JPH03162706A - 薄膜磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents
薄膜磁気ヘッドの製造方法Info
- Publication number
- JPH03162706A JPH03162706A JP1301747A JP30174789A JPH03162706A JP H03162706 A JPH03162706 A JP H03162706A JP 1301747 A JP1301747 A JP 1301747A JP 30174789 A JP30174789 A JP 30174789A JP H03162706 A JPH03162706 A JP H03162706A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- layer
- thin film
- magnetic head
- width
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、磁性基板の上にコイルや磁気コアを薄膜技術
によって形成した薄膜磁気ヘッドに関するものである。
によって形成した薄膜磁気ヘッドに関するものである。
従来の技術
第７図は従来の薄膜磁気ヘッドを示す断面゛図である。
第７図において１はフエライト等の磁性材料よって構成
された基板、２は基板ｌの上に形成され、磁気ギャップ
となるギャップ層で、ギャップ層２は二酸化けい素やア
ルミナ等の非磁性物をスパッタリングする事によって形
成されている。
された基板、２は基板ｌの上に形成され、磁気ギャップ
となるギャップ層で、ギャップ層２は二酸化けい素やア
ルミナ等の非磁性物をスパッタリングする事によって形
成されている。
３はギャップ層２の上に形成された眉間絶縁層で、層間
絶縁層３はフォトレジスト等によって構成されている。
絶縁層３はフォトレジスト等によって構成されている。
４は層間絶縁層３の上に形成されたコイル層、５はコイ
ル層４を覆うように眉間絶縁層３の上に形成された層間
絶縁層、６は層間絶縁層５の上に形成された磁性層で、
磁性層６は基板１とともに磁気回路を構成している。磁
性層６はパーマロイ等の金属磁性物をスパッタリングす
る事により構成されている。７は積層されたＮｉｌを保
護するように形成された保護層である。以上の様に構成
された薄膜磁気ヘッドは第７図に示す矢印のように磁束
は流れる。又トラック幅は第８図に示す磁性層６の先端
の幅ａをどの位にするかで調整していた。第８図は保護
層７を形成する前の薄膜磁気ヘッドの平面図である。
ル層４を覆うように眉間絶縁層３の上に形成された層間
絶縁層、６は層間絶縁層５の上に形成された磁性層で、
磁性層６は基板１とともに磁気回路を構成している。磁
性層６はパーマロイ等の金属磁性物をスパッタリングす
る事により構成されている。７は積層されたＮｉｌを保
護するように形成された保護層である。以上の様に構成
された薄膜磁気ヘッドは第７図に示す矢印のように磁束
は流れる。又トラック幅は第８図に示す磁性層６の先端
の幅ａをどの位にするかで調整していた。第８図は保護
層７を形成する前の薄膜磁気ヘッドの平面図である。
発明が解決しようとする課題
しかしながら、前記従来の構成では磁性層６から媒体対
向面に飛び出した磁束は基板１の磁性層６と対向する部
分Ｃのみに入り込まず、第９図に示すように基板のかな
り広い範囲に入り込んでいるので、実際に磁気記録媒体
にデータを書き込むと、磁気記録媒体上のデータトラッ
クの幅は磁性膜の輻ａよりもかなり幅広いものとなる。
向面に飛び出した磁束は基板１の磁性層６と対向する部
分Ｃのみに入り込まず、第９図に示すように基板のかな
り広い範囲に入り込んでいるので、実際に磁気記録媒体
にデータを書き込むと、磁気記録媒体上のデータトラッ
クの幅は磁性膜の輻ａよりもかなり幅広いものとなる。
従って磁気記録媒体のデータトラックの間を広くとらな
ければ、記録の際に隣接するデータトラックのデータを
壊したり、又は再生の際にノイズ多くなり、Ｓ／Ｎ比が
悪くなるという不具合が生じる事があった。そのために
磁気記録媒体のデータトラックの間を広くとる必要があ
り、磁気記録媒体の面密度の向上の妨げとなっていた。
ければ、記録の際に隣接するデータトラックのデータを
壊したり、又は再生の際にノイズ多くなり、Ｓ／Ｎ比が
悪くなるという不具合が生じる事があった。そのために
磁気記録媒体のデータトラックの間を広くとる必要があ
り、磁気記録媒体の面密度の向上の妨げとなっていた。
実際には書き込んだデータトラックの幅は磁性層６の幅
ａの１、３倍になっている。
ａの１、３倍になっている。
本発明は前記従来の問題点を解決しようとするもので、
磁性層の幅と磁気記録媒体上のデータトラックの幅をほ
ぼ同じにする事ができ、データトラック間を狭くする事
ができるので、磁気記録媒体の記録密度を向上させる事
ができる薄膜磁気ヘッドを提供する事を目的としている
。
磁性層の幅と磁気記録媒体上のデータトラックの幅をほ
ぼ同じにする事ができ、データトラック間を狭くする事
