JPH04368855A - インクジェットプリントヘッドの製造方法 - Google Patents
インクジェットプリントヘッドの製造方法Info
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- JPH04368855A JPH04368855A JP3145698A JP14569891A JPH04368855A JP H04368855 A JPH04368855 A JP H04368855A JP 3145698 A JP3145698 A JP 3145698A JP 14569891 A JP14569891 A JP 14569891A JP H04368855 A JPH04368855 A JP H04368855A
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Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、プリンタ、ワープロ、
ファクシミリ、プロッタ等の電子機器に搭載するインク
ジェットプリントヘッドの製造方法に関し、特に個別イ
ンク路の形成工程に特徴があるインクジェットプリント
ヘッドの製造方法に関する。
ファクシミリ、プロッタ等の電子機器に搭載するインク
ジェットプリントヘッドの製造方法に関し、特に個別イ
ンク路の形成工程に特徴があるインクジェットプリント
ヘッドの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】プリンタ、ワープロ等の各種電子機器に
搭載されるインクジェットプリントヘッドにカイザー方
式がある。カイザー方式のプリントヘッドは、一般に図
１１に示すように、一連の供給路１１、圧力室１２、及
びノズル１３で構成される多数の個別インク路１４をヘ
ッド基台１０に一定間隔を置いて形成し、個別インク路
１４を覆うようにヘッド基台１０に振動板２０（図１１
では便宜上省いてある、図１２参照）を取付け、各個別
インク路１４の圧力室１２に対応する振動板２０上の部
分に電歪素子３０を設けたものである。このようなプリ
ントヘッドは、電歪素子３０に電界を加えて電歪素子３
０を変位させ、この変位に伴って振動板２０の対応部位
を動かすことによりインクを個別インク路１４のノズル
１３から押し出すものである。
搭載されるインクジェットプリントヘッドにカイザー方
式がある。カイザー方式のプリントヘッドは、一般に図
１１に示すように、一連の供給路１１、圧力室１２、及
びノズル１３で構成される多数の個別インク路１４をヘ
ッド基台１０に一定間隔を置いて形成し、個別インク路
１４を覆うようにヘッド基台１０に振動板２０（図１１
では便宜上省いてある、図１２参照）を取付け、各個別
インク路１４の圧力室１２に対応する振動板２０上の部
分に電歪素子３０を設けたものである。このようなプリ
ントヘッドは、電歪素子３０に電界を加えて電歪素子３
０を変位させ、この変位に伴って振動板２０の対応部位
を動かすことによりインクを個別インク路１４のノズル
１３から押し出すものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記のよう
なプリントヘッドを製造するには、ガラス等からなるヘ
ッド基台又は個別インク路を形成するためのインク路板
に個別インク路を形成した後に、ヘッド基台上に振動板
を、又はヘッド基台上にインク路板と振動板を、接着剤
等による接着や熱による融着によって接合している。
なプリントヘッドを製造するには、ガラス等からなるヘ
ッド基台又は個別インク路を形成するためのインク路板
に個別インク路を形成した後に、ヘッド基台上に振動板
を、又はヘッド基台上にインク路板と振動板を、接着剤
等による接着や熱による融着によって接合している。
【０００４】しかしながら、接着の場合、接着剤が個別
インク路に流入して、インク路が妨害されたり、インク
路の幅が狭くなったりすることが多々ある。融着の場合
には、部品（ヘッド基台、インク路板、振動板）が膨張
・収縮して、部品に歪みが生じたり、部品が溶融して変
形したりすることがある。いずれにせよ、従来の製造方
法は、品質の安定した製品を得ることが難しいという問
題点を有する。この問題点が起こらないようにするには
、従来の製造方法によれば、特に高密度のプリントヘッ
ドでは製作に手間を要し、コストも高くなるばかりか、
