JPH043714A - 搬送装置および搬送方法 - Google Patents
搬送装置および搬送方法Info
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- JPH043714A JPH043714A JP10269790A JP10269790A JPH043714A JP H043714 A JPH043714 A JP H043714A JP 10269790 A JP10269790 A JP 10269790A JP 10269790 A JP10269790 A JP 10269790A JP H043714 A JPH043714 A JP H043714A
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- JP
- Japan
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- pitch
- conveyance
- missing
- movable plate
- electrical
- Prior art date
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- Automatic Assembly (AREA)
- Feeding Of Workpieces (AREA)
- Control Of Conveyors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、例えば半導体装置のような、比較的多量に
生産される電気部品の製造工程で用いられる搬送装置お
よび搬送方法に関するものである。
生産される電気部品の製造工程で用いられる搬送装置お
よび搬送方法に関するものである。
第４図、第５図は従来の搬送装置の側面図と平面図であ
り、電気部品である半導体装置を搬送する場合について
示している。これらの図において、（１）は２本の固定
レールで、互いに平行に、かつ、水平に設けられている
。第４図では、図を分かり易くするために手前側の１本
の図示を省略している。（２１は２本の固定レール（１
）の間に設けられた細長い可動プレートで、第４図にお
いて上下左右に動くことができるようになっている。Ｂ
）は可動プレート（２）に−その幅方向へ延びた形状に
設けられた突条で、可動プレート（２）の長手方向に規
則正しい間隔で複数個設けられている。（イ）は搬送対
象物の半導体装置である。
り、電気部品である半導体装置を搬送する場合について
示している。これらの図において、（１）は２本の固定
レールで、互いに平行に、かつ、水平に設けられている
。第４図では、図を分かり易くするために手前側の１本
の図示を省略している。（２１は２本の固定レール（１
）の間に設けられた細長い可動プレートで、第４図にお
いて上下左右に動くことができるようになっている。Ｂ
）は可動プレート（２）に−その幅方向へ延びた形状に
設けられた突条で、可動プレート（２）の長手方向に規
則正しい間隔で複数個設けられている。（イ）は搬送対
象物の半導体装置である。
次に動作について説明する。リード成形された半導体装
置（２）を、図において左方から右方へ、定ピツチでの
送りを何回も繰り返すピッチ送りで搬送する。可動プレ
ート［有］がボックス運動をしてこの搬送を行なう。す
なわち、半導体装置に）が固定レール（１）上に載荷さ
れた状態で、可動プレート（２）がＡからＢの向きに上
昇すると、半導体装置（イ）が可動プレート（２）によ
り、突条（３１１ｍにはまり込んだ形で、固定レール（
１）から上方へ持ち上げられる。
置（２）を、図において左方から右方へ、定ピツチでの
送りを何回も繰り返すピッチ送りで搬送する。可動プレ
ート［有］がボックス運動をしてこの搬送を行なう。す
なわち、半導体装置に）が固定レール（１）上に載荷さ
れた状態で、可動プレート（２）がＡからＢの向きに上
昇すると、半導体装置（イ）が可動プレート（２）によ
り、突条（３１１ｍにはまり込んだ形で、固定レール（
１）から上方へ持ち上げられる。
次に可動プレート（２）かＢからＣの向きに所定ピッチ
分だけ水平移動して半導体装置（イ）を図において右方
へ搬送し、続いて、ＣからＤの向きに下降すると、半導
体装Ｗ（２）が再び固定レール（１）に受けられて上記
ピッチ分だけ右方へ送られたことになる。
分だけ水平移動して半導体装置（イ）を図において右方
