JPH0436759U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0436759U JPH0436759U JP7959090U JP7959090U JPH0436759U JP H0436759 U JPH0436759 U JP H0436759U JP 7959090 U JP7959090 U JP 7959090U JP 7959090 U JP7959090 U JP 7959090U JP H0436759 U JPH0436759 U JP H0436759U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- charged particle
- lens barrel
- particle beam
- relay means
- accelerating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims 3
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
添付図は本考案の一実施例として示した電子顕
微鏡の概略図である。 １……電子顕微鏡本体の鏡筒、２……加速管部
、３……主要部、４……基台、５……中継器、６
……高電圧電源、７，８……高電圧ケーブル。
微鏡の概略図である。 １……電子顕微鏡本体の鏡筒、２……加速管部
、３……主要部、４……基台、５……中継器、６
……高電圧電源、７，８……高電圧ケーブル。
Claims (1)
- 荷電粒子発生源からの荷電粒子ビームを加速す
る手段が備え付けられた鏡筒の基台上に中継手段
を設け、前記加速手段と、前記鏡筒外に設置され
た高圧電源とを前記中継手段を経由して高電圧ケ
ーブルで繋いで成る荷電粒子ビーム装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7959090U JPH0436759U (ja) | 1990-07-26 | 1990-07-26 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7959090U JPH0436759U (ja) | 1990-07-26 | 1990-07-26 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0436759U true JPH0436759U (ja) | 1992-03-27 |
Family
ID=31623884
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7959090U Pending JPH0436759U (ja) | 1990-07-26 | 1990-07-26 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0436759U (ja) |
-
1990
- 1990-07-26 JP JP7959090U patent/JPH0436759U/ja active Pending