JPH0438811A - 半導体ウェハーの認識方法 - Google Patents
半導体ウェハーの認識方法Info
- Publication number
- JPH0438811A JPH0438811A JP14580790A JP14580790A JPH0438811A JP H0438811 A JPH0438811 A JP H0438811A JP 14580790 A JP14580790 A JP 14580790A JP 14580790 A JP14580790 A JP 14580790A JP H0438811 A JPH0438811 A JP H0438811A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor wafer
- recognition
- barcode
- loading
- recorded
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、半導体ウェハーの認識方法に関する。
［従来の技術］
従来の技術としては、半導体ウェハーの表面外周部にレ
ーザーマーキング等で認識情報を記録し、装置内の専用
の読み取り部で認識情報を読み取る方法が知られていた
。
ーザーマーキング等で認識情報を記録し、装置内の専用
の読み取り部で認識情報を読み取る方法が知られていた
。
［発明が解決しようとするａｉＨコ
しかし、前述の従来技術では、半導体ウェハー表面に記
録されていた認識情報が、製造工程を重ねる毎に次第に
不鮮明になり読み取りが困難になる、また読み取りのた
め半導体ウェハーの移動との位置合わせが必要になる、
といつ課Ｕを有していた。
録されていた認識情報が、製造工程を重ねる毎に次第に
不鮮明になり読み取りが困難になる、また読み取りのた
め半導体ウェハーの移動との位置合わせが必要になる、
といつ課Ｕを有していた。
そこで、本発明は従来のこのような課題を解決するため
に、製造工程を重ねても認識記号を確実に認識でき、読
み取りのための半導体ウェハーの移動及び位置合わせを
する必要のない半導体ウェハーの認識方法を提供するこ
とを目的とする。
に、製造工程を重ねても認識記号を確実に認識でき、読
み取りのための半導体ウェハーの移動及び位置合わせを
する必要のない半導体ウェハーの認識方法を提供するこ
とを目的とする。
［課Ｕを解決するための手段］
本発明の半導体ウェハーの認識方法は、半導体ウェハー
の裏面に認識情報をバーコードで円状に記録し、ウェハ
ーを装置にローディングする時に読み取ることを特徴と
する。
の裏面に認識情報をバーコードで円状に記録し、ウェハ
ーを装置にローディングする時に読み取ることを特徴と
する。
［実施例］
以下に本発明の実施例を図面にもとづいて説明する。
まず第１図に示すように半導体ウェハー１の認識情報と
して半導体ウェハー１の裏面に円状バーコード２を記録
する。この時、円状バーコードは、半導体ウェハー１の
中心を中心とする同心円になるように記録する。裏面に
記録することにより、半導体製造工程における各処理の
影響が受けにくくなる。
して半導体ウェハー１の裏面に円状バーコード２を記録
する。この時、円状バーコードは、半導体ウェハー１の
中心を中心とする同心円になるように記録する。裏面に
記録することにより、半導体製造工程における各処理の
影響が受けにくくなる。
次に装置側のローディング機構は第２図及び第３図に示
すように、ローディングプーリー５により駆動される２
本のローディングベルト４に挟まれる位置にバーコード
リーダー３を設置する。
すように、ローディングプーリー５により駆動される２
本のローディングベルト４に挟まれる位置にバーコード
リーダー３を設置する。
この様な構成のもとで、ローディングベルト４で半導体
ウェハー１を、装置にローディングすると、半導体ウェ
ハー１は、バーコードリーダー３上をローディングプー
リー５の回転速度に合わせて、横切ることになり、見か
け上、バーコードリーダー３で、円状バーコード２をス
キャンした形となり、バーコードを認識することが出来
る。
ウェハー１を、装置にローディングすると、半導体ウェ
ハー１は、バーコードリーダー３上をローディングプー
リー５の回転速度に合わせて、横切ることになり、見か
け上、バーコードリーダー３で、円状バーコード２をス
キャンした形となり、バーコードを認識することが出来
る。
この方法によると、半導体ウェハー１が、装置へのロー
ディング時にローディングベルト４上を移動するだけで
、円状バーコード２を認識でき、半導体ウェハー１のロ
ーディングベルト４上の位置に多少変動があっても円状
バーコード２のどこかがバーコードリーダー３上を通過
すれば良いため、円状バーコード２を認識するためだけ
の半導体ウェハー１の移動及び位置合わせが必要なくな
る。また、バーコードリーダー３上をバーコード部が２
度横切ることになりバーコードリーダー３の認識処理を
工夫することで誤認識の確率も低下させることが出来る
。
ディング時にローディングベルト４上を移動するだけで
、円状バーコード２を認識でき、半導体ウェハー１のロ
ーディングベルト４上の位置に多少変動があっても円状
バーコード２のどこかがバーコードリーダー３上を通過
すれば良いため、円状バーコード２を認識するためだけ
の半導体ウェハー１の移動及び位置合わせが必要なくな
る。また、バーコードリーダー３上をバーコード部が２
度横切ることになりバーコードリーダー３の認識処理を
工夫することで誤認識の確率も低下させることが出来る
。
［発明の効果］
そこで、本発明は従来のこのような課題を解決するため
に、製造工程を重ねても認識記号を確実に認識でき、読
み取りのための半導体ウェハーの移動及び位置合わせが
必要でなくなるという効果を有する。
に、製造工程を重ねても認識記号を確実に認識でき、読
み取りのための半導体ウェハーの移動及び位置合わせが
必要でなくなるという効果を有する。
第１図は、円状バーコードの実施例を示す図。
第２図及び第３図は本発明の半導体ウニバーの認識方法
の実施例を示す図。 ・半導体ウェハー ・円状バーコード ・バーコードリーダー ・ロードベルト ・ロードプーリー 箋１０ 以上 出願人セイコーエプソン株式会社 代理人弁理土鈴木喜三部（他−名） ｉｚ 図 箋３０
の実施例を示す図。 ・半導体ウェハー ・円状バーコード ・バーコードリーダー ・ロードベルト ・ロードプーリー 箋１０ 以上 出願人セイコーエプソン株式会社 代理人弁理土鈴木喜三部（他−名） ｉｚ 図 箋３０
Claims (1)
- 半導体ウェハー製造工程における前記半導体ウェハーの
認識方法において、前記半導体ウェハーの裏面に認識情
報をバーコードで円状に記録し、ウェハーを装置にロー
ディングする時に読み取ることを特徴とする半導体ウェ
ハーの認識方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14580790A JPH0438811A (ja) | 1990-06-04 | 1990-06-04 | 半導体ウェハーの認識方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14580790A JPH0438811A (ja) | 1990-06-04 | 1990-06-04 | 半導体ウェハーの認識方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0438811A true JPH0438811A (ja) | 1992-02-10 |
Family
ID=15393601
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14580790A Pending JPH0438811A (ja) | 1990-06-04 | 1990-06-04 | 半導体ウェハーの認識方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0438811A (ja) |
-
1990
- 1990-06-04 JP JP14580790A patent/JPH0438811A/ja active Pending
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