へ搬送し、続いて、ＣからＤの向きに下降すると、半導
体装Ｗ（２）が再び固定レール（１）に受けられて上記
ピッチ分だけ右方へ送られたことになる。
その後、可動プレート（２）はＤからＡの向きに水平移
動して元の位置に戻る。
動して元の位置に戻る。
上記動作による搬送は、上記送りピッチ分づつ位置をず
らして載荷されたいくつもの半導体装置（イ）に対して
同時に行なうこ−とができ、また、上記動作を繰り返す
ことにより、送りピッチ分づつ右方へ順次搬送すること
ができる。なお、第４図は可動プレート（２）がＡから
Ｂ、またはＣからＤへ向かって移動の途中で、丁度、固
定レール（１）と可動プレート（２）の双方に支えられ
ている状態を示している。
らして載荷されたいくつもの半導体装置（イ）に対して
同時に行なうこ−とができ、また、上記動作を繰り返す
ことにより、送りピッチ分づつ右方へ順次搬送すること
ができる。なお、第４図は可動プレート（２）がＡから
Ｂ、またはＣからＤへ向かって移動の途中で、丁度、固
定レール（１）と可動プレート（２）の双方に支えられ
ている状態を示している。
従来の搬送装置および搬送方法は以上のように構成され
ているので、前工程から電気部品が連続的に供給されな
いような場合には、搬送装置上に送りピッチと等しい間
隔で電気部品が正確に詰まらずに、電気部品の欠落箇所
が生じ、欠落箇所を有したまま次工程への搬送が行なわ
れ、また、電気部品に、例えば不良品などの所定外のも
のが含まれていても排除されず、それが混じったまま次
工程へ送り込まれるなどの問題点があった。
ているので、前工程から電気部品が連続的に供給されな
いような場合には、搬送装置上に送りピッチと等しい間
隔で電気部品が正確に詰まらずに、電気部品の欠落箇所
が生じ、欠落箇所を有したまま次工程への搬送が行なわ
れ、また、電気部品に、例えば不良品などの所定外のも
のが含まれていても排除されず、それが混じったまま次
工程へ送り込まれるなどの問題点があった。
この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、電気部品の欠落なしに次工程へ搬送でき、ま
た、所定の電気部品だけを次工程へ搬送できる搬送装置
および搬送方法を得ることを目的とする。
たもので、電気部品の欠落なしに次工程へ搬送でき、ま
た、所定の電気部品だけを次工程へ搬送できる搬送装置
および搬送方法を得ることを目的とする。
この発明に係る搬送装置は、ピッチ送りする第１および
第２の搬送機を備えると共に、第１の搬送機の搬送範囲
内で搬送対象物である電気部品の欠落の有無を検知する
検知器を備え、電気部品の欠落が第１および第２の搬送
機間の受け渡し部に出現した状態において第２の搬送機
の動作を１ピッチ分停止させるようにしたものであり、
また、電気部品が所定のものどうかを検査する検査器と
、所定外のものと判定された電気部品を排除する排除機
とを備えたものである。
第２の搬送機を備えると共に、第１の搬送機の搬送範囲
内で搬送対象物である電気部品の欠落の有無を検知する
検知器を備え、電気部品の欠落が第１および第２の搬送
機間の受け渡し部に出現した状態において第２の搬送機
の動作を１ピッチ分停止させるようにしたものであり、
また、電気部品が所定のものどうかを検査する検査器と
、所定外のものと判定された電気部品を排除する排除機
とを備えたものである。
更に、この発明に係る搬送方法は、第１および第２の搬
送を行なう工程、および、第１の搬送の範囲内で電気部
品の欠落の有無を検知する工程から成り、電気部品の欠
落が第１および第２の搬送間の受け渡し部に出現したと
きに第２の搬送を１ピッチ分停止するようにしたもので
あり、また、第１および第２の搬送を行なう工程と、電
気部品が所定のものかどうかを検査する工程と、所定外
のものを排除する工程とから成るものである。
送を行なう工程、および、第１の搬送の範囲内で電気部
品の欠落の有無を検知する工程から成り、電気部品の欠
落が第１および第２の搬送間の受け渡し部に出現したと
きに第２の搬送を１ピッチ分停止するようにしたもので
あり、また、第１および第２の搬送を行なう工程と、電
気部品が所定のものかどうかを検査する工程と、所定外
のものを排除する工程とから成るものである。
この発明における搬送装置および搬送方法は、第１およ
び第２の搬送間の受け渡し部に電気部品の欠落が出現し
たときに第２の搬送が１ピッチ分停止するので空送りさ
れず、従って、欠落があった箇所に電気部品が詰まった