ライン型プリントヘッドの製作は大変面倒である。
インク路に流入して、インク路が妨害されたり、インク
路の幅が狭くなったりすることが多々ある。融着の場合
には、部品（ヘッド基台、インク路板、振動板）が膨張
・収縮して、部品に歪みが生じたり、部品が溶融して変
形したりすることがある。いずれにせよ、従来の製造方
法は、品質の安定した製品を得ることが難しいという問
題点を有する。この問題点が起こらないようにするには
、従来の製造方法によれば、特に高密度のプリントヘッ
ドでは製作に手間を要し、コストも高くなるばかりか、
ライン型プリントヘッドの製作は大変面倒である。
【０００５】このような問題点はカイザー方式に限らず
、その他のインクジェットプリントヘッド全般に言える
ことである。従って、本発明の目的は、特に高密度のプ
リントヘッドを早く大量にしかも低コストで作製できる
と共に、ライン型プリントヘッドを容易に作製できるイ
ンクジェットプリントヘッドの製造方法を提供すること
にある。
、その他のインクジェットプリントヘッド全般に言える
ことである。従って、本発明の目的は、特に高密度のプ
リントヘッドを早く大量にしかも低コストで作製できる
と共に、ライン型プリントヘッドを容易に作製できるイ
ンクジェットプリントヘッドの製造方法を提供すること
にある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明のインクジェットプリントヘッドの製造方法
は、インク路を形成するためのインク路板をレーザ透過
性のヘッド基台上に接合し、レーザ透過性の振動板をイ
ンク路板上に接合し、多数の個別インク路のパターンを
有するマスクを振動板上に載せ、マスク上からエキシマ
レーザを照射し、インク路板に多数の個別インク路を形
成するインク路形成工程を有することを特徴とする。
に、本発明のインクジェットプリントヘッドの製造方法
は、インク路を形成するためのインク路板をレーザ透過
性のヘッド基台上に接合し、レーザ透過性の振動板をイ
ンク路板上に接合し、多数の個別インク路のパターンを
有するマスクを振動板上に載せ、マスク上からエキシマ
レーザを照射し、インク路板に多数の個別インク路を形
成するインク路形成工程を有することを特徴とする。
【０００７】この製造方法（請求項１記載の方法）によ
れば、レーザ透過性のヘッド基台及び振動板でインク路
板を挟持・接合し、多数の個別インク路のパターンを有
するマスクを振動板上に載せ、マスク上からエキシマレ
ーザを照射するので、レーザ光は、レーザ透過性の振動
板を透過してインク路板に達し、多数の個別インク路を
インク路板に形成した後、レーザ透過性のヘッド基台を
透過する。従って、レーザ光は振動板とヘッド基台を単
に透過するだけで、それらの部品には何ら変化を与えず
、インク路板のみに所定パターンの個別インク路の穴を
開ける。
れば、レーザ透過性のヘッド基台及び振動板でインク路
板を挟持・接合し、多数の個別インク路のパターンを有
するマスクを振動板上に載せ、マスク上からエキシマレ
ーザを照射するので、レーザ光は、レーザ透過性の振動
板を透過してインク路板に達し、多数の個別インク路を
インク路板に形成した後、レーザ透過性のヘッド基台を
透過する。従って、レーザ光は振動板とヘッド基台を単
に透過するだけで、それらの部品には何ら変化を与えず
、インク路板のみに所定パターンの個別インク路の穴を
開ける。
【０００８】上記製造方法は単一のプリントヘッドに対
するものであるが、多数のプリントヘッドに対応する製
造方法（請求項２記載の方法）は、レーザ透過性のヘッ
ド基台及び振動板でインク路板を挟持・接合したものを
積層し、この積層体に対して同様にエキシマレーザを照
射するものである。即ち、積層体の一方側に在る振動板
上にマスクを載せ、マスク上からエキシマレーザを照射
すれば、レーザ光が各インク路板に多数の個別インク路
をそれぞれ形成する。この際、レーザ光は各インク路板
に次々に穿孔していき、振動板とヘッド基台の全てを透
過する。
するものであるが、多数のプリントヘッドに対応する製
造方法（請求項２記載の方法）は、レーザ透過性のヘッ
ド基台及び振動板でインク路板を挟持・接合したものを
積層し、この積層体に対して同様にエキシマレーザを照
射するものである。即ち、積層体の一方側に在る振動板
上にマスクを載せ、マスク上からエキシマレーザを照射
すれば、レーザ光が各インク路板に多数の個別インク路
