JPH0438245Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〈技術分野〉 本考案は表面形状測定装置の測定パラメータに
関するもので、従来、JIS規格ではあらさ測定の
パラメータ表示は中心線平均あらさ（R_a）、最大
高さ（Rmax）、十点平均あらさ（Rz）で規定さ
れていたが、本考案はR_zのドイツ規格
（DIN4768）に関する演算表示方法RzDINに関す
るものである。すなわち、トレーサーによつてト
レース方向に沿つて得られた表面のプロフアイル
の隆起面とくぼみ面の面積を一致させる曲線（中
心線）を基準にして演算したあらさ測定のパラメ
ータで測定区間L_nの1/5を単一測定長さｅと
し、５つの連続した単一測定長さ_e1〜e₅のそ
れぞれの区間の最高の山頂と最低の谷間の単一あ
らさR_z1、R_z2、R_z3、R_z4、R_z5の平均値 R_zDIN＝1/5（R_z1＋R_z2＋R_z3＋R_z4＋R_z5）を出力
する表面形状測定装置の演算表示方法に関するも
のである。

〈従来技術〉 第３図はこのため従来使用されていた回路であ
つて表面形状により変位する量を検出器から取
り、これを単一測定長_e1における最大振幅値を
記憶回路M₁₁に入れ、次に_e2の範囲におけるピ
ーク値をM₁₂に入れ順次_e3、_e4と最大振幅値
をM₁₃、M₁₄に入れ最後に_e5の値をM₁₅に入れ
る。すなわち単一測定長_e1〜_e5のそれぞれの
区間の最高の山頂と最低の谷間の単一あらさR_z1
〜R_z5をそれぞれS_w11〜S_w15により順次記憶し、
最後に加算器によりR_z1＋R_z2＋R_z3＋R_z4＋R_z5と
して、次にアツテネータを通して1/5（R_z1＋R_z2
＋R_z3＋R_z4＋R_z5）としてR_zDINの平均あらさを
計測していた。

〈解決すべき課題〉 しかし、第３図より明確であるように従来の回
路では最大振幅値検出回路タイミング回路、スイ
ツチ６個、記憶回路５組、加算器、1/5アツテネ
ータにより構成されていたので電子回路が複雑な
上、回路の印刷基板が大きくなり装置が大型にな
つてしまい、しかも高価なものであつた。

〈問題を解決する手段〉 そこで本考案では第２図のように最大振幅値検
出回路、1/5アツテネータ、スイツチ４個、タイ
ミング回路、記憶回路２組で構成することにより
部品点数を減らし、回路の印刷基板の小型化も行
なわれ安価なシステム構成とすることが出来た。

〈実施例〉 第２図において、２つの記憶回路M₁、M₂は測
定開始前にタイミング回路の信号によりリセツト
され記憶内容を零とする。次に測定が開始される
と、最大振幅値検出回路により_e1の間の最大振
幅値（山と谷の値）を計測し、これを1/5アツテ
ネータ回路に入れ、1/5の信号R_z1／５を作る。
R_z1／５の信号はS_w1、S_w2を閉じた時、加算器を
通り記憶回路M₁に記憶される。この時S_w2も閉じ
るがM₂が零であるのでM₁には_e1における最大
振幅値R_z1／５がそのまま記憶される。M₁の値は
M₂に転入され、転入を開始してS_w3を開けM₁を
リセツトする。次に_e2間における最大振幅値の
１／５の値R_z2／５を_e1の計測値が記憶されている
M₂の値R_z1／５とを加算器で加算した値R_z1／５
＋R_z2／５をM₁に記憶し、M₂に転入させる。次
に転入を確認し、S_w3を開けM₁を転入させる。次
に転入を確認し、S_w2を開けM₁りリセツトする。
このようにして_e1〜_e5の最大振幅値の1/5の
値が順次加算されM₂に入り最後に1/5（R_z1＋R_z2
＋R_z3＋R_z4＋R_z5）になつた時S_w4を閉じR_zDINの
値として出力させる。なお、スイツチS_w1、S_w2、
S_w3、S_w4の開閉及び記憶回路M₁、M₂のリセツト
のタイミングは第４図に示す。このタイミングは
検出器の相対的移動距離、もしくは測定距離Ｌの
移動時間から_e1、_e2、_e3……の時間を定め
る方式によるものである。

〈効果〉 本考案においては従来のものと比較して、記憶
回路の数が５個に対し２個、スイツチの数が６個
に対して４個であるのでタイミング回路を含めて
全体の構成が簡単になつて安価に作ることが出来
る。

【図面の簡単な説明】

第１図はあらさ表示規格R_zDINの演算内容の
説明図、第２図は本考案の回路の構成を示すブロ
ツク図、第３図は従来の回路のブロツク図、第４
図は本考案の回路におけるタイミングを示す図。 １……測定ワーク、２……トレーサー触針、３
……検出部、４……記憶回路M₁、５……記憶回
路M₂、６……記憶回路M₁₁、７……記憶回路
M₁₂、８……記憶回路M₁₃、９……記憶回路M₁₄、
１０……記憶回路M₁₅、１１……最大振幅値検出
回路、１２……1/5アツテネータ、１３……加算
器、１４……タイミング回路。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 測定物の表面形状の変位量を示す表面形状信号
   を出力する検出器と、 前記検出器からの表面形状信号に基づいて測定
   区間L_nの1/5の長さI_el，I_e2、……、I_e5毎に、各長
   さ区間における最高の山頂と最低の谷間との差を
   示す最大振幅値R_z1、R_z2、……、R_z5を検出する
   最大振幅値検出回路と、 前記最大振幅値検出回路によつて検出された最
   大振幅値R_z1、R_z2、……、R_z5をそれぞれ1/5の値
   R_z1／５、R_z2／５、……、R_z5／５にして出力す
   る1/5アツテネータと、 ２つの入力を加算する加算回路と、 前記加算回路の加算値を一時記憶する第１記憶
   回路M₁と、 前記第１記憶回路M₁の記憶値を記憶する第２
   記憶回路M₂と、 前記1/5アツテネータで得た1/5の値R_z1／５、
   R_z2／５、……、R_z5／５を前記加算回路に出力す
   る第１スイツチS_w1と、 前記第２記憶回路M₂の記憶値を前記加算回路
   の他の入力に出力する第２のスイツチS_w2と、 前記第１記憶回路M₁の記憶値を第２記憶回路
   M₂に出力する第３スイツチS_w3と、 第２記憶回路M₂の記憶値をR_zDINを示す値と
   して出力させる第４スイツチS_w4と、 前記第１、第２記憶回路M₁、M₂及び第１、第
   ２、第３、第４スイツチS_w1〜S_w4を制御する制御
   手段であつて、測定開始時に前記第１記憶回路
   M₁及び第２記憶回路M₂の記憶値を零リセツトさ
   せ、その後前記1/5アツテネータで1/5の値R_z1／
   ５、R_z2／５、……、R_z5／５が得られる毎に、そ
   の1/5の値が前記加算回路を介して順次螺算され
   て前記第２記憶回路M₂内に記憶されるように前
   記第１、第２及び第３スイツチS_w1〜S_w3のオン／
   オフを制御し、最終の1/5の値R_z5／５が累算され
   ると、前記第４スイツチS_w4をオンにする制御手
   段と、 を備えたことを特徴とする表面粗さ計の演算回
   路。