ができるので、磁気記録媒体の記録密度を向上させる事
ができる薄膜磁気ヘッドを提供する事を目的としている
。
課題を解決するための手段
この目的を達戒するために、磁性材料によって構成され
た基板の媒体対向面側をトラック幅と同し幅だけ残す様
に切り欠き、切り欠いた部分以外の部分に、ギャップ層
，コイル層，磁性層等を形成したという構成を有してい
る。
た基板の媒体対向面側をトラック幅と同し幅だけ残す様
に切り欠き、切り欠いた部分以外の部分に、ギャップ層
，コイル層，磁性層等を形成したという構成を有してい
る。
作 用
この構戒により、ほとんどの磁束が基板の媒体対向面側
の切り欠いて残った部分に出入するようになる。
の切り欠いて残った部分に出入するようになる。
実施例
第１図は本発明の一実施例における薄膜磁気ヘッドを示
す断面図である。第１図において８はＭ ｎ − Ｚ
ｎフェライトやＮｉ−Ｚｎフェライトのような磁性材料
によって構戒された基板で、基板８には第２図に示すよ
うに媒体対向面となる側に磁性層対向部８ａが設けられ
ている。磁性層対向部８ａは後述の磁性層１３の幅と同
じ幅になるように基板８の媒体対向面側に切欠部８ｂ，
８ｃを設ける事によって形威されている。第１図におい
て９は基板８の切欠部８ｂ，８ｃ以外の部分に設けられ
たギャップ層、ｌＯはギャップ層９の上に形威された眉
間絶縁層、 １１は層間絶縁層１０の上に形威されたコ
イル層、ｌ２はコイル層１１を覆う様に層間絶縁層１０
の上に形威された眉間絶縁層、１３は磁性層で、磁性層
１３の媒体対向面側は磁性層対向部８ａに対向している
。１４は積層された薄膜を保護する様に設けられた保護
層である。
す断面図である。第１図において８はＭ ｎ − Ｚ
ｎフェライトやＮｉ−Ｚｎフェライトのような磁性材料
によって構戒された基板で、基板８には第２図に示すよ
うに媒体対向面となる側に磁性層対向部８ａが設けられ
ている。磁性層対向部８ａは後述の磁性層１３の幅と同
じ幅になるように基板８の媒体対向面側に切欠部８ｂ，
８ｃを設ける事によって形威されている。第１図におい
て９は基板８の切欠部８ｂ，８ｃ以外の部分に設けられ
たギャップ層、ｌＯはギャップ層９の上に形威された眉
間絶縁層、 １１は層間絶縁層１０の上に形威されたコ
イル層、ｌ２はコイル層１１を覆う様に層間絶縁層１０
の上に形威された眉間絶縁層、１３は磁性層で、磁性層
１３の媒体対向面側は磁性層対向部８ａに対向している
。１４は積層された薄膜を保護する様に設けられた保護
層である。
以上の様に構成された薄膜磁気ヘッドの製造方法につい
て説明する。先ず基板８に二酸化けい素やアルミナ等の
非磁性物をスパッタリングする事によってギャップ層９
を形成する。次にギャップ層９の上にフォトレジストを
塗布し、紫外線を照射して所定の形状に硬化させ、層間
絶縁層１０を形成する。次に眉間絶縁層１０の上に銅等
の良導体をスパッタリングする事によって、導電層を形
成し、その導電層をエッチングして渦巻上のコイル層１
１を形成する。次にコイル層１１を覆うようにフォトレ
ジストを冷布し、紫外線を照射する事によって硬化させ
、眉間絶縁層１２を形成する。次にコイル層１１や層間
絶縁層１０，１２頭の薄膜を積層した側に一面に金属磁
性物をスパッタリングする事により金属磁性膜を形成す
る。次にこの金属磁性膜の上にフォトレジストを撞布し
、所定の場所のフォトレジストに紫外線を照射する。次
に現像液にフォトレジストを浸して洗うと、紫外線が照
射された部分だけが残り、他の部分は洗い流される。次
にイオンミーリング等でエッチングを行って、磁性層１
３を形成する。次に磁性層ｌ３を形成した個に一面にフ
ォトレジストを塗布する。そして紫外線を媒体対向面の
端部の内で、磁性層１３以外の部分に照射して、その部
分を現像液によって取り除く。次にイオンミーリングに
よってフォトレジストを取り除いた部分を基板８に達す
るまでエッチングし、基板８に磁性層対向部８ａを形威
する。この様子を第３図に示す。第３図は薄膜磁気ヘッ
ドを媒体対向面側から見た平面図である。最後に保護層
１４を形成する。
て説明する。先ず基板８に二酸化けい素やアルミナ等の
非磁性物をスパッタリングする事によってギャップ層９
を形成する。次にギャップ層９の上にフォトレジストを
塗布し、紫外線を照射して所定の形状に硬化させ、層間
絶縁層１０を形成する。次に眉間絶縁層１０の上に銅等
の良導体をスパッタリングする事によって、導電層を形
成し、その導電層をエッチングして渦巻上のコイル層１
１を形成する。次にコイル層１１を覆うようにフォトレ
ジストを冷布し、紫外線を照射する事によって硬化させ
、眉間絶縁層１２を形成する。次にコイル層１１や層間
絶縁層１０，１２頭の薄膜を積層した側に一面に金属磁
性物をスパッタリングする事により金属磁性膜を形成す
る。次にこの金属磁性膜の上にフォトレジストを撞布し
、所定の場所のフォトレジストに紫外線を照射する。次
に現像液にフォトレジストを浸して洗うと、紫外線が照
射された部分だけが残り、他の部分は洗い流される。次
にイオンミーリング等でエッチングを行って、磁性層１
３を形成する。次に磁性層ｌ３を形成した個に一面にフ
