JPH04372707A - 磁気ヘッド - Google Patents
磁気ヘッドInfo
- Publication number
- JPH04372707A JPH04372707A JP3150022A JP15002291A JPH04372707A JP H04372707 A JPH04372707 A JP H04372707A JP 3150022 A JP3150022 A JP 3150022A JP 15002291 A JP15002291 A JP 15002291A JP H04372707 A JPH04372707 A JP H04372707A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic head
- width
- groove
- track width
- grooves
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Magnetic Heads (AREA)
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ハードディスク用の磁
気ヘッドに関する。
気ヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のハードディスク用磁気ヘッドは、
図４に示すような構造となっていた。
図４に示すような構造となっていた。
【０００３】以下、図４を参照して説明する。同図にお
いて、３はセンターレール、４はサイドレール、５は磁
気ヘッドコア、６は溝である。また、トラック幅を規制
する溝の傾斜角度７は６０°が一般的であり、ＡＢＳ幅
（浮揚面幅）を規制する溝の傾斜角度８は４５°が一般
的であった。
いて、３はセンターレール、４はサイドレール、５は磁
気ヘッドコア、６は溝である。また、トラック幅を規制
する溝の傾斜角度７は６０°が一般的であり、ＡＢＳ幅
（浮揚面幅）を規制する溝の傾斜角度８は４５°が一般
的であった。
【０００４】そしてこの磁気ヘッドの製造方法は下記の
２通りが用いられている。 （１）研削加工により溝をあらかじめ設けておき、媒体
に記録する面を仕上げ、トラック幅、ＡＢＳ幅を最後に
研削加工により仕上げる。
２通りが用いられている。 （１）研削加工により溝をあらかじめ設けておき、媒体
に記録する面を仕上げ、トラック幅、ＡＢＳ幅を最後に
研削加工により仕上げる。
【０００５】（２）媒体に記録する面を仕上げ、その後
研削加工により溝を設け、最後に研削加工によりトラッ
ク幅，ＡＢＳ幅を仕上げる。
研削加工により溝を設け、最後に研削加工によりトラッ
ク幅，ＡＢＳ幅を仕上げる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記（
１）の方法で製造すると、ＡＢＳ幅に比べてトラック幅
がかなり小さいため媒体に記録する面を仕上げる際にラ
ップ盤にあたる面圧が異なり、センターレール３の方が
サイドレール４に対し凹みやすい傾向があった。
１）の方法で製造すると、ＡＢＳ幅に比べてトラック幅
がかなり小さいため媒体に記録する面を仕上げる際にラ
ップ盤にあたる面圧が異なり、センターレール３の方が
サイドレール４に対し凹みやすい傾向があった。
【０００７】一方、上記（２）の方法で製造すると、媒
体に記録する面を仕上げた後に溝加工を行うため、溝加
工時の研削量が多くなり、溝加工後に平面度が悪くなる
傾向があった。
体に記録する面を仕上げた後に溝加工を行うため、溝加
工時の研削量が多くなり、溝加工後に平面度が悪くなる
傾向があった。
【０００８】また、上記従来の製造方法は研削加工によ
ってトラック幅を規制するため厳しい加工精度が要求さ
れる。さらに研削加工であるためエッジ部分に微小な突
起が発生する。
ってトラック幅を規制するため厳しい加工精度が要求さ
れる。さらに研削加工であるためエッジ部分に微小な突
起が発生する。
【０００９】本発明は上記問題を解決し、トラック密度
が高く、かつ寸法精度の高い磁気ヘッドの提供を目的と
する。
が高く、かつ寸法精度の高い磁気ヘッドの提供を目的と
する。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め本発明の磁気ヘッドは、溝をイオンミーリング，逆ス
パッタ，化学エッチング，レーザ加工のうちのいずれか
の手段により傾斜角度を略々９０°、深さを２μｍ以上
に加工した構成とする。
め本発明の磁気ヘッドは、溝をイオンミーリング，逆ス
パッタ，化学エッチング，レーザ加工のうちのいずれか
の手段により傾斜角度を略々９０°、深さを２μｍ以上
に加工した構成とする。
【００１１】
【作用】上記構成により、浮揚面の平面度、溝の加工精
度が向上する。
度が向上する。
【００１２】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照して説明
する。
する。
【００１３】図１において、３はトラック幅を規制する
センターレール、４は浮上に寄与するためのＡＢＳ幅を
規制するサイドレールである。６は溝であり、その深さ
は２μｍ以上あれば十分である。なお、５は磁気ヘッド
コアである。
センターレール、４は浮上に寄与するためのＡＢＳ幅を
規制するサイドレールである。６は溝であり、その深さ
は２μｍ以上あれば十分である。なお、５は磁気ヘッド
コアである。
【００１４】製造方法としては、あらかじめ浮揚面を仕
上げておき、次にトラック幅，ＡＢＳ幅を規制する部分
にマスキングを行ない、イオンミーリング，逆スパッタ
，化学エッチングなどにより、少なくとも２μｍ以上の
溝（段差）を設ける。
上げておき、次にトラック幅，ＡＢＳ幅を規制する部分
にマスキングを行ない、イオンミーリング，逆スパッタ
，化学エッチングなどにより、少なくとも２μｍ以上の
溝（段差）を設ける。
【００１５】また、レーザ加工を用いれば、マスキング
を行わず、容易に加工することができる。
を行わず、容易に加工することができる。
【００１６】そして上述の製造方法でトラック幅の溝の
傾斜角度１およびＡＢＳ幅の溝の傾斜角度２を略々９０
°に加工する。傾斜角度１を略々９０°に規制すると、
トラックの両側面からの磁束のもれ（フリンジング）が
