JPS60183717A - 金属化誘電体の電極マ−ジン形成方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、金属化誘電体コンデンサに用いる金属化誘電
体の電極マージンを形成する方法に関するものである。

従来例の構成とその問題点 プラスチックフィルムや紙を誘電体としてアルミニウム
などの金属薄膜を電極とした金属化誘電体コンデンサの
一部を断面図によって第１図に示す。１は誘電体、２は
電極、３はマージンである。

この図に示す通シ、コンデンサとするためには一般に、
金属化誘電体上で一部電極の無い部分マージン３が必要
である。

従来、この種の金属化には、真空蒸着法が用いられるの
が一般的で１、スパッタリング法やイオンブレーティン
グ法なども可能である。またマージンの形成方法として
は、金属薄膜の埋積時に、テープ状のものでマスキング
する方法や、マージン形成部に予め一種の油を塗布して
おき、その後金属薄膜を埋積する方法、あるいは金属薄
膜を埋積した後にマージン形成部の金属薄膜を機械的あ
るいは化学的に剥ぎ取る方法が一般的である。

しかるに、これらのマージン形成方法では、次のような
問題点がある。

０）マスキング操作あるいは設定の必要性から、全体的
な蒸着速度の低下それに蒸着機の高価格化の問題、 （２）　油や薬品処理に伴なう工程の繁雑化の問題、（
３）機械的剥離処理に伴なう金属化誘電体に対する損傷
の問題、 などである。

発明の目的 本発明は、上記の従来のマージン形成方法に伴なう問題
点を解消することにある。

発明の構成 本発明は、全面を金属化した金属化誘電体を用意し、マ
ージンを形成しようとする部分を除いてすべてマスキン
グしたのち、グロー放電を照射してマージン形成部の電
極金属を酸化し、金属酸化物（絶縁物）を形成してマー
ジンとするものである。すなわち、以前よジグロー放電
によシ金属を酸化して金属酸化物を得る技術はよく知ら
れているが、この技術を金属化誘電体のマージン形成に
応用したのが本発明である。

実施例の説明 以下本発明の一実施例を第２図に基づいて説明する。図
において、４はマスク、６はグロー放電発生用の電極、
６はグロー放電、７はマージン形成部（金属酸化物）で
あシ、１，２は第１図と同様に誘電体、電極である。そ
してこの処理は、低気圧中で実施するのが好ましい。条
件は、真空度がビラニー型真空計の指示で１〜５Ｔｏｒ
ｒ、グロー放電発生用電極５とマージン形成部７の距離
が３〜３０馴、印加電圧は交流で３００〜５ｏｏＶであ
る。なお、電極２を陽極として交流半波電圧を印加する
方がより好ましい。処理中は金属酸化物が形成されるに
従って雰囲気の酸素が減少するので、リークパルプ等に
よシ常に放電部に新鮮な酸素を導入するようにする。

電極２の材料としては、酸化され易くて、その酸化物が
絶縁性であるアルミニウムやアルミニウムを主成分（５
０Ｖｏ１％以上）とした合金を用いる。

以下に具体的な実施例について説明する。

Ｊｌ１６μｍのポリプロピレンフィルム（６００顛巾）
に、アルミニウムを超高速（５００ｍ、／ｍ　ｉ　ｎ　
）で真空蒸着して、全面一様に蒸着された金属化フィル
ムを得た。電極の膜抵抗は２．０〜４．６Ω／口であっ
た。

得られた金属化フィルムの原反を第３図のように装着し
、グロー放電を照射しながら巻き取シつつ、マージンを
形成した。

マージン形成の速度は、放電電圧、電極間の距離、マス
クの形状、真空度、グロー放電発生電極の数（複数）な
どで変化させられる。

ここでは、８０ｏ■の交流半波電圧を印加し、５Ｔｏｒ
ｒの減圧中で、３個のグロー放電発生電極を用いて、５
ｔｎ／ｍｉｎで巻き取った。マージン形成の確認は、金
属光沢のものが完全に透明化することによシ確認した。

この場合、アルミニウムが絶縁性の酸化アルミニウムに
変化してマージンを形成する。

処理速度は、グロー放電発生電極の数を増したり、マス
クの形状を変えることにより、さらに速めることが可能
である。なお、第３図において、４はマスク、６Ａ、６
Ｂ、５Ｃはグロー放電発生電極、６Ａ、６Ｂ、６Ｃはグ
ロー放電、ｓＡ、ａＢ。

８Ｃはマージン、９は巻出しローラ、１０は巻取りロー
ラ、１１は金属ローラ、１２は金属化誘電体である。

」二記の実施例では、電極の蒸着とマージン形成処理を
別々の工程で実施する方法を示したが、これらの工程は
、二つの真空度を備えた二槽式の処理槽で、連続的に同
時に行うことも可能である。

発明の効果 以上のような本発明のマージン形成方法によると、マー
ジン無しの蒸着で済むため、蒸着工程の能率が非常に高
くなる。そして必要な寸法のマージンを備えた金属化誘
電体を必要な量だけ随時作成できるため、コンデンサ生
産上、極めて効率的な生産が可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は金属化コンデンサの一部を示す断面図、第２図
はグロー放電処理を示す断面図、第３図は本発明による
マージン形成方法における実際のグロー放電処理を示す
斜視図である。 １・・・・・・誘電体、２・・・・・・電極、３・・・
・・マージン、４・・・・・・マスク、５．５Ａ　、ｓ
Ｂ　、５Ｃ・・・・・グロー放電発生電極、ｅ、ｓＡ、
ｅＥ、６Ｃ・・・・・・グロー放ｔ、７，８八、８Ｂ、
８Ｃ・・・・・・マージン、９・・・・・・巻出しロー
ラ、１ｏ・・・・・・巻取シローラ、１１・・・・・・
金属ローラ、１２・・・・・・金属化誘電体。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. アルミニウムまたはアルミニウムを主成分とした合金の
   薄膜を電極とした金属化誘電体において、低気圧中のグ
   ロー放電を用いて前記電極の一部を酸化することによシ
   金属化誘電体にマージンを形成する金属化誘電体の電極
   マージン形成方法。