ォトレジストを塗布する。そして紫外線を媒体対向面の
端部の内で、磁性層１３以外の部分に照射して、その部
分を現像液によって取り除く。次にイオンミーリングに
よってフォトレジストを取り除いた部分を基板８に達す
るまでエッチングし、基板８に磁性層対向部８ａを形威
する。この様子を第３図に示す。第３図は薄膜磁気ヘッ
ドを媒体対向面側から見た平面図である。最後に保護層
１４を形成する。
以上の様に構成された薄膜磁気ヘッドの媒体対向面の磁
束の流れを第３図に示す。
束の流れを第３図に示す。
第３図に示す矢印の様に磁性層１３から出た磁束はほと
んど磁性層対向部８ａに入り込む。従って本実施例の薄
膜磁気ヘッドで磁気記録媒体に記録した時のデータトラ
ック幅は第４図に示す磁性層の幅Ｍとほぼ同じである。
んど磁性層対向部８ａに入り込む。従って本実施例の薄
膜磁気ヘッドで磁気記録媒体に記録した時のデータトラ
ック幅は第４図に示す磁性層の幅Ｍとほぼ同じである。
この事を以下に述べる実験によって説明する。先ず磁気
記録媒体に薄膜磁気ヘッドで１データトラックを記録し
た。次のそのデータトラックを記録した時と同じ薄膜磁
気ヘッドで、再生しその再生出力を測定した。次に薄膜
磁気ヘッドをそのデータトラックから磁気記録媒体の半
径方向にずらしていき、その度に再生出力を測定した。
記録媒体に薄膜磁気ヘッドで１データトラックを記録し
た。次のそのデータトラックを記録した時と同じ薄膜磁
気ヘッドで、再生しその再生出力を測定した。次に薄膜
磁気ヘッドをそのデータトラックから磁気記録媒体の半
径方向にずらしていき、その度に再生出力を測定した。
この結果を第５図及び第６図に示す。第５図及び第６図
は従来及び本実施例の薄膜磁気ヘッドを用いた時の測定
結果である。第５図及び第６図において、縦軸は薄膜磁
気ヘッドをずらさない時の再生出力を１とした時の相対
的な再生出力をとっている。横軸は、薄膜磁気ヘッドの
磁性層の幅を１とした時のずれ量をとった。
は従来及び本実施例の薄膜磁気ヘッドを用いた時の測定
結果である。第５図及び第６図において、縦軸は薄膜磁
気ヘッドをずらさない時の再生出力を１とした時の相対
的な再生出力をとっている。横軸は、薄膜磁気ヘッドの
磁性層の幅を１とした時のずれ量をとった。
第５図に示すように従来の薄膜磁気ヘッドでは、ずれ量
が１を越えても、すなわち磁性層の幅分磁気ヘッドがず
れても再生出力が出ている。そしてずれ量が磁性層の幅
の約１．３倍で再生出力が出なくなっている。これは磁
性層の幅の約１．３倍の幅で、データトラックが形成さ
れていると考えられる。一方第１図に示す薄膜磁気ヘッ
ドではずれ量が磁性層の約１．１倍の所で再生出力が出
なくなっている。すなわち磁性層の幅の約１．１倍の幅
でデータトラックが形威されていると考えられる。
が１を越えても、すなわち磁性層の幅分磁気ヘッドがず
れても再生出力が出ている。そしてずれ量が磁性層の幅
の約１．３倍で再生出力が出なくなっている。これは磁
性層の幅の約１．３倍の幅で、データトラックが形成さ
れていると考えられる。一方第１図に示す薄膜磁気ヘッ
ドではずれ量が磁性層の約１．１倍の所で再生出力が出
なくなっている。すなわち磁性層の幅の約１．１倍の幅
でデータトラックが形威されていると考えられる。
以上のように本実施例によれば、基板８の媒体対向面側
の端部において、磁性層ｌ３の対向する部分以外を切り
欠いて、磁性層対向部８ａを設けた事により、磁性層１
３から飛び出した磁束はほとんど磁性層対向部８ａに入
り込むので、磁気記録媒体上のデータトラックの幅をほ
ぼ磁性層１３の輻Ｍに等しくする事が出来る。従ってデ
ータトラック間を狭くする事ができ、磁気記録媒体の記
憶容量を大きくすることができる。
の端部において、磁性層ｌ３の対向する部分以外を切り
欠いて、磁性層対向部８ａを設けた事により、磁性層１
３から飛び出した磁束はほとんど磁性層対向部８ａに入
り込むので、磁気記録媒体上のデータトラックの幅をほ
ぼ磁性層１３の輻Ｍに等しくする事が出来る。従ってデ
ータトラック間を狭くする事ができ、磁気記録媒体の記
憶容量を大きくすることができる。
発明の効果
本発明は磁性材料によって構威された基板の媒体対向面
側をトラック幅と同じ幅だけ残す様に切り欠き、切り欠
いた部分以外の部分に、ギャップ層，コイル層，磁性層
等を形威した事により、ほとんどの磁束が基板の媒体対
向面側を切り欠いて残った部分のみに出入するようにな
り、磁気記録媒体に作威されるデータトラックの幅をほ
ぼ磁性層の幅と同じにする事ができるので、データトラ
ック間を狭くする事ができ、磁気記録媒体の記憶容量を
大きくする事ができる。
側をトラック幅と同じ幅だけ残す様に切り欠き、切り欠
いた部分以外の部分に、ギャップ層，コイル層，磁性層
等を形威した事により、ほとんどの磁束が基板の媒体対
向面側を切り欠いて残った部分のみに出入するようにな
り、磁気記録媒体に作威されるデータトラックの幅をほ
ぼ磁性層の幅と同じにする事ができるので、データトラ
ック間を狭くする事ができ、磁気記録媒体の記憶容量を
大きくする事ができる。
第１図は本発明の一実施例における薄膜磁気ヘッド示す
