JPH07326034A - 磁気ヘッドスライダの成形方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 平坦度を上げることができる磁気ヘッドスラ
イダの成形方法を提供する。 【構成】 スライダブロック３の面３ｂの全体をエッチ
ング処理して平滑化しジンバル接着面に形成する第１の
工程と、面３ｂに対向し空気ベアリング面に形成するス
ライダブロック３の空気ベアリング加工面３ａのうち、
空気ベアリング部溝６を形成する部分を除く面３ａ部分
にレジスト剤１１でマスク処理する第２の工程と、第１
の工程におけるエッチング処理と同一の条件で空気ベア
リング加工面３ａをエッチング処理し空気ベアリング部
溝６を形成する第３の工程とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、磁気ヘッドスライダの
成形方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】コンタクト、スタート、ストップ型の浮
上型磁気ヘッド装置における磁気ヘッドスライダは、磁
気ディスク表面に発生する空気流を受ける面である空気
ベアリング面を有し、かつ、情報の記録再生を行う磁気
素子が形成されており、前記空気ベアリング面に対向す
る磁気ヘッドスライダの面は、板バネ（ジンバル）で構
成されるサスペンションにより支持される。更にはこの
サスペンションはアームによって支持されており、この
アームを移動して、磁気ヘッドスライダを磁気ディスク
表面に平行な面内において磁気ディスクの径方向にスラ
イドさせることで、所定の記録トラックへ情報の記録再
生を行うようになっている。次に磁気ヘッドスライダの
成形方法について述べる。

【０００３】図３の（ａ）〜（ｃ）により先ず先工程を
説明する。この工程は図４に示すスライダブロックの切
り出しまでの工程である。図３（ａ）において、１は中
央にスライダブロック基体２を有するウェハーである。
このようなウェハー１の周囲を、図３（ｂ）に示すよう
に、スライダブロック基体２を残すようにして切断する
と、図３（ｃ）に示すように、スライダブロック基体２
のみが取り出される。このスライダブロック基体２を左
右に２分割してスライダブロック基体２ａ，２ｂとし、
更に２分割方向と直角な方向に適宜な幅で切断すると、
スライダブロック３が得られる。図３（ｃ）におけるＡ
部を拡大したものが図４である。図４に示すように、１
つのスライダブロック３はその長手方向に所定間隔を置
いて複数の磁気素子４を有している。

【０００４】以下、図５（ａ）ないし（ｄ）に基づい
て、スライダブロック３からの従来例による磁気ヘッド
スライダの成形方法を工程順に説明する。まず図５
（ａ）に示す第１工程においては、空気ベアリング面に
形成するスライダブロック３の空気ベアリング加工面３
ａを上にして、スライダブロック３を治具５の上に固定
し、空気ベアリング加工面３ａを、研摩、ラッピング、
鏡面処理等により平滑化し平坦な面とする。なお、この
時点では、空気ベアリング加工面３ａに対向するスライ
ダブロック３の面３ｂは、研摩、ラッピング、鏡面処理
等により平滑化され平坦なジンバル接着面に形成されて
いるものとする。次に、図５（ｂ）に示す第２工程にお
いては、回転磁石を用いる機械加工により、空気ベアリ
ング加工面３ａに空気ベアリング溝部６を所定間隔で形
成する。次に、図５（ｃ）に示す第３工程においては、
スライダブロック３を適宜長さのスライダ単体８に切断
する。最後に図５（ｄ）に示す第４工程においては、各
スライダ単体８を治具５から取外して有機溶剤により洗
浄し、磁気ヘッドスライダ９を得る。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところで従来の磁気ヘ
ッドスライダ９の成形方法においては、前記第２工程に
おける空気ベアリング溝部６の加工を機械加工により行
っていたため、スライダブロック３がストレスを受け、
これにより、空気ベアリング加工面３ａ及び面３ｂを平
滑化し平坦な面に形成していても、第４工程で各スライ
ダ単体８を治具５から取外すと、図６に示すように、空
気ベアリング溝部６の両側部が上方に反ってしまい、磁
気ヘッドスライダ９の平坦度が維持できず、この磁気ヘ
ッドスライダ９を備えた磁気ヘッド装置が信頼性に欠け
るものとなるという不具合があった。