状態になって第２の搬送が行なわれる。また、電気部品
が所定のものかどうかを検査して所定外のものを排除す
るので、所定のものだけが次工程へ搬送される。
び第２の搬送間の受け渡し部に電気部品の欠落が出現し
たときに第２の搬送が１ピッチ分停止するので空送りさ
れず、従って、欠落があった箇所に電気部品が詰まった
状態になって第２の搬送が行なわれる。また、電気部品
が所定のものかどうかを検査して所定外のものを排除す
るので、所定のものだけが次工程へ搬送される。
第１図、第２図はこの発明の一実施例による搬送装置の
側面図と平面図であり、電気部品である半導体装置を搬
送する場合について示している。
側面図と平面図であり、電気部品である半導体装置を搬
送する場合について示している。
これらの図において、（１）、（３）、（社）は第４図
、第５図の場合と同様であるので説明を省略する。第１
図では第４図と同様に固定レール（１）のうちの手前側
の１本の図示を省略している。（６）、（７）はそれぞ
れ第１、第２の搬送を行なう第１、第２の搬送機として
の第１、第２の可動プレートで、共に突条Ｂ）が設けら
れている。第２図に示すように第１の可動プレート（６
）の右端部には凹状の切欠部６が形成されると共に、第
２の可動プレート（７）の左端部には他の部分に比べて
幅が細くなった凸状の細幅部（９）が形成され、切欠部
（８１へ細幅部（９）が入り込むことができて、第１図
において上下方向に動いても互いに干渉しないようにな
っている。第１の可動プレート（６）は第１図に示すＡ
、Ｂ、Ｃ，Ｄの向きに、また第２の可動プレートロは同
様にＥ、Ｆ。
、第５図の場合と同様であるので説明を省略する。第１
図では第４図と同様に固定レール（１）のうちの手前側
の１本の図示を省略している。（６）、（７）はそれぞ
れ第１、第２の搬送を行なう第１、第２の搬送機として
の第１、第２の可動プレートで、共に突条Ｂ）が設けら
れている。第２図に示すように第１の可動プレート（６
）の右端部には凹状の切欠部６が形成されると共に、第
２の可動プレート（７）の左端部には他の部分に比べて
幅が細くなった凸状の細幅部（９）が形成され、切欠部
（８１へ細幅部（９）が入り込むことができて、第１図
において上下方向に動いても互いに干渉しないようにな
っている。第１の可動プレート（６）は第１図に示すＡ
、Ｂ、Ｃ，Ｄの向きに、また第２の可動プレートロは同
様にＥ、Ｆ。
Ｇ、Ｈの向きに共に上下左右に動くことができるように
なっている。第１の可動プレート（６）が図において右
方へ、そして第２の可動プレート（７）が左方へ移動し
たときに、両者が左右方向について重なり合う部分が生
じ、ここが第１および第２の可動プレート（６１，（７
１間での半導体装置（２）の受け渡し部００）になって
いる。
なっている。第１の可動プレート（６）が図において右
方へ、そして第２の可動プレート（７）が左方へ移動し
たときに、両者が左右方向について重なり合う部分が生
じ、ここが第１および第２の可動プレート（６１，（７
１間での半導体装置（２）の受け渡し部００）になって
いる。
（１２）は半導体装置（２）の欠落の有無を検知する検
知器と、半導体装置（イ）が所定のものかどうかを検査
する検査器との両機能を兼ね備えたセンサ、（１３）は
半導体装置（２）を搬送径路から排除する排除機、（１
４）は半導体装置４を吸着する吸着パッド、（１５）は
センサ（１２）と吸着パッド（１４）を支持するヘッド
で、吸着パッド（１４）はＲ，Ｓの方向に移動可能にな
っている。（１６）はヘッド（１５）を支持してＰ。
知器と、半導体装置（イ）が所定のものかどうかを検査
する検査器との両機能を兼ね備えたセンサ、（１３）は
半導体装置（２）を搬送径路から排除する排除機、（１
４）は半導体装置４を吸着する吸着パッド、（１５）は
センサ（１２）と吸着パッド（１４）を支持するヘッド
で、吸着パッド（１４）はＲ，Ｓの方向に移動可能にな
っている。（１６）はヘッド（１５）を支持してＰ。
Ｑの方向に移動させるアームであり、（１４）〜（１６
）で排除機（１３）を構成している。
）で排除機（１３）を構成している。
次に動作について説明する。リード成形された半導体装
置（２）が固定レール（１）上に載荷された状態で、第
４図、第５図の場合の可動プレート（２１のボックス運
動と同様に、第１の可動プレート（６）がＡ。
置（２）が固定レール（１）上に載荷された状態で、第
４図、第５図の場合の可動プレート（２１のボックス運