断面図、第２図は本実施例の薄膜磁気ヘッドの基板示す
斜視図、第３図は本実施例の薄膜磁気ヘッドを媒体対向
面側から見た平面図、第４図島は本実施例の薄膜磁気ヘ
ッドの保護層を形威するまえの平面図、第５図及び第６
図はそれぞれ従来及び本実施例における薄膜磁気ヘッド
のずれ量と再生出力関係を示すグラフ、第７図は従来の
薄膜磁気ヘッドを示す断面図、第８図は保護層を形成す
る前の従来の薄膜磁気ヘッドの断面図、第９図は薄膜軸
ヘッドの磁束の流れを示す平面図である。 ８ ・・・・・・ ８ａ・・・・・・ ８ｂ．８ｃ・・・・・・ ９ ・・・・・・ １０． １２ ・・・・・・ １ １ ・・・・・・ １ ３ ・・・・・・ １ ４ ・・・・・・ 基板 磁性層対向部 切欠部 ギャップ層 層間絶縁層 コイル層 磁性層 保護層
断面図、第２図は本実施例の薄膜磁気ヘッドの基板示す
斜視図、第３図は本実施例の薄膜磁気ヘッドを媒体対向
面側から見た平面図、第４図島は本実施例の薄膜磁気ヘ
ッドの保護層を形威するまえの平面図、第５図及び第６
図はそれぞれ従来及び本実施例における薄膜磁気ヘッド
のずれ量と再生出力関係を示すグラフ、第７図は従来の
薄膜磁気ヘッドを示す断面図、第８図は保護層を形成す
る前の従来の薄膜磁気ヘッドの断面図、第９図は薄膜軸
ヘッドの磁束の流れを示す平面図である。 ８ ・・・・・・ ８ａ・・・・・・ ８ｂ．８ｃ・・・・・・ ９ ・・・・・・ １０． １２ ・・・・・・ １ １ ・・・・・・ １ ３ ・・・・・・ １ ４ ・・・・・・ 基板 磁性層対向部 切欠部 ギャップ層 層間絶縁層 コイル層 磁性層 保護層
Claims (1)
- 磁性材料によって構成され、媒体対向面側を所望のト
ラック幅と同じ幅だけ残す様に切り欠いた基板と、前記
基板の切り欠いた部分以外の部分の上に設けられたギャ
ップ層と、前記ギャップ層の上に設けられたコイル層と
、前記コイル層の上に設けられ、前記基板とともに磁気
回路を構成する磁性層とを備えた事を特徴とする薄膜磁
気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1301747A JP2754804B2 (ja) | 1989-11-20 | 1989-11-20 | 薄膜磁気ヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1301747A JP2754804B2 (ja) | 1989-11-20 | 1989-11-20 | 薄膜磁気ヘッドの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03162706A true JPH03162706A (ja) | 1991-07-12 |
| JP2754804B2 JP2754804B2 (ja) | 1998-05-20 |
Family
ID=17900680
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1301747A Expired - Lifetime JP2754804B2 (ja) | 1989-11-20 | 1989-11-20 | 薄膜磁気ヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2754804B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5438747A (en) * | 1994-03-09 | 1995-08-08 | International Business Machines Corporation | Method of making a thin film merged MR head with aligned pole tips |
| US5452164A (en) * | 1994-02-08 | 1995-09-19 | International Business Machines Corporation | Thin film magnetic write head |
| US5652687A (en) * | 1994-04-19 | 1997-07-29 | International Business Machines Corporation | Planarized thin film magnetic write head with submicron trackwidth |
| EP0874355A3 (en) * | 1997-04-25 | 1999-08-04 | Fujitsu Limited | Magnetic head and method for production thereof |
| US6091582A (en) * | 1997-03-28 | 2000-07-18 | Hitachi, Ltd. | Thin film magnetic recording head with very narrow track width performing high density recording at high driving frequency |
