JPH0437651A - 窒化アルミニウム基板の製造方法 - Google Patents
窒化アルミニウム基板の製造方法Info
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- JPH0437651A JPH0437651A JP2144635A JP14463590A JPH0437651A JP H0437651 A JPH0437651 A JP H0437651A JP 2144635 A JP2144635 A JP 2144635A JP 14463590 A JP14463590 A JP 14463590A JP H0437651 A JPH0437651 A JP H0437651A
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- aluminum nitride
- alumina powder
- powder
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Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、窒化アルミニウム基板の製造方法に関する。
具体的にいうと、本発明は、窒化アルミニウムのグリー
ンシートを多段積みにして一度に焼成し、窒化アルミニ
ウムのプレーン基板を製造するための方法に関する。
ンシートを多段積みにして一度に焼成し、窒化アルミニ
ウムのプレーン基板を製造するための方法に関する。
［背景技術］
従来は、窒化アルミニウムのパウダーもしくは窒化アル
ミニウムの焼結基板を粉砕した焼結パウダーを敷粉とし
、これらの敷粉を多段積みされた窒化アルミニウムのグ
リーンシートの一枚一枚の間に撒いて分散させておき、
多段積みされた複数枚のグリーンシートを窒素雰囲気中
において１８００〜１９００℃で焼成し、窒化アルミニ
ウムのプレーン基板を製造していた。
ミニウムの焼結基板を粉砕した焼結パウダーを敷粉とし
、これらの敷粉を多段積みされた窒化アルミニウムのグ
リーンシートの一枚一枚の間に撒いて分散させておき、
多段積みされた複数枚のグリーンシートを窒素雰囲気中
において１８００〜１９００℃で焼成し、窒化アルミニ
ウムのプレーン基板を製造していた。
［発明が解決しようとする課題］
従来は、上記のように基板材料と同じ窒化アルミニウム
の敷粉を用いていたので、敷粉とグリーンシートとの間
で窒化アルミニウム同士の反応が生じ、このため焼成さ
れたプレーン基板に反応によるくっつきが発生していた
。また、パウダー（敷粉）の粒径の不揃いやパウダーの
形状のいびつさのため、焼成されたプレーン基板に反り
等が発生していた。従って、良好な窒化アルミニウムの
プレーン基板を得ることが困難で、良品率は５０％以下
となっていた。また、敷粉として用いられている窒化ア
ルミニウム自身も高価で、製造コストが高くつく原因と
なっていた。
の敷粉を用いていたので、敷粉とグリーンシートとの間
で窒化アルミニウム同士の反応が生じ、このため焼成さ
れたプレーン基板に反応によるくっつきが発生していた
。また、パウダー（敷粉）の粒径の不揃いやパウダーの
形状のいびつさのため、焼成されたプレーン基板に反り
等が発生していた。従って、良好な窒化アルミニウムの
プレーン基板を得ることが困難で、良品率は５０％以下
となっていた。また、敷粉として用いられている窒化ア
ルミニウム自身も高価で、製造コストが高くつく原因と
なっていた。
本発明は、叙上の従来例の欠点に鑑みてなされたもので
あり、その目的とするところは、窒化アルミニウムのグ
リーンシートを多段積みにして焼成しても、基板同士の
くっつきや反り等が発生しに＜＜、平滑で安価な窒化ア
ルミニウムのブレーン基板を製造することができる方法
を提供することにある。
あり、その目的とするところは、窒化アルミニウムのグ
リーンシートを多段積みにして焼成しても、基板同士の
くっつきや反り等が発生しに＜＜、平滑で安価な窒化ア
ルミニウムのブレーン基板を製造することができる方法
を提供することにある。
［課題を解決するための手段］
本発明の窒化アルミニウム基板の製造方法は、溶媒に分
散させられた粒径５〜１００μｍの球状アルミナパウダ
ーを、塗布密度が１０〜３００個／ｃｍ２となるように
窒化アルミニウムのグリーンシートの各積層面に塗布し
、このグリーンシートを複数枚積み重ね、窒素雰囲気中
において１８００〜１９００°Ｃで焼成することを特徴
としている。
散させられた粒径５〜１００μｍの球状アルミナパウダ
ーを、塗布密度が１０〜３００個／ｃｍ２となるように
窒化アルミニウムのグリーンシートの各積層面に塗布し