少なくなり、光学的に読んだトラック幅と実際に媒体に
書き込まれたトラック幅すなわち実効トラック幅がほと
んど等しくなる。このため、従来のモノリシック磁気ヘ
ッドよりもトラック密度をあげることができる。
傾斜角度１およびＡＢＳ幅の溝の傾斜角度２を略々９０
°に加工する。傾斜角度１を略々９０°に規制すると、
トラックの両側面からの磁束のもれ（フリンジング）が
少なくなり、光学的に読んだトラック幅と実際に媒体に
書き込まれたトラック幅すなわち実効トラック幅がほと
んど等しくなる。このため、従来のモノリシック磁気ヘ
ッドよりもトラック密度をあげることができる。
【００１７】また、従来の研削加工に比べ加工負荷が小
さいため、浮揚面を仕上げる時に平面度を精度よく仕上
げておけば、トラック幅，ＡＢＳ幅を規制する溝を加工
しても平面度が大きく狂うことはない。
さいため、浮揚面を仕上げる時に平面度を精度よく仕上
げておけば、トラック幅，ＡＢＳ幅を規制する溝を加工
しても平面度が大きく狂うことはない。
【００１８】さらに、イオンミーリング，逆スパッタ，
化学エッチングなどの製造方法であれば、マスキングは
精度よく作成することができ、研削加工よりもトラック
幅を精度よく加工することができる。
化学エッチングなどの製造方法であれば、マスキングは
精度よく作成することができ、研削加工よりもトラック
幅を精度よく加工することができる。
【００１９】図２は本発明の他の実施例である。近年、
高ＴＰＩ（トラック数／インチ）化のためにトラック幅
は１０μｍ近辺となってきているが、図２のようにセン
ターレール３の長さを短く構成することにより、１０μ
ｍ近辺のトラック幅の突き出し部分を最小限にすること
ができ、チッピングなどの信頼性に対し有利である。さ
らに媒体に接する面が必要最小限となるため平面度の観
点からも有利な構造である。
高ＴＰＩ（トラック数／インチ）化のためにトラック幅
は１０μｍ近辺となってきているが、図２のようにセン
ターレール３の長さを短く構成することにより、１０μ
ｍ近辺のトラック幅の突き出し部分を最小限にすること
ができ、チッピングなどの信頼性に対し有利である。さ
らに媒体に接する面が必要最小限となるため平面度の観
点からも有利な構造である。
【００２０】また、図３のような構成において、センタ
ーレール３をサイドレール４の側にもってくることによ
り、浮揚面を２レールとし、従来の３レールよりもトラ
ック数を多くすることができ、より高容量化を図ること
ができる。
ーレール３をサイドレール４の側にもってくることによ
り、浮揚面を２レールとし、従来の３レールよりもトラ
ック数を多くすることができ、より高容量化を図ること
ができる。
【００２１】さらに、従来の磁気ヘッドは砥石によって
研削加工されるため、砥石の逃がしのために溝深さをあ
る一定以上にする必要があったが、本発明によれば、イ
オンミーリング，逆スパッタ，化学エッチング，レーザ
加工などの微小除去加工で溝加工を行うため、溝の加工
深さを小さくすることができる。
研削加工されるため、砥石の逃がしのために溝深さをあ
る一定以上にする必要があったが、本発明によれば、イ
オンミーリング，逆スパッタ，化学エッチング，レーザ
加工などの微小除去加工で溝加工を行うため、溝の加工
深さを小さくすることができる。
【００２２】さらに、図２および図３の構成にすれば、
トラック幅を規制する突き出し部分の長さを従来の磁気
ヘッドよりも小さくすることができ、平面度に対して有
利になると共に、チッピングなどの信頼性に対しても有
利になる。
トラック幅を規制する突き出し部分の長さを従来の磁気
ヘッドよりも小さくすることができ、平面度に対して有
利になると共に、チッピングなどの信頼性に対しても有
利になる。
【００２３】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように本発明に
よれば、トラック密度が高く、かつ寸法精度の向上した
磁気ヘッドが得られる。
よれば、トラック密度が高く、かつ寸法精度の向上した
磁気ヘッドが得られる。
【図１】本発明の第１の実施例における磁気ヘッドの斜
視図
視図
【図２】同じく第２の実施例における磁気ヘッドの斜視
図
図
【図３】同じく第３の実施例における磁気ヘッドの斜視
図
図
【図４】従来の磁気ヘッドの斜視図
１，２ 傾斜角度
３ センターレール
４ サイドレール
５ 磁気ヘッドコア
６ 溝
Claims (1)
- 【請求項１】 浮揚面が磁気ヘッドコア，センターレ
ール，サイドレールおよび溝により一体構成された磁気
ヘッドにおいて、上記溝をイオンミーリング，逆スパッ
タ，化学エッチング，レーザ加工のうちのいずれかの手
段により傾斜角度を略々９０°、深さを２μｍ以上に加
工したことを特徴とする磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3150022A JPH04372707A (ja) | 1991-06-21 | 1991-06-21 | 磁気ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3150022A JPH04372707A (ja) | 1991-06-21 | 1991-06-21 | 磁気ヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04372707A true JPH04372707A (ja) | 1992-12-25 |
Family
ID=15487784
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3150022A Pending JPH04372707A (ja) | 1991-06-21 | 1991-06-21 | 磁気ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04372707A (ja) |
-
1991
- 1991-06-21 JP JP3150022A patent/JPH04372707A/ja active Pending
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