をそれぞれ形成する。この際、レーザ光は各インク路板
に次々に穿孔していき、振動板とヘッド基台の全てを透
過する。
【０００９】本発明の製造方法に用いるエキシマレーザ
は、周知のように励起状態でのみ存在する分子のレーザ
であり、そのような分子にはＡｒＦ、ＫｒＦ、ＸｅＣｌ
、ＸｅＦ等があり、適宜選択すればよい。このエキシマ
レーザが透過する材料、即ちレーザ光によって加工でき
ない材料には、石英ガラス等がある。従って、ヘッド基
台及び振動板は、この材料からなるものを使用する。 又、エキシマレーザで加工可能な材料としては、ポリイ
ミド、ポリエチレンテレフタレート、セラミックが例示
され、これらの材料からなるインク路板を用いる。
は、周知のように励起状態でのみ存在する分子のレーザ
であり、そのような分子にはＡｒＦ、ＫｒＦ、ＸｅＣｌ
、ＸｅＦ等があり、適宜選択すればよい。このエキシマ
レーザが透過する材料、即ちレーザ光によって加工でき
ない材料には、石英ガラス等がある。従って、ヘッド基
台及び振動板は、この材料からなるものを使用する。 又、エキシマレーザで加工可能な材料としては、ポリイ
ミド、ポリエチレンテレフタレート、セラミックが例示
され、これらの材料からなるインク路板を用いる。
【００１０】なお、本発明の製造方法は、前記のように
特にインク路形成工程に特徴があるが、これ以外の工程
、例えばインク路形成後に各個別インク路に対応する振
動板上の部分に電歪素子を取付ける等の工程は既知の方
法に準じて行えばよい。
特にインク路形成工程に特徴があるが、これ以外の工程
、例えばインク路形成後に各個別インク路に対応する振
動板上の部分に電歪素子を取付ける等の工程は既知の方
法に準じて行えばよい。
【００１１】
【実施例】以下、本発明のインクジェットプリントヘッ
ドの製造方法を実施例に基づいて説明する。図１〜図６
にその製造工程を順に示す。この製造例は、単一のプリ
ントヘッドに対するもので、図１１に示すような形状を
持つインク路の形成に関するものである。まず、図１に
おいて、前記レーザ透過材料からなる所定サイズの厚手
のヘッド基台１上に、前記レーザ加工可能な材料からな
るインク路板２と、前記レーザ透過材料からなる薄手の
振動板３とを、適当な接着剤によって順に接着する（図
２参照）。
ドの製造方法を実施例に基づいて説明する。図１〜図６
にその製造工程を順に示す。この製造例は、単一のプリ
ントヘッドに対するもので、図１１に示すような形状を
持つインク路の形成に関するものである。まず、図１に
おいて、前記レーザ透過材料からなる所定サイズの厚手
のヘッド基台１上に、前記レーザ加工可能な材料からな
るインク路板２と、前記レーザ透過材料からなる薄手の
振動板３とを、適当な接着剤によって順に接着する（図
２参照）。
【００１２】次に、図３に示すように、振動板３上に、
一連の供給路、圧力室及びノズルで構成される多数の個
別インク路のパターン（図１１参照）を有するマスク４
を密着させる。このマスク４は、個別インク路のパター
ンに相当する部分が欠落部分４ａである。ここで、エキ
シマレーザとして例えばＫｒＦのレーザＬ（波長２４８
ｎｍ）をマスク４上から照射する（図４参照）。
一連の供給路、圧力室及びノズルで構成される多数の個
別インク路のパターン（図１１参照）を有するマスク４
を密着させる。このマスク４は、個別インク路のパター
ンに相当する部分が欠落部分４ａである。ここで、エキ
シマレーザとして例えばＫｒＦのレーザＬ（波長２４８
ｎｍ）をマスク４上から照射する（図４参照）。
【００１３】これにより、レーザＬは、レーザ透過性の
振動板３を透過し、インク路板２に達し、マスク４のパ
ターン通りに多数の個別インク路２ａをインク路板２に
形成する（図５参照）。この個別インク路２ａは、図５
からも分かるように、インク路板２を貫通する穴であり
、インク路板２の肉厚がインク路２ａの深さに相当する
。勿論、個別インク路２ａは、供給路、圧力室及びノズ
ルで構成され、図１１に示すような形状である。インク
路板２に穿孔したレーザＬはレーザ透過性のヘッド基台
１を透過する。
振動板３を透過し、インク路板２に達し、マスク４のパ
ターン通りに多数の個別インク路２ａをインク路板２に
形成する（図５参照）。この個別インク路２ａは、図５
からも分かるように、インク路板２を貫通する穴であり
、インク路板２の肉厚がインク路２ａの深さに相当する
。勿論、個別インク路２ａは、供給路、圧力室及びノズ