【０００６】本発明は上記従来技術の欠点を解決し、空
気ベアリング加工面とジンバル接着面の平坦度を上げる
ことができる磁気ヘッドスライダの成形方法を提供する
ことを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、スライダブロックの一つの面に、互いに間
隔を置いて複数の空気ベアリング溝部を形成し、該スラ
イダブロックの面を、磁気ディスク表面に発生する空気
流を受ける空気ベアリング面に形成し、前記空気ベアリ
ング面に形成するスライダブロックの面に対向する該ス
ライダブロックの他の面をジンバル接着面に形成し、隣
り合う前記空気ベアリング溝部間で前記スライダブロッ
クを切断し複数の磁気ヘッドスライダを得る磁気ヘッド
スライダの成形方法であって、まず、前記スライダブロ
ックの他の面をエッチング処理して平滑化し平坦な前記
ジンバル接着面に形成する第１の工程と、次に、前記空
気ベアリング面に形成するスライダブロックの面で前記
空気ベアリング溝部を形成する部分を除く面部分をマス
ク処理する第２の工程と、次に、前記第２の工程でマス
ク処理した前記スライダブロックの面を、前記第１の工
程と同一の条件でエッチング処理し、該スライダブロッ
クの面に前記空気ベアリング溝部を形成する第３の工程
とを備えることを特徴とする。

【０００８】また、本発明は、前記空気ベアリング溝部
が形成されるスライダブロックの面は、該空気ベアリン
グ溝部を形成する前にあらかじめ平滑化され平坦な面に
形成されているものとした。

【０００９】

【作用】本発明においては、スライダブロックの面に対
する空気ベアリング溝部加工を行う第３の工程を、前記
面に対向するスライダブロックの他の面に対する平滑化
加工を行う第１の工程とを、同一条件のエッチング処理
によりそれぞれ行うことで、第３の工程の際にスライダ
ブロックに生じる反りが、第１の工程の際にスライダブ
ロックに生じている反りによって相殺される。

【００１０】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。なお、従来例と同一個所には同一符号を付して重
複する説明は省略する。図１の（ａ）ないし（ｅ）は、
スライダブロック３からの本発明の実施例による磁気ヘ
ッドスライダ１０の成形方法の工程図である。まず、前
記スライダブロック３の空気ベアリング加工面３ａを、
研摩、ラッピング、鏡面処理等により平滑化し平坦な面
に形成しておく。次に、図１（ａ）に示す第１工程にお
いては、面３ｂを上にして治具５上にスライダブロック
３を固定し、面３ｂの全体をエッチング処理し平滑化し
て平坦なジンバル接着面に形成する。

【００１１】次に図１（ｂ）に示す第２工程において
は、スライダブロック３を反転させ、空気ベアリング加
工面３ａを上にしてスライダブロック３を治具５に固定
する。そして、空気ベアリング溝部６の形成箇所を除く
空気ベアリング加工面３ａ部分にマスキング処理を施
す。これはレジスト剤（ＵＶ硬化系）１１を塗布し、部
分的に硬化付着させるものである。次に図１（ｃ）に示
す第３工程においては、第１工程におけるエッチング処
理と同一条件で、レジスト剤１１が塗布されていない空
気ベアリング加工面３ａ部分をエッチング処理し、面３
ｂと同一の面粗度で、平坦な底面を有する空気ベアリン
グ溝部６を形成する。

【００１２】次に図１（ｄ）に示す第４工程において
は、レジスト剤１１を有機溶剤によって空気ベアリング
加工面３ａから剥離、溶解し、かつ、スライダブロック
３をスライダ単体１２に切断する。最後に図１（ｅ）に
示す第５工程において、治具５から各スライダ単体１２
を取外して有機溶剤により洗浄し、磁気ヘッドスライダ
１０を得る。

【００１３】上述した磁気ヘッドスライダ１０の成形工
程において、スライダブロック３の面３ｂをエッチング
処理により平滑化しジンバル接着面に形成する第１工程
では、前記治具５上のスライダブロック３に、前記面３
ｂの両端部が該面３ｂの中間部よりも上方に位置するよ
うな反りが生じる。また、前記面３ｂと対向するスライ
ダブロック３の空気ベアリング加工面３ａをエッチング
処理して空気ベアリング溝部６を形成する第３工程で
は、前記治具５上のスライダブロック３に、該空気ベア
リング加工面３ａの両端部が該面３ａの中間部よりも上
方に位置するような、前記第１工程の時とは逆の向きの
反りが生じる。そして、前記両面３ａ，３ｂを同一条件
でエッチングすることから、前記第３工程で生じるスラ
イダブロック３の反りの度合いは、前記第１工程で生じ
るスライダブロック３の反りの度合いと等しくなる。こ
のため、前記第３工程で生じるスライダブロック３の反
りが、前記第１工程で生じているスライダブロック３の
反りによって相殺され、第３工程が済んだ後のスライダ
ブロック３は、いずれの面３ａ，３ｂ側にも反っていな
い状態となり、従って、前記第４及び第５工程を経るこ
とで、図２に示すように、平坦度の高い磁気ヘッドスラ
イダ１０を得ることができる。なお、エッチングの処理
法としては、イオンエッチング法、パウダービームエッ
チング法が一般的であり、深さ制御は、射出時間、流出
圧力、粒径、イオン濃度等の条件を種々変えることで行
われる。