、このグリーンシートを複数枚積み重ね、窒素雰囲気中
において１８００〜１９００°Ｃで焼成することを特徴
としている。
［作用］
本発明にあっては、敷粉としてアルミナパウダーを用い
ているので、窒化アルミニウムのグリーンシートと敷粉
とが反応して窒化アルミニウムの基板同士がくっつくこ
とを防止できる。また、アルミナパウダーを用いている
ので、製造コストを安価にできる。さらに、粒径が５〜
１ＯｏｔＥ′ｒｌの球状アルミナパウダーを溶媒に分散
させたものをグリーンシートに塗布しているので、粒径
及び形状がほぼ均一なパウダーを均一に塗布することが
でき、しかも、塗布密度が１０〜３００個／ ｃｍ ２
であれば敷粉のパウダー粒子間も光分離れていて、パウ
ダー粒子の固まりも生じにくいので、窒化アルミニウム
の基板に反り等が発生するのを防止できる。この結果、
窒化アルミニウム基板の良品率を大幅に向上させること
ができる。
ているので、窒化アルミニウムのグリーンシートと敷粉
とが反応して窒化アルミニウムの基板同士がくっつくこ
とを防止できる。また、アルミナパウダーを用いている
ので、製造コストを安価にできる。さらに、粒径が５〜
１ＯｏｔＥ′ｒｌの球状アルミナパウダーを溶媒に分散
させたものをグリーンシートに塗布しているので、粒径
及び形状がほぼ均一なパウダーを均一に塗布することが
でき、しかも、塗布密度が１０〜３００個／ ｃｍ ２
であれば敷粉のパウダー粒子間も光分離れていて、パウ
ダー粒子の固まりも生じにくいので、窒化アルミニウム
の基板に反り等が発生するのを防止できる。この結果、
窒化アルミニウム基板の良品率を大幅に向上させること
ができる。
［実施例］
以下、本発明の一実施例を添付図に従って詳述する。
まず、粒径が５〜１００μｍの球状アルミナパウダーを
用い、第１表のような配合比で水分散アルミナパウダー
スラリー１を準備した。
用い、第１表のような配合比で水分散アルミナパウダー
スラリー１を準備した。
第１表
また、ドクターブレード法等により、厚さ０゜６〜１
、５ ｍｍ、幅３００ ｍｍ、長さ１０００ ｍｍの窒
化アルミニウムグリーンシート２を成形し、これを所望
の形状〔例えば、０５０ｍ＋ｎ〜０２００ｍｍ）に打ち
抜いた。この打ち抜かれた各グリーンシート２の表面に
、第１図（ａ）に示すように、前記水分散アルミナパウ
ダースラリー１を塗布密度（パウダー個数密度）が１０
〜３００個／ ｃｍ ２となるようにスプレーガン３で
吹き付け、約１００℃の乾燥語中で約５時間乾燥させた
。乾燥後、第１図（ｂ）に示すように、表面に球状アル
ミナパウダー４を付着させられたグリーンシート２を１
０〜２０枚多段積し、窒化アルミニウム類もしくは窒化
・ホウ素製の匣５の中に納め、窒素ガス雰囲気中におい
て約２４時間脱脂を行ない、残存カーボン量が１０００
〜３０００ ｐｐｍとなるようンこ調整した。
、５ ｍｍ、幅３００ ｍｍ、長さ１０００ ｍｍの窒
化アルミニウムグリーンシート２を成形し、これを所望
の形状〔例えば、０５０ｍ＋ｎ〜０２００ｍｍ）に打ち
抜いた。この打ち抜かれた各グリーンシート２の表面に
、第１図（ａ）に示すように、前記水分散アルミナパウ
ダースラリー１を塗布密度（パウダー個数密度）が１０
〜３００個／ ｃｍ ２となるようにスプレーガン３で
吹き付け、約１００℃の乾燥語中で約５時間乾燥させた
。乾燥後、第１図（ｂ）に示すように、表面に球状アル
ミナパウダー４を付着させられたグリーンシート２を１
０〜２０枚多段積し、窒化アルミニウム類もしくは窒化
・ホウ素製の匣５の中に納め、窒素ガス雰囲気中におい
て約２４時間脱脂を行ない、残存カーボン量が１０００
〜３０００ ｐｐｍとなるようンこ調整した。
この後、これらのグリーンシート２を窒素ガス雰囲気中
において１８００〜１９００℃で５時間焼成し、窒化ア
ルミニウムのプレーン基板を得た。
において１８００〜１９００℃で５時間焼成し、窒化ア
ルミニウムのプレーン基板を得た。
こうして、製造された窒化アルミニウムのプレーン基板
は、球状アルミナパウダーの敷粉によってブレーン基板
同士が焼成時にくっつくのを防止され、しかも、敷粉と
プレーン基板とが反応するコトもないので、敷粉を介し
てブレーン基板同士かくフつくこともない。さらに、球
状アルミナパウダーの形状や粒度等も均一であるので、
焼成時にグリーンシートが変形したり、反ったりするこ
とも防止できる。この結果良品率が９５％以上となり、
極めて高い良品率を示した。また、プレーン基板の熱伝
導率は、２００Ｗ／ｍ−”Ｋであった。
は、球状アルミナパウダーの敷粉によってブレーン基板
同士が焼成時にくっつくのを防止され、しかも、敷粉と
プレーン基板とが反応するコトもないので、敷粉を介し