ルで構成され、図１１に示すような形状である。インク
路板２に穿孔したレーザＬはレーザ透過性のヘッド基台
１を透過する。
【００１４】その後、リフトオフ法等を用いて振動板３
上に残存する不要なマスク４を除去することにより、ヘ
ッド基台１上にインク路板２と振動板３を接合した単一
のプリントヘッドが製造される（図６参照）。これ以降
の工程は、従来通りに行えばよい。例えば、各個別イン
ク路２ａの圧力室に対応する振動板３上の部分に、所定
のパターン配線を設けると共に、各パターン配線上に電
歪素子を適当な導電性接着剤で接着する。このようにし
て、プリントヘッドを完成する。
上に残存する不要なマスク４を除去することにより、ヘ
ッド基台１上にインク路板２と振動板３を接合した単一
のプリントヘッドが製造される（図６参照）。これ以降
の工程は、従来通りに行えばよい。例えば、各個別イン
ク路２ａの圧力室に対応する振動板３上の部分に、所定
のパターン配線を設けると共に、各パターン配線上に電
歪素子を適当な導電性接着剤で接着する。このようにし
て、プリントヘッドを完成する。
【００１５】上記製造工程は、単一のプリントヘッドに
係るものであるが、多数のプリントヘッドに対応する製
造工程を図７〜図１０に順に示す。この製造工程は、上
記とほぼ同じであるが、レーザ透過材料からなるヘッド
基台１と振動板３とでインク路板２を挟持・接合したも
のを適当数積層した積層体を用いる点が異なる（図７参
照）。同様に、この積層体の一方側に在る振動板３上に
マスク４を密着させ（図８参照）、マスク４上からＫｒ
ＦのレーザＬを照射する（図９参照）。レーザＬは、積
層した全ての振動板３とヘッド基台１を透過して、最上
から最下に向けて各インク路板２に多数の個別インク路
２ａを次々に形成する。そして、振動板３上に残るマス
ク４を取り除けば、積層体に対するインク形成工程が終
了する（図１０参照）。その後、個々のプリントヘッド
に分離し、それぞれプリントヘッド製品として上述のよ
うに完成する。
係るものであるが、多数のプリントヘッドに対応する製
造工程を図７〜図１０に順に示す。この製造工程は、上
記とほぼ同じであるが、レーザ透過材料からなるヘッド
基台１と振動板３とでインク路板２を挟持・接合したも
のを適当数積層した積層体を用いる点が異なる（図７参
照）。同様に、この積層体の一方側に在る振動板３上に
マスク４を密着させ（図８参照）、マスク４上からＫｒ
ＦのレーザＬを照射する（図９参照）。レーザＬは、積
層した全ての振動板３とヘッド基台１を透過して、最上
から最下に向けて各インク路板２に多数の個別インク路
２ａを次々に形成する。そして、振動板３上に残るマス
ク４を取り除けば、積層体に対するインク形成工程が終
了する（図１０参照）。その後、個々のプリントヘッド
に分離し、それぞれプリントヘッド製品として上述のよ
うに完成する。
【００１６】
【発明の効果】本発明のインクジェットプリントヘッド
の製造方法は、以上説明したようにレーザ透過性のヘッ
ド基台と振動板でインク路板を挟持・接合した後に、エ
キシマレーザを照射してインク路板に多数の個別インク
路を形成するので、下記の効果を奏する。 （１）特に高密度のプリントヘッドを早く大量に、しか
も低コストで製造することができる。 （２）ライン型プリントヘッドを極めて容易に製造でき
る。 （３）特に請求項２記載の方法によれば、プリントヘッ
ドを大量に安定して製造できる。 （４）製造したプリントヘッドが高品質である。
の製造方法は、以上説明したようにレーザ透過性のヘッ
ド基台と振動板でインク路板を挟持・接合した後に、エ
キシマレーザを照射してインク路板に多数の個別インク
路を形成するので、下記の効果を奏する。 （１）特に高密度のプリントヘッドを早く大量に、しか
も低コストで製造することができる。 （２）ライン型プリントヘッドを極めて容易に製造でき
る。 （３）特に請求項２記載の方法によれば、プリントヘッ
ドを大量に安定して製造できる。 （４）製造したプリントヘッドが高品質である。
【図１】本発明の一実施例に係るプリントヘッドの製造
工程の第一段階を示す図である。
工程の第一段階を示す図である。
【図２】本発明の一実施例に係るプリントヘッドの製造
工程の第二段階を示す図である。
工程の第二段階を示す図である。
【図３】本発明の一実施例に係るプリントヘッドの製造
工程の第三段階を示す図である。
工程の第三段階を示す図である。
【図４】本発明の一実施例に係るプリントヘッドの製造