動と同様に、第１の可動プレート（６）がＡ。
Ｂ、ＣＤ、Ａのように順次動いて、半導体装置（イ）の
ピッチ送りを行なう。第１図、第２図では第１の可動プ
レート（６）がＣからＤへ向かって移動している途中を
示しており、受け渡し部００）から、図において左方が
第１の可動プレート（６）の搬送範囲になっている。
ピッチ送りを行なう。第１図、第２図では第１の可動プ
レート（６）がＣからＤへ向かって移動している途中を
示しており、受け渡し部００）から、図において左方が
第１の可動プレート（６）の搬送範囲になっている。
第１の搬送の終端部である受け渡し部α０）において、
第１の搬送の１ピツチ毎にセンサ（１２）により、半導
体装置（２）が欠落していないかどうか、即ち、直前の
第１の搬送が空送りでなかったかどうかを検知すると共
に、もし、欠落がなければ、つまり、そこに半導体装置
（２）が有れば、前工程において不良品と判定して付け
られた目印の有無を検査する。
第１の搬送の１ピツチ毎にセンサ（１２）により、半導
体装置（２）が欠落していないかどうか、即ち、直前の
第１の搬送が空送りでなかったかどうかを検知すると共
に、もし、欠落がなければ、つまり、そこに半導体装置
（２）が有れば、前工程において不良品と判定して付け
られた目印の有無を検査する。
もし、そのような目印があればその半導体装置（２）は
所定外のものであるので、吸着パッド（１４）からＳの
向きに下降し、半導体装置（２）を吸着してＲの向きに
持ち上げた後、アーム（１６）によりヘッド（１５）が
Ｑの向きに駆動されて半導体装置（イ）を搬送径路外へ
排除する。この排除が行なわれた場合は受け渡し部００
）に半導体装置（イ）が無くなるので欠落と見なす。
所定外のものであるので、吸着パッド（１４）からＳの
向きに下降し、半導体装置（２）を吸着してＲの向きに
持ち上げた後、アーム（１６）によりヘッド（１５）が
Ｑの向きに駆動されて半導体装置（イ）を搬送径路外へ
排除する。この排除が行なわれた場合は受け渡し部００
）に半導体装置（イ）が無くなるので欠落と見なす。
受け渡し部α０）において半導体装置（イ）の欠落がな
く、かつ、上記の目印もなければその半導体装置（２）
は所定のものであるので、第２の可動プレートロが、第
１の可動プレート（６）と同様のボックス運動をして、
半導体装置（イ）の第２の搬送を行なう。
く、かつ、上記の目印もなければその半導体装置（２）
は所定のものであるので、第２の可動プレートロが、第
１の可動プレート（６）と同様のボックス運動をして、
半導体装置（イ）の第２の搬送を行なう。
即ち、第２の可動プレートｍがＥからＦの向きに上昇し
て、受け渡し部００）にある半導体装置（２）を受け取
って持ち上げ、続いて、ＦからＧの向きに１ピッチ分移
動した後、ＧからＨの向きに下降し、半導体装置（２）
を固定レール（１）上に載置することにより、半導体装
置（２）が１ピッチ分、図において右方ヘピッチ送りさ
れたことになる。その後、第２の可動プレート（２）は
ＨからＥに向かって戻る。なお、第１図、第２図では第
２の可動プレート（７）がＥからＦに向かって上昇する
直前の状態を示している。
て、受け渡し部００）にある半導体装置（２）を受け取
って持ち上げ、続いて、ＦからＧの向きに１ピッチ分移
動した後、ＧからＨの向きに下降し、半導体装置（２）
を固定レール（１）上に載置することにより、半導体装
置（２）が１ピッチ分、図において右方ヘピッチ送りさ
れたことになる。その後、第２の可動プレート（２）は
ＨからＥに向かって戻る。なお、第１図、第２図では第
２の可動プレート（７）がＥからＦに向かって上昇する
直前の状態を示している。
上記と異なり、もし、受け渡し部ＱＯＩにおいて、セン
サ（１２）により半導体装置（４）が欠落していると判
定された場合は、センサ（１２）からの信号により第２
の可動プレートロを制御してその動作を１ピッチ分停止
させる。従って、第２の可動プレートロは空送りするこ
とがない。
サ（１２）により半導体装置（４）が欠落していると判
定された場合は、センサ（１２）からの信号により第２
の可動プレートロを制御してその動作を１ピッチ分停止
させる。従って、第２の可動プレートロは空送りするこ
とがない。
以上の動作をまとめると第３図のフローチャートのよう
になる。ステップ（２１）で第１の搬送を行ない、ステ
ップ（２２）で受け渡し部ａωに半導体装置（イ）が有
るかどうかを検知して、もし無ければ第２の搬送を停止
したまま第１の搬送を繰り返し、もし有ればそれが所定
