JPH04388A - 露光装置の位置合せ方法 - Google Patents
露光装置の位置合せ方法Info
- Publication number
- JPH04388A JPH04388A JP10090190A JP10090190A JPH04388A JP H04388 A JPH04388 A JP H04388A JP 10090190 A JP10090190 A JP 10090190A JP 10090190 A JP10090190 A JP 10090190A JP H04388 A JPH04388 A JP H04388A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- exposure
- positioning reference
- guide holes
- stage side
- working
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- Pending
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- ing And Chemical Polishing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
この発明は、フォトエツチング加工において薄板の帯状
金属材に連続的にフォトマスクパターンを転写する露光
装置の位置合わせ方法に関する。
金属材に連続的にフォトマスクパターンを転写する露光
装置の位置合わせ方法に関する。
［発明の概要〕
この発明は、薄板の帯状金属材にあらかじめ穿設した加
工用ガイド穴を基準としてフォトマスクパターンを連続
的に転写する露光方法において、露光機への材料繰出し
ステージ側と露光用マスクホルダーの搬入部および搬出
部と材料巻取りステジ側とに複数設けた位置決め基準ピ
ンと帯状金属材の加工用ガイド穴とを嵌合させ位置決め
基準穴に緩挿固定して露光を行うことにより、フォトマ
スクパターン転写の位置ずれをな（し、後のプレス２次
加工での曲げ、絞りなどへの支障を解消するようにした
ものである。
工用ガイド穴を基準としてフォトマスクパターンを連続
的に転写する露光方法において、露光機への材料繰出し
ステージ側と露光用マスクホルダーの搬入部および搬出
部と材料巻取りステジ側とに複数設けた位置決め基準ピ
ンと帯状金属材の加工用ガイド穴とを嵌合させ位置決め
基準穴に緩挿固定して露光を行うことにより、フォトマ
スクパターン転写の位置ずれをな（し、後のプレス２次
加工での曲げ、絞りなどへの支障を解消するようにした
ものである。
〔従来の技術］
従来薄板の帯状金属材に連続的にフォトマスクパターン
を転写する方法は、第４図（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）に
示すように、帯状金属材ｌを露光用マスクホルダー２の
近傍の材料繰出しステージ側３の両側と材料巻取りステ
ージ側４の両側に設けた材料ガイド５により帯状金属材
１の幅方向の両端を挟むような形で位置決めしながら露
光用マスクホルダー２の上ホルダー６の上下動作を繰返
しながら搬送および露光を連続的に行っていた。
を転写する方法は、第４図（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）に
示すように、帯状金属材ｌを露光用マスクホルダー２の
近傍の材料繰出しステージ側３の両側と材料巻取りステ
ージ側４の両側に設けた材料ガイド５により帯状金属材
１の幅方向の両端を挟むような形で位置決めしながら露
光用マスクホルダー２の上ホルダー６の上下動作を繰返
しながら搬送および露光を連続的に行っていた。
しかしながらこの方法では、材料搬送と露光を繰返すう
ちに材料の蛇行が発生し、（ｄ）に示すように露光によ
り転写されたパターン７やプレス加工用ガイド穴８が材
料の幅方向９や長さ方向１０に位置ずれを起こす欠点を
有していた。
ちに材料の蛇行が発生し、（ｄ）に示すように露光によ
り転写されたパターン７やプレス加工用ガイド穴８が材
料の幅方向９や長さ方向１０に位置ずれを起こす欠点を
有していた。
［発明が解決しようとする課題１
従来の帯状金属材の幅方向の両端をガイドし位置合わせ
しながら露光を行う方法においては、連続露光の当初は
間層ないが材料の搬送および露光を繰返すうちに材料の
蛇行が生じるため、転写されたプレス用のガイド穴およ