工程の第四段階を示す図である。
工程の第四段階を示す図である。
【図５】本発明の一実施例に係るプリントヘッドの製造
工程の第五段階を示す図である。
工程の第五段階を示す図である。
【図６】本発明の一実施例に係るプリントヘッドの製造
工程の第六段階を示す図である。
工程の第六段階を示す図である。
【図７】本発明の別実施例に係るプリントヘッドの製造
工程の第一段階を示す図である。
工程の第一段階を示す図である。
【図８】本発明の別実施例に係るプリントヘッドの製造
工程の第二段階を示す図である。
工程の第二段階を示す図である。
【図９】本発明の別実施例に係るプリントヘッドの製造
工程の第三段階を示す図である。
工程の第三段階を示す図である。
【図１０】本発明の別実施例に係るプリントヘッドの製
造工程の第四段階を示す図である。
造工程の第四段階を示す図である。
【図１１】通常のカイザー方式のプリントヘッドの一部
省略平面図である。
省略平面図である。
【図１２】図１１に示すプリントヘッドの線Ａ−Ａにお
ける一部省略断面図である。
ける一部省略断面図である。
１ レーザ透過性ヘッド基台
２ インク路板
２ａ 個別インク路
３ レーザ透過性振動板
４ マスク
Ｌ エキシマレーザ
Claims (2)
- 【請求項１】インク路を形成するためのインク路板をレ
ーザ透過性のヘッド基台上に接合し、レーザ透過性の振
動板をインク路板上に接合し、多数の個別インク路のパ
ターンを有するマスクを振動板上に載せ、マスク上から
エキシマレーザを照射し、インク路板に多数の個別イン
ク路を形成するインク路形成工程を有することを特徴と
するインクジェットプリントヘッドの製造方法。 - 【請求項２】インク路を形成するためのインク路板をレ
ーザ透過性のヘッド基台上に接合し、レーザ透過性の振
動板をインク路板上に接合したものを積層し、多数の個
別インク路のパターンを有するマスクを積層体の一方側
に在る振動板上に載せ、マスク上からエキシマレーザを
照射し、各インク路板に多数の個別インク路をそれぞれ
形成するインク路形成工程を有することを特徴とするイ
ンクジェットプリントヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3145698A JPH04368855A (ja) | 1991-06-18 | 1991-06-18 | インクジェットプリントヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3145698A JPH04368855A (ja) | 1991-06-18 | 1991-06-18 | インクジェットプリントヘッドの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04368855A true JPH04368855A (ja) | 1992-12-21 |
Family
ID=15391044
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3145698A Pending JPH04368855A (ja) | 1991-06-18 | 1991-06-18 | インクジェットプリントヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04368855A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| USRE38710E1 (en) * | 1994-03-04 | 2005-03-15 | Canon Kabushiki Kaisha | Laser process for making a filter for an ink jet |
-
1991
- 1991-06-18 JP JP3145698A patent/JPH04368855A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| USRE38710E1 (en) * | 1994-03-04 | 2005-03-15 | Canon Kabushiki Kaisha | Laser process for making a filter for an ink jet |
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