のものかどうかをステップ（２３）で検査する。もし所
定外のものであればそれをステップ（２４）で排除し、
第２の搬送を停止したまま第１の搬送を繰り返す。もし
所定のものであればステップ（２５）で第２の搬送を行
う。このような動作を１ピッチ分づつ繰り返すこと−に
より、次工程へは第２の可動プレート（至）により、半
導体装置（２）を欠落箇所のない状態で搬送することが
できる。
になる。ステップ（２１）で第１の搬送を行ない、ステ
ップ（２２）で受け渡し部ａωに半導体装置（イ）が有
るかどうかを検知して、もし無ければ第２の搬送を停止
したまま第１の搬送を繰り返し、もし有ればそれが所定
のものかどうかをステップ（２３）で検査する。もし所
定外のものであればそれをステップ（２４）で排除し、
第２の搬送を停止したまま第１の搬送を繰り返す。もし
所定のものであればステップ（２５）で第２の搬送を行
う。このような動作を１ピッチ分づつ繰り返すこと−に
より、次工程へは第２の可動プレート（至）により、半
導体装置（２）を欠落箇所のない状態で搬送することが
できる。
なお、第１の搬送のピッチと第２の搬送のピッチは互い
に同じ距離であっても、異なる距離であってよい。また
、上記実施例では第１、第２の可動プレート（６）、（
７）にそれぞれ切欠部（８）と細幅部（９）を形成して
受け渡し部ααで互いに干渉しないようにしたか、この
ような部分を設けずに、第１の可動プレート（６）がＣ
からＤへ下降するときは第２の可動プレートロは右方の
ＧまたはＨにある状態に、そして、第２の可動プレー１
−（２）がＥからＦへ一上昇するときは第１の可動プレ
ート（６）は左方のＡまたはＢへ逃げた状態になるよう
な動作シーケンスにして受け渡し部α０）における干渉
を防止し、でもよい。
に同じ距離であっても、異なる距離であってよい。また
、上記実施例では第１、第２の可動プレート（６）、（
７）にそれぞれ切欠部（８）と細幅部（９）を形成して
受け渡し部ααで互いに干渉しないようにしたか、この
ような部分を設けずに、第１の可動プレート（６）がＣ
からＤへ下降するときは第２の可動プレートロは右方の
ＧまたはＨにある状態に、そして、第２の可動プレー１
−（２）がＥからＦへ一上昇するときは第１の可動プレ
ート（６）は左方のＡまたはＢへ逃げた状態になるよう
な動作シーケンスにして受け渡し部α０）における干渉
を防止し、でもよい。
更に、センサ（１２）を受け渡し部ＱＯ１の上方に設け
たが、この位置よりも図において左方にあってもよいが
、この場合は、検知された箇所の受け渡し部ＱＯＩへの
出現と第２の可動プレート（７）の動作制御とのタイミ
ングが合うように注意を要する。
たが、この位置よりも図において左方にあってもよいが
、この場合は、検知された箇所の受け渡し部ＱＯＩへの
出現と第２の可動プレート（７）の動作制御とのタイミ
ングが合うように注意を要する。
以上のように、この発明によれば第１および第２の搬送
間の受け渡し部に電気部品の欠落が出現したときに第２
の搬送が１ピッチ分停止するようにし、また、電気部品
が所定のものがどうかを検査して所定外のものを排除す
るように構成したので、次工程へは電気部品の欠落箇所
なしに、また、所定の電気部品だけを搬送することがで
きる。
間の受け渡し部に電気部品の欠落が出現したときに第２
の搬送が１ピッチ分停止するようにし、また、電気部品
が所定のものがどうかを検査して所定外のものを排除す
るように構成したので、次工程へは電気部品の欠落箇所
なしに、また、所定の電気部品だけを搬送することがで
きる。
第１図、第２図はそれぞれこの発明の一実施例による搬
送装置の側面図および平面図、第３図は第１図、第２図
の搬送装置の搬送動作を示すフローチャート、第４図、
第５図はそれぞれ従来の搬送装置の側面図および平面図
である。 図において、（２）は半導体装置、（６）、（７）は第
１、第２の可動プレート、ａＯ）は受け渡し部、（１２
）はセンサ、（１３）は排除機である。 なお、各図中同一符号は同一または相当部分を示す。 代理人 弁理士 大 岩 増 雄 ４４−導（ト装置 ６ 」′１の町★ワプト廿 ７ 」′２の」′十り１°Ｌ −ト 第１図 ノー １０ ｆ１丁５匁し音［ ）２ ぜ Ｊ罰− ノ３ まＪ％ γ、ｔ 機 第２図 第３図 第４図 第５図
送装置の側面図および平面図、第３図は第１図、第２図
の搬送装置の搬送動作を示すフローチャート、第４図、
第５図はそれぞれ従来の搬送装置の側面図および平面図