| US6597543B1 (en) | 1998-06-08 | 2003-07-22 | Tdk Corporation | Thin-film magnetic head and magnetic storage apparatus using the same |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5916115A (ja) * | 1982-07-20 | 1984-01-27 | Canon Inc | 薄膜磁気ヘツド |
| JPH0264908A (ja) * | 1988-08-31 | 1990-03-05 | Canon Inc | 薄膜磁気ヘッドおよびその製造方法 |
-
1989
- 1989-11-20 JP JP1301747A patent/JP2754804B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5916115A (ja) * | 1982-07-20 | 1984-01-27 | Canon Inc | 薄膜磁気ヘツド |
| JPH0264908A (ja) * | 1988-08-31 | 1990-03-05 | Canon Inc | 薄膜磁気ヘッドおよびその製造方法 |
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5452164A (en) * | 1994-02-08 | 1995-09-19 | International Business Machines Corporation | Thin film magnetic write head |
| US5649351A (en) * | 1994-02-08 | 1997-07-22 | International Business Machines Corporation | Method of making thin film magnetic write head |
| US5438747A (en) * | 1994-03-09 | 1995-08-08 | International Business Machines Corporation | Method of making a thin film merged MR head with aligned pole tips |
| CN1058800C (zh) * | 1994-03-09 | 2000-11-22 | 国际商业机器公司 | 制造极端部对准的薄膜复合磁电阻头的方法 |
| US5652687A (en) * | 1994-04-19 | 1997-07-29 | International Business Machines Corporation | Planarized thin film magnetic write head with submicron trackwidth |
| US5802700A (en) * | 1994-04-19 | 1998-09-08 | International Business Machines Corporation | Method of making a planarized thin film magnetic write head with submicron trackwidth |
| US6091582A (en) * | 1997-03-28 | 2000-07-18 | Hitachi, Ltd. | Thin film magnetic recording head with very narrow track width performing high density recording at high driving frequency |
| EP0874355A3 (en) * | 1997-04-25 | 1999-08-04 | Fujitsu Limited | Magnetic head and method for production thereof |
| US6199267B1 (en) | 1997-04-25 | 2001-03-13 | Fujitsu, Limited | Method for the production of a magnetic head |
| US6597543B1 (en) | 1998-06-08 | 2003-07-22 | Tdk Corporation | Thin-film magnetic head and magnetic storage apparatus using the same |
| US7054107B2 (en) | 1998-06-08 | 2006-05-30 | Tdk Corporation | Thin-film magnetic head with nonmagnetic body filled concave portion formed on a pole layer and magnetic storage apparatus using the same |