びパターンが材料の幅方向あるいは長さ方向に位置ずれ
を起こし後工程のプレス加工用ガイド穴としての機能が
損なゎれ曲げ、絞りなどの部品加工に大きな支障を起こ
す問題があった。また連続搬送中に位置ずれが発見され
た場合は新たに材料をセットし直すなどいずれにおいて
も損失が大きく工数が多大となる欠点があった。
しながら露光を行う方法においては、連続露光の当初は
間層ないが材料の搬送および露光を繰返すうちに材料の
蛇行が生じるため、転写されたプレス用のガイド穴およ
びパターンが材料の幅方向あるいは長さ方向に位置ずれ
を起こし後工程のプレス加工用ガイド穴としての機能が
損なゎれ曲げ、絞りなどの部品加工に大きな支障を起こ
す問題があった。また連続搬送中に位置ずれが発見され
た場合は新たに材料をセットし直すなどいずれにおいて
も損失が大きく工数が多大となる欠点があった。
［課題を解決するための手段］
上記問題点を解決するためにこの発明は、あらかしめ帯
状金属材の幅方向の両端に設けた加工用ガイド穴とこの
発明による露光機への材料繰出し、ステージ側と露光用
マスクホルダーの搬入部および搬出部と材料巻取り、ス
テージ側に設けた複数の位置決め基準ピンとを嵌合させ
位置決め基準穴に緩挿固定して帯状金属材を完全に位置
決めして露光する方法によりフォトマスクパターン転写
の位置ずれを防止するようにしたものである。
状金属材の幅方向の両端に設けた加工用ガイド穴とこの
発明による露光機への材料繰出し、ステージ側と露光用
マスクホルダーの搬入部および搬出部と材料巻取り、ス
テージ側に設けた複数の位置決め基準ピンとを嵌合させ
位置決め基準穴に緩挿固定して帯状金属材を完全に位置
決めして露光する方法によりフォトマスクパターン転写
の位置ずれを防止するようにしたものである。
Ｌ作用Ｊ
上記のような構成により帯状金属材を位置決めしてフォ
トマスクパターンを転写する露光方法によれば、加工用
ガイド穴を基準としたフォトマスクパターンの位置ずれ
の発生が起きないことがら後のプレス２次加工において
曲げ、絞りなどを上記の加工用ガイド穴を基準に高精度
の部品加工を行うことができる。
トマスクパターンを転写する露光方法によれば、加工用
ガイド穴を基準としたフォトマスクパターンの位置ずれ
の発生が起きないことがら後のプレス２次加工において
曲げ、絞りなどを上記の加工用ガイド穴を基準に高精度
の部品加工を行うことができる。
以下にこの発明の実施例を図面にもとづいて説明する。
（実施例１）
第１図（ａ）に示すように板厚０．１５ｍｍ、幅４０ｍ
ｍ、長さ１００ｍのステンレスの帯状金属材１の幅方向
の両端に１５ｍｍピッチ毎に加工用ガイド穴１１を穿設
し、フォトレジスト塗布後次に（ｂ）に示すように帯状
金属材ｌを材料巻取りステージ側４まで繰出しセットし
、露光用マスクホルダー２の上ホルダー６を下降させ材
料繰出しステージ側３と露光用マスクホルダー２の搬入
部１２および搬出部１３と材料巻取りステージ側４の両
側各部にそれぞれ設けた８本の位置決め基準ピン１４を
（ｃ）に示すように帯状金属材ｌの両端の加工用ガイド
穴１１に嵌合させ位置決め基準穴１５に緩挿固定した後
露光用マスクホルダー２の上ホルダー６を下降させ下ホ
ルダー１６と接触させて露光し、上ホルダー６を上昇さ
せて材料を搬送する繰返しによる連続的な露光を行った
。この８カ所に設けた位置決めピンにより帯状金属材の
加工用ガイド穴とを嵌合し、位置決め基準穴に緩挿固定
しながら露光を行う方法を適用したことにより帯状金属
材の蛇行が解消され（ｄ）に示すようなフォトマスクの
転写パターン７を位置ずれなく高精度に転写することが
できた。
ｍ、長さ１００ｍのステンレスの帯状金属材１の幅方向
の両端に１５ｍｍピッチ毎に加工用ガイド穴１１を穿設
し、フォトレジスト塗布後次に（ｂ）に示すように帯状
金属材ｌを材料巻取りステージ側４まで繰出しセットし
、露光用マスクホルダー２の上ホルダー６を下降させ材
料繰出しステージ側３と露光用マスクホルダー２の搬入
部１２および搬出部１３と材料巻取りステージ側４の両
側各部にそれぞれ設けた８本の位置決め基準ピン１４を
（ｃ）に示すように帯状金属材ｌの両端の加工用ガイド
穴１１に嵌合させ位置決め基準穴１５に緩挿固定した後
露光用マスクホルダー２の上ホルダー６を下降させ下ホ
ルダー１６と接触させて露光し、上ホルダー６を上昇さ
せて材料を搬送する繰返しによる連続的な露光を行った
。この８カ所に設けた位置決めピンにより帯状金属材の
加工用ガイド穴とを嵌合し、位置決め基準穴に緩挿固定