【００１４】

【発明の効果】本発明によれば、スライダブロックの一
つの面に、互いに間隔を置いて複数の空気ベアリング溝
部を形成し、該スライダブロックの面を、磁気ディスク
表面に発生する空気流を受ける空気ベアリング面に形成
し、前記空気ベアリング面に形成するスライダブロック
の面に対向する該スライダブロックの他の面をジンバル
接着面に形成し、隣り合う前記空気ベアリング溝部間で
前記スライダブロックを切断し複数の磁気ヘッドスライ
ダを得る磁気ヘッドスライダの成形方法であって、ま
ず、前記スライダブロックの他の面をエッチング処理し
て平滑化し平坦な前記ジンバル接着面に形成する第１の
工程と、次に、前記空気ベアリング面に形成するスライ
ダブロックの面で前記空気ベアリング溝部を形成する部
分を除く面部分をマスク処理する第２の工程と、次に、
前記第２の工程でマスク処理した前記スライダブロック
の面を、前記第１の工程と同一の条件でエッチング処理
し、該スライダブロックの面に前記空気ベアリング溝部
を形成する第３の工程とを備えるものとした。このた
め、第３の工程の際にスライダブロックに生じる反り
を、第１の工程の際にスライダブロックに生じている反
りにより相殺して、磁気ヘッドスライダの反りをなく
し、空気ベアリング加工面とジンバル接着面の平坦度を
上げることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】（ａ）ないし（ｅ）はスライダブロックからの
本発明の実施例による磁気ヘッドスライダの成形方法の
工程を示す模式図である。

【図２】本発明の成形方法により得られた磁気ヘッドス
ライダの外形図である。

【図３】（ａ）ないし（ｃ）は磁気ヘッドスライダ成形
工程の先工程を示す模式図である。

【図４】先工程によって得られたスライダブロックの斜
視図である。

【図５】（ａ）ないし（ｄ）はスライダブロックからの
従来例による磁気ヘッドスライダの成形方法の工程を示
す模式図である。

【図６】従来の成形方法により得られた磁気ヘッドスラ
イダの外形図である。

【符号の説明】

３ スライダブロック ３ａ 空気ベアリング加工面 ３ｂ スライダブロック面 ６ 空気ベアリング溝部 １０ 磁気ヘッドスライダ

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 スライダブロックの一つの面に、互いに
   間隔を置いて複数の空気ベアリング溝部を形成し、該ス
   ライダブロックの面を、磁気ディスク表面に発生する空
   気流を受ける空気ベアリング面に形成し、 前記空気ベアリング面に形成するスライダブロックの面
   に対向する該スライダブロックの他の面をジンバル接着
   面に形成し、 隣り合う前記空気ベアリング溝部間で前記スライダブロ
   ックを切断し複数の磁気ヘッドスライダを得る磁気ヘッ
   ドスライダの成形方法であって、 まず、前記スライダブロックの他の面をエッチング処理
   して平滑化し平坦な前記ジンバル接着面に形成する第１
   の工程と、 次に、前記空気ベアリング面に形成するスライダブロッ
   クの面で前記空気ベアリング溝部を形成する部分を除く
   面部分をマスク処理する第２の工程と、 次に、前記第２の工程でマスク処理した前記スライダブ
   ロックの面を、前記第１の工程と同一の条件でエッチン
   グ処理し、該スライダブロックの面に前記空気ベアリン
   グ溝部を形成する第３の工程と、 を備えることを特徴とする磁気ヘッドスライダの成形方
   法。
2. 【請求項２】 前記空気ベアリング溝部が形成されるス
   ライダブロックの面は、該空気ベアリング溝部を形成す
   る前にあらかじめ平滑化され平坦な面に形成されている
   請求項１記載の磁気ヘッドスライダの成形方法。