| US7230794B2 (en) | 1998-06-08 | 2007-06-12 | Tdk Corporation | Thin-film magnetic head with nonmagnetic body filled concave portion formed on a pole layer and magnetic storage apparatus using the same |
| US7239482B2 (en) | 1998-06-08 | 2007-07-03 | Tdk Corporation | Thin-film magnetic head and nonmagnetic body filled concave portion formed on a pole layer and magnetic storage apparatus using the same |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2754804B2 (ja) | 1998-05-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3045941B2 (ja) | Ｍｒ複合ヘッド及びその製造方法 | |
| US6111723A (en) | Narrow track thin film magnetic head suitable for high density recording and reproducing operations and fabrication method thereof wherein an air bearing surface has at least one groove containing a non-magnetic electrically conductive layer | |
| US5995343A (en) | Magnetic headwith specified tapered pole tip width ratio | |
| US6199267B1 (en) | Method for the production of a magnetic head | |
| JP2761223B2 (ja) | 記録再生複合ヘッド及びその製造方法 | |
| JPH03242810A (ja) | 犠牲マスクを用いた自己整合式磁気ポールピース | |
| US20010050830A1 (en) | Magnetic head and method of manufacturing the same | |
| JPH03162706A (ja) | 薄膜磁気ヘッドの製造方法 | |
| JPH03209609A (ja) | 垂直磁気薄膜ヘッドの製造方法 | |
| US6180421B1 (en) | Method and apparatus for manufacturing magnetic head | |
| JPH0785289B2 (ja) | 磁気ヘッドの製造方法 | |
| JP2779526B2 (ja) | 複合薄膜磁気ヘッド | |
| US6873498B2 (en) | Magnetic head and method of manufacturing the same | |
| JP3441116B2 (ja) | 薄膜磁気ヘッド | |
| JPH0363912A (ja) | 薄膜磁気ヘッド | |
| JP2005108348A (ja) | 垂直磁気記録ヘッドの製造方法 | |
| JP3255886B2 (ja) | 薄膜磁気ヘッド | |
| JP2941243B2 (ja) | 薄膜磁気ヘッドおよびこれを備えた磁気記憶装置 | |
| JPH03269814A (ja) | 薄膜磁気ヘッドおよびその製造方法 | |
| JPH0536018A (ja) | 磁気ヘツド及びその製造方法 | |
| JPH08180329A (ja) | 磁気ヘッド | |
| JPH10172111A (ja) | 薄膜磁気ヘッドの製造方法 | |
| JP2000123321A (ja) | 薄膜磁気ヘッドの製造方法 | |
| JPH04123304A (ja) | 誘導型薄膜磁気ヘッド及びその製造方法 | |
| JPH0766509B2 (ja) | 磁気記録体及びその製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080306 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090306 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100306 Year of fee payment: 12 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100306 Year of fee payment: 12 |