てブレーン基板同士かくフつくこともない。さらに、球
状アルミナパウダーの形状や粒度等も均一であるので、
焼成時にグリーンシートが変形したり、反ったりするこ
とも防止できる。この結果良品率が９５％以上となり、
極めて高い良品率を示した。また、プレーン基板の熱伝
導率は、２００Ｗ／ｍ−”Ｋであった。
さらに、敷粉のコストは、窒化アルミニウムの敷粉と比
べて１１５となった。
べて１１５となった。
［発明の効果］
本発明によれば、窒化アルミニウム基板を製造する際に
用いられる敷粉として球状アルミナパウダーを用いたの
で、敷粉と窒化アルミニウム基板とが反応せず、プレー
ン基板同士がくっつかなくなった。また、球状アルミナ
パウダーの粒径や形状が均一であるので、窒化アルミニ
ウム基板の変形や反り等も起こりにくい。この結果、良
好な窒化アルミニウム基板を製造することができ、極め
て高い良品率を達成することができた。さらに、敷粉と
してアルミナを用いたので、窒化アルミニウムの敷粉と
比較して、コストも大幅に安価となった。
用いられる敷粉として球状アルミナパウダーを用いたの
で、敷粉と窒化アルミニウム基板とが反応せず、プレー
ン基板同士がくっつかなくなった。また、球状アルミナ
パウダーの粒径や形状が均一であるので、窒化アルミニ
ウム基板の変形や反り等も起こりにくい。この結果、良
好な窒化アルミニウム基板を製造することができ、極め
て高い良品率を達成することができた。さらに、敷粉と
してアルミナを用いたので、窒化アルミニウムの敷粉と
比較して、コストも大幅に安価となった。
第１図（ａ） （ｂ）は本発明の一実施例を説明する概
略図である。 １・・・水分散アルミナパウダースラリー２・・・グリ
ーンシート ４・・・球状アルミナパウダー 特許出願人 株式会社 村田製作所 代理人 弁理士 中 野 雅 房 １・・・水分散アルミナパウダースラリー２・・・グリ
ーンシート とａノ ４・・・球状アルミナパウダー （ｂ）
略図である。 １・・・水分散アルミナパウダースラリー２・・・グリ
ーンシート ４・・・球状アルミナパウダー 特許出願人 株式会社 村田製作所 代理人 弁理士 中 野 雅 房 １・・・水分散アルミナパウダースラリー２・・・グリ
ーンシート とａノ ４・・・球状アルミナパウダー （ｂ）
Claims (1)
- （１）溶媒に分散させられた粒径５〜１００μｍの球状
アルミナパウダーを、塗布密度が１０〜３００個／ｃｍ
＾２となるように窒化アルミニウムのグリーンシートの
各積層面に塗布し、このグリーンシートを複数枚積み重
ね、窒素雰囲気中において１８００〜１９００℃で焼成
することを特徴とする窒化アルミニウム基板の製造方法
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2144635A JPH0437651A (ja) | 1990-06-01 | 1990-06-01 | 窒化アルミニウム基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2144635A JPH0437651A (ja) | 1990-06-01 | 1990-06-01 | 窒化アルミニウム基板の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0437651A true JPH0437651A (ja) | 1992-02-07 |
Family
ID=15366644
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2144635A Pending JPH0437651A (ja) | 1990-06-01 | 1990-06-01 | 窒化アルミニウム基板の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0437651A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013012591A (ja) * | 2011-06-29 | 2013-01-17 | Kyocera Corp | 回路基板 |
-
1990
- 1990-06-01 JP JP2144635A patent/JPH0437651A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013012591A (ja) * | 2011-06-29 | 2013-01-17 | Kyocera Corp | 回路基板 |
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