しながら露光を行う方法を適用したことにより帯状金属
材の蛇行が解消され（ｄ）に示すようなフォトマスクの
転写パターン７を位置ずれなく高精度に転写することが
できた。
（実施例２）
第１図と同様に、厚さ０．１ｍｍ、幅３０ｍｍ、長さ５
０ｍのステンレスの帯状金属材１の幅方向の両端に２０
ｍｍピッチ毎に加工用ガイド穴を穿設し、フォトレジス
ト塗布後次に第２図（ａ）に示すように帯状金属材１を
、露光用マスクホルダー２の搬出部１３まで繰出しセッ
トし、露光用マスクホルダー２の上ホルダー６を下降さ
せ材料繰出しステージ側３と露光マスクホルダー２の搬
入部１２および搬出部１３の両側各部にそれぞれ設けた
６本の位置決め基準ピン１２を（ｂ）に示すように帯状
金属材１の両端の加工用ガイド穴１１に嵌合させ位置決
め基準穴１５に緩挿固定した後実施例１と同様に露光お
よび搬送の連続的な露光を行った。この６カ所に設けた
位置決め基準ピンにより帯状金属材を固定した露光を行
う方法において（Ｃ）に示すようなフォトマスクの転写
パターン７を良好に転写することができた。
０ｍのステンレスの帯状金属材１の幅方向の両端に２０
ｍｍピッチ毎に加工用ガイド穴を穿設し、フォトレジス
ト塗布後次に第２図（ａ）に示すように帯状金属材１を
、露光用マスクホルダー２の搬出部１３まで繰出しセッ
トし、露光用マスクホルダー２の上ホルダー６を下降さ
せ材料繰出しステージ側３と露光マスクホルダー２の搬
入部１２および搬出部１３の両側各部にそれぞれ設けた
６本の位置決め基準ピン１２を（ｂ）に示すように帯状
金属材１の両端の加工用ガイド穴１１に嵌合させ位置決
め基準穴１５に緩挿固定した後実施例１と同様に露光お
よび搬送の連続的な露光を行った。この６カ所に設けた
位置決め基準ピンにより帯状金属材を固定した露光を行
う方法において（Ｃ）に示すようなフォトマスクの転写
パターン７を良好に転写することができた。
（実施例３）
前記実施例と同様に、厚さ０．２ｍｍ、幅３０＋ｎｍ、
長さ２０ｍの黄銅の帯状金属材の幅方向の両端に３．６
５ｍｍピッチ毎に加工用ガイド穴を穿設し、フォトレジ
スト塗布後筒３図（ａ）に示すように帯状金属材１を材
料巻取りステージ側４まで繰出しセットし、露光用マス
クホルダー２の上ホルダー６を下降させ露光用マスクホ
ルダー２の搬入部１２および搬出部１３と材料巻取りス
テージ側４の両側各部にそれぞれ設けた６本の位置決め
基準ピン１２を（ｂ）に示すように帯状金属材１の両端
の加工用ガイド穴１１に嵌合し前記実施例と同様に露光
および搬送の連続的な露光を行った。この６カ所に設け
た位置決めピンにより帯状金属材を固定し露光を行う方
法によっても（ｃ）に示すようなフォトマスクの転写パ
ターン７を位置ずれなく転写することができた。
長さ２０ｍの黄銅の帯状金属材の幅方向の両端に３．６
５ｍｍピッチ毎に加工用ガイド穴を穿設し、フォトレジ
スト塗布後筒３図（ａ）に示すように帯状金属材１を材
料巻取りステージ側４まで繰出しセットし、露光用マス
クホルダー２の上ホルダー６を下降させ露光用マスクホ
ルダー２の搬入部１２および搬出部１３と材料巻取りス
テージ側４の両側各部にそれぞれ設けた６本の位置決め
基準ピン１２を（ｂ）に示すように帯状金属材１の両端
の加工用ガイド穴１１に嵌合し前記実施例と同様に露光
および搬送の連続的な露光を行った。この６カ所に設け
た位置決めピンにより帯状金属材を固定し露光を行う方
法によっても（ｃ）に示すようなフォトマスクの転写パ
ターン７を位置ずれなく転写することができた。
なお、位置決め基準ピンは材料の厚さによって基準ピン
の本数、加工用ガイド穴のピッチによって基準ピンの位
置をそれぞれ変えながら対処するような機構である。
の本数、加工用ガイド穴のピッチによって基準ピンの位
置をそれぞれ変えながら対処するような機構である。
［発明の効果］
この発明は以上説明したように薄板の帯状金属材にフォ
トマスクパターンを連続的に転写する露光方法において
、露光および搬送のときに生じる帯状金属材の蛇行を防
止するために露光用マスクホルダーの搬入部および搬出
部と材料繰出しステジ側および材料巻取りステージ側の
各部に複数設けた位置決め基準ピンと位置決め基準穴に
より帯状金属材の加工用ガイド穴を固定して露光を行う
方法としたことにより露光によるフォトマスクのパター
ンが高精度に転写されることから後工程のプレス２次加
工での曲げ、絞りなどが順調に行われ品質の良い部品を
スムーズに加工できる効果がある。
トマスクパターンを連続的に転写する露光方法において