である。 図において、（２）は半導体装置、（６）、（７）は第
１、第２の可動プレート、ａＯ）は受け渡し部、（１２
）はセンサ、（１３）は排除機である。 なお、各図中同一符号は同一または相当部分を示す。 代理人 弁理士 大 岩 増 雄 ４４−導（ト装置 ６ 」′１の町★ワプト廿 ７ 」′２の」′十り１°Ｌ −ト 第１図 ノー １０ ｆ１丁５匁し音［ ）２ ぜ Ｊ罰− ノ３ まＪ％ γ、ｔ 機 第２図 第３図 第４図 第５図
Claims (4)
- （１）電気部品をピッチ送りして搬送する第１の搬送機
、この第１の搬送機で搬送された電気部品を受け渡し部
で受け取り、ピッチ送りして搬送する第２の搬送機、お
よび、上記第１の搬送機の搬送範囲内で上記電気部品の
欠落の有無を検知する検知器を備えると共に、この検知
器による検知結果を用いて、上記電気部品の欠落が上記
受け渡し部に出現した状態において上記第２の搬送機の
動作を１ピッチ分停止させるようにしたことを特徴とす
る搬送装置。 - （２）電気部品をピッチ送りして搬送する第１の搬送機
、この第１の搬送機で搬送された電気部品を受け取り、
ピッチ送りして搬送する第２の搬送機、上記電気部品が
所定のものかどうかを検査する検査器、および、この検
査器により所定外のものと判定された上記電気部品を排
除する排除機を備えた搬送装置。 - （３）電気部品をピッチ送りして第１の搬送を行なう工
程、この第１の搬送の範囲内で上記電気部品の欠落の有
無を検知する工程、および、上記第１の搬送で搬送され
た上記電気部品を受け渡し部で受け取って第２の搬送を
行なう工程から成ると共に、上記受け渡し部に上記電気
部品の欠落が出現したときに、上記第２の搬送を１ピッ
チ分停止するようにしたことを特徴とする搬送方法。 - （４）電気部品をピッチ送りして第１の搬送を行なう工
程、この第１の搬送で搬送された上記電気部品を受け取
って第２の搬送を行なう工程、上記電気部品が所定のも
のかどうかを検査する工程、および、この検査により所
定のものと判定された上記電気部品を排除する工程から
成る搬送方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10269790A JPH043714A (ja) | 1990-04-18 | 1990-04-18 | 搬送装置および搬送方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10269790A JPH043714A (ja) | 1990-04-18 | 1990-04-18 | 搬送装置および搬送方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH043714A true JPH043714A (ja) | 1992-01-08 |
Family
ID=14334453
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10269790A Pending JPH043714A (ja) | 1990-04-18 | 1990-04-18 | 搬送装置および搬送方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH043714A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0623628A (ja) * | 1992-03-24 | 1994-02-01 | Nec Corp | 製品の搬送機構 |
| JP2011011832A (ja) * | 2009-06-30 | 2011-01-20 | Shibuya Kogyo Co Ltd | 物品移載装置 |
-
1990
- 1990-04-18 JP JP10269790A patent/JPH043714A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0623628A (ja) * | 1992-03-24 | 1994-02-01 | Nec Corp | 製品の搬送機構 |
| JP2011011832A (ja) * | 2009-06-30 | 2011-01-20 | Shibuya Kogyo Co Ltd | 物品移載装置 |
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