JPH0436569B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、金属化誘電体コンデンサに用いる金
属化誘電体の電極マージンを形成する方法に関す
るものである。

従来例の構成とその問題点 プラスチツクフイルムや紙を誘電体としてアル
ミニウムなどの金属薄膜を電極とした金属化誘電
体コンデンサの一部を断面図によつて第１図に示
す。１は誘電体、２は電極、３はマージンであ
る。この図に示す通り、コンデンサとするために
は一般に、金属化誘電体上で一部電極の無い部分
マージン３が必要である。

従来、この種の金属化には、真空蒸着法が用い
られるのが一般的であり、スパツタリング法やイ
オンプレーテイング法なども可能である。またマ
ージンの形成方法としては、金属薄膜の埋積時
に、テープ状のものでマスキングする方法や、マ
ージン形成部に予め一種の油を塗布しておき、そ
の後金属薄膜を埋積する方法、あるいは金属薄膜
を埋積した後にマージン形成部の金属薄膜を機械
的あるいは化学的に剥ぎ取る方法が一般的であ
る。

しかるに、これらのマージン形成方法では、次
のような問題点がある。

(1) マスキング操作あるいは設定の必要性から、
全体的な蒸着速度の低下、それに蒸着機の高価
格化の問題、 (2) 油や薬品処理に伴なう工程の繁雑化の問題、 (3) 機械的剥離処理に伴なう金属化誘電体に対す
る損傷の問題、 などである。

発明の目的 本発明は、上記の従来のマージン形成方法に伴
なう問題点を解消することにある。

発明の構成 本発明は、全面を金属化した金属化誘電体を用
意し、マージンを形成しようとする部分を除いて
すべてマスキングしたのち、グロー放電を照射し
てマージン形成部の電極金属を酸化し、金属酸化
物（絶縁物）を形成してマージンとするものであ
る。すなわち、以前よりグロー放電により金属を
酸化して金属酸化物を得る技術はよく知られてい
るが、この技術を金属化誘電体のマージン形成に
応用したのが本発明である。

実施例の説明 以下本発明の一実施例を第２図に基づいて説明
する。図において、４はマスク、５はグロー放電
発生用の電極、６はグロー放電、７はマージン形
成部（金属酸化物）であり、１，２は第１図と同
様に誘電体、電極である。そしてこの処理は、低
気圧中で実施するのが好ましい。条件は、真空度
がピラニー型真空計の指示で１〜5Torr、グロー
放電発生用電極５とマージン形成部７の距離が３
〜30mm、印加電圧は交流で300〜800Vである。な
お、電極２を陽極として交流半波電圧を印加する
方がより好ましい。処理中は金属酸化物が形成さ
れるに従つて雰囲気の酸素が減少するので、リー
クバルブ等により常に放電部に新鮮な酸素を導入
するようにする。

電極２の材料としては、酸化され易くて、その
酸化物が絶縁性であるアルミニウムやアルミニウ
ムを主成分（50Vol％以上）とした合金を用い
る。

以下に具体的な実施例について説明する。

厚さ6μmのポリプロピレンフイルム（500mm巾）
に、アルミニウムを超高速（500m／min）で真
空蒸着して、全面一様に蒸着された金属化フイル
ムを得た。電極の膜抵抗は2.0〜4.5Ω／□であつ
た。

得られた金属化フイルムの原反を第３図のよう
に装着し、グロー放電を照射しながら巻き取りつ
つ、マージンを形成した。

マージン形成の速度は、放電電圧、電極間の距
離、マスクの形状、真空度、グロー放電発生電極
の数（複数）などで変化させられる。

ここでは、800Vの交流半波電圧を印加し、
5Torrの減圧中で、３個のグロー放電発生電極を
用いて、5m／minで巻き取つた。マージン形成
の確認は、金属光沢のものが完全に透明化するこ
とにより確認した。この場合、アルミニウムが絶
縁性の酸化アルミニウムに変化してマージンを形
成する。

処理速度は、グロー放電発生電極の数を増した
り、マスクの形状を変えることにより、さらに速
めることが可能である。なお、第３図において、
４はマスク、５Ａ，５Ｂ，５Ｃはグロー放電発生
電極、６Ａ，６Ｂ，６Ｃはグロー放電、８Ａ，８
Ｂ，８Ｃはマージン、９は巻出しローラ、１０は
巻取りローラ、１１は金属ローラ、１２は金属化
誘電体である。

上記の実施例では、電極の蒸着とマージン形成
処理を別々の工程で実施する方法を示したが、こ
れらの工程は、二つの真空度を備えた二槽式の処
理槽で、連続的に同時に行うことも可能である。

発明の効果 以上のような本発明のマージン形成方法による
と、マージン無しの蒸着で済むため、蒸着工程の
能率が非常に高くなる。そして必要な寸法のマー
ジンを備えた金属化誘電体を必要な量だけ随時作
成できるため、コンデンサ生産上、極めて効率的
な生産が可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は金属化コンデンサの一部を示す断面
図、第２図はグロー放電処理を示す断面図、第３
図は本発明によるマージン形成方法における実際
のグロー放電処理を示す斜視図である。 １……誘電体、２……電極、３……マージン、
４……マスク、５，５Ａ，５Ｂ，５Ｃ……グロー
放電発生電極、６，６Ａ，６Ｂ，６Ｃ……グロー
放電、７，８Ａ，８Ｂ，８Ｃ……マージン、９…
…巻出しローラ、１０……巻取りローラ、１１…
…金属ローラ、１２……金属化誘電体。

【特許請求の範囲】

１ 絶縁性部品基板の少なくとも一方の面上に複
数の回路素子を含む回路パターンが形成され、前
記基板の少なくとも一つの端部に相互に電気的に
絶縁されて前記複数の回路素子に接続される複数
の端子電極が形成されてなるチツプ形電子部品の
製造方法において、 前記基板の少なくとも一方の面上に前記回路パ
ターンを形成する前または後において前記複数の
端子電極が形成されるべき前記基板の前記少なく
とも一つの端部に導電性電極塗料を塗布して端子
電極層を形成し、 前記基板の前記端部に前記端子電極層を分断し
て前記複数の端子電極を形成するように複数の溝
部を形成することを特徴とするチツプ形電子部品
の製造方法。 ２ 前記回路パターンを構成する前記複数の回路
素子はそれぞれ前記基板の端面側まで延びるよう
に前記一方の面上に形成された複数の素子電極に
接続されており、前記端子電極層は前記複数の素