、露光および搬送のときに生じる帯状金属材の蛇行を防
止するために露光用マスクホルダーの搬入部および搬出
部と材料繰出しステジ側および材料巻取りステージ側の
各部に複数設けた位置決め基準ピンと位置決め基準穴に
より帯状金属材の加工用ガイド穴を固定して露光を行う
方法としたことにより露光によるフォトマスクのパター
ンが高精度に転写されることから後工程のプレス２次加
工での曲げ、絞りなどが順調に行われ品質の良い部品を
スムーズに加工できる効果がある。
第１図（ａ）〜（ｄ）、第２図（ａ）〜（Ｃ）、第３図
（ａ）〜（ｃ）はこの発明による帯状金属材の露光方法
を示すそれぞれ別の実施例であり、第４図は従来の帯状
金属の露光方法を示す図である。 帯状金属材 露光用マスクホルダー 材料繰出しステージ側 材料巻取りステージ側 材料ガイド 上ホルダー 転写パターン プレス加工用ガイド穴 材料の幅方向 材料の長さ方向 １１ ・ ・ １２ ・ ・ １３ ・ ・ １４ ・ ｌ ５ ・ ・ １６ ・ ・ 加工用ガイド穴 搬入部 搬出部 位置決め基準ピン 位置決め基準穴 下ホルダー 以上 出願人 セイコー電子工業株式会社 代理人 弁理士 林 敬 之 助第 図
（ａ）〜（ｃ）はこの発明による帯状金属材の露光方法
を示すそれぞれ別の実施例であり、第４図は従来の帯状
金属の露光方法を示す図である。 帯状金属材 露光用マスクホルダー 材料繰出しステージ側 材料巻取りステージ側 材料ガイド 上ホルダー 転写パターン プレス加工用ガイド穴 材料の幅方向 材料の長さ方向 １１ ・ ・ １２ ・ ・ １３ ・ ・ １４ ・ ｌ ５ ・ ・ １６ ・ ・ 加工用ガイド穴 搬入部 搬出部 位置決め基準ピン 位置決め基準穴 下ホルダー 以上 出願人 セイコー電子工業株式会社 代理人 弁理士 林 敬 之 助第 図
Claims (1)
- 帯状金属材にあらかじめフォトエッチング加工とプレス
加工における基準穴として供する加工用ガイド孔を穿設
しておき、フォトエッチング加工でのフォトレジスト塗
布後に該加工用ガイド穴を位置決めとしてフォトマスク
パターンを連続的に転写する露光方法において、帯状金
属材を露光機内に取付けた露光用マスクホルダーへ平行
に直進させる材料繰出しステージ側と露光用マスクホル
ダーの搬入部および搬出部と材料巻取りステージ側に設
けた複数の位置決め基準ピンと加工用ガイド穴とを嵌合
させ位置決め基準穴に緩挿固定して露光を行うことを特
徴とする露光装置の位置合わせ方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10090190A JPH04388A (ja) | 1990-04-17 | 1990-04-17 | 露光装置の位置合せ方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10090190A JPH04388A (ja) | 1990-04-17 | 1990-04-17 | 露光装置の位置合せ方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04388A true JPH04388A (ja) | 1992-01-06 |
Family
ID=14286250
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10090190A Pending JPH04388A (ja) | 1990-04-17 | 1990-04-17 | 露光装置の位置合せ方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04388A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04353693A (ja) * | 1991-05-30 | 1992-12-08 | Sanyo Electric Co Ltd | 半導体記憶装置 |
-
1990
- 1990-04-17 JP JP10090190A patent/JPH04388A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04353693A (ja) * | 1991-05-30 | 1992-12-08 | Sanyo Electric Co Ltd | 半導体記憶装置 |
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