　
　　　　　　　　　　　　　３　　　　８　　　　　　
　　〔Ａ〕−８　　　　　　　　　　〃　　（８）　　
　　　　　　　　　　　　　　３──────────
─────────────────────────
〔実施例９〜１３〕厚さ２ｍｍのシリコンウェハー上に
下記感光液〔Ｂ〕をスピンナーで塗布し、ホットプレー
ト上で９０℃において２分間乾燥させ、乾燥時の膜厚が
１μになるように調整した。 感光液処方〔Ｂ〕 　　一般式（Ｉ）の化合物　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　０．２ｇ　　クレゾー
ルホルムアルデヒドノボラック樹脂　　　　　　　　１
．０ｇ　　ペリレン　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　０
．００３ｇ　　エチルセロソルブアセテート　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　７．５ｇ　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　表　　　　　　２　　　　　　────────
────────────────────　　　　　
　　　実施例　　　　　　　　感光液　　　　　　　　
　　　　一般式（Ｉ）の化合物　　　　　　─────
───────────────────────　　
　　　　　　　　９　　　　　　　　〔Ｂ〕−１　　　
　　　　　　　　　　　化合物（１）　　　　　　　　
１０　　　　　　　　〔Ｂ〕−２　　　　　　　　　　
　　　　　　〃　　（４）　　　　　　　　１１　　　
　　　　　〔Ｂ〕−３　　　　　　　　　　　　　　　
　〃　　（５）　　　　　　　　１２　　　　　　　　
〔Ｂ〕−４　　　　　　　　　　　　　　　　〃　　（
８）　　　　　　　　１３　　　　　　　　〔Ｂ〕−５
　　　　　　　　　　　　　　　　〃　　（１２）　　
　　　　─────────────────────
───────次に得られたレジストを波長４３６ｎｍ
の単色光を用いた縮小投影露光装置（ステッパー）を用
いて露光し、テトラメチルアンモニウムヒドロキシドの
２．４％水溶液で６０秒間現像することにより、レジス
トパターンを形成させた。その結果、すべてのサンプル
において０．８μｍのライン＆スペースの良好なパター
ンが得られた。 〔実施例１４〕実施例１１のレジストにガラスマスクを
通して、密着露光方式で２５４ｎｍの紫外線を照射し、
その後実施例１１と同様に現像を行ったところ、すべて
のサンプルにおいて０．７μｍのライン＆スペースの良
好なパターンが得られた。

【００４２】以上の結果により、一般式（Ｉ）の化合物
とアルカリ可溶のバインダーを組合せたポジ型感光性組
成物を用いることにより、鮮明なポジ画像が得られるこ
とが明らかになった。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　下記一般式（Ｉ）で示される化合物と
   アルカリ可溶性ポリマーを含有することを特徴とするポ
   ジ型感光性組成物。 【化１】 式中、Ｒ１　はアルキル基、置換アルキル基、アリール
   基又は置換アリール基を示し、Ｒ２　はアルキル基、置
   換アルキル基、アリール基、置換アリール基、スチリル
   基、置換スチリル基、ビニル基又は置換ビニル基を示し
   、Ｒ３　、Ｒ４　、Ｒ５　およびＲ６　は各々独立に水
   素原子、アルキル基、置換アルキル基、アリール基、置
   換アリール基、ハロゲン原子又はアルコキシ基を示す。 又、Ｒ３　とＲ４　、Ｒ４　とＲ５　、Ｒ５　とＲ６　
   は互いに結合して、それらが結合している炭素原子とと
   もにベンゼン環又は複素環を形成してもよい。